JP2010045296A - 突上げ装置の突上げステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】突上げステージ1は、全体が円柱形で、底面が開口した円柱形のキャップ部2と、筐体部分をなし内部に照光部4を備えた本体部3との2つの部材を組み合わせてなる。キャップ部2は、底面が開口した円筒形状で、半透明の樹脂からなり、平面側の面の中心に突上げ装置10の突上げピン11が貫通する突上げ穴21を備える。本体部3は、円筒形状で、その底部を図示しない突上げ装置10の駆動機構に支持されており、その内側には、照光部4として、フレキシブル基板を円環状にしてなる帯リング41が設けられ、この帯リング41には、複数のLED42が円周上に実装されている。
【選択図】図2
Description
[1−1.構成]
本実施形態における突上げ装置10の突上げステージ1は、ウエハシートSからチップDを突上げ、ターンテーブルの吸着ノズル等へ受け渡す突上げ装置の一構成要素として用いられるものである。この突上げステージ1は、突上げ装置10が、ウエハシートS上の電子部品をその中心に設けられた突上げピン11により突上げる際に、画像認識によるウエハシートSの位置決めを容易にするためのものである。
以上のような本実施形態の突上げステージ1では、フレキシブル基板に搭載したLED42の照明からなる照光部4が、半透明素材からなるキャップ部2材を透光し、上部に位置するウエハシートSをその直下より照光することができる。
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、例えば、次のような態様も包含するものである。上記実施形態では、照光部4を、フレキシブル基板にLED42を搭載し、これを丸めて、すり鉢状に上方に傾斜した構成としたが、これは本発明の最良の実施形態を示すものであり、本発明はこのような構成に限定されるものではない。例えば、本体部3の内周面に直接的にLED42を配置する構成も取り得る。すなわち、突上げピン11のZ軸方向の移動に干渉しない範囲で、キャップ部2材から明かりを照射できる態様であれば、照光部4の配置構成は種々考えられる。
10…突上げ装置
11…突上げピン
2…キャップ部
21…突上げ穴
22…吸着穴
3…本体部
4…照光部
41…帯リング
42…発光ダイオード(LED)
D…チップ
L…ダイシングライン
S…ウエハシート
Claims (6)
- ウエハシートに貼着した電子部品を、シートに当接してシート側より突上げピンにより突上げて、電子部品をウエハシートから剥がすための突上げ装置に用いる突上げステージであって、
前記シートに当接する面には、前記突上げピンを貫通させる突上げ穴と、シートを真空吸着するための吸着穴と、を備え、
前記シートに当接する側の少なくとも一部が、透光性の素材からなり、
内部に、前記突上げピンを貫通させつつ、これと干渉しない位置に発光部材からなる照光部を備えたことを特徴とする突上げ装置の突上げステージ。 - 筒状の本体部と、この本体部の上端に着脱自在に取り付けられるキャップ部とからなり、
前記キャップ部は、透光性の素材からなり、このキャップ部における前記シートに当接する面に、前記突上げ穴と前記吸着穴と、を備え、
前記本体部は、内部に発光部材からなる照光部が設けられたことを特徴とする請求項1記載の突上げ装置の突上げステージ。 - 前記照光部は、前記本体部の内面に沿って設けられた枠状体に前記発光部材を搭載してなることを特徴とする請求項1又は2記載の突上げ装置の突上げステージ。
- 前記枠状体は、一部に切欠を有する環状で、前記切欠を形成する端部同士で繋げ、前記枠状体の面がすり鉢状に傾斜するように構成され、
前記発光部材は、前記すり鉢状の内側の傾斜面に配置されたことを特徴とする請求項3記載の突上げ装置の突上げステージ。 - 前記枠状体は、フレキシブル基板によりなることを特徴とする請求項3又は4に記載の突上げ装置の突上げステージ。
- 前記発光部材は、発光ダイオードによりなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の突上げ装置の突上げステージ。
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