JP5769349B2 - 部品供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、ウェハ部品を載せたウェハパレットと、トレイ部品を載せたトレイパレットとをマガジン内に多段に混載可能な部品供給装置に関する発明である。

近年、特許文献１（特開２００７−１４２４５２号公報）に記載されているように、ウェハパレット（ウェハ供給用プレート）とトレイパレット（トレイ供給用プレート）とを混載可能なトレイ型の部品供給装置が開発されている。このものは、マガジン内にウェハパレットとトレイパレットとを多段に混載し、マガジンからウェハパレットを引き出す場合は、ウェハパレットを、トレイパレットと同様に、部品装着機の装着ヘッドでウェハ部品をピックアップ可能な位置まで引き出して、当該ウェハパレット上のウェハ部品を部品装着機の装着ヘッドでピックアップするようにしている。

この特許文献１のウェハパレットは、ダイシングされた多数のウェハ部品を貼着した伸縮可能なダイシングシートを、円形の開口部を有するパレット本体に装着したものを使用し、部品装着機の装着ヘッドでウェハパレット上のウェハ部品をピックアップする場合には、マガジンからウェハパレットを所定のピックアップ位置まで引き出して、そのピックアップ位置で、当該ウェハパレットのパレット本体の開口部を円環状のエキスパンド部材に上方から嵌め込むように下降させて、ダイシングシートをエキスパンド部材で突き上げてエキスパンドすることで、ダイシングシート上の各ウェハ部品間の隙間を拡大してピックアップしやすくするようにしている。

特開２００７−１４２４５２号公報

ウェハパレットに載せられているウェハ部品は、伸縮可能なダイシングシートに貼着されているため、部品装着機の装着ヘッドでウェハ部品をピックアップする際に、ウェハ部品をダイシングシートから引き剥がす必要がある。このため、ウェハ部品のサイズや粘着状態（粘着力）等によっては、トレイ部品と同等のサイクルタイムで、ウェハ部品を部品装着機の装着ヘッドでピックアップすることが困難な場合があり、これが生産性を低下させる原因となる。

上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、ウェハ部品を載せたウェハパレットと、トレイ部品を載せたトレイパレットとをマガジン内に多段に混載可能な部品供給装置において、ウェハパレット、トレイパレットのいずれかのパレットを前記マガジンから引き出すパレット引き出し機構は、当該パレット上の部品を部品装着機の装着ヘッドでピックアップする位置（以下「部品装着機用引き出し位置」という）と、前記マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成され、前記サブロボット用引き出し位置に引き出されたパレット上の部品をピックアップするサブロボットと、前記サブロボットでピックアップされた部品を受け取って前記部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送するシャトル機構と、前記部品装着機に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択する選択手段と、前記選択手段の選択結果に応じて前記パレット引き出し機構、前記サブロボット及び前記シャトル機構の動作を制御する制御手段とを備え、前記マガジンを上下動可能に収納したマガジン保持部には、ウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボットでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部が設けられ、ウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボットでピックアップする状態を作業者が確認する際に前記マガジンを前記窓部よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択可能に構成されていることを特徴とするものである。

この構成によれば、部品装着機に供給する部品の種類に応じて、パレットの引き出し位置を、部品装着機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置との間で切り替える。例えば、部品装着機用引き出し位置に引き出すパレットは、部品装着機の装着ヘッドでピックアップしやすい部品を載せたトレイパレットと、サブロボットとシャトル機構との間でつかみ替えが困難な一部のウェハパレットであり、いずれのパレットでも、部品装着機用引き出し位置に引き出した場合は、部品装着機の装着ヘッドでパレット上の部品を直接ピックアップする。

一方、サブロボット用引き出し位置に引き出すパレットは、主として、ピックアップ動作に時間がかかる一部のウェハパレットであり、サブロボット用引き出し位置では、サブロボットでウェハパレット上のウェハ部品をピックアップしてシャトル機構に受け渡し、これを部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送する。

サブロボット用引き出し位置では、部品装着機の装着ヘッドの動きとは関係なく、サブロボットでウェハパレット上のウェハ部品を自由にピックアップできるため、部品装着機の装着ヘッドが部品を回路基板に装着する時間を利用して、サブロボットでウェハパレット上のウェハ部品をピックアップすることができ、そのウェハ部品をシャトル機構により部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで能率良く移送することができる。これにより、従来機種の装着ヘッドでは、トレイ部品と同等のサイクルタイムでピックアップするのが困難であったウェハ部品であっても、サブロボットを用いることで、トレイ部品と同等のサイクルタイムでシャトル機構からウェハ部品を部品装着機の装着ヘッドでピックアップすることが可能となり、部品装着機に供給する部品の種類に応じて適切なピックアップ方法でパレット上の部品を部品装着機に能率良く供給することができる。

更に、請求項１に係る発明では、マガジンを上下動させるマガジン保持部には、ウェハパレット上のウェハ部品をサブロボットでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部を設け、ウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボットでピックアップする状態を作業者が確認する際に、前記マガジンを前記窓部よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択可能に構成したので、ウェハパレット上のウェハ部品をサブロボットでピックアップする状態を作業者側からマガジンの窓部を通して容易に確認することができる。

尚、本発明は、請求項２のように、ウェハ部品を載せたウェハパレットをマガジン内に多段に搭載可能な部品供給装置において、前記ウェハパレットを前記マガジンから引き出すパレット引き出し機構を備え、前記マガジンを上下動可能に収納したマガジン保持部には、前記マガジンから引き出されたウェハパレット上のウェハ部品をピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部が設けられ、ウェハパレット上のウェハ部品をピックアップする状態を作業者が確認する際に前記マガジンを前記窓部よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択可能に構成されていることを特徴とするものであっても良い。

ところで、サブロボットから受け取るウェハ部品を吸着保持するためのシャトルノズルをウェハ部品の種類に応じて交換したり、シャトルノズルの吸着能力を低下させないようにシャトルノズルをクリーニングしたり、点検する必要があるが、通常は、作業者側から見てマガジンの裏側にシャトルノズルが位置するため、シャトルノズルの交換、クリーニング、点検等のメンテナンス作業が行いにくい。

そこで、本発明は、請求項３，４のように、マガジンを収納したマガジン保持部と、作業者側から見て前記マガジン保持部の裏側において、サブロボットでピックアップされた部品を受け取って部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送するシャトル機構とを備え、メンテナンス時にシャトル機構のシャトルノズルが、パレットの引き出し方向とは反対方向である前記マガジン保持部の作業者側のメンテナンス位置まで移動するように構成しても良い。このようにすれば、シャトルノズルの交換、クリーニング、点検等のメンテナンス作業を行いやすくなる。

ところで、ウェハパレットは、ダイシングされた多数のウェハ部品を貼着した伸縮可能なダイシングシートを、円形の開口部を有するパレット本体に装着したものであり、ダイシングシート上のウェハ部品をピックアップするには、ダイシングシートをエキスパンド（拡張）することで、ダイシングシート上の各ウェハ部品間の隙間を拡大してピックアップしやすくする必要がある。本発明でも、前述した特許文献１と同様に、マガジンから引き出した位置で、ウェハパレットのダイシングシートをエキスパンド部材で突き上げてエキスパンドするようにしても良いが、エキスパンド動作に要する時間分だけ生産能率が低下したり、エキスパンド機構を搭載する必要があり、構成が複雑化する欠点がある。

そこで、請求項５のように、ウェハパレットは、ダイシングされた多数のウェハ部品を貼着した伸縮可能なダイシングシートを、円形の開口部を有するパレット本体にエキスパンドした状態で装着したものを使用するようにすると良い。このようにすれば、マガジンから引き出した位置で、ウェハパレットのダイシングシートをエキスパンドする必要がなくなり、その分、生産能率を向上できると共に、エキスパンド機構を省略して構成を簡素化することができる。

また、ウェハ部品は、ウェハパレットのダイシングシートを単純に平面方向にエキスパンドしただけでは、ピックアップしにくい。

この対策として、請求項６のように、ウェハパレット上のウェハ部品をピックアップする際に、ピックアップしようとするウェハ部品をその下方から局所的に突き上げる突き上げユニットを備えた構成とすると良い。このようにすれば、ピックアップしようとするウェハ部品をその下方から突き上げユニットで局所的に突き上げることで、当該ウェハ部品を浮き上がらせてピックアップしやすくすることができ、単純な平面方向のエキスパンドだけではピックアップしにくいウェハ部品でも、容易に且つ確実にピックアップすることができる。この場合、ダイシングシートに貼着したウェハ部品を突き上げユニットで突き上げる動作を高速で行うと、ウェハ部品がはね飛ばされる等の不具合が発生する可能性があるため、突き上げユニットの突き上げ動作は緩やかに行う必要があるが、前述したように、部品装着機の装着ヘッドが部品を回路基板に装着する時間を、突き上げユニットによる突き上げ動作やサブロボットのピックアップ動作の時間として利用できるため、突き上げユニットの突き上げ動作を緩やかに行いながら、ウェハ部品を能率良く部品装着機に供給することができる。

また、ウェハ部品の種類によっては、ウェハパレットのダイシングシートに上下反対に貼着されたウェハ部品（例えばフリップチップ等）がある。

この点を考慮して、請求項７のように、シャトル機構には、サブロボットから受け取るウェハ部品を必要に応じて上下反転させる反転ユニットを備えた構成とすると良い。このようにすれば、ダイシングシートに上下反対に貼着されているウェハ部品の場合は、サブロボットでピックアップしてシャトル機構に受け渡す際に、当該ウェハ部品を反転ユニットにより上下反転させて正常な姿勢に戻した状態でシャトル機構に受け渡すことができ、ウェハパレットのダイシングシートに上下反対に貼着されたウェハ部品（例えばフリップチップ等）にも対応できる。

本発明の一実施例における部品供給装置の外観斜視図である。 突き上げユニット部分の拡大斜視図である。 部品供給装置をセットした部品装着機の外観斜視図である。 ウェハパレット上のウェハ部品をサブロボットでピックアップする状態を作業者側から確認する方法を説明する図である。 メンテナンス時にシャトル機構のシャトルノズルがマガジンの作業者側のメンテナンス位置まで移動した状態を説明する図である。

以下、本発明を実施するための最良の形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。
図１に示すように、本実施例の部品供給装置１１は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、パレット引き出し機構１４、サブロボット１５、シャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８（図２参照）、ＮＧコンベア１９、ノズルチェンジャー２０等を備えた構成となっている。この部品供給装置１１は、図３に示すように、部品装着機２５のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。

部品供給装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジンには、ウェハ部品２１を載せたウェハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるようになっている。ウェハパレット２２は、ダイシングされた多数のウェハ部品２１を貼着した伸縮可能なダイシングシート（図示せず）を、円形の開口部を有するパレット本体２３にエキスパンドした状態で装着したものを使用する。尚、ダイシングシートのエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシートを下方から円形リングで押し上げた状態でパレット本体２３に装着すれば良い。 パレット引き出し機構１４は、ウェハパレット２２、トレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部１２内のマガジンからパレット引き出しテーブル１３上に引き出すものであり、パレット上の部品を部品装着機２５（図３参照）の装着ヘッド（図示せず）でピックアップする位置（以下「部品装着機用引き出し位置」という）と、マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成されている。部品装着機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル１３の前端の位置（マガジンから最も離れた位置）であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット１５の吸着ノズル（図示せず）でウェハパレット２２上のウェハ部品２１を吸着可能な位置である。

サブロボット１５は、マガジン保持部１２の背面部（サブロボット用引き出し位置側の面）のうちのパレット引き出しテーブル１３の上方に位置して設けられ、ＸＺ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及び垂直方向）に移動するように構成されている。尚、サブロボット１５の移動方向をＸ方向のみとし、ウェハパレット２２に対するサブロボット１５のＹ方向（パレット引き出し方向）の相対的位置は、パレット引き出し機構１４によってウェハパレット２２をＹ方向に徐々に引き出すことで制御している。このサブロボット１５には、１本又は複数本の吸着ノズル（図示せず）が下向きに設けられ、ピックアップする部品のサイズ等に応じてノズルチェンジャー２０で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット１５には、カメラユニット２４が設けられ、このカメラユニット２４の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるウェハ部品２１の位置又はウェハ部品２１の吸着姿勢を確認できるようになっている。

シャトル機構１６は、サブロボット１５の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル２６で受け取って部品装着機２５の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送する。

反転ユニット１７は、サブロボット１５から受け取るウェハ部品２１を必要に応じて上下反転させるものである。ウェハ部品２１の種類によっては、ウェハパレット２２のダイシングシートに上下反対に貼着されたウェハ部品（例えばフリップチップ等）が存在するためである。

突き上げユニット１８（図２参照）は、パレット引き出しテーブル１３に設けられて、ウェハパレット２２下方の空間領域をＸＹ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及びその直角方向）に移動可能に構成されている。そして、部品装着機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウェハパレット２２を引き出した場合でも、ピックアップしようとするウェハ部品２１をその下方から突き上げヘッド２７で局所的に突き上げることで、当該ウェハ部品２１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げユニット１８は、ウェハ部品２１のサイズ等に応じて突き上げヘッド２７を選択できるようにするために、複数種類（例えば４種類）の突き上げヘッド２７が所定角度ピッチで放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げヘッド２７が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。尚、ＮＧコンベア１９は、不良部品や吸着不良のウェハ部品２１を排出するコンベアである。

図３及び図４に示すように、マガジン保持部１２には、ウェハパレット２２上のウェハ部品２１をサブロボット１５でピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部３１が設けられ、ウェハパレット２２上のウェハ部品２１をサブロボット１５でピックアップする状態を作業者が確認する際に、マガジン保持部１２内のパレットを窓部３１よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択できるように構成されている。更に、確認モードでは、サブロボット１５がウェハパレット２２上のウェハ部品２１をピックアップした状態で、サブロボット１５を停止できるようになっている。

また、図５に示すように、メンテナンス時にシャトル機構１６のシャトルノズル２６がマガジン保持部１２の作業者側のメンテナンス位置まで移動するように構成されている。

以上のように構成した部品供給装置１１の制御装置３２は、キーボード、マウス等の入力装置３３、液晶ディスプレイ等の表示装置３４等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、部品装着機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択する選択手段として機能すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構１４、サブロボット１５及びシャトル機構１６、反転ユニット１７、突き上げユニット１８等の動作を制御する制御手段として機能する。

具体的には、部品供給装置１１の制御装置３２は、部品装着機２５に供給する部品の種類に応じて、例えば次のように制御する。

（１）小チップのウェハ部品２１の場合
小チップのウェハ部品２１の場合は、サブロボット１５→シャトルノズル２６→部品装着機２５の装着ヘッドへのウェハ部品２１のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部１２からウェハパレット２２を部品装着機用引き出し位置に引き出して、当該ウェハパレット２２上のウェハ部品２１を部品装着機２５の装着ヘッドで直接ピックアップする。

（２）上記以外のサイズのウェハ部品２１の場合
ウェハ部品２１のつかみ替えが可能なサイズのウェハ部品２１の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部１２内のマガジンからウェハパレット２２をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５で当該ウェハパレット２２上の複数のウェハ部品２１をピックアップし、当該複数のウェハ部品２１をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からウェハ部品２１を部品装着機２５の装着ヘッドでピックアップする。

（３）トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部１２内のマガジンからトレイパレットを部品装着機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品装着機２５の装着ヘッドで直接ピックアップする。

尚、トレイ部品の種類によっては、上記（２）の場合と同様に、マガジンからトレイパレットをサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５で当該トレイパレット上の複数のトレイ部品をピックアップして、当該複数のトレイ部品をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からトレイ部品を部品装着機２５の装着ヘッドでピックアップするようにしても良い。

このような部品装着機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択する際に、生産管理プログラムで使用する部品データに基づいてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を制御装置３２によって自動的に選択するようにしても良いし、作業者が制御装置３２のキーボード、マウス等の表示装置３３を操作して、手動で選択するようにしても良い。

以上説明した本実施例によれば、部品装着機２５に供給する部品の種類に応じて、パレットの引き出し位置を、部品装着機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置との間で切り替えるようにしている。この場合、サブロボット用引き出し位置では、部品装着機２５の装着ヘッドの動きとは関係なく、サブロボット１５でウェハパレット２２上のウェハ部品２１を自由にピックアップできるため、部品装着機２５の装着ヘッドが部品２１を回路基板に装着する時間を利用して、サブロボット１５でウェハパレット２２上のウェハ部品２１をピックアップすることができ、そのウェハ部品２１をシャトル機構１６により所定のピックアップ位置まで能率良く移送することができる。その場合、サブロボット１５に設けられた複数の吸着ノズルを使用して、部品装着機２５の装着ヘッドが部品をピックアップする数に応じて、ウェハ部品２１を移送するようにすると良い。これにより、従来機種の装着ヘッドでは、トレイ部品と同等のサイクルタイムでピックアップするのが困難であったウェハ部品２１であっても、サブロボット１５を用いることで、トレイ部品と同等のサイクルタイムで部品装着機２５の装着ヘッドでピックアップすることが可能となり、部品装着機２５に供給する部品の種類に応じて適切なピックアップ方法でパレット上の部品を部品装着機２５に能率良く供給することができる。

ところで、ウェハパレット２２のダイシングシート上のウェハ部品２１をピックアップするには、ダイシングシートをエキスパンドすることで、ダイシングシート上の各ウェハ部品２１間の隙間を拡大してピックアップしやすくする必要がある。本発明でも、従来と同様に、マガジン保持部１２内のマガジンから引き出した位置で、ウェハパレット２２のダイシングシートをエキスパンド部材で突き上げてエキスパンドするようにしても良いが、エキスパンド動作に要する時間分だけ生産能率が低下したり、エキスパンド機構を搭載する必要があり、構成が複雑化する欠点がある。

そこで、本実施例では、ウェハパレット２２は、ダイシングされた多数のウェハ部品２１を貼着した伸縮可能なダイシングシートを、円形の開口部を有するパレット本体２３にエキスパンドした状態で装着したものを使用するようにしたので、マガジンから引き出した位置で、ウェハパレット２２のダイシングシートをエキスパンドする必要がなくなり、その分、生産能率を向上できると共に、エキスパンド機構を省略して構成を簡素化することができる。

また、ウェハ部品２１は、ウェハパレット２２のダイシングシートを単純に平面方向にエキスパンドしただけでは、ピックアップしにくい。

この対策として、本実施例では、サブロボット用引き出し位置又は部品装着機用引き出し位置に引き出されたウェハパレット２２上のウェハ部品２１をサブロボット１５又は部品装着機２５の装着ヘッドでピックアップする際に、ピックアップしようとするウェハ部品２１をその下方から局所的に突き上げる突き上げユニット１８を設けた構成としたので、ピックアップしようとするウェハ部品２１をその下方から突き上げユニット１８で局所的に突き上げることで、当該ウェハ部品２１を浮き上がらせてピックアップしやすくすることができ、単純な平面方向のエキスパンドだけではピックアップしにくいウェハ部品２１でも、容易に且つ確実にピックアップすることができる。この場合、ダイシングシートに貼着したウェハ部品２１を突き上げユニット１８で突き上げる動作を高速で行うと、ウェハ部品２１がはね飛ばされる等の不具合が発生するため、突き上げ動作は緩やかに行う必要があるが、前述したように、部品装着機２５の装着ヘッドが部品を回路基板に装着する時間を、突き上げユニット１８の突き上げ動作やサブロボット１５のピックアップ動作の時間として利用できるため、ウェハ部品２１を能率良く部品装着機２５に供給することができる。

また、ウェハ部品２１の種類によっては、ウェハパレット２２のダイシングシートに上下反対に貼着されたウェハ部品（例えばフリップチップ等）が存在する。

この点を考慮して、本実施例では、シャトル機構１６に、サブロボット１５から受け取るウェハ部品２１を必要に応じて上下反転させる反転ユニット１７を設けた構成としたので、ダイシングシートに上下反対に貼着されているウェハ部品２１の場合は、サブロボット１５でピックアップしてシャトル機構１６に受け渡す際に、当該ウェハ部品２１を反転ユニット１７により上下反転させて正常な姿勢に戻した状態でシャトル機構１６に受け渡すことができ、ウェハパレット２２のダイシングシートに上下反対に貼着されたウェハ部品（例えばフリップチップ等）にも対応できる。

また、本実施例では、マガジンを上下動可能に収納したマガジン保持部１２に、ウェハパレット２２上のウェハ部品２１をサブロボット１５でピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部３１を設け、ウェハパレット２２上のウェハ部品２１をサブロボット１５でピックアップする状態を作業者が確認する際に、マガジン保持部１２内のマガジンを窓部３１よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択可能に構成したので、ウェハパレット２２上のウェハ部品２１をサブロボット１５でピックアップする状態を作業者側からマガジン保持部１２の窓部３１を通して容易に確認することができる。

ところで、サブロボット１５から受け取るウェハ部品２１を吸着保持するためのシャトルノズル２６をウェハ部品２１の種類に応じて交換したり、シャトルノズル２６の吸着能力を低下させないようにシャトルノズル２６をクリーニングしたり、点検する必要があるが、通常は、作業者側から見てマガジン保持部１２の裏側にシャトルノズル２６が位置するため、シャトルノズル２６の交換、クリーニング、点検等のメンテナンス作業が行いにくい。

そこで、本実施例では、メンテナンス時にシャトル機構１６のシャトルノズル２６がマガジン保持部１２の作業者側のメンテナンス位置まで移動するように構成したので、シャトルノズル２６の交換、クリーニング、点検等のメンテナンス作業を行いやすくなるという利点がある。

尚、本発明は、上記実施例に限定されず、例えば、サブロボット用引き出し位置と部品装着機用引き出し位置にそれぞれパレットを引き出して、パレット引き出しテーブル１３上の２つのパレットに対して、２つのピックアップ方法を並行して又は交互に実行するようにしても良い。

１１…部品供給装置、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１４…パレット引き出し機構、１５…サブロボット、１６…シャトル機構、１７…反転ユニット、１８…突き上げユニット、１９…ＮＧコンベア、２０…ノズルチェンジャー、２１…ウェハ部品、２２…ウェハパレット、２３…パレット本体、２４…カメラユニット、２５…部品装着機、２６…シャトルノズル、２７…突き上げヘッド、３１…窓部、３２…制御装置（制御手段，選択手段）、３３…入力装置、３４…表示装置

Claims (7)

1. ウェハ部品を載せたウェハパレットと、トレイ部品を載せたトレイパレットとをマガジン内に多段に混載可能な部品供給装置において、
   ウェハパレット、トレイパレットのいずれかのパレットを前記マガジンから引き出すパレット引き出し機構は、当該パレット上の部品を部品装着機の装着ヘッドでピックアップする位置と、前記マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成され、
   前記サブロボット用引き出し位置に引き出されたパレット上の部品をピックアップするサブロボットと、
   前記サブロボットでピックアップされた部品を受け取って前記部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送するシャトル機構と、
   前記部品装着機に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択する選択手段と、
   前記選択手段の選択結果に応じて前記パレット引き出し機構、前記サブロボット及び前記シャトル機構の動作を制御する制御手段と
   を備え、
   前記マガジンを上下動可能に収納したマガジン保持部には、ウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボットでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部が設けられ、ウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボットでピックアップする状態を作業者が確認する際に前記マガジンを前記窓部よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択可能に構成されていることを特徴とする部品供給装置。
2. ウェハ部品を載せたウェハパレットをマガジン内に多段に搭載可能な部品供給装置において、
   前記ウェハパレットを前記マガジンから引き出すパレット引き出し機構を備え、
   前記マガジンを上下動可能に収納したマガジン保持部には、前記マガジンから引き出されたウェハパレット上のウェハ部品をピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部が設けられ、ウェハパレット上のウェハ部品をピックアップする状態を作業者が確認する際に前記マガジンを前記窓部よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択可能に構成されていることを特徴とする部品供給装置。
3. ウェハ部品を載せたウェハパレットと、トレイ部品を載せたトレイパレットとをマガジン内に多段に混載可能な部品供給装置において、
   ウェハパレット、トレイパレットのいずれかのパレットを前記マガジンから引き出すパレット引き出し機構は、当該パレット上の部品を部品装着機の装着ヘッドでピックアップする位置と、前記マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成され、
   前記サブロボット用引き出し位置に引き出されたパレット上の部品をピックアップするサブロボットと、
   前記マガジンを収納したマガジン保持部と、
   作業者側から見て前記マガジン保持部の裏側において、前記サブロボットでピックアップされた部品を受け取って前記部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送するシャトル機構と、
   前記部品装着機に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択する選択手段と、
   前記選択手段の選択結果に応じて前記パレット引き出し機構、前記サブロボット及び前記シャトル機構の動作を制御する制御手段と
   を備え、
   メンテナンス時に前記サブロボットから受け取る部品を吸着保持するための前記シャトル機構のシャトルノズルが、前記パレットの引き出し方向とは反対方向である前記マガジン保持部の作業者側のメンテナンス位置まで移動するように構成されていることを特徴とする部品供給装置。
4. ウェハ部品を載せたウェハパレットをマガジン内に多段に搭載可能な部品供給装置において、
   前記ウェハパレットを前記マガジンから引き出すパレット引き出し機構と、
   前記マガジンから引き出されたパレット上の部品をピックアップするサブロボットと、 前記マガジンを収納したマガジン保持部と、
   作業者側から見て前記マガジン保持部の裏側において、前記サブロボットでピックアップされた部品を受け取って前記部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送するシャトル機構と、
   前記パレット引き出し機構、前記サブロボット及び前記シャトル機構の動作を制御する制御手段と
   を備え、
   メンテナンス時に前記サブロボットから受け取る部品を吸着保持するための前記シャトル機構のシャトルノズルが、前記パレットの引き出し方向とは反対方向である前記マガジン保持部の作業者側のメンテナンス位置まで移動するように構成されていることを特徴とする部品供給装置。
5. 前記ウェハパレットは、ダイシングされた多数のウェハ部品を貼着した伸縮可能なダイシングシートを、円形の開口部を有するパレット本体にエキスパンドした状態で装着したものを使用することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の部品供給装置。
6. 前記ウェハパレット上のウェハ部品をピックアップする際にピックアップしようとするウェハ部品をその下方から局所的に突き上げる突き上げユニットを備えていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の部品供給装置。
7. 前記シャトル機構には、前記サブロボットから受け取るウェハ部品を必要に応じて上下反転させる反転ユニットを備えていることを特徴とする請求項１，３，４のいずれかに記載の部品供給装置。

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