JP7035273B2 - 電子部品剥離装置及び電子部品の剥離方法 - Google Patents

Description

本開示は、粘着シートに貼り付けられた電子部品を吸着して剥離する電子部品剥離装置及び電子部品の剥離方法に関するものである。

従来、粘着シートに貼り付けられた電子部品を吸着ノズルにより吸着し、粘着シートから電子部品を剥離する電子部品剥離装置がある（例えば、特許文献１など）。特許文献１の電子部品剥離装置は、突き上げ具により電子部品を下方から突き上げ、上方から吸着ノズルにより電子部品を吸着する。吸着ノズルは、電子部品を吸着した状態で上昇することで、電子部品を粘着シートから剥離する。突き上げ具は、四角柱をなしている。突き上げ具の先端部は、中央を突出させた凸形状であり、四隅を削って滑らかな曲面を形成されている。

特開２００７－１９４５７１号公報（図３）

ところで、電子部品の厚さは、近年の実装密度の高まりから、例えば数十μｍと、益々薄くなっている。このため、電子部品を粘着シートから剥離する際に、電子部品の割れや曲がりを防ぐため、電子部品に付与される負荷の軽減が必要となる。上記した特許文献１の電子部品剥離装置において、吸着ノズルは、貼り付け面と垂直な方向へ電子部品を引っ張り上げる。電子部品は、粘着シートに貼り付けられた接着面積に応じた負荷が付与されるため、割れたり曲がったりする虞がある。

本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、粘着シートから電子部品を剥離する際に、電子部品に付与される負荷を軽減して、電子部品を適切に剥離できる電子部品剥離装置及び電子部品の剥離方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本明細書は、電子部品を貼り付けられた粘着シートの下方に配置され、前記粘着シートに対して所定の角度を有する傾斜面を設けられ、前記傾斜面により前記粘着シート及び前記電子部品を突き上げる突き上げ具と、下端部の下面に弾性部材を取り付けられ、前記下端部で前記電子部品を吸着する吸着装置と、前記突き上げ具により突き上げた前記電子部品を、前記弾性部材を弾性変形させて前記吸着装置により吸着させる、もしくは、前記吸着装置により吸着させた前記電子部品を前記突き上げ具により突き上げて前記弾性部材を弾性変形させる、その後、前記電子部品を吸着した前記吸着装置を前記粘着シートから離間する方向へと移動させることで前記弾性部材の弾性変形を復帰させながら前記電子部品を前記粘着シートに対して一方の端から剥離させる制御装置と、を備える電子部品剥離装置を開示する。

また、本開示の内容は、電子部品剥離装置に限定されることなく、電子部品の剥離方法として実施しても有益である。

本開示の電子部品剥離装置等によれば、突き上げ具は、粘着シートに対して傾斜した傾斜面を有し、その傾斜面により粘着シート及び電子部品を下方から突き上げる。粘着シート及び電子部品は、傾斜面に沿って傾いた状態となる。吸着装置は、突き上げ具により突き上げられ傾斜面によって傾斜した状態の電子部品を吸着する。あるいは、突き上げ具は、吸着装置によって吸着された電子部品を突き上げる。そして、吸着装置は、吸着した状態で粘着シートから剥離する方向へと移動する。吸着装置は、離間方向へ移動することで、傾斜面の下端から順番に、電子部品を粘着シートから剥離する。これにより、電子部品を粘着シートから剥離する際に、電子部品に付与される負荷を軽減することができる。剥離による電子部品の割れや曲がりを抑制し、電子部品を適切に剥離することができる。

本実施形態に係る電子部品装着装置の斜視図である。 カバーを除いた状態の電子部品装着装置の平面図である。 突き上げ装置の斜視図である。 突き上げ具の斜視図である。 吸着ノズル、ダイ、突き上げ具の位置関係を示す模式図である。 電子部品装着装置の制御系統を示すブロック図である。 ノズルホルダ及び吸着ノズルの拡大図である。 弾性部材をダイに接触させた状態の平面図である。 装着作業の制御内容を示すフローチャートである。 装着作業における吸着ノズル等の位置関係を示す模式図である。 装着作業における吸着ノズル等の位置関係を示す模式図である。 装着作業における吸着ノズル等の位置関係を示す模式図である。 装着作業における吸着ノズル等の位置関係を示す模式図である。 別例の弾性部材をダイに接触させた状態の平面図である。

（電子部品装着装置の構成）
以下、本開示の電子部品剥離装置を具体化した一実施形態であるダイ供給装置について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態のダイ供給装置３０を備える電子部品装着装置１０の斜視図を示している。図２は、カバー１２を除いた状態の電子部品装着装置１０の平面図を示している。図１及び図２に示すように、電子部品装着装置１０は、本体部１１、ダイ供給装置３０、液剤供給装置２６、及び操作装置１５を備えている。以下の説明では、図１に示す方向を用いて説明する。即ち、電子部品装着装置１０が基板１３（図２参照）を搬送する方向をＸ軸方向と称し、Ｘ軸方向に垂直で搬送される基板１３の平面に水平の方向をＹ軸方向と称し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向をＺ軸方向と称する。また、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向を用いて、電子部品装着装置１０の左右、前後、上下を説明する場合もある。

電子部品装着装置１０は、基板１３に対してダイ９２（図２参照）を装着する作業を実行する。基板１３は、例えばプリント基板である。本体部１１は、カバー１２、ベース４６、及びデバイスパレット７０などを有している。本体部１１は、略箱形状をなし、ベース４６の上方に、搬送装置２０、装着ヘッド移動装置２２、及び装着ヘッド２４（図２参照）などを収納している。Ｙ軸方向におけるベース４６の前側下方には、収納部８６（図２参照）が設けられている。収納部８６は、ダイ供給装置３０の一部が差し込まれる空間である。カバー１２は、本体部１１の上面の一部に取り付けられている。

液剤供給装置２６は、ベース４６に固定されたデバイスパレット７０の上方に固定されている。ダイ供給装置３０は、メインフレーム１００及びウエハ収容装置１０２などを有する。ウエハ収容装置１０２の内部には、複数のウエハ９０（図２参照）が収容されている。ウエハ９０は、例えば、ダイシングシート９３を貼り付けされた後にダイシングされたものであり、複数のダイ９２（電子部品の一例）をダイシングシート９３に貼り付けられている。複数のウエハ９０は、ダイ９２の載置面をＸ軸方向及びＹ軸方向と略平行な状態にしてウエハ収容装置１０２に収納されている。ダイ供給装置３０は、ウエハ収容装置１０２に収納された複数のウエハ９０のうちの一枚を取り出し、メインフレーム１００の上方に送り出す。操作装置１５は、Ｙ方向における本体部１１の前面に取り付けられている。操作装置１５は、例えば、電子部品装着装置１０の動作状況などの情報を表示する表示画面を有する。また、操作装置１５は、電子部品装着装置１０に必要な操作や設定を受け付ける操作スイッチを有している。

また、図２に示すように、ダイ供給装置３０は、上記した構成の他に、ピックアップヘッド移動装置１０６、ピックアップヘッド１０５、ウエハ保持フレーム１１８、及びダイ突上装置１０３（図３参照）などをメインフレーム１００の上方に有している。ダイ供給装置３０は、ウエハ９０のダイ９２をピックアップし、ピックアップしたダイ９２を装着ヘッド２４へ渡す装置である。ここでいうピックアップとは、例えば、ダイシングシート９３に貼り付けられたダイ９２を、後述するダイ供給装置３０の吸着ノズル１４２（図５参照）によって吸着してダイシングシート９３から剥離することをいう。

ピックアップヘッド移動装置１０６は、Ｙ軸方向に延びる一対のＹ軸方向ガイドレール１３４、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール１３５、及びクランプ１３９などを有する。一対のＹ軸方向ガイドレール１３４は、Ｘ軸方向において所定の間隔を間に設けて離間して配置されている。Ｘ軸方向ガイドレール１３５は、一対のＹ軸方向ガイドレール１３４の上に架け渡されている。Ｘ軸方向ガイドレール１３５は、一対のＹ軸方向ガイドレール１３４に案内されて、不図示の電磁モータを駆動源として、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。Ｘ軸方向ガイドレール１３５には、スライダ１３８が取り付けられている。スライダ１３８には、ピックアップヘッド１０５が取り付けられている。スライダ１３８は、ピックアップヘッド１０５を着脱可能に構成され、種類の異なるピックアップヘッド１０５を取り付け可能となっている。スライダ１３８及びピックアップヘッド１０５は、不図示の電磁モータを駆動源として、Ｘ軸方向ガイドレール１３５に案内されて、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。従って、スライダ１３８及びピックアップヘッド１０５は、Ｙ軸方向ガイドレール１３４及びＸ軸方向ガイドレール１３５により、Ｙ軸方向及びＸ軸方向の任意の位置に移動可能となっている。

ピックアップヘッド１０５は、例えば、ノズルホルダ１４１（図５参照）、吸着ノズル１４２（図５参照）、ノズル昇降装置１０５Ａ（図６参照）、及び反転装置１０５Ｂ（図６参照）を有する。ノズルホルダ１４１は、棒状をなし、先端に吸着ノズル１４２を保持する。図５に示すように、吸着ノズル１４２は、ノズル本体１４３と、弾性部材１４４とを有している。図７に示すように、ノズル本体１４３は、筒状部１４３Ａと、下端部１４３Ｂとを有している。筒状部１４３Ａは、Ｚ軸方向に延びる円柱形状をなしている。下端部１４３Ｂは、筒状部１４３Ａの下端に設けられている。

下端部１４３Ｂは、Ｚ軸方向の上から見た平面視において、長方形状をなしている。下端部１４３Ｂは、上下方向において所定の厚みを有する板状をなしている。下端部１４３Ｂの平面視の大きさは、例えば、ダイ９２の平面視の大きさに比べて若干だけ小さい大きさとなっている（図８参照）。ノズル本体１４３には、筒状部１４３Ａ及び下端部１４３ＢをＺ軸方向に貫通する吸気通路１４３Ｄが形成されている。吸気通路１４３Ｄの下端の開口である吸気口１４３Ｅは、下端部１４３Ｂの下面の略中央に形成されている（図８参照）。

弾性部材１４４は、下端部１４３Ｂの下面に取り付けられている。弾性部材１４４は、例えば、ゴムで形成されている。なお、弾性部材１４４の材料は、ゴムに限らず、ウレタン等の他の弾性を有する材料でも良い。図７及び図８に示すように、弾性部材１４４は、長方形状の下端部１４３Ｂの外周に沿って形成された環状をなしている。弾性部材１４４は、平面視において、長方形の枠状をなしている。弾性部材１４４内には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を囲む内壁１４４Ａが形成されている。吸気口１４３Ｅは、平面視において、弾性部材１４４の中央に配置されている。弾性部材１４４は、ダイ９２の上面に接触することで、内壁１４４Ａ、下端部１４３Ｂ及びダイ９２で囲まれた密閉された空間を形成する。

また、ダイ供給装置３０は、吸着ノズル１４２へ正圧又は負圧を供給する正負圧供給装置１０４（図６参照）を備える。正負圧供給装置１０４は、例えば、電子部品装着装置１０を設置された場所の外気圧に応じた正圧又は負圧を吸着ノズル１４２へ供給する。吸着ノズル１４２は、正負圧供給装置１０４から吸気通路１４３Ｄを通じて負圧が供給されることで、弾性部材１４４等で囲まれた空間内を負圧にする。これにより、吸着ノズル１４２は、弾性部材１４４を介してダイ９２を吸着保持する。また、吸着ノズル１４２は、正負圧供給装置１０４から吸気通路１４３Ｄを通じて僅かな正圧が供給されることで、弾性部材１４４等で囲まれた空間内を正圧にする。吸着ノズル１４２は、吸着を解除し、保持していたダイ９２を離脱する。また、ノズル昇降装置１０５Ａは、ノズルホルダ１４１及び吸着ノズル１４２を、Ｚ軸方向に沿って上下に昇降させる装置である。反転装置１０５Ｂは、例えば、Ｙ軸方向に沿った回転軸を中心にノズルホルダ１４１を回転させ、ノズルホルダ１４１及び吸着ノズル１４２を上下に反転させる装置である。

また、図２に示すように、クランプ１３９は、ピックアップヘッド移動装置１０６のＸ軸方向ガイドレール１３５の前面に取り付けられている。クランプ１３９は、ウエハ収容装置１０２に収容されたウエハ９０を把持するものである。ウエハ保持フレーム１１８は、メインフレーム１００の上面に配設されている。クランプ１３９は、例えば、ウエハ収容装置１０２に収納された複数のウエハ９０のうち、Ｚ軸方向における上下の位置が一致したウエハ９０を把持する。クランプ１３９は、Ｘ軸方向ガイドレール１３５の後方への移動に伴って、ウエハ９０を把持したまま後方へ移動する。クランプ１３９は、ウエハ保持フレーム１１８の位置まで移動するとウエハ９０の把持を解除する。ウエハ９０は、ウエハ保持フレーム１１８の内側に載置される。ダイ供給装置３０は、ウエハ９０を固定する固定装置１０７（図６参照）を有する。固定装置１０７は、ウエハ保持フレーム１１８の内側に載置されたウエハ９０を固定する。ダイ突上装置１０３は、ウエハ保持フレーム１１８の下方に配設されている。尚、ダイ突上装置１０３の詳細については後述する。

搬送装置２０は、コンベア装置４０，４２を有する。コンベア装置４０，４２の各々は、Ｙ軸方向に並んで配置され、Ｘ軸方向に沿ったレールを構成している。コンベア装置４０，４２の各々は、不図示の電磁モータを駆動源として基板１３をＸ軸方向に搬送する。また、コンベア装置４０，４２の各々は、基板１３を所定の作業位置で固定する固定装置（図示略）を備えている。

装着ヘッド移動装置２２は、ピックアップヘッド移動装置１０６と同様の構成を有している。装着ヘッド移動装置２２は、Ｙ軸方向に延びる一対のＹ軸方向ガイドレール５０及びＸ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール５２などを有している。一対のＹ軸方向ガイドレール５０は、Ｘ軸方向において所定の間隔を間に設けて離間して配置されている。Ｘ軸方向ガイドレール５２は、一対のＹ軸方向ガイドレール５０の上に架け渡されている。Ｘ軸方向ガイドレール５２は、一対のＹ軸方向ガイドレール５０に案内されてＹ軸方向の任意の位置に移動する。Ｘ軸方向ガイドレール５２には、スライダ５４が取り付けられている。スライダ５４には、装着ヘッド２４が取り付けられている。スライダ５４は、装着ヘッド２４を着脱可能に構成され、種類の異なる装着ヘッド２４を取り付け可能となっている。スライダ５４及び装着ヘッド２４は、Ｘ軸方向ガイドレール５２に案内されて、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。従って、スライダ５４及び装着ヘッド２４は、Ｙ軸方向ガイドレール５０及びＸ軸方向ガイドレール５２により、Ｙ軸方向及びＸ軸方向の任意の位置に移動可能となっている。装着ヘッド２４は、不図示のノズルホルダ、吸着ノズル、及びノズル昇降装置などを有する。装着ヘッド２４は、例えば、ダイ供給装置３０のピックアップヘッド１０５から供給されたダイ９２を吸着保持し、基板１３に装着する作業を実行する。ノズルホルダは、棒状をなし、先端に吸着ノズルを保持する。吸着ノズルは、正負圧供給装置（不図示）により負圧を供給されてダイ９２を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持したダイ９２を離脱する。

液剤供給装置２６は、後方端部に液剤トレイ７４を有する。液剤トレイ７４には、液剤が貯留されている。貯留される液剤は、例えば、クリーム状のはんだ、フラックス、接着剤等である。また、搬送装置２０とデバイスパレット７０との間には、ノズルステーション７６が配置されている。ノズルステーション７６には、装着ヘッド２４の交換用の吸着ノズルが収納されている。

次に、図３～図５を用いて、ダイ突上装置１０３について説明する。ダイ突上装置１０３は、ベース１５１、一対のＹ軸方向ガイドレール１５２、Ｙ移動テーブル１５３、一対のＸ軸方向ガイドレール１５４、Ｘ移動テーブル１５６、及びダイ突上本体部１５７などを有する。ベース１５１は、メインフレーム１００に固定されている。一対のＹ軸方向ガイドレール１５２は、Ｘ軸方向において所定の間隔を間に設けて離間して配置されている。Ｙ移動テーブル１５３は、一対のＹ軸方向ガイドレール１５２に案内されて、不図示の電磁モータを駆動源として、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。Ｙ移動テーブル１５３の上面には、一対のＸ軸方向ガイドレール１５４が設けられている。一対のＸ軸方向ガイドレール１５４は、Ｙ軸方向において所定の間隔を間に設けて離間して配置されている。Ｘ移動テーブル１５６は、一対のＸ軸方向ガイドレール１５４に案内されて、不図示の電磁モータを駆動源として、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。ダイ突上本体部１５７は、略円筒状をなし、Ｘ移動テーブル１５６に固定されている。従って、ダイ突上本体部１５７は、Ｙ軸方向ガイドレール１５２及びＸ軸方向ガイドレール１５４により、Ｙ軸方向及びＸ軸方向の任意の位置に移動可能となっている。ダイ突上本体部１５７の上部には、突き上げ具１５８が取り付けられている。

突き上げ具１５８は、例えば、Ｚ軸方向に沿って延び、略四角柱形状をなしている。突き上げ具１５８は、内部に通気口１５９（図５参照）を形成されている。このため、突き上げ具１５８は、中空の箱形形状をなしている。突き上げ具１５８の上面１５８Ａは、例えば、図８に示すように、平面視において、弾性部材１４４及びダイ９２よりも大きい面積の平面で形成されている。例えば、長方形状のダイ９２であれば、上面１５８Ａは、平面視においてダイ９２の長手方向よりも長い長方形の平面で形成されている。

また、突き上げ具１５８の上面１５８Ａは、所定の角度で傾斜している。上面１５８Ａは、例えば、突き上げ具１５８の上方に配置されたダイシングシート９３の平面（本実施形態では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿った平面）に対して所定の角度で傾斜している。後述するように、ダイ突上装置１０３は、Ｙ移動テーブル１５３及びＸ移動テーブル１５６を移動させ、上面１５８Ａの中心にノズル本体１４３及びダイ９２が配置されるように、突き上げ具１５８を配置する。そして、突き上げ具１５８は、傾斜した上面１５８Ａを、ダイシングシート９３の下方から接触させて、ダイシングシート９３及びダイ９２を上方へ突き上げる。吸着ノズル１４２は、突き上げ具１５８によって突き上げられたダイ９２を上方から吸着し、ダイ９２をピックアップする。これにより、ダイシングシート９３に対するダイ９２の剥離性を向上させることができる。このため、上面１５８Ａの傾斜角度としては、例えば、予めダイ９２のピックアップ試験を実行して良好にダイ９２をピックアップできた剥離性の高い角度を設定できる。ここでいう良好なピックアップの判断基準としては、例えば、ピックアップの成功率を高められるか、ピックアップの作業速度を短縮できるか、ピックアップに必要な負圧（正負圧供給装置１０４の負荷）を低減できるかなどの基準を採用できる。

また、上面１５８Ａには、複数の貫通孔１６１が形成されている。貫通孔１６１は、例えば、Ｚ軸方向に沿って上面１５８Ａを貫通して形成されている。貫通孔１６１は、例えば、Ｚ軸方向の上方から見た平面視において、円形をなしている。なお、図４及び図５に示す貫通孔１６１の形状や数は、一例であり、適宜変更可能である。例えば、貫通孔１６１は、平面視において楕円形でも良い。

突き上げ具１５８の通気口１５９は、正負圧供給装置１０４（図６参照）に接続されている。突き上げ具１５８は、正負圧供給装置１０４から通気口１５９内に負圧を供給されと、貫通孔１６１によりダイシングシート９３を上面１５８Ａへ吸引する。これにより、ダイシングシート９３及びダイ９２を、上面１５８Ａ上に固定することができる。また、突き上げ具１５８は、正負圧供給装置１０４から通気口１５９内に正圧を供給されると、ダイシングシート９３の上面１５８Ａへの吸引を解除する。なお、吸着ノズル１４２に負圧を供給する正負圧供給装置１０４と、突き上げ具１５８へ負圧を供給する正負圧供給装置１０４とは、別の装置でも良い。

（電子部品装着装置１０の制御の構成）
次に、図６を用いて、電子部品装着装置１０の制御の構成について説明する。図６に示すように、電子部品装着装置１０は、上記した構成の他に、制御装置２００を備える。制御装置２００は、ＣＰＵ２０１、ＲＡＭ２０２、記憶装置２０４などを有する。記憶装置２０４は、例えば、ＲＯＭやハードディスクを組み合わせて構成され、電子部品装着装置１０の制御に必要な各種のプログラムＰＧやデータが記憶されている。制御装置２００は、記憶装置２０４に記憶されたプログラムＰＧをＣＰＵ２０１で実行することで、電子部品装着装置１０の各部を制御する。ここでいう各部とは、上記したダイ供給装置３０、搬送装置２０、装着ヘッド移動装置２２、装着ヘッド２４などである。ＲＡＭ２０２は、ＣＰＵ２０１でプログラムＰＧを実行する際等のデータを一時的に記憶する作業用メモリとして用いられる。なお、以下の説明では、制御装置２００による制御を、装置名で記載することがある。例えば、「コンベア装置４０が、基板１３を搬送する」とは、「制御装置２００が、ＣＰＵ２０１でプログラムＰＧを実行しコンベア装置４０の駆動を制御する。これにより、コンベア装置４０が、制御装置２００の制御に基づいて、基板１３を搬送する」ことを意味する。

（装着作業の制御）
電子部品装着装置１０は、上記した構成により、基板１３に対するダイ９２の装着作業を行う。次に、電子部品装着装置１０による装着作業の制御の内容について説明する。図９は、装着作業の制御内容を示すフローチャートである。なお、図９を用いて説明する以下の処理の順番、処理内容、処理数等は、一例である。制御装置２００は、例えば、電源を投入されると、記憶装置２０４からプログラムＰＧを読み出し、システムを起動する。制御装置２００は、システムを起動した後、電子部品装着装置１０を配置した生産ラインの管理コンピュータから制御プログラム（所謂、レシピ）を受信すると、受信した制御プログラムに基づいて、基板１３に対する装着作業を実行する。この制御プログラムには、例えば、基板１３の種類、生産枚数、ダイ９２の装着位置などの情報が含まれている。

制御装置２００は、装着作業を開始すると、図９のステップ（以下、単にＳと記載する）１１において、コンベア装置４０，４２を制御して、基板１３の搬入作業を行う。コンベア装置４０，４２は、装着作業を行う作業位置まで基板１３をＸ軸方向へ搬送し、作業位置に基板１３を固定する。また、ダイ供給装置３０は、制御装置２００の制御に基づいて、基板１３の搬入に合わせて、メインフレーム１００上（ウエハ保持フレーム１１８の間）にウエハ９０を固定し、ダイ９２の供給を行う準備を行う。

次に、ダイ供給装置３０は、ダイ突上装置１０３を駆動して、ウエハ９０に設けられた複数のダイ９２のうち、所望のダイ９２の下方へ突き上げ具１５８を移動させる（Ｓ１３）。この所望のダイ９２は、例えば、上記した制御プログラムにより指定された位置に配置されたダイ９２であり、基板１３へ装着するダイ９２である。ダイ供給装置３０は、図１０に示すように、突き上げ具１５８によりダイ９２を上方へ突き上げる。また、ダイ供給装置３０は、突き上げ具１５８の突き上げに合わせて、正負圧供給装置１０４から通気口１５９内へ負圧を供給する。突き上げ具１５８は、貫通孔１６１によりダイシングシート９３を吸引しつつ、ダイシングシート９３及びダイ９２を突き上げる（Ｓ１３）。ダイシングシート９３の一部は、突き上げ具１５８により押し上げられる。ダイ９２は、突き上げ具１５８の上面１５８Ａの上に、ダイシングシート９３を介して配置され、上面１５８Ａに沿って傾いた状態となる。また、ダイ供給装置３０は、突き上げ具１５８による突き上げ作業に合わせて、ピックアップヘッド１０５を、突き上げるダイ９２の上方へ移動させる。また、装着ヘッド移動装置２２は、制御装置２００の制御に基づいて、ピックアップヘッド１０５によってダイ９２を供給される供給位置まで装着ヘッド２４を移動させる。

制御装置２００は、突き上げ具１５８を所定の突き上げ位置まで上昇させ、突き上げ具１５８によるダイ９２の突き上げを完了させると、ピックアップヘッド１０５を制御して、吸着ノズル１４２を下降させる（Ｓ１５）。なお、制御装置２００は、突き上げ具１５８による突き上げ中に、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１４２を下降させても良い。この場合、突き上げと下降を並列に実行することで、作業時間の短縮を図ることができる。あるいは、制御装置２００は、先に吸着ノズル１４２の下降を開始し、後から突き上げ具１５８を上昇させても良い。

図１１に示すように、ピックアップヘッド１０５は、吸着ノズル１４２を下降させ、弾性部材１４４をダイ９２の上面に接触させ弾性変形させる。弾性部材１４４は、Ｚ軸方向においてノズル本体１４３の下端部１４３Ｂ（図７参照）とダイ９２とで挟まれ弾性変形する。換言すれば、本実施形態のピックアップヘッド１０５は、ダイ９２によって弾性部材１４４を弾性変形させる位置まで、吸着ノズル１４２を下降させる。

また、制御装置２００は、正負圧供給装置１０４を制御して、正負圧供給装置１０４から吸着ノズル１４２へ負圧を供給する。吸着ノズル１４２のノズル本体１４３は、弾性部材１４４を介してダイ９２を吸着する（Ｓ１７）。なお、正負圧供給装置１０４から負圧を供給するタイミングは、特に限定されない。例えば、正負圧供給装置１０４は、吸着ノズル１４２の下降に合わせて負圧の供給を開始し、作業時間の短縮を図っても良い。あるいは、正負圧供給装置１０４は、吸着ノズル１４２の下降が完了した後に、負圧の供給を開始しても良い。

次に、制御装置２００は、ピックアップヘッド１０５を制御して、吸着ノズル１４２によってダイ９２を吸着して保持した状態で、吸着ノズル１４２を上昇させる（Ｓ１９）。図１２に示すように、弾性部材１４４は、吸着ノズル１４２の上昇に従って膨張し、元の形状へと徐々に復帰する。また、ダイ９２は、吸着ノズル１４２の上昇に合わせて、一方の端部から徐々に剥離される。例えば、図１２に示すように、上面１５８Ａが前方から後方に向かって上方へ傾斜している場合、ダイ９２は、前方側（上面１５８Ａの傾斜の下端側）から順番に剥離される。この場合、ダイ９２は、左右方向に沿った直線を境界部分として、ダイシングシート９３から剥離される。なお、図１２は、剥離する状態がより分かり易くなるように、ダイ９２の曲がり具合等を、実際の角度より大きくして示している。

ここで、従来の電子部品剥離装置では、例えば、凸形状の突出部分と吸着ノズル１４２とでダイ９２を上下で挟み、吸着ノズル１４２をＺ軸方向（ダイシングシート９３の平面と直交する方向）へ上昇させることでダイ９２をダイシングシート９３から剥離した。この場合、ダイ９２には、ダイシングシート９３に貼り付けられた貼り付け面の接着面積に応じた負荷が付与される。即ち、ダイ９２をダイシングシート９３から面で剥がすような剥離動作となる。

これに対し、本実施形態のダイ供給装置３０では、図１２に示すように、上面１５８Ａの下端（例えば、前端）からダイ９２を順番に、ダイシングシート９３から剥離する。このため、ダイ９２は、吸着ノズル１４２によって引っ張り上げられる際に付与される負荷を、傾斜方向（前後方向）における一辺（左右方向に沿った一辺）のみに付与される。即ち、ダイ９２をダイシングシート９３から線で剥がすような剥離動作を実行できる。これにより、ダイ９２をダイシングシート９３から剥離する際に、ダイ９２に付与される負荷を軽減することができる。その結果、剥離によるダイ９２の割れや曲がりを抑制することができる。

図１３に示すように、制御装置２００は、ダイ９２をダイシングシート９３から完全に剥離する位置まで吸着ノズル１４２を上昇させ、吸着ノズル１４２によりダイ９２をピックアップする（Ｓ１９）。制御装置２００は、吸着ノズル１４２でピックアップしたダイ９２の装着を実行する（Ｓ２１）。ピックアップヘッド１０５は、制御装置２００の制御に基づいて、反転装置１０５Ｂ（図６参照）を駆動し、ノズルホルダ１４１及び吸着ノズル１４２を反転させ、ピックアップしたダイ９２を供給位置に供給する。制御装置２００は、装着ヘッド２４を制御し、供給位置において、吸着ノズル１４２のダイ９２を装着ヘッド２４の吸着ノズルにより吸着する。

制御装置２００は、装着ヘッド移動装置２２を制御して、液剤供給装置２６の液剤トレイ７４の上方に装着ヘッド２４を移動させ、装着ヘッド２４の吸着ノズル（ダイ９２）を下降させる。装着ヘッド２４は、ダイ９２のバンプに液剤を塗布する。制御装置２００は、基板１３の上方まで装着ヘッド２４を移動させ、装着ヘッド２４により所望の装着位置にダイ９２を装着させる（Ｓ２１）。

また、制御装置２００は、ダイ９２がダイシングシート９３から完全に剥離する位置まで吸着ノズル１４２を上昇させると、突き上げ具１５８を下降させる（Ｓ２１）。突き上げ具１５８は、ダイシングシート９３から離間する位置まで下降する。換言すれば、突き上げ具１５８は、突き上げる位置まで一度上昇すると、吸着ノズル１４２によるピックアップが完了するまでの間、その突き上げ位置を維持する。

従って、本実施形態の制御装置２００は、ダイシングシート９３（粘着シートの一例）及びダイ９２（電子部品の一例）を突き上げる突き上げ位置まで突き上げ具１５８を上昇させる。制御装置２００は、ピックアップヘッド１０５（吸着装置の一例）をダイシングシート９３から離間する方向（本実施形態では上方）へ移動させる間、突き上げ具１５８を突き上げ位置（例えば、図１２、図１３に示す位置）に保持する。これによれば、制御装置２００は、突き上げ具１５８の位置を突き上げ位置に固定した状態で、ピックアップヘッド１０５を突き上げ具１５８（上面１５８Ａ）から離間させる。これにより、突き上げ具１５８を突き上げ位置に固定することで、ダイ９２をダイシングシート９３から安定して剥離することができる。なお、制御装置２００は、突き上げ具１５８を突き上げ位置に保持せずに、吸着ノズル１４２の上昇に合わせて突き上げ具１５８を下降させても良い。また、制御装置２００は、突き上げ具１５８の突き上げ位置からの下降を、吸着ノズル１４２を図１３に示す位置まで上昇させてから開始しても良い。即ち、ノズル本体１４３の上昇が完了してから、突き上げ具１５８の下降を開始しても良い。

次に、制御装置２００は、基板１３に対する全てのダイ９２の装着が完了したか否かを判断する（Ｓ２３）。制御装置２００は、装着作業が完了していないと判断すると（Ｓ２３：ＮＯ）、Ｓ１３からの作業を再度実行する。これにより、次のダイ９２の装着作業が開始される。この際、本実施形態のダイ供給装置３０は、ピックアップヘッド１０５によるダイ９２の装着ヘッド２４への供給作業や、装着ヘッド２４によるダイ９２の基板１３への装着作業の作業期間中に、先行して次のダイ９２の突き上げ作業を開始する（Ｓ１３）。搬送装置２０は、ダイ供給装置３０を制御して、次に装着するダイ９２の下方へ突き上げ具１５８を移動させ、突き上げ作業を行う。

従って、本実施形態の制御装置２００は、ピックアップヘッド１０５により吸着したダイ９２を供給する作業を実行している作業期間に、突き上げ具１５８により次に突き上げるダイ９２の突き上げ作業を開始する（Ｓ１３）。これによれば、制御装置２００は、ピックアップヘッド１０５によりダイ９２の供給作業を実行している作業期間中に、次のダイ９２の突き上げ作業を先行して実行する。これにより、突き上げ、吸着、供給の各作業の実行に必要なサイクルタイムを短縮することができる。

一方、制御装置２００は、基板１３に対する全てのダイ９２の装着が完了したと判断すると（Ｓ２３：ＹＥＳ）、装着作業の完了した基板１３の搬出を行う（Ｓ２５）。例えば、生産ラインにおける電子部品装着装置１０の下流側には、リフロー装置や基板検査装置が配置されている。リフロー装置は、例えば、クリーム状のはんだをリフローしてダイ９２を基板１３にはんだ接合するものである。基板検査装置は、例えば、基板１３をカメラで撮像して、装着状態を解析、検査する装置である。コンベア装置４０，４２は、このような下流の装置へ、基板１３を搬出する。また、制御装置２００は、次の基板１３の装着作業がある場合、基板１３の搬出に合わせて、図９に示す処理を再度開始し、次の基板１３の搬入を実行する（Ｓ１１）。

ここで、上記したように、本実施形態のピックアップヘッド１０５は、吸気を行う吸気口１４３Ｅと、吸気口１４３Ｅを囲む環状をなし、ダイ９２と接触することで密閉された空間を形成し、弾性変形可能な弾性部材１４４と、を有する。これによれば、ピックアップヘッド１０５は、弾性変形する弾性部材１４４をダイ９２に密着させた状態で吸気口１４３Ｅにより吸気を実行することができる。ピックアップヘッド１０５は、弾性部材１４４内の空間を負圧にして、ダイ９２を吸着することができる。

また、本実施形態の制御装置２００は、弾性部材１４４が、ダイ９２と接触し弾性変形する位置までピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１４２を下降させ、ピックアップヘッド１０５によってダイ９２を吸着させる。これによれば、弾性部材１４４は、傾斜したダイ９２の上方から接触し、ダイ９２の傾斜角度に応じて弾性変形する。弾性部材１４４は、上面１５８Ａ（傾斜面の一例）の下端から上端に向かうに従ってより収縮し、上面１５８Ａの傾斜角度に応じて変形する。弾性部材１４４は、吸着ノズル１４２の上昇に伴って、ダイ９２を吸着しつつ膨張する。これにより、弾性部材１４４の弾性変形により、上面１５８Ａの下端から順番に、ダイ９２をダイシングシート９３から適切に剥離できる。

因みに、ダイ供給装置３０は、電子部品剥離装置の一例である。ダイ９２は、電子部品の一例である。ダイシングシート９３は、粘着シートの一例である。上面１５８Ａは、傾斜面の一例である。ピックアップヘッド１０５及び吸着ノズル１４２は、吸着装置の一例である。Ｓ１３～Ｓ１７の処理は、吸着工程の一例である。Ｓ１９の処理は、剥離工程の一例である。

以上、上記した本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
本実施形態の一態様では、突き上げ具１５８は、ダイ９２を貼り付けられたダイシングシート９３の下方に配置される。突き上げ具１５８は、ダイシングシート９３に対して所定の角度を有する上面１５８Ａを設けられている。制御装置２００は、突き上げ具１５８により突き上げたダイ９２を、ピックアップヘッド１０５により吸着させる（Ｓ１３，Ｓ１５，Ｓ１７、図１１参照）。制御装置２００は、ダイ９２を吸着したピックアップヘッド１０５をダイシングシート９３から離間する方向（本実施形態では上方）へと移動させることでダイ９２をダイシングシート９３から剥離させる。

これによれば、突き上げ具１５８は、ダイシングシート９３に対して傾斜した上面１５８Ａを有し、その上面１５８Ａによりダイシングシート９３及びダイ９２を下方から突き上げる。ダイシングシート９３及びダイ９２は、上面１５８Ａに沿って傾いた状態となる。吸着ノズル１４２は、上面１５８Ａによって傾斜した状態のダイ９２を吸着し、吸着した状態で上方へと移動する。吸着ノズル１４２は、上方へ移動することで、上面１５８Ａの下端から順番に、ダイ９２をダイシングシート９３から剥離する。これにより、ダイ９２をダイシングシート９３から剥離する際に、ダイ９２に付与される負荷を軽減することができる。剥離によるダイ９２の割れや曲がりを抑制し、ダイ９２を適切に剥離することができる。

尚、本開示は上記の実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内での種々の改良、変更が可能であることは言うまでもない。
例えば、制御装置２００は、突き上げ具１５８により突き上げたダイ９２をピックアップヘッド１０５により吸着させた（Ｓ１３，Ｓ１５，Ｓ１７）。しかしながら、制御装置２００は、ピックアップヘッド１０５によりダイ９２を先に吸着させ（Ｓ１５，Ｓ１７）、後から突き上げ具１５８によりダイ９２を突き上げても良い（Ｓ１３）。これにより、ピックアップヘッド１０５とダイ９２とでダイ９２を上下に挟んだ状態で、突き上げることができる。
また、吸着ノズル１４２は、弾性部材１４４を備えなくとも良い。例えば、吸着ノズル１４２は、下端部１４３Ｂをダイ９２に直接接触させ、ダイ９２をピックアップしても良い。
また、上記した下端部１４３Ｂ及び弾性部材１４４の形状等は、一例である。例えば、図１４に示すように、弾性部材１４４を、円環状に形成しても良い。また、下端部１４３Ｂを、弾性部材１４４の大きさや形状に合わせて、円板形状に形成しても良い。図１４に示す例では、ダイ９２は、平面視において略正方形状をなしている。弾性部材１４４は、吸気口１４３Ｅを中心に配置され、吸気口１４３Ｅを取り囲むように配置されている。ピックアップヘッド１０５は、例えば、吸気口１４３Ｅとダイ９２の中央位置とを合わせた状態で、弾性部材１４４をダイ９２に接触させる。

ここで、図８に示すように、平面視におけるダイ９２の形状に合わせて、弾性部材１４４の形状を矩形に形成することで、図１２に示すダイ９２を一辺側から剥離する際に、一辺に沿ってダイ９２へより均等に外力を加えることができる。一方で、図１４に示す構成では、弾性部材１４４を環状にし、吸気口１４３Ｅを弾性部材１４４の中央に配置している。これにより、吸気口１４３Ｅから吸気を行い弾性部材１４４内に負圧を供給した際に、弾性部材１４４内の負圧（圧力値）をより均等にすることが可能となる。

また、上記実施形態では、傾いたダイ９２に吸着ノズル１４２を密着させるために、ノズル本体１４３の下方に弾性部材１４４を設けたが、他の方法を用いても良い。例えば、吸着ノズル１４２は、ノズル本体１４３の下端部１４３Ｂを筒状部１４３Ａに対して回転させるフローティング機構を備えても良い。フローティング機構は、例えば、筒状部１４３Ａの下端において、Ｘ軸方向に沿った回転軸を中心に下端部１４３Ｂを筒状部１４３Ａに対して回転させるボールベアリングである。また、フローティング機構は、例えば、回転した下端部１４３Ｂを、元の位置（例えば、水平な位置）へ復帰させる付勢部材（バネなど）を備えても良い。このような構成の吸着ノズル１４２では、下端部１４３Ｂをダイ９２に接触させて回転させることで、ダイ９２の傾斜角度に合わせて下端部１４３Ｂを回転させることができる。そして、吸着ノズル１４２は、下端部１４３Ｂを傾けた状態でダイ９２に密着させダイ９２を吸着できる。下端部１４３Ｂは、吸着ノズル１４２の上昇に合わせて、付勢部材により、傾いた状態（回転した状態）から初期位置（例えば水平位置）に戻る。ピックアップされたダイ９２は、水平状態となる。このような構成では、弾性部材１４４が不要となる。なお、吸着ノズル１４２は、弾性部材１４４と、上記したフローティング機構との両方を備える構成でも良い。

また、制御装置２００は、弾性部材１４４が弾性変形する位置まで吸着ノズル１４２を下降させたが、弾性部材１４４とダイ９２の上面の一部とが接触する位置で吸着ノズル１４２の下降を停止しても良い。
また、制御装置２００は、ピックアップヘッド１０５によるダイ９２の供給を行う作業期間中に、次のダイ９２の突き上げ作業を開始したが、開始しなくとも良い。例えば、制御装置２００は、装着ヘッド２４によるダイ９２の基板１３への装着作業が完了してから、突き上げ具１５８の移動を開始しても良い。

また、上記実施形態では、特に言及していないが、ダイ供給装置３０は、突き上げ具１５８の向きを変更する機構を備えても良い。例えば、ダイ供給装置３０は、Ｚ軸方向に沿った回転軸を中心に突き上げ具１５８を回転可能な回転装置を備えても良い。
また、上記では、本開示の電子部品剥離装置として、ダイ供給装置３０を採用した場合を説明したが、これに限らない。例えば、電子部品装着装置１０は、装着ヘッド２４によって、ウエハ９０のダイ９２を直接ピックアップする構成でも良い。例えば、ウエハ９０は、バンプ面を下方にしてダイ９２が配置された構成でも良い。この場合、ダイ供給装置３０は、ピックアップヘッド１０５を備えなくとも良い。そして、電子部品装着装置１０は、突き上げ具１５８で突き上げたダイ９２を、装着ヘッド２４によりピックアップしても良い。この場合、電子部品装着装置１０は、本開示の電子部品剥離装置の一例である。装着ヘッド２４は、吸着装置の一例である。

３０ ダイ供給装置（電子部品剥離装置）、９２ ダイ（電子部品）、９３ ダイシングシート（粘着シート）、１０５ ピックアップヘッド（吸着装置）、１４２ 吸着ノズル（吸着装置）、１４３Ｅ 吸気口、１４４ 弾性部材、１５８ 突き上げ具、１５８Ａ 上面（傾斜面）、２００ 制御装置。

Claims (6)

1. 電子部品を貼り付けられた粘着シートの下方に配置され、前記粘着シートに対して所定の角度を有する傾斜面を設けられ、前記傾斜面により前記粘着シート及び前記電子部品を突き上げる突き上げ具と、
   下端部の下面に弾性部材を取り付けられ、前記下端部で前記電子部品を吸着する吸着装置と、
   前記突き上げ具により突き上げた前記電子部品を、前記弾性部材を弾性変形させて前記吸着装置により吸着させる、もしくは、前記吸着装置により吸着させた前記電子部品を前記突き上げ具により突き上げて前記弾性部材を弾性変形させる、その後、前記電子部品を吸着した前記吸着装置を前記粘着シートから離間する方向へと移動させることで前記弾性部材の弾性変形を復帰させながら前記電子部品を前記粘着シートに対して一方の端から剥離させる制御装置と、
   を備える電子部品剥離装置。
2. 前記吸着装置は、
   さらに、吸気を行う吸気口を有し、
   前記弾性部材は、
   前記吸気口を囲む環状をなし、前記電子部品と接触することで密閉された空間を形成可能な厚みを有する請求項１に記載の電子部品剥離装置。
3. 前記傾斜面の傾斜方向に沿った長さが、
   前記電子部品の幅に比べて長い、請求項１又は請求項２に記載の電子部品剥離装置。
4. 前記制御装置は、
   前記粘着シート及び前記電子部品を突き上げる突き上げ位置まで前記突き上げ具を上昇させ、前記吸着装置を前記粘着シートから離間する方向へ移動させる間、前記突き上げ具を前記突き上げ位置に保持する、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の電子部品剥離装置。
5. 前記制御装置は、
   前記吸着装置により吸着した前記電子部品を供給する作業を実行している作業期間に、前記突き上げ具により次に突き上げる前記電子部品の突き上げ作業を開始する、請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の電子部品剥離装置。
6. 電子部品を貼り付けられた粘着シートの下方に配置され、前記粘着シートに対して所定の角度を有する傾斜面を設けられ、前記傾斜面により前記粘着シート及び前記電子部品を突き上げる突き上げ具と、
   下端部の下面に弾性部材を取り付けられ、前記下端部で前記電子部品を吸着する吸着装置と、
   を備える電子部品剥離装置における電子部品の剥離方法であって、
   前記突き上げ具により突き上げた前記電子部品を、前記弾性部材を弾性変形させて前記吸着装置により吸着させる、もしくは、前記吸着装置により吸着させた前記電子部品を前記突き上げ具により突き上げて前記弾性部材を弾性変形させる吸着工程と、
   前記電子部品を吸着した前記吸着装置を前記粘着シートから離間する方向へと移動させることで前記弾性部材の弾性変形を復帰させながら前記電子部品を前記粘着シートに対して一方の端から剥離させる剥離工程と、
   を含む電子部品の剥離方法。

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