JP2007200967A - チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法 - Google Patents
チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】シート5に貼り付けられたチップ6を取出しノズル21によって吸着保持してピックアップするチップピックアップ装置において、剥離ツール32の上面の当接支持面に設けられた装着凹部内に、ゴムなどの可撓性の弾性体を球面状に成形したシート押上部材34を装着し、取出しノズル21の下降状態においてシート押上部材34の押上面をシート5の下面に平面状に倣わせて当接させ、取出しノズル21がチップ6とともに上昇する上昇動作において押上面を上に凸形の曲面状に変形させながらシート5の下面を押し上げる。これにより、シート5とチップ6とをチップ外縁側から剥離させることができる。
【選択図】図7
Description
シート保持部と、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記取り出しノズルを前記シート保持部に対して相対的に昇降させるノズル昇降機構と、前記チップに対して前記取り出しノズルを押圧するノズル押圧機構と、前記ノズル押圧機構の押圧荷重を設定する押圧荷重設定手段と、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備えたチップピックアップ装置によって前記シートから前記チップピックアップするチップピックアップ方法であって、前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、前記取り出しノズルを下降させて前記押圧荷重を第1の押圧荷重に設定した状態で前記保持面を前記チップの上面に当接させ、次いで前記押圧荷重を前記第1の押圧荷重よりも大きい第2の押圧荷重に設定し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させ、次いで前記シートから剥離したチップを前記取出しノズルによって取り出す。
図1は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置の構成を示すブロック図、図2は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置におけるピックアップヘッドおよび取り出しノズルの部分断面図、図3は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の斜視図、図4は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の部分断面図、図5は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の平面図、図6、図7は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ方法の工程説明図、図8は本発明の実施の形態1のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図である。
に説明するピックアップヘッド8によるチップ6のピックアップ動作において、シート5の下面に当接してチップ6とシート5との剥離を促進させる機能を有している。XYテーブル2を駆動することにより、ピックアップ対象のチップ6は剥離促進機構7に対して位置合わせされる。チップ供給部1の上方には、移動テーブル9によって水平移動自在なピックアップヘッド8が配設されている。ピックアップヘッド8はノズル昇降機構22によって昇降する昇降部20の下部に取出しノズル21を設けた構成となっている。ノズル昇降機構22を駆動することにより、取出しノズル21は保持テーブル4に対して相対的に昇降する。
してさらに剥離ツール32をシート5に対して押し付けて当接支持面32aがシート5の下面に当接するまでシート押上部材34が変形した状態においては、シート押上部材34は、上面をシート5の下面に平面状に倣わせて上部が平坦となった状態で当接する。
際に、チップ6には押圧荷重によるダメージが生じない。
図9は本発明の実施の形態2のチップのピックアップ装置における取り出しノズルの部分断面図、図10、図11は本発明の実施の形態2のチップのピックアップ方法の工程説明図、図12は本発明の実施の形態2のチップのピックアップ装置における剥離促進機構の構造説明図である。
されていることから、取出しノズル21がチップ6に当接する際にチップ6にはダメージが生じない。
空洞部がない中実体のみならず、内部に空洞部を有する中空体を用いることも可能である。
5 シート
6 チップ
7 剥離促進機構
8 ピックアップヘッド
21 取出しノズル
24 空圧アクチュエータ(ノズル押圧機構)
32、32A、132,132A 剥離ツール
32a 当接支持面
32b 吸着孔
34、134 シート押上部材
Claims (7)
- シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置であって、
前記シートを保持するシート保持部と、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記取り出しノズルを前記シート保持部に対して相対的に昇降させるノズル昇降機構と、前記チップに対して前記取り出しノズルを押圧するノズル押圧機構と、前記ノズル押圧機構の押圧荷重を設定する押圧荷重設定手段と、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備え、
前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、
前記取り出しノズルを下降させて前記押圧荷重を第1の押圧荷重に設定した状態で前記保持面を前記チップの上面に当接させ、次いで前記押圧荷重を前記第1の押圧荷重よりも大きい第2の押圧荷重に設定し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させることを特徴とするチップピックアップ装置。 - 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなることを特徴とする請求項1記載のチップピックアップ装置。
- 前記押上部を複数配置したことを特徴とする請求項1または2記載のチップピックアップ装置。
- 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接することを特徴とする請求項1乃至3記載のチップピックアップ装置。
- 板状のチップが貼り付けられたシートを保持するシート保持部と、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記取り出しノズルを前記シート保持部に対して相対的に昇降させるノズル昇降機構と、前記チップに対して前記取り出しノズルを押圧するノズル押圧機構と、前記ノズル押圧機構の押圧荷重を設定する押圧荷重設定手段と、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備えたチップピックアップ装置によって前記シートから前記チップピックアップするチップピックアップ方法であって、
前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、
前記取り出しノズルを下降させて前記押圧荷重を第1の押圧荷重に設定した状態で前記
保持面を前記チップの上面に当接させ、次いで前記押圧荷重を前記第1の押圧荷重よりも大きい第2の押圧荷重に設定し、前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部を押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させ、
前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させ、
次いで前記シートから剥離したチップを前記取出しノズルによって取り出すことを特徴とするチップピックアップ方法。 - 前記押上部は、可撓性の弾性体を上に凸形の曲面を有する形状に成形してなり、前記取出しノズルの下降状態において、前記取出しノズルによって前記チップおよびシートを介して前記押上部を弾性変形させることにより、押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接させることを特徴とする請求項5記載のチップピックアップ方法。
- 前記押上部は前記昇降部に対して昇降自在に設けられており、予め前記取出しノズルを下降させて前記チップを吸着保持した後に前記押上部を上昇させることにより、前記押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接することを特徴とする請求項5または6記載のチップピックアップ方法。
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JP2006014869A JP4613838B2 (ja) | 2006-01-24 | 2006-01-24 | チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2009071195A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Nec Corp | 半導体製造装置及び半導体製造方法 |
TWI398916B (zh) * | 2008-03-26 | 2013-06-11 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 用以剝離電子組件的方法及設備 |
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JPH08306713A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Nichiden Mach Ltd | コレット及びそれを用いたダイボンダ |
JP2000353710A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Toshiba Corp | ペレットピックアップ装置および半導体装置の製造方法 |
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