JP4816654B2 - チップ剥離装置およびチップ剥離方法ならびにチップピックアップ装置 - Google Patents
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20dが設けられている。
には上下方向に貫通する嵌合孔24cが設けられており、嵌合孔24cには第3昇降部材25が相対昇降動作が自在に嵌合して設けられている。第2昇降部材24、第3昇降部材25がそれぞれ嵌合孔23b、嵌合孔24cに嵌合した状態において、第2昇降部材24の上部に設けられた突没部24aおよび第3昇降部材25の上部に設けられたチップ突き上げ部25aは第1昇降部材23の上面23aまで到達する。第1昇降部材23の上面23aには、突没部24aおよびチップ突き上げ部25aを平面視して囲む形状で、吸着開口部23cが開口している(図5参照)。
下面に対して上昇させてシート5のチップ6からの剥離を促進させるシート剥離動作において、シート5の下面に当接して部分的に支持する機能を有するものである。
コーナ部からチップ突き上げ部25aを囲む吸着開口部23cに向けて延出する突没部24aの他に、矩形外形線23fの中点近傍から吸着開口部23cに向けて延出する突没部24a*を追加して設けた形態となっている。すなわち、第2昇降部材24の平面形状は、第1昇降部材23の上面において矩形外縁線23fのコーナ部を少なくとも含む外縁部から、第3昇降部材25aを囲む吸着開口部23cに向けて内側に延出する形状となっている。
bおよび吸着開口部23cからの真空吸引をさらに継続することにより、外縁部6aを起点として生じたチップ6とシート5との剥離が突没部24aに沿って内側へ進展する。この結果、突没部24a、チップ突き上げ部25aによって下面側から支持された部分を除いて、ピックアップ対象のチップ6の広い範囲においてシート5がチップ6から剥離した状態となる。
ジはチップ6の外縁から僅かに内側の部分に位置しており、チップ6はその大部分が上面23aによって下面側から保持されていることから、シート5が下方に吸引された状態においてシート5をチップ6方引き剥がす力はチップ外縁部6aのみに作用する。従って薄型のチップ6を対象とする場合においても、チップ6には大きな曲げ応力が作用せず、チップ6の破損を招くことなく、チップ外縁部6aにおいてシート5を確実に剥離させて口開きを生じさせることができる。
えるダメージを極めて小さくすることができる。したがって低剛性で極めて破損しやすい極薄のチップを対象とする場合にあっても、チップにダメージを与えることなく、効率よくシートから剥離させることができる。
5 シート
6 チップ
7 剥離促進機構
8 ピックアップヘッド
20 取出しノズル
22 剥離ツール
22a 吸着面
22b 吸着孔
22c チップ範囲
23 第1昇降部材
23c 吸着開口部
24 第2昇降部材
25 第3昇降部材
Claims (6)
- シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置において、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離装置であって、
前記シートの下面を吸着する吸着面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する吸着昇降部と、前記チップの外縁形状に対応して前記吸着面に設定された矩形状のチップ範囲の内側に前記チップ範囲よりも小さい開口サイズで開口する矩形開口部と、
前記矩形開口部に相対昇降動作が自在に嵌合して設けられ上昇状態において上面が前記吸着面から突出する第1昇降部材と、前記第1昇降部材に対して相対昇降動作が自在に設けられ上昇状態において上面が第1昇降部材の上面から突出する第2昇降部材と、前記第2昇降部材に対して相対昇降動作が自在に設けられ上昇状態において上面が第2昇降部材の上面から突出する第3昇降部材と、前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材をそれぞれ昇降させる第1昇降機構、第2昇降機構および第3昇降機構と、
前記吸着面において前記チップ範囲の外側に設けられた吸着孔と、前記第1昇降部材の上面において前記第3昇降部材を平面視して囲んで配置された吸着開口部と、前記吸着開口部および前記吸着孔から真空吸引する真空吸引手段とを備え、
前記第1昇降部材の平面形状は、前記矩形開口部に嵌合する第2昇降部材の外縁を構成する矩形外縁線のうち、少なくとも4辺の中点を含む直線部を外形線の一部とする形状であり、
前記第2昇降部材の平面形状は、前記第1昇降部材の上面において前記矩形外縁線のコーナ部を少なくとも含む外縁部から前記第3昇降部材を囲む前記吸着開口部に向けて内側に延出する形状であり、
前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材のそれぞれの相対昇降動作を所定の昇降順序と時間差を組み合わせた昇降パターンで行いながら前記吸着孔および吸着開口部から真空吸引して前記シートを下方に撓ませることにより、前記チップの外縁部を剥離の起点として前記チップと前記シートとを剥離させ、
さらに、前記第2昇降部材の平面形状は前記コーナ部側が突状であり、前記コーナ部を起点として発生した剥離を前記第2昇降部材に沿って内側へ進展させることを特徴とするチップ剥離装置。 - 前記第1昇降部材の平面形状は、前記矩形外縁線のうち4つのコーナ部の頂点近傍の所定範囲を欠いた形状となっており、前記第2昇降部材の平面形状は前記所定範囲の一部を占位する形状となっていることを特徴とする請求項1記載のチップ剥離装置。
- シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置において、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面にチップ剥離装置を当接させて前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離方法であって、
前記チップ剥離装置は、前記シートの下面を吸着する吸着面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する吸着昇降部と、前記チップの外縁形状に対応して前記吸着面に設定された矩形状のチップ範囲の内側に前記チップ範囲よりも小さい開口サイズで開口する矩形開口部と、
前記矩形開口部に相対昇降動作が自在に嵌合して設けられ上昇状態において上面が前記吸着面から突出する第1昇降部材と、前記第1昇降部材に対して相対昇降動作が自在に設けられ上昇状態において上面が第1昇降部材の上面から突出する第2昇降部材と、前記第2昇降部材に対して相対昇降動作が自在に設けられ上昇状態において上面が第2昇降部材の上面から突出する第3昇降部材と、前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材をそれぞれ昇降させる第1昇降機構、第2昇降機構および第3昇降機構と、
前記吸着面において前記チップ範囲の外側に設けられた吸着孔と、前記第1昇降部材の上面において前記第3昇降部材を平面視して囲んで配置された吸着開口部と、前記吸着開口部および前記吸着孔から真空吸引する真空吸引手段とを備え、
前記第1昇降部材の平面形状は、前記矩形開口部に嵌合する第2昇降部材の外縁を構成する矩形外縁線のうち、少なくとも4辺の中点を含む直線部を外形線の一部とする形状であり、
前記第2昇降部材の平面形状は、前記第1昇降部材の上面において前記矩形外縁線のコーナ部を少なくとも含む外縁部から前記第3昇降部材を囲む前記吸着開口部に向けて内側に延出する形状であり、
前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材のそれぞれの相対昇降動作を所定の昇降順序と時間差を組み合わせた昇降パターンで行いながら前記吸着孔および吸着開口部から真空吸引して前記シートを下方に撓ませることにより、前記チップの外縁部を剥離の起点として前記チップと前記シートとを剥離させ、
さらに、前記第2昇降部材の平面形状は前記コーナ部側が突状であり、前記コーナ部を起点として発生した剥離を前記第2昇降部材に沿って内側へ進展させることを特徴とするチップ剥離方法。 - 前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材を同時に第1高さまで上昇させ、次いで第2昇降部材および第3昇降部材を前記第1高さより高い第2高さまで同時に上昇させ、次いで第3昇降部材を前記第2高さより高い第3高さまで上昇させることを特徴とする請求項3記載のチップ剥離方法。
- 前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材をそれぞれの上面が同一高さとなるように同時に上昇させ、次いで第1昇降部材および第2昇降部材を順次下降させることを特徴とする請求項3記載のチップ剥離方法。
- シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置であって、
前記シートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させるチップ剥離装置とを備え、
前記チップ剥離装置は、請求項1または2のいずれかに記載のチップ剥離装置であることを特徴とするチップピックアップ装置。
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