JP6366223B2 - 半導体チップのピックアップ装置 - Google Patents
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Description
粘着シートに貼り付けられた半導体チップを粘着シートから取り外す半導体チップのピックアップ装置であって、
半導体チップの上面を吸着保持するコレットと、
粘着シートの半導体チップの貼り付けられている面と反対側の面に密着するステージと、
ステージの裏面から粘着シートを吸引する吸引手段と、から構成され、
前記ステージが、半導体チップを粘着シートと接触して支持し、粘着シートを吸引しながら半導体チップとの隙間を可変させる複数の支持ブロックと、粘着シートを吸引する複数の吸引孔を有した吸引面と、から構成され、
前記複数の支持ブロックが並んで配置され、一端の支持ブロックから他端の支持ブロックまで、順次、支持ブロックを連続的に下げる機能を有している半導体チップのピックアップ装置である。
複数の前記支持ブロックに粘着シートを吸着する吸着穴を有した請求項1に記載の半導体チップのピックアップ装置である。
前記コレットが多孔質体からなる請求項2に記載の半導体チップのピックアップ装置である。
複数の前記支持ブロックの周囲に粘着シートを吸引する開口部を有する請求項1に記載の半導体チップのピックアップ装置である。
複数の前記支持ブロックの上面が前記ステージ面よりも高い位置に保持されている請求項1に記載の半導体チップのピックアップ装置である。
2 筐体
3 吸引手段
4 吸引面
5 支持ブロック
6 ステージ
10 半導体チップ
11 粘着シート
15 吸引孔
20 コレット
25 貫通電極
27 スライダ
5a 開口部
10a 隙間
27a エッジ部分
Claims (5)
- 粘着シートに貼り付けられた半導体チップを粘着シートから取り外す半導体チップのピックアップ装置であって、
半導体チップの上面を吸着保持するコレットと、
粘着シートの半導体チップの貼り付けられている面と反対側の面に密着するステージと、
ステージの裏面から粘着シートを吸引する吸引手段と、から構成され、
前記ステージが、半導体チップを粘着シートと接触して支持し、粘着シートを吸引しながら半導体チップとの隙間を可変させる複数の支持ブロックと、粘着シートを吸引する複数の吸引孔を有した吸引面と、から構成され、
前記複数の支持ブロックが並んで配置され、一端の支持ブロックから他端の支持ブロックまで、順次、支持ブロックを連続的に下げる機能を有している半導体チップのピックアップ装置。 - 複数の前記支持ブロックに粘着シートを吸着する吸着穴を有した請求項1に記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 前記コレットが多孔質体からなる請求項2に記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 複数の前記支持ブロックの周囲に粘着シートを吸引する開口部を有する請求項1に記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 複数の前記支持ブロックの上面が前記ステージ面よりも高い位置に保持されている請求項1に記載の半導体チップのピックアップ装置。
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