JP2004031672A - チップのピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】チップの大きさにかかわらず、テープ上の各チップを1つずつ良好にピックアップする。
【解決手段】突き上げピン5を昇降部6により上昇させ、突き上げピン5を粘着テープ22に通し、突き上げピン5によりチップ21の略中央を突き上げて、このチップ21を粘着テープ22から剥離する。同時に、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着しつつ、ピックアップユニット3の昇降ロッド9を上昇させて、吸引ヘッド8によりチップ21をピックアップする。このとき、該チップ21に隣り合う他の各チップ21が押え付け部11の下端により押え付けられているので、該他の各チップ21が粘着テープ22から剥離することはなく、該他の各チップ21の部位で粘着テープ22が浮き上がって、該他の各チップ21が傾き接触することもなく、粘着テープ22上の各チップが傷付かずに済む。
【選択図】図1
【解決手段】突き上げピン5を昇降部6により上昇させ、突き上げピン5を粘着テープ22に通し、突き上げピン5によりチップ21の略中央を突き上げて、このチップ21を粘着テープ22から剥離する。同時に、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着しつつ、ピックアップユニット3の昇降ロッド9を上昇させて、吸引ヘッド8によりチップ21をピックアップする。このとき、該チップ21に隣り合う他の各チップ21が押え付け部11の下端により押え付けられているので、該他の各チップ21が粘着テープ22から剥離することはなく、該他の各チップ21の部位で粘着テープ22が浮き上がって、該他の各チップ21が傾き接触することもなく、粘着テープ22上の各チップが傷付かずに済む。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フルカットダイシングにより分離された複数のチップが貼り付いているテープから該各チップを1つずつピックアップするためのチップのピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
周知の様に半導体ウエハから複数のチップを切り出す際には、半導体ウエハの片面に粘着テープを貼ってから、半導体ウエハをフルカットダイシングにより複数のチップに分離している。これにより、各チップがバラバラにならずに済む。従って、各チップを分離した後に、各チップをテープから1つずつピックアップする必要があり、このためにピックアップ装置を用いる。
【0003】
この種の従来のピックアップ装置としては、例えば特開平4−320046号公報に記載のものがある。この公報の装置は、各チップが貼り付いているテープを吸着する吸着ステージと、吸着ステージの孔を貫通し、テープを介してチップを突き上げる突き上げ針と、突き上げられたチップをピックアップするコレットとを備えており、突き上げられるチップの部位で、吸着ステージを部分的に突出させている。これにより、チップの突き上げのときに、この突き上げられたチップに隣り合う他のチップがテープから浮いて剥離することを防止している。また、テープ上の各チップが小さくても、突き上げられたチップと該チップに隣り合う他のチップが相互に干渉することはなく、これらのチップを傷付けずに済む。例えば、厚みが0.2mm程度のチップを傷付けずに突き上げてテープからピックアップすることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報の装置を用いて、大きなチップを突き上げてテープからピックアップする場合は、この突き上げられたチップに隣り合う他のチップが傾きいてしまい、各チップが相互に干渉することがあった。具体的には、図3(a)に示す様に一定間隔で配列された各チップ101が貼り付いているテープ102を吸着ステージ103上に吸着してから、図3(b)に示す様に各突き上げ針104を吸着ステージ103のそれぞれの孔から突出させて、テープ102を介してチップ101を突き上げると、突き上げられたチップ101周辺で、テープ102が吸着ステージ103から浮き上がって、突き上げられたチップ101に隣り合う他の各チップ101が傾き相互に接触して傷付けあった。
【0005】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、チップの大きさにかかわらず、テープ上の各チップを1つずつ良好にピックアップすることが可能なチップのピックアップ装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、フルカットダイシングにより分離された複数のチップが貼り付いているテープを吸着する吸着ステージと、吸着ステージの孔を貫通し、テープ上のチップを突き上げる突き上げ手段と、突き上げられたチップをピックアップするピックアップ手段とを備えるチップのピックアップ装置において、ピックアップされるチップに隣り合う他のチップを吸着ステージ上に押え付ける押え付け手段を備えている。
【0007】
この様な構成の本発明によれば、各チップが貼り付いているテープを吸着ステージに吸着し、吸着ステージの孔を貫通し、テープ上のチップを突き上げて、この突き上げられたチップをピックアップしており、このピックアップされるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により吸着ステージ上に押え付けている。このため、従来の様にチップを突き上げてピックアップするときに、このピックアップされるチップに隣り合う他のチップが傾くことがなく、テープ上の各チップが相互に接触して傷付けあうこともない。また、他のチップを吸着ステージ上に押え付けるので、他のチップをテープから剥離させずに、1つのチップのみをテープから確実にピックアップすることができる。勿論、チップの大きさにかかわらず、チップを1つずつ傷付けずに確実にピックアップすることができる。
【0008】
また、本発明においては、押え付け手段は、ピックアップユニットの周囲に設けられている。
【0009】
この様にピックアップユニットの周囲に押え付け手段を配置すれば、ピックアップされるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により押え付け易くなり、該他のチップを確実に押え付けることができる。
【0010】
更に、本発明においては、各チップの厚みがテープ上の該各チップの間隔以上である。
【0011】
この様に各チップの厚みがテープ上の該各チップの間隔以上である場合は、従来の様に突き上げられたチップに隣り合う他のチップが傾いたときに、テープ上の各チップが相互に接触し易くなる。このため、本発明の適用が有効である。尚、各チップの間隔は、フルカットダイシングを行うための切削工具の刃の厚さにほぼ等しい。従って、各チップの厚みがフルカットダイシングを行うための切削工具の刃の厚さ以上であると言っても良い。
【0012】
また、本発明においては、各チップは、インクジェットヘッド用のチップである。
【0013】
インクジェットヘッド用のチップは、例えば圧電体材料(PZT等)からなり、その端面に傷が付いていないことが強く望まれる。このチップの端面に傷が付いていると、この端面に接合されるインクノズルに傾きが発生し、このインクノズルからのインクの吐出方向に狂いが生じる。また、このチップ内にはインクの流路等の構造物を形成することから、このチップが非常に大きくなり、このサイズの各チップを狭い間隔でテープ上に配列すると、従来の様に突き上げられたチップに隣り合う他のチップが傾いたときに、テープ上の各チップが相互に接触して傷付く。このため、本発明の適用が有効である。
【0014】
更に、本発明においては、突き上げ手段は、チップの略中央を突き上げるピンを含んでいる。
【0015】
この様にチップの略中央をピンにより突き上げると、チップがテープから剥がれ易い。つまり、チップの周縁から中央付近へと徐々に剥がれて、チップが容易かつ速やかに剥がれる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【0017】
図1は、本発明のピックアップ装置の一実施形態を示す側面図である。このピックアップ装置は、吸着ステージ1と、突き上げユニット2と、ピックアップユニット3と、押え付けユニット4とを備えている。
【0018】
吸着ステージ1は、多数のチップ21が貼り付いている粘着テープ22を吸着するものである、この吸着ステージ1の上面に多数の吸引孔(図示せず)を形成し、これらの吸引孔を真空ポンプ(図示せず)に接続し、この真空ポンプにより各吸引孔を通じて空気を吸引し、これにより吸着ステージ1上の粘着テープ22を吸着している。粘着テープ22上の各チップ21は、半導体ウエハの片面に粘着テープを貼ってから、半導体ウエハをフルカットダイシングにより複数のチップに分離したものである。
【0019】
また、吸着ステージ1には、突き上げユニット2の後述する突き上げピン5が貫通する孔1aを形成している。
【0020】
突き上げユニット2は、突き上げピン5、突き上げピン5を昇降させる昇降部6、及び突き上げピン5の昇降位置を検出する昇降位置センサー7を備えている。突き上げピン5は、昇降部6により上昇されると、吸着ステージ1の孔1aを貫通し、粘着テープ22上のチップ21を突き上げる。昇降位置センサー7により検出される突き上げピン5の昇降位置は、突き上げピン5と吸着ステージ1間の距離に対応し、この距離を求めるために検出される。
【0021】
ピックアップユニット3は、吸引ヘッド8、及び吸引ヘッド8を支持する昇降ロッド9、及び昇降ロッド9を支持する支持アーム10を備えている。吸引ヘッド8は、吸引凹部8aと吸引孔8bを有しており、真空ポンプ(図示せず)により吸引孔8bを通じて吸引凹部8aから空気を吸引している。そして、昇降ロッド9を下降させて、吸引ヘッド8の吸引凹部8aをチップ21の上面に当接させ、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着する。
【0022】
押え付けユニット4は、支持アーム10に固定された押え付け部11、及び押え付け部11を下方向に付勢する各コイルバネ12を備えている。押え付け部11は、コの字型のものであり、該押し付け部11の中央に1つのチップ21を配置したときに、該押し付け部11の下端が該中央のチップ21に隣り合う他の各チップ21に対向する。従って、押し付け部11の中央に1つのチップ21を配置した状態で、押し付け部11を下方に移動させると、押し付け部11の下端が該中央のチップ21に隣り合う他の各チップ21に当接する。そして、各コイルバネ12の弾性力により、押し付け部11の下端が他の各チップ21に押し付けられる。
【0023】
次に、この様なピックアップ装置を用いて、チップ21を粘着テープ22から剥離してピックアップするための過程を図2(a)〜(d)を参照しつつ説明する。
【0024】
まず、図2(a)に示す様に粘着テープ22を適宜に位置決めして、1つのチップ21の略中央を吸着ステージ1の孔1aに重ね、粘着テープ22を吸着ステージ1上に吸着する。このときには、突き上げユニット2の突き上げピン5を下降させ、かつピックアップユニット3の吸引ヘッド8及び押え付けユニット4の押え付け部11を上昇させている。
【0025】
次に、図2(b)に示す様に支持アーム10を下降させて、押え付けユニット4の押え付け部11の下端を吸着ステージ1中央のチップ21に隣り合う他の各チップ21に押し付け、各コイルバネ12の弾性力により該他の各チップ21を押さえ付ける。
【0026】
引き続いて、図2(c)に示す様にピックアップユニット3の昇降ロッド9を下降させて、吸引ヘッド8の吸引凹部8aをチップ21の上面に当接させ、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着する。同時に、突き上げユニット2の突き上げピン5の昇降位置を昇降位置センサー7により検出しつつ、突き上げピン5を昇降部6により上昇させ、突き上げピン5を吸着ステージ1の孔1aを貫通させて粘着テープ22に接触させる。
【0027】
更に、図2(d)に示す様に突き上げピン5を昇降部6により上昇させ、突き上げピン5を粘着テープ22に通し、突き上げピン5によりチップ21の略中央を突き上げて、このチップ21を粘着テープ22から剥離する。同時に、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着しつつ、ピックアップユニット3の昇降ロッド9を上昇させて、吸引ヘッド8によりチップ21をピックアップする。このとき、該チップ21に隣り合う他の各チップ21が押え付け部11の下端により押え付けられているので、該他の各チップ21が粘着テープ22から剥離することはなく、該他の各チップ21の部位で粘着テープ22が浮き上がって、該他の各チップ21が傾き接触することもなく、粘着テープ22上の各チップ21が傷付かずに済む。
【0028】
この後、支持アーム10を上昇させて、吸引ヘッド8によりピックアップされたチップ21を移動させる。また、突き上げピン5を昇降部6により元の位置まで下降させる。
【0029】
以降同様に、粘着テープ22を吸着ステージ1上で移動させて、次のチップ21の略中央を吸着ステージ1の孔1aに重ね、粘着テープ22を吸着ステージ1上に吸着し、該次のチップ21に隣り合う他の各チップ21を押え付け部11の下端により押え付けて、該次のチップ21の略中央を突き上げピン5により突き上げて、該次のチップ21を粘着テープ22から剥離してピックアップする。
【0030】
尚、各チップ21は、例えばインクジェットヘッド用のチップである。このインクジェットヘッド用のチップは、例えば圧電体材料(PZT等)からなり、その端面にインクノズルが接合される。このチップの端面に傷が付いていると、インクノズルが傾いて、インクノズルからのインクの吐出方向に狂いが生じる。このため、チップの端面に傷を付けてはならない。また、このチップ内にはインクの流路等の構造物を形成することから、このチップが非常に大きくなり、このサイズの各チップを狭い間隔でテープ上に配列すると、テープ上の各チップが接触し易くなる。各チップの間隔は、フルカットダイシングを行うための切削工具の刃の厚さにほぼ等しく、狭くなりがちである。本実施形態のピックアップ装置を用いた場合は、先に述べた様に粘着テープ22上の各チップ21を傷付けることなく1つずつピックアップすることができる。例えば、各チップの厚みが2mm以上であったり、あるいは各チップの厚みが粘着テープ上の該各チップの間隔以上であったとしても、各チップを傷付けることなく1つずつピックアップすることができる。従って、本実施形態のピックアップ装置は、インクジェットヘッド用のチップをピックアップするのに最適である。勿論、各チップが小さくても、同様の効果を得ることができる。
【0031】
また、複数の突き上げピンを昇降させて、これらの突き上げピンにより1つのチップを突き上げて、このチップを粘着テープから剥離しても構わない。突き上げピンの本数は、チップのサイズや形状、粘着テープの粘着力等を考慮しつつ、各チップを粘着テープから1つずつ確実にピックアップし得る様に適宜に設定すれば良い。
【0032】
【発明の効果】
以上説明した様に本発明によれば、突き上げられるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により吸着ステージ上に押え付けている。このため、従来の様にチップを突き上げてピックアップするときに、このピックアップされるチップに隣り合う他のチップが傾くことがなく、テープ上の各チップが傾き相互に接触して傷付けあうこともない。また、他のチップを吸着ステージ上に押え付けるので、他のチップをテープから剥離させずに、1つのチップのみをテープから確実にピックアップすることができる。勿論、チップの大きさにかかわらず、チップを1つずつ傷付けずに確実にピックアップすることができる。
【0033】
また、本発明によれば、ピックアップユニットの周囲に押え付け手段を配置しているので、ピックアップされるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により押え付け易くなり、該他のチップを確実に押え付けることができる。
【0034】
更に、各チップの厚みがテープ上の該各チップの間隔以上である場合や、各チップがインクジェットヘッド用のチップである場合に、本発明の適用が有効である。
【0035】
また、本発明によれば、チップの略中央をピンにより突き上げるので、チップがテープから剥がれ易い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のピックアップ装置の一実施形態を示す側面図である。
【図2】(a)〜(d)は、図1のピックアップ装置を用いて、チップを粘着テープから剥離してピックアップするための過程を示す図である。
【図3】(a)及び(b)は、従来の装置を用いて、 チップを粘着テープから剥離するための過程を示す図である。
【符号の説明】
1 吸着ステージ
2 突き上げユニット
3 ピックアップユニット
4 押え付けユニット
5 突き上げピン
6 昇降部
7 昇降位置センサー
8 吸引ヘッド
9 昇降ロッド
10 支持アーム
11 押え付け部
12 コイルバネ
21 チップ
22 粘着テープ
【発明の属する技術分野】
本発明は、フルカットダイシングにより分離された複数のチップが貼り付いているテープから該各チップを1つずつピックアップするためのチップのピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
周知の様に半導体ウエハから複数のチップを切り出す際には、半導体ウエハの片面に粘着テープを貼ってから、半導体ウエハをフルカットダイシングにより複数のチップに分離している。これにより、各チップがバラバラにならずに済む。従って、各チップを分離した後に、各チップをテープから1つずつピックアップする必要があり、このためにピックアップ装置を用いる。
【0003】
この種の従来のピックアップ装置としては、例えば特開平4−320046号公報に記載のものがある。この公報の装置は、各チップが貼り付いているテープを吸着する吸着ステージと、吸着ステージの孔を貫通し、テープを介してチップを突き上げる突き上げ針と、突き上げられたチップをピックアップするコレットとを備えており、突き上げられるチップの部位で、吸着ステージを部分的に突出させている。これにより、チップの突き上げのときに、この突き上げられたチップに隣り合う他のチップがテープから浮いて剥離することを防止している。また、テープ上の各チップが小さくても、突き上げられたチップと該チップに隣り合う他のチップが相互に干渉することはなく、これらのチップを傷付けずに済む。例えば、厚みが0.2mm程度のチップを傷付けずに突き上げてテープからピックアップすることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報の装置を用いて、大きなチップを突き上げてテープからピックアップする場合は、この突き上げられたチップに隣り合う他のチップが傾きいてしまい、各チップが相互に干渉することがあった。具体的には、図3(a)に示す様に一定間隔で配列された各チップ101が貼り付いているテープ102を吸着ステージ103上に吸着してから、図3(b)に示す様に各突き上げ針104を吸着ステージ103のそれぞれの孔から突出させて、テープ102を介してチップ101を突き上げると、突き上げられたチップ101周辺で、テープ102が吸着ステージ103から浮き上がって、突き上げられたチップ101に隣り合う他の各チップ101が傾き相互に接触して傷付けあった。
【0005】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、チップの大きさにかかわらず、テープ上の各チップを1つずつ良好にピックアップすることが可能なチップのピックアップ装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、フルカットダイシングにより分離された複数のチップが貼り付いているテープを吸着する吸着ステージと、吸着ステージの孔を貫通し、テープ上のチップを突き上げる突き上げ手段と、突き上げられたチップをピックアップするピックアップ手段とを備えるチップのピックアップ装置において、ピックアップされるチップに隣り合う他のチップを吸着ステージ上に押え付ける押え付け手段を備えている。
【0007】
この様な構成の本発明によれば、各チップが貼り付いているテープを吸着ステージに吸着し、吸着ステージの孔を貫通し、テープ上のチップを突き上げて、この突き上げられたチップをピックアップしており、このピックアップされるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により吸着ステージ上に押え付けている。このため、従来の様にチップを突き上げてピックアップするときに、このピックアップされるチップに隣り合う他のチップが傾くことがなく、テープ上の各チップが相互に接触して傷付けあうこともない。また、他のチップを吸着ステージ上に押え付けるので、他のチップをテープから剥離させずに、1つのチップのみをテープから確実にピックアップすることができる。勿論、チップの大きさにかかわらず、チップを1つずつ傷付けずに確実にピックアップすることができる。
【0008】
また、本発明においては、押え付け手段は、ピックアップユニットの周囲に設けられている。
【0009】
この様にピックアップユニットの周囲に押え付け手段を配置すれば、ピックアップされるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により押え付け易くなり、該他のチップを確実に押え付けることができる。
【0010】
更に、本発明においては、各チップの厚みがテープ上の該各チップの間隔以上である。
【0011】
この様に各チップの厚みがテープ上の該各チップの間隔以上である場合は、従来の様に突き上げられたチップに隣り合う他のチップが傾いたときに、テープ上の各チップが相互に接触し易くなる。このため、本発明の適用が有効である。尚、各チップの間隔は、フルカットダイシングを行うための切削工具の刃の厚さにほぼ等しい。従って、各チップの厚みがフルカットダイシングを行うための切削工具の刃の厚さ以上であると言っても良い。
【0012】
また、本発明においては、各チップは、インクジェットヘッド用のチップである。
【0013】
インクジェットヘッド用のチップは、例えば圧電体材料(PZT等)からなり、その端面に傷が付いていないことが強く望まれる。このチップの端面に傷が付いていると、この端面に接合されるインクノズルに傾きが発生し、このインクノズルからのインクの吐出方向に狂いが生じる。また、このチップ内にはインクの流路等の構造物を形成することから、このチップが非常に大きくなり、このサイズの各チップを狭い間隔でテープ上に配列すると、従来の様に突き上げられたチップに隣り合う他のチップが傾いたときに、テープ上の各チップが相互に接触して傷付く。このため、本発明の適用が有効である。
【0014】
更に、本発明においては、突き上げ手段は、チップの略中央を突き上げるピンを含んでいる。
【0015】
この様にチップの略中央をピンにより突き上げると、チップがテープから剥がれ易い。つまり、チップの周縁から中央付近へと徐々に剥がれて、チップが容易かつ速やかに剥がれる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【0017】
図1は、本発明のピックアップ装置の一実施形態を示す側面図である。このピックアップ装置は、吸着ステージ1と、突き上げユニット2と、ピックアップユニット3と、押え付けユニット4とを備えている。
【0018】
吸着ステージ1は、多数のチップ21が貼り付いている粘着テープ22を吸着するものである、この吸着ステージ1の上面に多数の吸引孔(図示せず)を形成し、これらの吸引孔を真空ポンプ(図示せず)に接続し、この真空ポンプにより各吸引孔を通じて空気を吸引し、これにより吸着ステージ1上の粘着テープ22を吸着している。粘着テープ22上の各チップ21は、半導体ウエハの片面に粘着テープを貼ってから、半導体ウエハをフルカットダイシングにより複数のチップに分離したものである。
【0019】
また、吸着ステージ1には、突き上げユニット2の後述する突き上げピン5が貫通する孔1aを形成している。
【0020】
突き上げユニット2は、突き上げピン5、突き上げピン5を昇降させる昇降部6、及び突き上げピン5の昇降位置を検出する昇降位置センサー7を備えている。突き上げピン5は、昇降部6により上昇されると、吸着ステージ1の孔1aを貫通し、粘着テープ22上のチップ21を突き上げる。昇降位置センサー7により検出される突き上げピン5の昇降位置は、突き上げピン5と吸着ステージ1間の距離に対応し、この距離を求めるために検出される。
【0021】
ピックアップユニット3は、吸引ヘッド8、及び吸引ヘッド8を支持する昇降ロッド9、及び昇降ロッド9を支持する支持アーム10を備えている。吸引ヘッド8は、吸引凹部8aと吸引孔8bを有しており、真空ポンプ(図示せず)により吸引孔8bを通じて吸引凹部8aから空気を吸引している。そして、昇降ロッド9を下降させて、吸引ヘッド8の吸引凹部8aをチップ21の上面に当接させ、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着する。
【0022】
押え付けユニット4は、支持アーム10に固定された押え付け部11、及び押え付け部11を下方向に付勢する各コイルバネ12を備えている。押え付け部11は、コの字型のものであり、該押し付け部11の中央に1つのチップ21を配置したときに、該押し付け部11の下端が該中央のチップ21に隣り合う他の各チップ21に対向する。従って、押し付け部11の中央に1つのチップ21を配置した状態で、押し付け部11を下方に移動させると、押し付け部11の下端が該中央のチップ21に隣り合う他の各チップ21に当接する。そして、各コイルバネ12の弾性力により、押し付け部11の下端が他の各チップ21に押し付けられる。
【0023】
次に、この様なピックアップ装置を用いて、チップ21を粘着テープ22から剥離してピックアップするための過程を図2(a)〜(d)を参照しつつ説明する。
【0024】
まず、図2(a)に示す様に粘着テープ22を適宜に位置決めして、1つのチップ21の略中央を吸着ステージ1の孔1aに重ね、粘着テープ22を吸着ステージ1上に吸着する。このときには、突き上げユニット2の突き上げピン5を下降させ、かつピックアップユニット3の吸引ヘッド8及び押え付けユニット4の押え付け部11を上昇させている。
【0025】
次に、図2(b)に示す様に支持アーム10を下降させて、押え付けユニット4の押え付け部11の下端を吸着ステージ1中央のチップ21に隣り合う他の各チップ21に押し付け、各コイルバネ12の弾性力により該他の各チップ21を押さえ付ける。
【0026】
引き続いて、図2(c)に示す様にピックアップユニット3の昇降ロッド9を下降させて、吸引ヘッド8の吸引凹部8aをチップ21の上面に当接させ、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着する。同時に、突き上げユニット2の突き上げピン5の昇降位置を昇降位置センサー7により検出しつつ、突き上げピン5を昇降部6により上昇させ、突き上げピン5を吸着ステージ1の孔1aを貫通させて粘着テープ22に接触させる。
【0027】
更に、図2(d)に示す様に突き上げピン5を昇降部6により上昇させ、突き上げピン5を粘着テープ22に通し、突き上げピン5によりチップ21の略中央を突き上げて、このチップ21を粘着テープ22から剥離する。同時に、吸引ヘッド8の吸引凹部8aにチップ21を吸着しつつ、ピックアップユニット3の昇降ロッド9を上昇させて、吸引ヘッド8によりチップ21をピックアップする。このとき、該チップ21に隣り合う他の各チップ21が押え付け部11の下端により押え付けられているので、該他の各チップ21が粘着テープ22から剥離することはなく、該他の各チップ21の部位で粘着テープ22が浮き上がって、該他の各チップ21が傾き接触することもなく、粘着テープ22上の各チップ21が傷付かずに済む。
【0028】
この後、支持アーム10を上昇させて、吸引ヘッド8によりピックアップされたチップ21を移動させる。また、突き上げピン5を昇降部6により元の位置まで下降させる。
【0029】
以降同様に、粘着テープ22を吸着ステージ1上で移動させて、次のチップ21の略中央を吸着ステージ1の孔1aに重ね、粘着テープ22を吸着ステージ1上に吸着し、該次のチップ21に隣り合う他の各チップ21を押え付け部11の下端により押え付けて、該次のチップ21の略中央を突き上げピン5により突き上げて、該次のチップ21を粘着テープ22から剥離してピックアップする。
【0030】
尚、各チップ21は、例えばインクジェットヘッド用のチップである。このインクジェットヘッド用のチップは、例えば圧電体材料(PZT等)からなり、その端面にインクノズルが接合される。このチップの端面に傷が付いていると、インクノズルが傾いて、インクノズルからのインクの吐出方向に狂いが生じる。このため、チップの端面に傷を付けてはならない。また、このチップ内にはインクの流路等の構造物を形成することから、このチップが非常に大きくなり、このサイズの各チップを狭い間隔でテープ上に配列すると、テープ上の各チップが接触し易くなる。各チップの間隔は、フルカットダイシングを行うための切削工具の刃の厚さにほぼ等しく、狭くなりがちである。本実施形態のピックアップ装置を用いた場合は、先に述べた様に粘着テープ22上の各チップ21を傷付けることなく1つずつピックアップすることができる。例えば、各チップの厚みが2mm以上であったり、あるいは各チップの厚みが粘着テープ上の該各チップの間隔以上であったとしても、各チップを傷付けることなく1つずつピックアップすることができる。従って、本実施形態のピックアップ装置は、インクジェットヘッド用のチップをピックアップするのに最適である。勿論、各チップが小さくても、同様の効果を得ることができる。
【0031】
また、複数の突き上げピンを昇降させて、これらの突き上げピンにより1つのチップを突き上げて、このチップを粘着テープから剥離しても構わない。突き上げピンの本数は、チップのサイズや形状、粘着テープの粘着力等を考慮しつつ、各チップを粘着テープから1つずつ確実にピックアップし得る様に適宜に設定すれば良い。
【0032】
【発明の効果】
以上説明した様に本発明によれば、突き上げられるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により吸着ステージ上に押え付けている。このため、従来の様にチップを突き上げてピックアップするときに、このピックアップされるチップに隣り合う他のチップが傾くことがなく、テープ上の各チップが傾き相互に接触して傷付けあうこともない。また、他のチップを吸着ステージ上に押え付けるので、他のチップをテープから剥離させずに、1つのチップのみをテープから確実にピックアップすることができる。勿論、チップの大きさにかかわらず、チップを1つずつ傷付けずに確実にピックアップすることができる。
【0033】
また、本発明によれば、ピックアップユニットの周囲に押え付け手段を配置しているので、ピックアップされるチップに隣り合う他のチップを押え付け手段により押え付け易くなり、該他のチップを確実に押え付けることができる。
【0034】
更に、各チップの厚みがテープ上の該各チップの間隔以上である場合や、各チップがインクジェットヘッド用のチップである場合に、本発明の適用が有効である。
【0035】
また、本発明によれば、チップの略中央をピンにより突き上げるので、チップがテープから剥がれ易い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のピックアップ装置の一実施形態を示す側面図である。
【図2】(a)〜(d)は、図1のピックアップ装置を用いて、チップを粘着テープから剥離してピックアップするための過程を示す図である。
【図3】(a)及び(b)は、従来の装置を用いて、 チップを粘着テープから剥離するための過程を示す図である。
【符号の説明】
1 吸着ステージ
2 突き上げユニット
3 ピックアップユニット
4 押え付けユニット
5 突き上げピン
6 昇降部
7 昇降位置センサー
8 吸引ヘッド
9 昇降ロッド
10 支持アーム
11 押え付け部
12 コイルバネ
21 チップ
22 粘着テープ
Claims (5)
- フルカットダイシングにより分離された複数のチップが貼り付いているテープを吸着する吸着ステージと、吸着ステージの孔を貫通し、テープ上のチップを突き上げる突き上げ手段と、突き上げられたチップをピックアップするピックアップ手段とを備えるチップのピックアップ装置において、
ピックアップされるチップに隣り合う他のチップを吸着ステージ上に押え付ける押え付け手段を備えることを特徴とするチップのピックアップ装置。 - 押え付け手段は、ピックアップユニットの周囲に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のチップのピックアップ装置。
- 各チップの厚みがテープ上の該各チップの間隔以上であることを特徴とする請求項1に記載のチップのピックアップ装置。
- 各チップは、インクジェットヘッド用のチップであることを特徴とする請求項1に記載のチップのピックアップ装置。
- 突き上げ手段は、チップの略中央を突き上げるピンを含むことを特徴とする請求項1に記載のチップのピックアップ装置。
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