JP5060273B2 - 電子部品剥離装置 - Google Patents
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また、粘着シート12はある程度伸縮自在の材料で作成されており、吸着されたチップ11が上昇しても短い距離の上昇では分離しない場合もある。
また、外周突き上げピン23と中央突き上げピン24を吸着ノズル20と連動させて動作させるためには複雑な機構と制御が必要とされ、作業全体の高速化を困難にしていた。
図2は図1の模式図である。(1)〜(3)の状態は、図1の(1)〜(3)の状態と同様である。(4)は本発明の動作状態を示すフローチャートである。
図4は、図3の模式図である。図4の(1)〜(3)の状態は図3の(1)〜(3)の状態と同じ状態を示したものである。
図5は本発明が使用されているフリップチップボンダー装置全体の図である。
図7は図6の模式図であり、(1)〜(3)は図6の(1)〜(3)の状態と同じ状態を示したものである。
またモータ212の駆動力を無負荷とすることでシャフト211をフリーに伸縮することができるようにすることができる。以上のように構成された吸着ヘッド伸縮手段21のシャフト211の先端に吸着ヘッド20が取り付けられ、吸引口251から吸引することでチップ11を吸着できる構成になっている。このような吸着ヘッド伸縮手段21から吸着ヘッド部は構成されている。
また、吸着ヘッド20には、パット201を取り付けることで緩衝として用いることができ、スプリング213を省略することもできる。
片側突き上げピン29を連動させて初期剥離が完了すれば後は上記したように一気にめくり上げることは容易である。
本体
6 ボンディングヘッド
7 基板テーブル
8 制御部
10 ウエハリング
11 チップ
11p チップ受け渡し位置
12
粘着シート
20 吸着ヘッド
201 パット
21 吸着ヘッド伸縮手段(吸着ヘッド部)
211 シャフト
212 モータ
213 スプリング
22 下冶具
23 外周突き上げピン
24 中央突き上げピン
25 吸着穴
251 吸引口
26 下冶具穴
29 片側突き上げピン
30 吸着移動部
301 ねじ受け部
302 ガイド受け部
31 吸着ヘッド本体
34 タイミングベルト
35 回転モータ
36 移動モータ
37 移動ねじ部
38 吸着部用ガイド
39 移動モータ固定板
40 チップ剥離装置
90 回転するノズル(従来式)
91 チップ(従来式)
92 チップトレイ(従来式)
93 実装用ヘッド(従来式)
94 基板(従来式)
95 上下するノズル(従来式)
96 実装用ヘッド(従来式)
Claims (2)
- 粘着シートに貼着された複数の前記電子部品を吸着する吸着ヘッドと、
前記吸着ヘッドを、電子部品を吸着する位置に移動させる吸着移動部と、
前記吸着ヘッドを、電子部品を吸着する位置に圧接する吸着ヘッド伸縮手段とからなる吸着ヘッド部と、
前記吸着ヘッド部を前記吸着移動部に回転自在に軸着されると共に前記吸着ヘッド部を伸縮自在に装着した吸着ヘッド本体と、
前記吸着ヘッド部の剥離動作を制御する吸着移動制御部とからなる電子部品剥離装置であって、
前記吸着移動制御部は、前記吸着ヘッドによって前記電子部品を吸着させ、前記吸着ヘッド部の吸着ヘッド伸縮手段をフリーにすると共に、前記吸着ヘッド本体の回転をフリーにして前記吸着移動部を移動し、前記吸着ヘッドを傾けるようにして吸着された前記電子部品を前記粘着シートからめくるように剥離した後、前記吸着ヘッド部と前記吸着ヘッド本体と前記吸着移動部を駆動させて所定の位置に前記電子部品を移動するように前記吸着移動制御部が制御して、前記吸着部で吸着した前記部品を伸縮する前記吸着ヘッドと前記吸着移動部と前記吸着ヘッド部を前記吸着移動部に回転自在に軸着されると共に前記吸着ヘッド部を伸縮自在に装着した吸着ヘッド本体を制御することで前記電子部品の移動をそのまま継続させることによってあらかじめ設定された位置に前記電子部品を移動させ、次の工程に受け渡すようにしたことを特徴とする電子部品剥離装置。
- 前記粘着シートの下から前記電子部品を突き上げる前記吸着移動部の移動方向とは反対側の端部に設けられた突き上げピンを備え、前記電子部品を傾けて剥離する際に、最初に持ち上げられる側を、前記突き上げピンで突き上げるように連動させることで、前記電子部品の初期剥離を確実にするようにしたことを特徴とする請求項1記載の電子部品剥離装置。
Priority Applications (1)
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JP2007333194A JP5060273B2 (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 電子部品剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007333194A JP5060273B2 (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 電子部品剥離装置 |
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JP2009158613A JP2009158613A (ja) | 2009-07-16 |
JP5060273B2 true JP5060273B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=40962335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007333194A Active JP5060273B2 (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 電子部品剥離装置 |
Country Status (1)
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JP2005011836A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-13 | Shinkawa Ltd | ダイピックアップ方法及びダイピックアップ装置 |
-
2007
- 2007-12-25 JP JP2007333194A patent/JP5060273B2/ja active Active
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