JP2004273529A - ダイピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができる。
【解決手段】ダイ2が貼り付けされた粘着シート1を吸着する吸着ステージ11と、ダイ2を突き上げる突き上げ部材12と、突き上げ部材12で突き上げられたダイ2を吸着して搬送するコレット21とを備えている。コレット21の下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面25を有するダイ吸着体23が固定されている。
【選択図】 図1
【解決手段】ダイ2が貼り付けされた粘着シート1を吸着する吸着ステージ11と、ダイ2を突き上げる突き上げ部材12と、突き上げ部材12で突き上げられたダイ2を吸着して搬送するコレット21とを備えている。コレット21の下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面25を有するダイ吸着体23が固定されている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイが貼り付けられた粘着シートからダイを剥離させてピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ダイピックアップ装置として、例えば特許文献1、特許文献2及び特許文献3が挙げられる。
【0003】
特許文献1は、粘着シートを吸着するシート吸着コレットと、ダイ(チップ)を吸着するチップ吸着コレットとを備えており、チップ吸着コレットのダイ吸着面は角錐となっている。そこで、シート吸着コレットにより粘着シートの吸着が行なわれ、ダイの中心部において粘着シートの剥離が行なわれる。次にシート吸着コレットによる吸着が解除されて吸着されていた粘着シートが上方に戻ることになる。この動作によりダイの周辺部が粘着シートより剥離され、チップ吸着コレットの吸引によりダイをピックアップする。
【0004】
特許文献2は、粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを吸着するコレットと、ダイを突き上げる突き上げニードルとを備えており、コレットの下端面には凹部が形成され、コレットの外周部のみがダイに接触するようになっている。また特許文献2には、2つの実施例が開示されている。
【0005】
第1実施例は、待機状態において、粘着シートに対してコレットを傾斜させ、また複数の突き上げニードルの先端同士を連ねた面もコレットと同様に傾斜させている。この状態で、コレットを下降させると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイを突き上げことによってコレットでダイを吸着する。次にコレットと突き上げニードルとの両方を粘着シートの法線方向へ直線的に上昇させることによって、ダイをその一端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【0006】
第2実施例は、待機状態において、コレットが粘着シートに対して平行であり、また1個の突き上げニードルを有している。この状態でコレットを下降させてダイを吸着すると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイに接触させる。次にダイの一端部を中心としてコレットを回転させると共に、ダイの中心よりも他端側を突き上げニードルによって、ダイをその他端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【0007】
特許文献3は、ダイを吸着するコレットと、コレットの下端部に配設された多孔質テープと、この多孔質テープの両端が巻回されるリールと、このリールを駆動するリール駆動部とを備えている。コレットのダイ吸着面は、ダイより小面積の平面に形成されており、またコレットの真空吸引穴はダイの中心部のみを吸着するようになっている。
【0008】
【特許文献1】
特開昭62−208648号公報
【特許文献2】
特開平7−249674号公報
【特許文献3】
特開平3−201458号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1は、ダイを粘着シートから剥離させるのは、シート吸着コレット及びチップ吸着コレットによる吸着力のみで行なう。このため、面積が大きい例えば10mm正方形のダイは剥離に時間がかかると共に、この動作のみではダイを確実に剥離させるには信頼性が乏しい。また吸着力を強くする必要があるので、ダイの厚さが例えば20〜80μmと薄い薄型ダイは、吸着力を強くするとダイを破損させてしまう。またチップ吸着コレットは角錐コレットであり、角錐コレットは、ダイと接する面がある角度を持っており、ダイの端部のみがコレットと接するので、吸着位置やダイの寸法が不良の場合に吸着したダイが落下することがある。特に大きなダイの場合には、このような問題が発生し易い。
【0010】
特許文献2は、コレットの外周部のみがダイに接触するので、コレットの凹部に対応したダイ部分を突き上げニードルで突き上げすることになり、ダイが大きくて薄型の場合には、ダイが破損し易い。また次のような問題も有する。
【0011】
特許文献2の第1実施例は、突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面でないと、突出した突き上げニードルのみがダイをコレットに押圧することになる。また突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面であっても、この突き上げニードルの同一面に対してコレットの傾斜角が同一面でないと、複数の突き上げニードルの内で左右両端の突き上げニードルの一方のみがダイをコレットに押圧することになる。このため、面積が大きいダイを確実に剥離させることができなく信頼性に乏しい。また一部の突き上げニードルのみがダイを押圧する恐れがあり、また突き上げニードルの先端は尖っているので、薄型ダイの場合は点接触の集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。特許文献2の第2実施例は、1個の突き上げニードルでダイを突き上げながらコレットを回転させるので、第1実施例と同様にダイに集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。
【0012】
特許文献3は、コレットのダイ吸着面はダイより小さく、またコレットの真空吸引穴はダイの中心部のみを吸着するようになっているので、薄型ダイの場合はダイの端部が吸着されなく、ダイが粘着テープより剥離される時にダイの端部が破損し易い。また多孔質テープを巻回したリール及び該リールを駆動するリール駆動部を必要とし、装置が高価となる。
【0013】
本発明の課題は、面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができるダイピックアップ装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項1は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されていることを特徴とする。
【0015】
上記課題を解決するための本発明の請求項2は、請求項1において、前記コレットの下端部には、前記ダイ吸着体を固定するダイ吸着体固定凹部が形成され、前記ダイ吸着体固定凹部と前記ダイ吸着体間に吸引空間部を形成するように、前記ダイ吸着体は前記ダイ吸着体固定凹部に固定されていることを特徴とする。
【0016】
上記課題を解決するための本発明の請求項3は、請求項1又は2において、前記ダイ吸着体は、ポーラス構造の焼結体又は発泡金属よりなることを特徴とする。
【0017】
上記課題を解決するための本発明の請求項4は、請求項1において、前記突き上げ板の上面は、平坦であることを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を図1により説明する。粘着シート1に貼り付けられたウェーハは、ダイシングされて複数のダイ2に分割されており、粘着シート1はXY方向に移動する図示しない枠体に固定されている。粘着シート1の下方には、該粘着シート1を真空吸着する吸着穴10が形成された吸着ステージ11が配設されており、吸着ステージ11内には、上面が平坦でダイ2を突き上げる突き上げ部材12が配設されている。
【0019】
粘着シート1の上方には、真空吸引穴20が形成されたコレット21が配設されており、コレット21は図示しないスプリングで下方に付勢されており、図示しない駆動手段で上下動及びXY方向に移動させられる。コレット21の下端部には、ダイ吸着体固定凹部22が形成されており、ダイ吸着体固定凹部22には、ダイ2を真空吸着するダイ吸着体23が吸引空間部24を形成するように固定されている。ダイ吸着体23は、多数の微細な吸着穴を有するポーラス構造よりなる焼結体又は発泡金属よりなり、吸着面25は、ダイ2の上面全体を吸着する大きさで平坦に形成されている。
【0020】
次に作用について説明する。吸着ステージ11で粘着シート1を吸着し、コレット21が下降してダイ吸着体23はダイ2を吸着する。続いて突き上げ部材12が吸着ステージ11の上面より上昇する。次にコレット21はダイ吸着体23がダイ2を吸着したまま上昇する。これにより、コレット21は粘着シート1から確実にダイ2を剥離させ、XY移動させられてダイ2を所定の場所に搬送する。
【0021】
コレット21によるダイ2の吸着は、真空吸引穴20より吸引空間部24を通してダイ吸着体23の平坦な吸着面25でダイ全体を吸着するので、突き上げ部材12によってダイ2を突き上げて粘着シート1を剥離させる時に、面積が大きくて薄型ダイも破損させることがない。またダイ吸着体23は多数の微細な吸着穴から構成されているので、ダイ2の上面全体を均一な吸着力で吸着することができ、吸着による部分的な応力集中が起きなく、安定して薄型のダイ2を吸着できる。またダイ吸着体23に微細な多数の穴を加工するのはコスト高になるが、ダイ吸着体23をポーラス構造よりなる焼結体又は発泡金属で構成することにより、安価に製作できる。また突き上げ部材12の上面を平坦に形成することにより、ダイ2を破損させることもない。
【0022】
【発明の効果】
本発明は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されているので、面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 粘着シート
2 ダイ
10 吸着穴
11 吸着ステージ
12 突き上げ部材
20 真空吸引穴
21 コレット
22 ダイ吸着体固定凹部
23 ダイ吸着体
24 吸引空間部
25 吸着面
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイが貼り付けられた粘着シートからダイを剥離させてピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ダイピックアップ装置として、例えば特許文献1、特許文献2及び特許文献3が挙げられる。
【0003】
特許文献1は、粘着シートを吸着するシート吸着コレットと、ダイ(チップ)を吸着するチップ吸着コレットとを備えており、チップ吸着コレットのダイ吸着面は角錐となっている。そこで、シート吸着コレットにより粘着シートの吸着が行なわれ、ダイの中心部において粘着シートの剥離が行なわれる。次にシート吸着コレットによる吸着が解除されて吸着されていた粘着シートが上方に戻ることになる。この動作によりダイの周辺部が粘着シートより剥離され、チップ吸着コレットの吸引によりダイをピックアップする。
【0004】
特許文献2は、粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを吸着するコレットと、ダイを突き上げる突き上げニードルとを備えており、コレットの下端面には凹部が形成され、コレットの外周部のみがダイに接触するようになっている。また特許文献2には、2つの実施例が開示されている。
【0005】
第1実施例は、待機状態において、粘着シートに対してコレットを傾斜させ、また複数の突き上げニードルの先端同士を連ねた面もコレットと同様に傾斜させている。この状態で、コレットを下降させると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイを突き上げことによってコレットでダイを吸着する。次にコレットと突き上げニードルとの両方を粘着シートの法線方向へ直線的に上昇させることによって、ダイをその一端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【0006】
第2実施例は、待機状態において、コレットが粘着シートに対して平行であり、また1個の突き上げニードルを有している。この状態でコレットを下降させてダイを吸着すると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイに接触させる。次にダイの一端部を中心としてコレットを回転させると共に、ダイの中心よりも他端側を突き上げニードルによって、ダイをその他端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【0007】
特許文献3は、ダイを吸着するコレットと、コレットの下端部に配設された多孔質テープと、この多孔質テープの両端が巻回されるリールと、このリールを駆動するリール駆動部とを備えている。コレットのダイ吸着面は、ダイより小面積の平面に形成されており、またコレットの真空吸引穴はダイの中心部のみを吸着するようになっている。
【0008】
【特許文献1】
特開昭62−208648号公報
【特許文献2】
特開平7−249674号公報
【特許文献3】
特開平3−201458号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1は、ダイを粘着シートから剥離させるのは、シート吸着コレット及びチップ吸着コレットによる吸着力のみで行なう。このため、面積が大きい例えば10mm正方形のダイは剥離に時間がかかると共に、この動作のみではダイを確実に剥離させるには信頼性が乏しい。また吸着力を強くする必要があるので、ダイの厚さが例えば20〜80μmと薄い薄型ダイは、吸着力を強くするとダイを破損させてしまう。またチップ吸着コレットは角錐コレットであり、角錐コレットは、ダイと接する面がある角度を持っており、ダイの端部のみがコレットと接するので、吸着位置やダイの寸法が不良の場合に吸着したダイが落下することがある。特に大きなダイの場合には、このような問題が発生し易い。
【0010】
特許文献2は、コレットの外周部のみがダイに接触するので、コレットの凹部に対応したダイ部分を突き上げニードルで突き上げすることになり、ダイが大きくて薄型の場合には、ダイが破損し易い。また次のような問題も有する。
【0011】
特許文献2の第1実施例は、突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面でないと、突出した突き上げニードルのみがダイをコレットに押圧することになる。また突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面であっても、この突き上げニードルの同一面に対してコレットの傾斜角が同一面でないと、複数の突き上げニードルの内で左右両端の突き上げニードルの一方のみがダイをコレットに押圧することになる。このため、面積が大きいダイを確実に剥離させることができなく信頼性に乏しい。また一部の突き上げニードルのみがダイを押圧する恐れがあり、また突き上げニードルの先端は尖っているので、薄型ダイの場合は点接触の集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。特許文献2の第2実施例は、1個の突き上げニードルでダイを突き上げながらコレットを回転させるので、第1実施例と同様にダイに集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。
【0012】
特許文献3は、コレットのダイ吸着面はダイより小さく、またコレットの真空吸引穴はダイの中心部のみを吸着するようになっているので、薄型ダイの場合はダイの端部が吸着されなく、ダイが粘着テープより剥離される時にダイの端部が破損し易い。また多孔質テープを巻回したリール及び該リールを駆動するリール駆動部を必要とし、装置が高価となる。
【0013】
本発明の課題は、面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができるダイピックアップ装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項1は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されていることを特徴とする。
【0015】
上記課題を解決するための本発明の請求項2は、請求項1において、前記コレットの下端部には、前記ダイ吸着体を固定するダイ吸着体固定凹部が形成され、前記ダイ吸着体固定凹部と前記ダイ吸着体間に吸引空間部を形成するように、前記ダイ吸着体は前記ダイ吸着体固定凹部に固定されていることを特徴とする。
【0016】
上記課題を解決するための本発明の請求項3は、請求項1又は2において、前記ダイ吸着体は、ポーラス構造の焼結体又は発泡金属よりなることを特徴とする。
【0017】
上記課題を解決するための本発明の請求項4は、請求項1において、前記突き上げ板の上面は、平坦であることを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を図1により説明する。粘着シート1に貼り付けられたウェーハは、ダイシングされて複数のダイ2に分割されており、粘着シート1はXY方向に移動する図示しない枠体に固定されている。粘着シート1の下方には、該粘着シート1を真空吸着する吸着穴10が形成された吸着ステージ11が配設されており、吸着ステージ11内には、上面が平坦でダイ2を突き上げる突き上げ部材12が配設されている。
【0019】
粘着シート1の上方には、真空吸引穴20が形成されたコレット21が配設されており、コレット21は図示しないスプリングで下方に付勢されており、図示しない駆動手段で上下動及びXY方向に移動させられる。コレット21の下端部には、ダイ吸着体固定凹部22が形成されており、ダイ吸着体固定凹部22には、ダイ2を真空吸着するダイ吸着体23が吸引空間部24を形成するように固定されている。ダイ吸着体23は、多数の微細な吸着穴を有するポーラス構造よりなる焼結体又は発泡金属よりなり、吸着面25は、ダイ2の上面全体を吸着する大きさで平坦に形成されている。
【0020】
次に作用について説明する。吸着ステージ11で粘着シート1を吸着し、コレット21が下降してダイ吸着体23はダイ2を吸着する。続いて突き上げ部材12が吸着ステージ11の上面より上昇する。次にコレット21はダイ吸着体23がダイ2を吸着したまま上昇する。これにより、コレット21は粘着シート1から確実にダイ2を剥離させ、XY移動させられてダイ2を所定の場所に搬送する。
【0021】
コレット21によるダイ2の吸着は、真空吸引穴20より吸引空間部24を通してダイ吸着体23の平坦な吸着面25でダイ全体を吸着するので、突き上げ部材12によってダイ2を突き上げて粘着シート1を剥離させる時に、面積が大きくて薄型ダイも破損させることがない。またダイ吸着体23は多数の微細な吸着穴から構成されているので、ダイ2の上面全体を均一な吸着力で吸着することができ、吸着による部分的な応力集中が起きなく、安定して薄型のダイ2を吸着できる。またダイ吸着体23に微細な多数の穴を加工するのはコスト高になるが、ダイ吸着体23をポーラス構造よりなる焼結体又は発泡金属で構成することにより、安価に製作できる。また突き上げ部材12の上面を平坦に形成することにより、ダイ2を破損させることもない。
【0022】
【発明の効果】
本発明は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されているので、面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 粘着シート
2 ダイ
10 吸着穴
11 吸着ステージ
12 突き上げ部材
20 真空吸引穴
21 コレット
22 ダイ吸着体固定凹部
23 ダイ吸着体
24 吸引空間部
25 吸着面
Claims (4)
- ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されていることを特徴とするダイピックアップ装置。
- 前記コレットの下端部には、前記ダイ吸着体を固定するダイ吸着体固定凹部が形成され、前記ダイ吸着体固定凹部と前記ダイ吸着体間に吸引空間部を形成するように、前記ダイ吸着体は前記ダイ吸着体固定凹部に固定されていることを特徴とする請求項1記載のダイピックアップ装置。
- 前記ダイ吸着体は、ポーラス構造の焼結体又は発泡金属よりなることを特徴とする請求項1又は2記載のダイピックアップ装置。
- 前記突き上げ板の上面は、平坦であることを特徴とする請求項1記載のダイピックアップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003058553A JP2004273529A (ja) | 2003-03-05 | 2003-03-05 | ダイピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003058553A JP2004273529A (ja) | 2003-03-05 | 2003-03-05 | ダイピックアップ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004273529A true JP2004273529A (ja) | 2004-09-30 |
Family
ID=33121640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003058553A Withdrawn JP2004273529A (ja) | 2003-03-05 | 2003-03-05 | ダイピックアップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004273529A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006319150A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nec Corp | 半導体チップのピックアップ装置および半導体チップのピックアップ方法 |
JP2007042684A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-15 | Oiles Ind Co Ltd | コレット |
KR101350565B1 (ko) | 2011-09-21 | 2014-01-14 | 세메스 주식회사 | 다이 픽업 방법 |
-
2003
- 2003-03-05 JP JP2003058553A patent/JP2004273529A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006319150A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nec Corp | 半導体チップのピックアップ装置および半導体チップのピックアップ方法 |
JP2007042684A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-15 | Oiles Ind Co Ltd | コレット |
KR101350565B1 (ko) | 2011-09-21 | 2014-01-14 | 세메스 주식회사 | 다이 픽업 방법 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060509 |