JP3945632B2 - チップのピックアップ装置、その製造方法、及び半導体製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品等のチップを供給するためのチップのピックアップ装置、その製造方法、及び半導体製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の従来の装置としては、例えば図6(a)及び(b)に示す様なものがある。この装置では、シート101上に貼り付けられた電子部品等のチップ102を該シート101を介してニードル103により突き上げ、これによりチップ102をシート101から剥離させ、更にコレット(図示せず)によりチップ102を吸着して拾い上げ、チップ102をダイボンド装置のダイボンドヘッド等に供給する。
【0003】
また、図7(a)及び(b)に示す様にシート101を内側円筒リング111に覆い被せ、シート101を張った状態で、外側円筒リング112を内側円筒リング111に嵌合させて、シート101の周縁を挟み込んで支持し、シート101上に多数のチップ102を配列して貼り付けている。このシート101を移動させつつ、各チップ102をニードル103により順次突き上げて剥離させる。
【0004】
ここでは、シート101の周縁を支持しているだけであるから、1つのチップ102をニードル103により突き上げると、シート101の全体が伸びる。このため、チップ102をシート101から十分に剥離させるには、ニードル103による突き上げストロークを大きくする必要がある。また、チップ102をシート101から確実に剥離させるには、ニードル103の先端を適宜に細くする必要がある。しかしながら、ニードル103による突き上げのストロークを大きくし、ニードル103の先端を細くすると、シート101がニードル103を突き破るという事態を生じた。
【0005】
また、シート101の中央付近と周縁付近では、シート101の伸びる様子が変化し、チップ102をシート101から剥離させるためのニードル103の最適な突き上げストロークが異なるものの、このストロークの調整及び制御が困難であった。
【0006】
更に、ニードル103による突き上げを繰り返すと、シート101が徐々に伸びてしまって、チップ102を剥離させることが次第に困難になり、この剥離作業を安定に行うことができなかった。
【0007】
このため、図8に示す様な装置が提案されている。この装置では、筒状体のステージ121の内側にニードル122を挿入して配置している。そして、シート101をステージ121の球面状の上端により押し上げることにより、シート101のいずれの位置においてもステージ121の上端近傍でシート101に一定のテンションを与えておき、その上でステージ121の上端のチップ102をニードル122により突き上げて剥がしている。この場合は、ステージ121の上端近傍でシート101に一定のテンションを与えているので、ニードル122の突き上げストロークを一定にすることができる。また、ステージ121の上端近傍では、シート101が伸ばされるので、チップ102がシート101から半ば剥がされ、ニードル122の突き上げに際しては、チップ102を容易に剥がすことができる。
【0008】
しかしながら、この様な従来の装置においては、ニードル122の突き上げストロークを一定にすることができても、シート101の中央付近と周縁付近では、シート101に一定のテンションを与えるためのステージ121の昇降位置が異なり、このステージ121の位置調整及び制御が困難であった。
【0009】
このため、図9に示す様な装置が提案されている。この装置では、筒状体のステージ131の内側にニードル132を配置し、ステージ131の平板部131aの中央にニードル132が突出するニードル孔131bを形成すると共に、平板部131aのニードル孔131bの周囲に複数の吸引孔131cを形成している。そして、ステージ131の内側の空気を吸引して排出することにより、平板部131aの各吸引孔131cによりシート101を平板部131aに吸着し、その上でチップ102をニードル132により突き上げて剥がしている。この場合は、シート101を平板部131aに吸引していることから、ニードル132の突き上げストロークを一定にすることができ、かつステージ131の位置を変更したり調整する必要がない。
【0010】
これらの従来の装置のうちでは、図9に示す装置が現在主に用いられている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図9に示す装置では、ニードル孔131bと各吸引孔131cがステージ131内部で連通しており、このためにニードル孔131bからも空気が吸引され、実際には、図10に示す様にニードル132の先端にシート101が密着してしまい、ニードル132の先端でシート101が伸びず、チップ102をシート101から剥がし難いという問題点があった。
【0012】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、ニードルの突き上げストロークやステージの昇降位置の格別な調整を必要とせず、チップをシートから容易に剥がすことが可能なチップのピックアップ装置、その製造方法、及び半導体製造装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、シートに貼り付けられたチップを該シートを介してニードルで突き上げ、これによりチップをシートから剥離させるチップのピックアップ装置において、シートを載せるステージを有し、ステージは、立設された筒状体と、この筒状体内に配置された該筒状体とは別体のニードル保持体と、このニードル保持体に形成されたニードル孔を通じてニードル保持体及び筒状体上に載せられたシートに突出されるニードルとを備えており、ニードル保持体の外周に該ニードル保持体と筒状体の内周間に介在するスペーサを設けて、筒状体の内周とニードル保持体の外周間に隙間を形成し、この隙間をニードル保持体及び筒状体上にシートを吸着するための空気の吸引通気孔として用い、この吸引通気孔をニードル保持体のニードル孔とは分離させ、ニードル保持体のスペーサに溝を形成して、このスペーサの溝を通じて該吸引通気孔が繋がるようにし、ニードル保持体のスペーサを筒状体の上側内壁に当接させて、ニードル保持体を位置決めしている。
【0014】
この様な構成の本発明によれば、シートを載せるステージに、ニードルを突出させるニードル孔とシートをステージ上に吸着するための吸引通気孔とを分離形成している。従って、シートを吸引通気孔によりステージに吸着した状態で、チップをニードルにより突き上げてシートから剥がすことができ、ニードルの突き上げストロークやステージの位置の格別な調整を必要としない。しかも、ニードル孔と吸引通気孔を分離形成していることから、ニードル孔で空気が吸引されることがなく、空気の吸引によりニードルの先端にシートが密着することもないので、チップをシートから容易に剥がすことができる。
【0016】
また、その様な簡単な構成により、ニードル孔の周囲に吸引通気孔を形成することができ、シートが吸引されている領域のほぼ中央で、チップをシートを介してニードルで突き上げて、チップを確実に剥がすことができる。
【0017】
更に、本発明においては、複数のスペーサを上下方向に分離配置している。
【0018】
ニードル保持体を筒状体の内側に圧入する場合は、各スペーサを上下方向に分離配置すると、この圧入を容易に行ない得る。また、ニードル保持体を筒状体の内側に確実に位置決めすることができる。
【0019】
また、本発明においては、吸引通気孔によるシートを介してのチップの吸引エリアのサイズが該チップのサイズよりも小さくなる様に、ステージ上での吸引通気孔の形状を設定している。
【0020】
この様にチップの吸引エリアのサイズを該チップのサイズよりも小さくすれば、ステージ上でシートを移動させているときに、チップが吸引通気孔に嵌まり込まずに済む。
【0021】
更に、本発明においては、吸引通気孔は、ニードル孔に対して対称形状を有する。
【0022】
この場合は、ニードル孔に対して対称なそれぞれの個所で、シートが吸引される。このため、チップをシートを介してニードルで突き上げると、ニードル先端と該各個所間で発生したそれぞれの応力がシートに分散して作用し、チップに作用する応力も分散される。これにより、チップが損傷したり、チップがシートから弾き飛ばされることを防止することができる。例えば、ニードル孔に対して同心円形状の吸引通気孔であれば、対称形状の吸引通気孔を容易に形成することができる。更に、チップのほぼ全域を吸着し得る形状の吸引通気孔が好ましい。この場合は、チップをシートを介してニードルで突き上げたときに、チップがシートから確実に剥がれる。
【0023】
また、本発明においては、複数の吸引通気孔をニードル孔に対して対称形状となる様に配置している。
【0024】
この場合は、吸引通気孔によるシートを介してのチップの吸引エリアの形状を自在に設定し易くなる。また、チップに対しての吸引力を適宜に分散させることが可能になる。
【0025】
更に、本発明においては、ステージ上では、ニードル孔のサイズをチップのサイズ以下としている。
【0026】
この様にニードル孔のサイズを設定すれば、ステージ上でシートを移動させているときに、チップがニードル孔に嵌まり込まずに済む。
【0027】
また、本発明においては、ニードルの先端を平坦にしている。
【0028】
この場合は、チップをニードルで突き上げたときに、ニードルの先端がシートを突き破ることがなく、チップに作用する応力を分散させて、チップを損傷させずに剥がすことができる。更に、チップをシートを介してニードルの平坦な先端で突き上げた状態で、シートを突き破ることなくチップをシートから剥がすと、シートの小片又はその粘着剤の小片がチップに付着することはなく、このチップを拾い上げた後の製造工程においては、チップの裏面へのシートの小片、その粘着剤等の付着によるダイボンド不良等の発生を防止することができる。
【0029】
更に、本発明においては、ニードルの平坦な先端のサイズをチップのサイズ以下としている。例えば、ニードルの平坦な先端の直径をチップの短辺の長さの1/2乃至1/5にする。あるいは、ニードルの平坦な先端の直径をチップの短辺の長さの略1/4にする。
【0030】
この様なニードルの平坦な先端のサイズの設定により、シートを突き破ることなく、チップをシートから確実に剥がすことができる。
【0031】
次に、本発明は、シートに貼り付けられたチップを該シートを介してニードルで突き上げることにより、チップをシートから剥離させるチップのピックアップ装置の製造方法において、立設された筒状体内に該筒状体とは別体のニードル保持体を配置し、ニードル保持体及び筒状体上に載せられたシートに突出されるニードルをニードル保持体に形成されたニードル孔に挿入し、ニードル保持体の外周に該ニードル保持体と筒状体の内周間に介在するスペーサを設けて、筒状体の内周とニードル保持体の外周間に隙間を形成し、この隙間をニードル保持体及び筒状体上にシートを吸着するための空気の吸引通気孔として用い、この吸引通気孔をニードル保持体のニードル孔とは分離させ、ニードル保持体のスペーサに溝を形成して、このスペーサの溝を通じて該吸引通気孔が繋がるようにし、ニードル保持体のスペーサを筒状体の上側内壁に当接させて、ニードル保持体を位置決めしている。
【0032】
この様な本発明の製造方法によれば、本発明のピックアップ装置を容易に作製することができる。
【0033】
また、本発明の半導体製造装置は、本発明のピックアップ装置を備えている。
【0034】
この様な本発明の半導体製造装置においては、本発明のピックアップ装置を備えているので、チップをシートから剥離させて拾い上げる工程を確実かつ速やかに行なうことができ、この工程の遅れや停止等が発生せずに済み、この工程に引き続くダイボンド工程やワイヤボンド工程のタクト時間を短縮することができる。このため、信頼性の高いダイボンド装置やワイヤボンド装置等の半導体製造装置を実現することができる。
【0035】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【0036】
図1は、本発明のピックアップ装置の一実施形態を部分的に示す断面図である。本実施形態のピックアップ装置11では、筒状体12を立設し、筒状体12の内側にニードル保持体13を配置して、ステージ14を構成している。また、筒状体12の内周とニードル保持体13の外周間に隙間を形成して、この隙間を空気の吸引通気孔15としている。更に、ニードル保持体13にニードル孔16を形成して、このニードル孔16にニードル17を挿入している。
【0037】
吸引通気孔15は、真空ポンプ(図示せず)に接続されており、この真空ポンプにより吸引通気孔15内の空気が吸引される。また、ニードル孔16は、吸引通気孔15から全く分離して形成されているため、このニードル孔16内の空気が吸引されることはない。
【0038】
図2(a)、(b)、及び(d)は、筒状体12、ニードル保持体13、及びニードル17をそれぞれ示す側面図である。また、図2(c)は、ニードル保持体13を示す平面図である。
【0039】
筒状体12は、金属製の円筒状のものであり、その上端部に孔12aを有し、その下端部にフランジ12bを有している。このフランジ12bを装置本体に取り付けて、ステージ14を位置決め固定する。
【0040】
ニードル保持体13は、その上端部に円筒枠13aを有しており、この円筒枠13aの内側からニードル17を突出させる。ニードル保持体13の外周には、2つのスペーサ18,19を設け、各スペーサ18,19にそれぞれの溝18a,19aを形成している。
【0041】
ニードル保持体13を筒状体12の内側に挿入して、ニードル保持体13の各スペーサ18,19を筒状体12に圧入し、スペーサ18を筒状体12の上側内壁12cに当接させて、筒状体12とニードル保持体13を一体化させる。各スペーサ18,19により、筒状体12の内周とニードル保持体13の外周間に隙間が形成され、この隙間が吸引通気孔15となる。各スペーサ18,19にそれぞれの溝18a,19aを形成しているので、吸引通気孔15が各スペーサ18,19により塞がれることはない。また、ニードル保持体13の円筒枠13aの外径が筒状体12の孔12aの内径よりも小さく、ステージ14の上面では吸引通気孔15がニードル孔16に対して同心円を描く。ステージ14の上面において、吸引通気孔15をニードル孔16に対して対称に配置するならば、この同心円状の吸引通気孔15が最も製作し易い。
【0042】
また、各スペーサ18,19を2個所に分けて設けていることから、各スペーサ18,19を圧入するための力が小さくなり、ステージ14の組み立てが容易である。仮に、ニードル保持体13の外周全体をほぼ覆うスペーサを設けた場合は、このスペーサを圧入するための力が非常に大きくなってしまい、ステージ14の組み立てが困難になる。また、各スペーサ18,19を圧入する場合は、ニードル保持体13を筒状体12に固定するために接着剤を用いる必要がないので、後で述べる様な電子部品等のチップを扱うに際し、チップが接着剤により汚染されずに済む。更に、筒状体12の上端面並びにニードル保持体13の円筒枠13aの上端面、つまりステージ14の上面を平滑に加工することが容易であり、使用中に筒状体12とニードル保持体13間にガタが生じて、ステージ14の上面が変形することもない。
【0043】
ニードル17の先端部17aは、平坦化されており、この先端部17aの直径をDとすると、この直径Dをチップのサイズよりも小さくしている。
【0044】
このピックアップ装置11においては、ステージ14上に、図7に示す様な多数のチップ102を配列して貼り付けたシート101が載置される。このとき、図1に示す様にシート101により吸引通気孔15が塞がれるので、吸引通気孔15内が負圧となり、シート101がステージ14上に吸着される。ただし、ニードル孔16が吸引通気孔15から全く分離しているため、ニードル孔16の近傍ではシート101が吸着されない。
【0045】
ここで、図3に示す様にシート101を矢印Aの方向に移動させて、図1に示す様に1つのチップ102をニードル17の先端部17aの真上に位置決めする。そして、ニードル17をニードル孔16から突出させて、該チップ102をシート101を介してニードル17で突き上げると、吸引通気孔15の近傍ではシート101が吸着され、かつニードル孔16の近傍ではシート101が吸着されないことから、シート101がニードル孔16の近傍のみで伸びてステージ14から離間し、該チップ102がシート101より剥離される。更に、コレット(図示せず)によりチップ102を吸着して拾い上げ、チップ102をダイボンド装置のダイボンドヘッド等に供給する。
【0046】
この様に本実施形態では、シート101をステージ14上に吸着した状態で、チップ102をニードル17で突き上げて剥がすので、ニードル17の突き上げストロークを一定にすることができ、かつステージ14の位置を変更したり調整する必要がない。しかも、ニードル孔16に空気が吸引されることがないので、従来の様にニードルの先端にシート101が密着することはなく、チップ102をシート101から剥がし難くなることもない。
【0047】
また、吸引通気孔15をニードル孔16に対して同心円状に配置しているので、ニードル孔16の周囲全体で、シート101が吸引される。このため、チップ102をシート101を介してニードル17で突き上げたときに、ニードル17の先端部17aとニードル孔16の周囲全体との間で発生した応力がシート101に分散して作用し、チップ102に作用する応力も分散される。これにより、チップ102が損傷したり、チップ102がシート101から弾き飛ばされることを防止することができる。
【0048】
また、ニードル17の先端部17aを平坦化しているので、シート101を突き破らずに、チップ102を容易に剥離することができる。しかも、これによっても、チップ102に作用する応力を分散させることができ、チップ102が損傷したり、チップ102が弾き飛ばされることを防止することができる。更に、シート101の小片及びその粘着剤の小片がチップ102の裏面に付着することがなく、ダイボンド装置等においては、チップ102の裏面のシートの小片、シートの粘着剤等の付着によるダイボンド不良等の発生を防止することができる。
【0049】
通常は、ニードル17の先端部17aの直径Dをチップ102の短辺の長さの1/2乃至1/5に設定することが望ましく、更には直径Dをチップ102の短辺の長さの略1/4に設定することが最も好ましい。例えば、チップ102の短辺の長さが180μm〜220μmである場合は、ニードル17の先端部17aの直径Dを30μm、50μm、及び100μm程度に設定すると、チップ102をシート101から容易に剥離することができる。そして、直径Dをチップ102の短辺の長さの略1/4に相当する50μmに設定したときに、チップ102をシート101から最も良好に剥離することができる。
【0050】
また、ステージ14の上面におけるニードル孔16の内径をチップ102の短辺の長さ以下に設定している。これにより、シート101の移動中に、チップ102がニードル孔16に嵌まり込まずに済む。
【0051】
一方、ステージ14の上面における吸引通気孔15の内径を可能な限り小さくすることが望ましい。これは、吸引通気孔15がニードル孔16に接近する程、チップ102をシート101から剥離するのに必要なニードル17の突き上げストロークを短くすることができるためである。
【0052】
また、ステージ14の上面における吸引通気孔15の幅h(図3に示す)は、チップ102が吸引通気孔15に嵌まり込まない様に、十分な吸引力が得られる範囲で狭くした方が良い。特に、シート101の矢印Aの移動方向では、吸引通気孔15の幅hをチップ102の幅よりも狭くする。あるいは、チップ102が矩形であるから、吸引通気孔15の幅hをチップ102の短辺よりも狭くする。仮に、吸引通気孔15の幅hをチップ102の幅あるいは短辺よりも広くすると、チップ102が吸引通気孔15に嵌まり込むことがある。
【0053】
図4は、ピックアップ装置11の変形例を示す平面図である。ここでは、チップ102Aとして、長辺と短辺の長さが大きく異なるものを想定して、筒状体12の孔12aの形状を長円形に設定している。従って、吸引通気孔15は、ステージ14の上面において長円形となり、ニードル孔16に対して対称ではあるが、同心円状ではない。チップ102Aの長辺に沿って、吸引通気孔15を長くしているので、チップ102Aのほぼ全域を吸引通気孔15により吸引することができる。チップ102Aの長辺方向については、チップ102Aがより強くシート101に付着しているものの、長円形の吸引通気孔15によりシート101をステージ14上に確実に吸引して、チップ102Aをシート101から容易に剥がすことができる。また、シート101の矢印Aの移動方向では、吸引通気孔15の幅hが狭く保たれており、チップ102Aが吸引通気孔15に嵌まり込むことはない。
【0054】
図5は、ピックアップ装置11の他の変形例を示す平面図である。ここでは、筒状体12の上端部の孔12aの径を小さくして、この孔12aにニードル保持体13の上端部の円筒枠13aを嵌合させ、また筒状体12の上端部に複数の孔12dをニードル孔16に対して対称形状となる様に形成している。すなわち、ステージ14の上面においては、吸引通気孔15に通じる各孔12dをニードル孔16に対して対称に配置している。この場合は、各孔12dによるシート101を介してのチップ102の吸引エリアの形状を自在に設定することができ、それぞれの孔12dのサイズをチップ102のサイズ以下に設定しても、大きな吸着力を得ることができる。また、チップ102に対しての吸引力を適宜に分散させることができ、チップ102が損傷したり、チップ102がシート101から弾き飛ばされることを防止することができる。
【0055】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、多様に変形することができる。例えば、ステージ上面における吸引通気孔の形状、個数、配置等を多様に変更しても構わない。また、本発明は、ピックアップ装置だけではなく、このピックアップ装置を備えるダイボンド装置やワイヤボンド装置等の半導体製造装置をも包含する。
【0056】
【発明の効果】
以上説明した様に本発明によれば、シートを吸引通気孔によりステージに吸着した状態で、チップをニードルにより突き上げてシートから剥がすことができ、ニードルの突き上げストロークやステージの位置の格別な調整を必要としない。しかも、ニードル孔と吸引通気孔を分離形成していることから、ニードル孔で空気が吸引されることがなく、空気の吸引によりニードルの先端にシートが密着することもないので、チップをシートから容易に剥がすことができる。
【0057】
また、本発明によれば、ニードル保持体の外周にスペーサを設けて、このスペーサにより筒状体の内周とニードル保持体の外周間に隙間を形成し、筒状体及びニードル保持体の上端面にシートを載せ、ニードルを突出させるニードル孔をニードル保持体に形成し、筒状体の内周とニードル保持体の外周間の隙間を空気の吸引通気孔として用いている。この様な簡単な構成により、ニードル孔の周囲に吸引通気孔を形成することができ、シートが吸引されている領域のほぼ中央で、チップをシートを介してニードルで突き上げて、チップを確実に剥がすことができる。
【0058】
更に、本発明によれば、各スペーサを上下方向に分離配置しているので、ニードル保持体を筒状体の内側に容易に圧入することができる。また、ニードル保持体を筒状体の内側に確実に位置決めすることができる。
【0059】
また、本発明によれば、チップの吸引エリアのサイズを該チップのサイズよりも小さくしているので、ステージ上でシートを移動させているときに、チップが吸引通気孔に嵌まり込まずに済む。
【0060】
更に、本発明によれば、吸引通気孔は、ニードル孔に対して対称形状を有するので、ニードル孔に対して対称なそれぞれの個所で、シートが吸引される。このため、チップをシートを介してニードルで突き上げると、ニードル先端と該各個所間で発生したそれぞれの応力がシートに分散して作用し、チップに作用する応力も分散される。これにより、チップが損傷したり、チップがシートから弾き飛ばされることを防止することができる。
【0061】
また、本発明によれば、複数の吸引通気孔をニードル孔に対して対称形状となる様に配置しているので、吸引通気孔によるシートを介してのチップの吸引エリアの形状を自在に設定し易くなる。また、チップに対しての吸引力を適宜に分散させることが可能になる。例えば、ニードル孔に対して同心円形状の吸引通気孔であれば、対称形状の吸引通気孔を容易に形成することができる。更に、チップのほぼ全域を吸着し得る形状の吸引通気孔が好ましい。この場合は、チップをシートを介してニードルで突き上げたときに、チップがシートから確実に剥がれる。
【0062】
更に、本発明によれば、ステージ上では、ニードル孔のサイズをチップのサイズ以下としているので、ステージ上でシートを移動させているときに、チップがニードル孔に嵌まり込まずに済む。
【0063】
また、本発明によれば、ニードルの先端を平坦にしているので、チップをニードルで突き上げたときに、ニードルの先端がシートを突き破ることがなく、チップに作用する応力を分散させて、チップを損傷させずに剥がすことができる。更に、チップをシートを介してニードルの平坦な先端で突き上げた状態で、チップをシートから剥がすと、シートの小片、その粘着剤の小片等がチップの裏面に付着することはなく、このチップを拾い上げた後の製造工程においては、チップの裏面にシートの小片、その粘着剤等の付着によるダイボンド不良等の発生を防止することができる。
【0064】
更に、本発明によれば、ニードルの平坦な先端のサイズをチップのサイズ以下としている。例えば、ニードルの平坦な先端の直径をチップの短辺の長さの1/2乃至1/5にする。あるいは、ニードルの平坦な先端の直径をチップの短辺の長さの略1/4にする。これにより、シートを突き破ることなく、チップをシートから確実に剥がすことができる。
【0065】
次に、本発明の製造方法によれば、ニードル保持体の外周にスペーサを設け、ニードル保持体を筒状体の内側に嵌合させ、スペーサを筒状体の内周とニードル保持体の外周間に挟み込んで、この間に隙間を形成し、ニードルを突出させるニードル孔をニードル保持体に形成し、筒状体の内周とニードル保持体の外周間の隙間をシートを真空吸着する吸引通気孔として用いている。これにより、本発明のピックアップ装置を容易に作製することができる。
【0066】
また、本発明の半導体製造装置においては、本発明のピックアップ装置を備えているので、チップをシートから剥離させて拾い上げる工程を確実かつ速やかに行なうことができ、この工程に引き続くダイボンド工程やワイヤボンド工程のタクト時間を短縮することができる。従って、信頼性の高いダイボンド装置やワイヤボンド装置等の半導体製造装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のピックアップ装置の一実施形態を部分的に示す断面図である。
【図2】(a)、(b)、及び(d)は本実施形態のピックアップ装置における筒状体、ニードル保持体、及びニードルをそれぞれ示す側面図であり、また(c)はニードル保持体を示す平面図である。
【図3】本実施形態のピックアップ装置におけるステージ上のチップを示す平面図である。
【図4】本実施形態のピックアップ装置の変形例を示す平面図である。
【図5】本実施形態のピックアップ装置の他の変形例を示す平面図である。
【図6】(a)は従来の装置を示す側面図であり、(b)は同装置の動作状態を示す側面図である。
【図7】(a)及び(b)は、複数のチップをシート上に配列して貼り付けた状態を示す平面図及び側面図である。
【図8】従来の他の装置を示す側面図である。
【図9】従来の別の装置を示す側面図である。
【図10】図9の装置の動作状態を示す側面図である。
【符号の説明】
11 ピックアップ装置
12 筒状体
13 ニードル保持体
14 ステージ
15 吸引通気孔
16 ニードル孔
17 ニードル
18,19 スペーサ
101 シート
102 チップ
Claims (7)
- シートに貼り付けられたチップを該シートを介してニードルで突き上げ、これによりチップをシートから剥離させるチップのピックアップ装置において、
シートを載せるステージを有し、
ステージは、立設された筒状体と、この筒状体内に配置された該筒状体とは別体のニードル保持体と、このニードル保持体に形成されたニードル孔を通じてニードル保持体及び筒状体上に載せられたシートに突出されるニードルとを備えており、
ニードル保持体の外周に該ニードル保持体と筒状体の内周間に介在するスペーサを設けて、筒状体の内周とニードル保持体の外周間に隙間を形成し、この隙間をニードル保持体及び筒状体上にシートを吸着するための空気の吸引通気孔として用い、
この吸引通気孔をニードル保持体のニードル孔とは分離させ、ニードル保持体のスペーサに溝を形成して、このスペーサの溝を通じて該吸引通気孔が繋がるようにし、
ニードル保持体のスペーサを筒状体の上側内壁に当接させて、ニードル保持体を位置決めしたことを特徴とするチップのピックアップ装置。 - 複数のスペーサを上下方向に分離配置したことを特徴とする請求項1に記載のチップのピックアップ装置。
- 吸引通気孔は、ニードル孔に対して対称形状を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のチップのピックアップ装置。
- 複数の吸引通気孔をニードル孔に対して対称形状となる様に配置したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のチップのピックアップ装置。
- ニードルの先端を平坦にしたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のチップのピックアップ装置。
- シートに貼り付けられたチップを該シートを介してニードルで突き上げることにより、チップをシートから剥離させるチップのピックアップ装置の製造方法において、
立設された筒状体内に該筒状体とは別体のニードル保持体を配置し、ニードル保持体及び筒状体上に載せられたシートに突出されるニードルをニードル保持体に形成されたニードル孔に挿入し、
ニードル保持体の外周に該ニードル保持体と筒状体の内周間に介在するスペーサを設けて、筒状体の内周とニードル保持体の外周間に隙間を形成し、この隙間をニードル保持体及び筒状体上にシートを吸着するための空気の吸引通気孔として用い、
この吸引通気孔をニードル保持体のニードル孔とは分離させ、ニードル保持体のスペーサに溝を形成して、このスペーサの溝を通じて該吸引通気孔が繋がるようにし、
ニードル保持体のスペーサを筒状体の上側内壁に当接させて、ニードル保持体を位置決めしたことを特徴とするチップのピックアップ装置の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載のチップのピックアップ装置を備えることを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002029799A JP3945632B2 (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | チップのピックアップ装置、その製造方法、及び半導体製造装置 |
TW92101589A TWI234222B (en) | 2002-02-06 | 2003-01-24 | Chip pickup device, its manufacturing method and semiconductor manufacturing device |
CNB031031382A CN1329969C (zh) | 2002-02-06 | 2003-01-30 | 芯片拾取装置及其制造方法以及半导体制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002029799A JP3945632B2 (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | チップのピックアップ装置、その製造方法、及び半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003234396A JP2003234396A (ja) | 2003-08-22 |
JP3945632B2 true JP3945632B2 (ja) | 2007-07-18 |
Family
ID=27654716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002029799A Expired - Lifetime JP3945632B2 (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | チップのピックアップ装置、その製造方法、及び半導体製造装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3945632B2 (ja) |
CN (1) | CN1329969C (ja) |
TW (1) | TWI234222B (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7240422B2 (en) * | 2004-05-11 | 2007-07-10 | Asm Assembly Automation Ltd. | Apparatus for semiconductor chip detachment |
US7303647B2 (en) * | 2004-10-29 | 2007-12-04 | Asm Assembly Automation Ltd. | Driving mechanism for chip detachment apparatus |
WO2007026497A1 (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-08 | Shibaura Mechatronics Corporation | 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
JP4629624B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2011-02-09 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
JP2011187665A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Denso Corp | 半導体チップのピックアップ装置 |
CN102254787B (zh) * | 2010-05-21 | 2013-04-24 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 半导体芯片分离装置及半导体芯片分离方法 |
TWI453851B (zh) * | 2010-05-21 | 2014-09-21 | Taiwan Semiconductor Mfg | 半導體晶片分離裝置及半導體晶片分離方法 |
CN104871659B (zh) * | 2012-12-20 | 2017-10-03 | 富士机械制造株式会社 | 裸片供给装置 |
CN103659813A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-03-26 | 大连佳峰电子有限公司 | 一种用于半导体晶片吸取的机构运动控制方法 |
CN109148352B (zh) * | 2018-08-02 | 2020-11-27 | 上海天马微电子有限公司 | 转移头阵列、转移头和转移无机发光二极管的方法 |
US20230129417A1 (en) * | 2021-02-17 | 2023-04-27 | Shinkawa Ltd. | Pickup apparatus and pickup method of semiconductor die |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60211949A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-24 | Tokyo Sokuhan Kk | ダイボンダにおけるチツプのピツクアツプ方法 |
JPH09283540A (ja) * | 1996-04-15 | 1997-10-31 | Sony Corp | ダイボンディング装置におけるチップピックアップ構造及び方法 |
JPH1092907A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Nec Corp | 半導体チップのピックアップユニット及びそのピックア ップ方法 |
JP3440803B2 (ja) * | 1998-02-06 | 2003-08-25 | 松下電器産業株式会社 | チップの突き上げ方法 |
JP3611962B2 (ja) * | 1998-03-26 | 2005-01-19 | 松下電器産業株式会社 | チップの突き上げ装置 |
-
2002
- 2002-02-06 JP JP2002029799A patent/JP3945632B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-01-24 TW TW92101589A patent/TWI234222B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-01-30 CN CNB031031382A patent/CN1329969C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003234396A (ja) | 2003-08-22 |
TWI234222B (en) | 2005-06-11 |
TW200303067A (en) | 2003-08-16 |
CN1329969C (zh) | 2007-08-01 |
CN1437234A (zh) | 2003-08-20 |
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Legal Events
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100420 Year of fee payment: 3 |
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