JP2008004936A - 一対のイジェクタを具備する半導体チップの脱着装置及びこれを利用した半導体チップの脱着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ホルダ、第1イジェクタ及び第2イジェクタを備え、前記ホルダは、テープ上に接着された少なくとも一つ以上の半導体チップを搭載するための上面を備え、前記上面が貫通穴を有し、前記第1イジェクタは、前記ホルダ上の前記半導体チップを押し上げるように前記ホルダの前記貫通穴を介して第1長さほど昇降し、前記第2イジェクタは、前記ホルダ上の前記半導体チップを押し上げるように前記ホルダの前記貫通穴を介して第1長さより長い第2長さほど昇降する半導体チップの脱着装置である。
【選択図】図1
Description
60 テープ
70 コレット
110 ホルダ
112 ホルダの上面
114 (第3)真空チャンネル
115 貫通孔
116 ホール
120 第1イジェクタ
122 第1イジェクタの本体
125 エッジ突出部
130 第1タブ
132 第1真空チャンネル
140 サセプタ
145 スプリング
150 シャフト
160 第2イジェクタ
160a 第2イジェクタ
160b 第2イジェクタ
165 第2タブ
167 第2真空チャンネル
Claims (27)
- 半導体チップの脱着装置であって、
テープ上に接着された少なくとも一つ以上の半導体チップを搭載するための上面を備え、前記上面が貫通穴を有するホルダと、
前記ホルダ内に配置され、前記ホルダ上の半導体チップを押し上げるように、前記ホルダの貫通穴を介して前記ホルダの長手方向に第1長さほど昇降する第1イジェクタと、
前記ホルダ内に配置され、前記ホルダ上の半導体チップを押し上げるように、前記ホルダの貫通穴を介して前記ホルダの長手方向に前記第1長さより長い第2長さほど昇降する第2イジェクタと、
を備えることを特徴とする半導体チップの脱着装置。 - 前記第1イジェクタ及び前記第2イジェクタに共通に動力を伝達するシャフトをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記第1イジェクタは、前記ホルダの内部で動くように、前記ホルダの貫通穴より広い断面積の本体、及び前記ホルダの貫通穴内を昇降するように、前記本体から突出した複数の第1タブを備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記シャフトに固定され、前記第2イジェクタを支持するサセプタをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記サセプタは、弾性体を介在して前記第1イジェクタ内部に配置されたことを特徴とする請求項4に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記サセプタは、磁気力を利用して前記第2イジェクタを支持することを特徴とする請求項4に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記弾性体は、スプリングを備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記第1イジェクタは、前記テープを吸着するための第1真空チャンネルを備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記第2イジェクタは、前記テープを吸着するための第2真空チャンネルを備えることを特徴とする請求項8に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記第1真空チャンネル及び前記第2真空チャンネルは、互いに連結されたことを特徴とする請求項9に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記ホルダは、前記上面を貫通して形成された第3真空チャンネルをさらに備えることを特徴とする請求項9に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記第2イジェクタは、少なくとも一つ以上のピンを備えることを特徴とする請求項8に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記ホルダの上面は円形であり、前記ホルダの貫通穴は、前記半導体チップの外形と同じ形状を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体チップの脱着装置。
- 半導体チップの脱着装置であって、
テープ上に接着された少なくとも一つ以上の半導体チップを搭載するための上面を備え、前記上面が貫通穴を有するホルダと、
前記ホルダ内に配置され、前記ホルダの内部で動くように、前記ホルダの貫通穴より広い断面積の本体、及び前記ホルダの貫通穴内を昇降するように、前記本体から突出した複数の第1タブを有し、前記第1タブの間に第1真空チャンネルが限定された第1イジェクタと、
前記ホルダ内に配置され、前記ホルダの貫通穴内を昇降するように、前記第1イジェクタの内部に配置された第2イジェクタと、
を備えることを特徴とする半導体チップの脱着装置。 - 前記第2イジェクタは、前記テープを吸着するための第2真空チャンネルを備えることを特徴とする請求項14に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記ホルダは、前記上面を貫通して形成された第3真空チャンネルをさらに備えることを特徴とする請求項15に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記第1イジェクタ及び前記第2イジェクタに共通に動力を伝達するシャフトをさらに備えることを特徴とする請求項14に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記シャフトに固定され、前記第2イジェクタを支持するサセプタをさらに備えることを特徴とする請求項17に記載の半導体チップの脱着装置。
- 前記サセプタは、弾性体を介在して前記第1イジェクタ内部に配置されたことを特徴とする請求項18に記載の半導体チップの脱着装置。
- 貫通穴を有するホルダの上面上にテープ上に接着された少なくとも一つ以上の半導体チップを搭載する段階と、
前記半導体チップのエッジ部分のテープが脱着されるように、前記ホルダの貫通穴内に配置された第1イジェクタを利用し、前記半導体チップを前記ホルダ上に一次押し上げる段階と、
前記半導体チップのテープがさらに脱着されるように、前記第1イジェクタ内部に配置された第2イジェクタを利用し、前記半導体チップを前記ホルダ上に二次押し上げる段階と、
前記半導体チップが前記テープから分離されるように、前記第2イジェクタ上の前記半導体チップを持ち上げつつ、前記第1及び第2イジェクタを下降させる段階と、
を含むことを特徴とする半導体チップの脱着方法。 - 前記第2イジェクタ上の前記半導体チップを持ち上げる手段として、コレットを利用することを特徴とする請求項20に記載の半導体チップの脱着方法。
- 貫通穴を有するホルダの上面上に前記半導体チップを搭載する段階後に、前記コレットを利用して前記半導体チップを真空吸着して固定する段階をさらに含むことを特徴とする請求項21に記載の半導体チップの脱着方法。
- 前記第1イジェクタ及び前記第2イジェクタは、共通シャフトにより移動することを特徴とする請求項20に記載の半導体チップの脱着方法。
- 前記一次押し上げる段階前に、前記ホルダの貫通穴内に配置された真空チャンネルを利用し、前記テープの一部分を真空吸着して前記テープを前記半導体チップから部分的に脱着させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項20に記載の半導体チップの脱着方法。
- 前記真空チャンネルは、前記第1イジェクタに形成された第1真空チャンネルを備えることを特徴とする請求項24に記載の半導体チップの脱着方法。
- 前記真空チャンネルは、前記第2イジェクタに形成された第2真空チャンネルをさらに備えることを特徴とする請求項25に記載の半導体チップの脱着方法。
- 前記半導体チップを一次押し上げる段階で、前記半導体チップ周辺のテープ部分は、前記ホルダの上面を貫通して形成された第3真空チャンネルを利用して固定することを特徴とする請求項26に記載の半導体チップの脱着方法。
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