JP2010165835A - 電子部品のピックアップ方法及びピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】突上げユニットを同心状に配置される三種類のブロックから構成し、最外周のブロックの上端面にはチップの隅を支持するピンが立ち上がる様式とする。突上げ時にはこれらブロック全てを同期させて突き上げて剥離きっかけを生成し、その後外周ブロック上の空間を排気して背後の空間からの吸引によって剥離の進展を図り、且つ最終的なコレットによる剥離時には中央ブロックと支持ピンのみが半導体チップを支持する様式とする。
【選択図】図1A
Description
図面を参照し、以下に本発明の好適な実施形態について説明する。図1Aは、本発明の第一の実施形態に係る半導体チップのピックアップ装置に関し、主要部の構成の軸方向断面を部分的に示し、当該主要部と関連する要素の概略構成を示す図である。また、図1Bは、図1Aに示す構成において実際にピックアップ対象となる半導体チップの突上げ等を行う構成を突上げ方向から見た状態を示す図である。また、図2は図1A及び1Bに示す突上げユニットに加え、突上げ対象となる半導体チップを含めて、突上げ時におけるこれらの位置関係等を斜視図によって示す図である。
なお、本形態では、吸引空間11c内を吸引用排気系9により排気することで吸引力を発生させている。従って、排気速度の大きさ等により吸引力を適宜且つ適切な経過時間にて増減することが可能である。しかし装置構成の簡略化上、当該吸引用排気形9を削除することも可能である。例えば、第二のブロック15の降下によって該第二のブロック15の上部に空間が形成されるが、前述したように各ブロックは相互の摺動面同士の間で気密性を確保することが可能な構成としている。従って、当該第二のブロック15の降下により、その上部に形成される空間によって吸引空間が拡大されて吸引力を発生させる。当初の吸引空間の大きさ、拡大される場合の吸引空間の大きさ、及び第二のブロック15の降下速度の制御による吸引空間の増加速度、を各々調節することで、時間的な制約を受ける可能性がある反面、吸引用排気系9による場合と同様の作用を得ることも可能である。
続いて、第一の支持面13aの配置の設定について説明する。図4Aは、突上げユニット1においてダイシングテープ103の裏面よりこれを支持する部分を、支持方向に向かう方向(上方)より見た状態を示している。即ち、図4Aは、突上げユニット1が前述した図3Bに示す状態を状態にある際の突上げユニット1の上面図に対応する。また、図4Bは突上げユニット1、ダイシングテープ103、及び半導体チップ101aを側方から見た場合のこれらの位置関係を示している。なお、図4Aにおける二点鎖線は半導体チップ101aの外形を示している。
次に本発明の第二の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、当該形態について、第一の実施形態と同一の構成については同一の参照符号を用いて図に示すこととし、その詳細についての説明はここでは省略することとする。図11Aは第一の実施形態における図1Aに対応する図面であって本体部5の上部のみを模式的に示す図である。また、図11Bは第一の実施形態における図1Bに対応する図である。本形態では、第一の実施形態と異なり、支持ピン13が存在せず、第一のブロック11における軸方の吸着コレット105が配置される側の端面(上部端面)が第四の支持面11eとして作用する。この場合第四の支持面11eの上部端面は、第二の支持面15b等と平行な面内に存在し、第一の実施形態における支持ピン13の外接線より得られる外形線Lにより規定される面の形状と等しくされている。これにより、第四の支持面11e、第二の支持面15b及び第三の支持面17aがダイシングテープ103を突き上げることで得られるダイシングテープ103と半導体チップ101aとの間の当初の剥離領域は、第一に実施形態において想定された当初剥離領域と一致する。また、第一のブロック11の外形が第一の実施形態における該第一のブロック11の外形より小さくなったことにより、第一の実施形態における中空部3aが全て該第一のブロック11によって塞がれることなく、第一のブロック11の周囲に中空部3aとして残存している。
なお、上述したように、上述した第一及び第二の実施形態では、基本的には第一の支持面13a(或いは第四の支持面11e)、第二の支持面15b、及び第三の支持面17aを同一平面内に存在させた状態で半導体チップ101aの突上げ操作を開始し、当初剥離部が得られた後に第二の支持面15bを降下させて、ダイシングテープ103の裏面に開口する吸引開口を有する吸引空間の拡大(形成)を行い、対応するダイシングテープ103の領域の吸引剥離を行うこととしている。しかし、これら各支持面の動作は、突上げユニット1による特定範囲のダイシングテープ103の突上げと第二の支持面15bの降下によるダイシングテープ103の吸引剥離を満たすものであれば、予め吸引空間を構成するように各々の支持面の配置を変化させておくことも可能である。
Claims (10)
- ダイシングテープの粘着面に整列配置される複数の電子部品群より、所定の電子部品を前記ダイシングテープから剥離し、ピックアップする電子部品のピックアップ方法であって、
前記電子部品をダイシングテープより吸着して搬送する吸着コレットと、
前記ダイシングテープにおける非粘着面側にピックアップ対象となる前記電子部品と対応する位置に配置され、前記ダイシングテープが延在する面に対して垂直な軸に沿って各々独立して移動可能であって、前記電子部品の中心を通る前記軸である中心軸上に前記面と略平行に配置された第三の支持面、前記第三の支持面の外側に配置された第二の支持面、さらに前記第二の支持面の外側に前記電子部品の外形に応じて配置された第一の支持面、と、
前記中心軸に対して前記第一の支持面の外側に配置された、前記ダイシングテープにおける前記電子部品以外の電子部品群を粘着保持する領域に対応する非粘着面側の領域を吸着保持可能な吸着保持面と、を有し、
前記第一の支持面、前記第二の支持面、及び前記第三の支持面の配置、或いは同一面内に存在した状態からの前記第一、第二、及び第三支持面の内の少なくとも何れかの支持面の前記軸方向への移動により、前記ダイシングテープの非粘着面に向かって開口して前記非粘着面に吸引力を生成する吸引空間を形成する構成を用い、
前記吸着保持面、前記第一の支持面、前記第二の支持面、及び前記第三の支持面を、同一面内に配置させた状態にて前記ダイシングテープの非粘着面に当接させる第一の工程と、
前記第一の支持面、前記第二の支持面、及び前記第三の支持面の前記ダイシングテープとの当接部を同時に前記軸の方向に所定量移動させることで、前記ダイシングテープの吸着保持面に吸着保持された領域以外を前記電子部品と共に粘着保持面側に移動させる第二の工程と、
前記第二の支持面を前記ダイシングテープの非粘着面より離間させる、第三の工程と、
前記吸着コレットによって前記電子部品を吸着し、前記吸着コレットを前記ダイシングテープから離間することにより前記電子部品の前記ダイシングテープからの剥離を行う第四の工程と、
前記第一の工程乃至第四の工程を行う過程において任意のタイミングにて前記吸引空間を負圧とする第五の工程と、を有することを特徴とする電子部品のピックアップ方法。 - 前記第一の支持面と前記第三の支持面との面積の合計は、前記吸着コレットの吸着凹部の面積と、前記ダイシングテープの剥離に必要な力と、前記第三の工程における前記第一の支持面と前記第三の支持面が前記ダイシングテープの非粘着面に当接する面積とを求める線図に基づいて規定されることを特徴とする請求項1に記載の電子部品のピックアップ方法。
- 前記第一の支持面が複数の領域からなる場合、前記第一の支持面の外接線によって規定される領域を最大面積とする場合の前記領域の外形線が、前記電子部品の外形線よりも、前記第二の工程より得られる前記電子部品と前記ダイシングテープとが当初剥離する剥離領域の幅と前記ダイシングテープの厚さとを加えた値だけ、内方に配置される、ことを特徴とする請求項1或いは2に記載の電子部品のピックアップ方法。
- 前記第一の支持面の外形線が、前記電子部品の外形線よりも、前記第二の工程より得られる前記電子部品と前記ダイシングテープとが当初剥離する剥離領域の幅と前記ダイシングテープの厚さとを加えた値だけ、内方に配置される、ことを特徴とする請求項1或いは2に記載の電子部品のピックアップ方法。
- 前記吸着コレットが前記吸引位置に停止した際に前記第一の支持面及び前記第三の支持面が前記ダイシングテープを介して前記電子部品を支持し、且つ前記吸着コレットが前記電子部品の表面から所定間隔隔てた位置に前記吸引位置を設定することを特徴とする請求項1乃至4何れか一項に記載の電子部品のピックアップ方法。
- ダイシングテープの粘着面に対して整列配置される複数の電子部品群より所定の前記電子部品を剥離し、前記ダイシングテープよりピックアップする電子部品のピックアップ装置であって、
前記電子部品をダイシングテープより吸着して搬送する吸着コレットと、
前記ダイシングテープにおける非粘着面側に、ピックアップ対象となる前記電子部品と対応する位置に配置される突上げユニットと、
前記突上げユニット用の収容空間を有し、前記突上げユニットが前記電子部品に対応した位置に配置され、前記ダイシングテープにおいて前記電子部品の周囲に配置される電子部品群を粘着保持する領域に対応する前記非粘着面側の領域を吸着保持する吸着保持面を有する吸着ブロックと、
前記吸着ブロックと前記突上げユニット、及び前記ダイシングテープによって構成され、前記非粘着面に向かって開口する吸引開口部を有する吸引空間と、
前記吸引空間より前記ダイシングテープに対して前記非粘着面側から吸引力を作用させる、前記吸引空間を排気する吸引用排気系と、
前記吸着コレットが前記ダイシングテープから前記電子部品を剥離し且つ吸引保持する際の前記吸着コレットの吸引位置と、前記吸着コレットによる前記電子部品の剥離時における前記突上げユニットの状態とを制御する制御装置と、をさらに有し、
前記突上げユニットは、前記ダイシングテープに延在する面に対して垂直な軸に沿って各々独立して移動可能であって、前記電子部品の中心を通る前記軸である中心軸上に前記面と略平行に配置された第三の支持面、前記第三の支持面の外側に配置される第二の支持面、及びさらに前記第二の支持面の外側に前記電子部品の外形に応じて配置された第一の支持面と、
前記第一の支持面、前記第二の支持面、及び前記第三の支持面の各々を有する第一のブロック、第二のブロック及び第三のブロックと、
前記第一のブロック、前記第二のブロック、前記第三のブロックを各々独立して移動させる駆動部と、を有し、
前記第一の支持面、前記第二の支持面、及び前記第三の支持面は、各々の配置により、前記吸引開口部の大きさを変化させることを特徴とする、電子部品のピックアップ装置。 - 前記第一の支持面は、前記第一のブロックに立設された複数の支持ピンによって形成されることを特徴とする、請求項6記載のピックアップ装置。
- 前記複数の支持ピンによる前記第一の支持面の外接線によって規定される最大面積となる領域を、前記電子部品の外形線よりも、前記剥離領域の幅と前記ダイシングテープの厚さとを加えた値だけ内方に配置することを特徴とする、請求項7記載のピックアップ装置。
- 前記第一の支持面における前記ダイシングテープと当接する当接面の外形は、前記電子部品の外形よりも、前記所定の剥離領域の幅と前記ダイシングテープの厚さとを加えた値だけ内方に配置され、
前記所定の剥離領域の幅は、前記突上げ操作時に前記電子部品に対する曲げ変形を及ぼさない範囲の大きさであることを特徴とする請求項6記載のピックアップ装置。 - 前記吸着コレットが前記吸引位置に停止した際に前記第一の支持面及び前記第三の支持面が前記ダイシングテープを介して前記電子部品を支持し、且つ前記吸着コレットが前記電子部品の表面から所定間隔隔てた位置に前記吸引位置を設定することを特徴とする請求項6乃至9何れか一項に記載のピックアップ装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012240808A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 剥離装置および剥離方法 |
JP2013004697A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 |
CN108198768A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-06-22 | 重庆市长寿区普爱网络科技有限公司 | 电子产品制造工艺 |
JP7145557B1 (ja) * | 2021-02-17 | 2022-10-03 | 株式会社新川 | 半導体ダイのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
JP7459482B2 (ja) | 2019-11-01 | 2024-04-02 | Toppanホールディングス株式会社 | 転写体製造装置及び転写体製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6298638A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-08 | Shinkawa Ltd | ダイボンデイング装置 |
JP2008004936A (ja) * | 2006-06-19 | 2008-01-10 | Samsung Electronics Co Ltd | 一対のイジェクタを具備する半導体チップの脱着装置及びこれを利用した半導体チップの脱着方法 |
JP2009004403A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6298638A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-08 | Shinkawa Ltd | ダイボンデイング装置 |
JP2008004936A (ja) * | 2006-06-19 | 2008-01-10 | Samsung Electronics Co Ltd | 一対のイジェクタを具備する半導体チップの脱着装置及びこれを利用した半導体チップの脱着方法 |
JP2009004403A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012240808A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 剥離装置および剥離方法 |
JP2013004697A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 |
CN108198768A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-06-22 | 重庆市长寿区普爱网络科技有限公司 | 电子产品制造工艺 |
JP7459482B2 (ja) | 2019-11-01 | 2024-04-02 | Toppanホールディングス株式会社 | 転写体製造装置及び転写体製造方法 |
JP7145557B1 (ja) * | 2021-02-17 | 2022-10-03 | 株式会社新川 | 半導体ダイのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
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