JP4457715B2 - チップのピックアップ装置およびピックアップ方法 - Google Patents
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Description
ップ6の辺6aを吸引溝22bに対して45゜の角度に設定する例を示しているが、チップ6やシート5の剛性、吸引溝22bの幅Bおよび真空吸引力などの条件の組み合わせによっては、45゜以外の角度に設定するようにしてもよい。また上記実施の形態では、シート剥離機構7を水平方向(XY方向)に固定とし保持テーブル4を移動させる例を示しているが、保持テーブル4を水平方向(XY方向)に固定としシート剥離機構7を移動させるような構成にしてもよい。
24の上面に真空吸着され、シート5は吸着面22aにならう。これによりシート5に貼着されたチップ6の反り変形が矯正され、チップ6の上面は4隅部を含んで平面に保たれる。
用してもよい。
4 保持テーブル
5 シート
6 チップ
7 シート剥離機構
8 ピックアップヘッド
22 吸着剥離ツール
22a 吸着面
22b 吸引溝
22d 境界部
24 吸着部材
26 昇降駆動機構
27 真空吸引源
Claims (4)
- シートに貼着保持されたチップをピックアップヘッドでピックアップするチップのピックアップ装置であって、前記シートを保持する保持テーブルと、前記シートに貼着保持されたチップを撮像して認識する認識手段と、この認識手段の認識結果に基づいてピックアップ対象のチップを前記ピックアップヘッドに対して相対的に位置決めする位置決め手段と、前記保持テーブルの下方に配設され前記シートの下面に吸着面を当接させてこの吸着面から真空吸引することによりシートをチップから剥離するシート剥離機構とを備え、前記シート剥離機構は、前記吸着面に設けられた複数の吸引溝と、隣接する吸引溝相互を区分するとともに真空吸引時にシートの下面に当接して支持する境界部と、前記吸引溝内に移動自在に配置されシートの下面への移動時において前記シートの下面に当接してこのシートを吸着する吸着部材と、これらの吸着部材を移動させる移動手段と、前記吸引溝から真空吸引する真空吸引手段とを備えたことを特徴とするチップのピックアップ装置。
- 前記チップは、前記吸着部材が前記シートの下面から退避した状態において、複数の前記境界部によってシートを介して支持されることを特徴とする請求項1記載のチップのピックアップ装置。
- シートに貼着保持されたチップをピックアップヘッドでピックアップするチップのピックアップ方法であって、前記シートに貼着保持されたチップを撮像して認識する認識工程と、この認識工程の認識結果に基づいてピックアップ対象のチップを前記ピックアップヘッドに対して相対的に位置決めする位置決め工程と、前記シートの下面にシート剥離機構の吸着面を当接させてこの吸着面に設けられた複数の吸引溝から真空吸引することによりシートをチップから剥離するシート剥離工程と、シートが剥離されたチップの上面を前記ピックアップヘッドによって吸着保持してピックアップする吸着保持工程とを含み、前記認識工程に先立って、前記吸引溝内に移動自在に配置された吸着部材をシートの下面へ移動させて前記シートの下面に当接させてこのシートを吸着することにより、シートに貼着保持されたチップの反り変形を矯正することを特徴とするチップのピックアップ方法。
- 前記シート剥離工程は前記吸着部材が前記シートの下面から退避した状態で行われ、このシート剥離工程において前記チップは、前記隣接する吸引溝相互を区分する境界部によ
ってシートを介して支持されることを特徴とする請求項3記載のチップのピックアップ方法。
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