JPH05190414A - 基板吸着装置 - Google Patents

基板吸着装置

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JPH05190414A
JPH05190414A JP640892A JP640892A JPH05190414A JP H05190414 A JPH05190414 A JP H05190414A JP 640892 A JP640892 A JP 640892A JP 640892 A JP640892 A JP 640892A JP H05190414 A JPH05190414 A JP H05190414A
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JP
Japan
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suction
substrate
elastic
unit
warp
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JP640892A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Shirasu
廣 白数
Original Assignee
Nikon Corp
株式会社ニコン
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 そりの大きな基板であっても矯正可能とし、
基板の吸着保持をより確実なものとする。 【構成】 搬送部3の先端に吸着部2を設ける。吸着部
2には吸引口2a、2b、2c、2dが設けられてお
り、吸着部2は駆動部3により基板5の吸着面Sに直交
する方向に移動可能である。移動可能な吸着部2は基板
5のそりが大きい場合でも基板5に接触可能となり、さ
らに基板5の吸着面Sの形状に合わせて較正可能とな
る。この結果吸着孔4は十分な面積で基板5を吸着保持
可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は基板吸着装置に関し、特
にパターン描画装置や露光装置でパターンが形成される
基板を吸着面に合わせて吸着保持する装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】集積回路や液晶デイスプレイ用回路用の
露光装置においては、基板のそりやねじれを矯正して基
板表面を焦点面に合致させて状態で保持するための基板
ホルダが必要である。また、プリント配線板製造用のス
クリーン印刷機等においても基板表面を所定の平面に合
致させた状態で基板を保持する必要がある。
【0003】図2は従来のこの種の装置を示す概略図で
ある。図2(b)に示すように基板5は搬送系6により
吸着保持部1まで搬送され、平面度よく加工された吸着
面Sに対して上下動可能な搬送部3に受渡しされる。吸
着保持部1には弾性を有する吸着部材2が吸着面Sから
弾性量とほぼ等しいだけ突出して設けられており、搬送
部3が下降し、基板5は吸着部材2の上に搬送設置され
る。吸着部材2の吸引口は弾性部L、配管101を介し
て吸引手段(不図示)に連通されており、吸着部材2を
真空に引くことにより、弾性部Lが縮み、基板5を吸着
面Sに密着させる。吸着孔4は配管102を介して吸引
手段(不図示)に連通されており、吸着孔4を真空に引
くことにより基板5を吸着保持する。この際、基板5が
面の歪み等により吸着面Sと異なった面形状を有してい
る場合でも、弾性部Lを変形させることにより、基板5
を吸着面に合わせて変形(較正)させ、図2(c)に示
すように吸着面Sに密着させることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の如き従
来の技術においては、基板5のそりやねじれが大きい場
合、基板5が吸着部材2のみで支持されず(例えば吸着
部材2の1つの吸引口と吸着面Sで支持される)、基板
5の吸着ができなくなるという問題点があった。また、
基板5の面変形量(面較正量)は吸着部材2の弾性部L
の変形量に依存するため、基板5のそりやねじれが大き
い場合、基板5が吸着面Sから浮き上がってしまい、基
板を吸着保持することができないという問題点があっ
た。これは、基板上に適正な画像が形成されず、あるい
は適正な印刷が行われず不良品を製造することになって
しまう。
【0005】また、基板搬送部3と吸着部材2とが別々
に設けられているため、吸着面Sに対する吸着部材2の
専有面積が大きくなる(図2(c)参照)。これにより
基板保持用の吸着孔4の数が少なくなり、特に外形寸法
の小さい基板の場合、吸着力が不足するという問題点が
あった。この発明はかかる点に鑑みてなされたものであ
り、吸着面と大きく異なる面形状を有する基板でも面形
状を較正した状態で、かつ十分な吸引力で吸着保持可能
な装置を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記問題点の解決の為に
本発明では、基板(5)が吸着保持される吸着面であっ
て複数の吸着孔(4)を有する吸着面(S)と基板を吸
着面上に載置するように吸着面と直交する方向に可動可
能な搬送手段(3、201)と吸着孔と接続され、基板
を吸着面に吸着固定する吸引手段(101)とを備えた
基板吸着装置において、搬送手段と一体に設けられ、吸
引手段に接続された吸引口(2a、2b、2c、2d)
を表面に有する吸着部材(2)を備え、吸着部材が吸着
面と直交する方向に移動可能とした。
【0007】
【作用】本発明の基板吸着装置においては、弾性部を有
する吸着部材2が搬送部3により吸着面Sから十分突出
した状態で基板5と当接するため、基板5は吸着部材2
のみで支持される。これにより、基板5が大きく変形し
ていても、吸着部材2の吸引口は基板5に接触するた
め、吸着部材2による基板5の吸着が可能となる。
【0008】また、吸着部2が基板5を吸着した状態
で、搬送部3により吸着部2を吸着面Sに向かって移動
させることにより、基板5の面形状を吸着面Sにほぼ一
致するように較正可能となる。さらに、搬送部3の先端
に吸着部2の吸引口を設けて、搬送部3を上下動させる
構成としたので、前述の従来技術と比較して吸着孔4の
吸着面積に占める吸着部2,及び搬送部3の面積比を小
さくできる。
【0009】
【実施例】本発明の一実施例を図1を参照して説明す
る。図2と同様の部材には同様の符号が付してある。図
において、吸着保持部1の吸着面Sには吸着孔4が所定
の間隔で複数個設けられている。この吸着孔4は配管1
02を介して吸引手段200に連通されている。また、
吸着保持部1には吸着面Sに対して直交する方向(Z方
向)に上下動可能な搬送部3が設けられている。搬送部
3はアーム3a、3b、3c、3dの4つのアームを有
しており、本実施例では各々のアームは駆動部201に
より一体に上下動可能となっている。各々のアームの先
端部には吸着部2が設けられており、吸着部2には各々
Z方向に変位可能な弾性部Lが設けられている。弾性部
Lは側壁断面形状がベローズ状に形成されており、Z方
向に伸縮可能な構造となっている。弾性部Lの構造はこ
れに限るものでなく、また、バネ等の弾性力を利用した
ものでもよい。
【0010】吸着部2の各々には吸引口2a、2b、2
c、2dが設けられており、各々の吸着口はアームの先
端部より突出して設けられている。この吸着口は配管1
01を介して吸引手段200に連通されている。搬送系
6はX方向に移動可能に構成されており、半導体ウエ
ハ、液晶ディスプレイ用のガラス基板等の基板5は搬送
系6により吸着保持部1上に搬送される。これらの構成
により搬送部3は基板5を吸着したままZ方向に移動可
能であり、基板5の面形状を吸着面Sの面形状に合わせ
て較正することが可能である。従って本実施例の装置で
は基板5面が吸着面Sより大きくことなっている場合で
も較正可能であり、基板5は良好に吸着保持可能とな
る。尚、吸着面Sの面形状は直線、または曲線状に形成
されているものとする。また、ここではアームは4本
(支持点は4点)であるものとしたが、これに限るもの
でなく、支持点が3点であれば各点の吸着部材は確実に
基板5に接触する。
【0011】本実施例における動作を簡単に説明する。
搬送部6は基板5を吸着保持部1上に搬送する。搬送部
3は吸引口2a〜2dが基板5と接触するまで基板5へ
向かってZ方向に移動する。接触後VAC1がONさ
れ、基板5と吸引口2との間の空気が引き込まれる(真
空が引かれる)と吸着部2の弾性部Lが変形し、吸着部
2は基板5を吸着保持する。その後搬送部3は基板5を
吸着したまま、吸着面Sへ向かってZ方向に移動し、基
板5の面形状が吸着面Sとほぼ一致するように移動を続
ける。そして吸着孔4の相当数が基板5と接触したとき
(基板5の面形状が較正されたとき)、VAC2がON
して真空が引かれ基板5を吸着保持する。その後、VA
C2をONしたまま、VAC1をOFFして真空を解除
する。図1(c)この状態を示しており、ここでは吸着
部2が基板5を吸着した後も真空をひきつづけていたた
め、弾性部Lが下のほうに向かって変形している状態を
示している。真空の解除のタイミングによっては図2
(c)ように変形する場合もある。
【0012】以上の動作によりプレート5の吸着動作が
完了する。以上説明したように、そりの大きい基板であ
ってもそりを矯正した状態で吸着面に吸着することがで
きる。次に本発明における吸着機構の別の実施例を説明
する。図1に示す第1の実施例では搬送部3は駆動部2
01により一体に移動する構成となっていたが、本実施
例ではアーム3a〜3dを個別に駆動可能とするもので
ある。このとき駆動部201は各々のアームを個別に駆
動できる。アームを個別に駆動可能とすることにより、
基板5の非対称な変形にたいしても変形の大きい部分の
みのアームの駆動量を多くする等、吸引口(2a〜2
d)と基板5とを接触させることができ、良好な吸着が
可能となる。さらに、基板5の較正時に加える力(較正
時の駆動量)をアーム毎に調整可能となる。
【0013】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、そりの大
きな基板であっても、そりを矯正した状態で吸着保持す
ることが可能となる。また、基板を吸着保持する吸着孔
の面積和を増やすことができ、吸着保持を確実に行え
る。かかる基板吸着装置を用いれば、基板のそりによっ
て製造工程が乱れたり、不良品が発生することを回避で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)本発明の一実施例による基板吸着装置を
吸着面方向からみた平面図、(b)(a)の装置の基板
搬送後の側面図、(c)(a)の装置の基板矯正後の側
面図、
【図2】(a)従来技術による基板吸着装置を吸着面方
向からみた平面図、(b)(a)の装置の基板搬送後の
側面図、(c)(a)の装置の基板矯正後の側面図であ
る。
【符号の説明】
1…吸着保持部 2…吸着部 2a、2b、2c、2d…吸引口 3…搬送系 3a、3b、3c、3d…アーム 4…吸着孔 5…基板 6…搬送系 101、102…配管 200…吸引手段 201…駆動部 S…吸着面 L弾性部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板が吸着保持される吸着面であって複数
    の吸着孔を有する吸着面と、前記基板を吸着面上に載置
    するように前記吸着面と直交する方向に可動可能な搬送
    手段と、前記吸着孔と接続され、前記基板を前記吸着面
    に吸着固定する吸引手段とを備えた基板吸着装置におい
    て、 前記搬送手段と一体に設けられ、前記吸引手段に接続さ
    れた吸引口を表面に有し、前記吸着面と直交する方向に
    変位可能な弾性部を有する複数の吸着部材を備え、 該吸着部材が前記吸着面と直交する方向に移動可能であ
    ることを特徴とする基板吸着装置。
  2. 【請求項2】前記吸着部材が個別に移動可能であること
    を特徴とする請求項1記載の基板吸着装置。
JP640892A 1992-01-17 1992-01-17 基板吸着装置 Granted JPH05190414A (ja)

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