JP6245308B2 - 基板搬送方法、デバイス製造方法、基板搬送装置および露光装置 - Google Patents
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Description
本願は、2009年12月16日に、日本に出願された特願2009−285412号及び特願2009−285413号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本発明の態様は、基板の受け渡し時に生じる基板の歪みを抑制できる基板搬送方法、デバイス製造方法、基板搬送装置および露光装置を提供することを目的としている。
基板搬送装置7は、基板PとトレイTとの位置合わせが終了すると、搬送ロボット4を駆動させ、図4Bに示すように、搬送ハンド12をトレイTの側方の下側に両側部18,18に沿って配置する。そして、図7Aに示すように、搬送ハンド12のトレイ保持部12aに設けられた凸部12cとトレイTの載置部20に設けられた凹部41とを位置合わせする。
搬送ロボット4は、図9Aに示すように、搬送ハンド12により基板Pを基板ホルダ9の上方へ搬送し、トレイTと溝部30との位置合わせを行った後、図2に示す駆動装置13を駆動させ、搬送ハンド12を下降させる。すると、図9B及び図9Cに示すように、トレイTは基板ホルダ9の溝部30に収容され、基板Pは基板ホルダ9の保持部31上に載置される。このとき、トレイTの載置部20は、両側部18,18が支持され、両側部18,18の中間部が下方へ撓んだ状態となっているが、基板Pは支持部20bによって水平面とほぼ平行にかつ平坦に支持された状態で保持部31上に受け渡される。
各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
Claims (16)
- 基板支持部材に載置された基板を前記基板支持部材とともに搬送する基板搬送方法であって、
前記基板支持部材の両端側を支持することと、
両端側が支持され前記基板支持部材の自重により撓んだ前記基板支持部材に前記基板を載置することと、を含み、
前記載置することでは、前記基板支持部材に設けられ、互いに異なる高さを有する複数の支持部により前記基板を支持することで前記基板の撓み量が前記基板支持部材の撓み量よりも小さくなるように、前記基板支持部材上に前記基板を載置する、
基板搬送方法。 - 前記支持することでは、前記基板と前記基板支持部材とが対向した状態から前記基板支持部材の両端側を支持し、
前記載置することでは、両端側が支持された前記基板支持部材を前記基板に対して相対的に移動させて前記基板支持部材に前記基板を載置する、
請求項1に記載の基板搬送方法。 - 前記載置することでは、前記基板の下方に支持された前記基板支持部材を前記基板に対して上下方向へ相対的に移動させ、前記基板支持部材に前記基板を載置する、
請求項2に記載の基板搬送方法。 - 前記載置することでは、複数の前記支持部により前記基板の一部を支持する、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板搬送方法。 - 前記載置することでは、前記基板を保持する保持部から前記基板を前記基板支持部材へ受け渡す、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板搬送方法。 - 前記載置することでは、前記保持部のうち溝状に設けられた溝部に支持された前記基板支持部材が、前記保持部の保持された前記基板を受け取る、
請求項5に記載の基板搬送方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の基板搬送方法を用いて、前記基板を搬送することと、
前記基板を露光することと、
露光された前記基板を露光結果に基づいて処理することと、を含む、
デバイス製造方法。 - 基板支持部材に載置された基板を前記基板支持部材とともに搬送する基板搬送装置であって、前記基板支持部材の両端側を支持する支持機構と、
両端側が支持され前記基板支持部材の自重により撓んだ前記基板支持部材上に前記基板を載置する載置機構と、を備え、
前記基板支持部材は、前記基板の撓み量が前記支持機構により撓んだ載置部の撓み量よりも小さくなるように、高さが相互に異なり前記基板を支持可能な複数の支持部を有する、
基板搬送装置。 - 前記基板の撓み量が前記載置部の撓み量よりも小さい状態で前記基板支持部材を移動させる搬送機構を更に備える、
請求項8に記載の基板搬送装置。 - 前記載置機構は、前記基板を保持する保持部から前記基板を前記基板支持部材に受け渡す、
請求項8又は請求項9に記載の基板搬送装置。 - 前記載置機構は、前記基板を前記基板支持部材へ受け渡す、
請求項10に記載の基板搬送装置。 - 前記載置機構は、前記保持部のうち溝状に設けられた溝部に支持された前記基板支持部材により、前記保持部に保持された前記基板を受け取る、
請求項11に記載の基板搬送装置。 - 前記基板に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置であって、
前記保持部に前記基板を搬送する請求項10から請求項12のいずれか一項に記載の基板搬送装置を備える
露光装置。 - 前記基板のサイズは、500mm以上である
請求項13に記載の露光装置。 - 前記基板は、フラットパネル用の基板である
請求項13又は14に記載の露光装置。 - 請求項13〜請求項15のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記基板上にパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記基板を処理することと、を含む
デバイス製造方法。
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