JP2004179399A - 基板固定方法、基板固定装置、印刷装置および表示装置製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板を平坦な状態でステージ上に固定する。
【解決手段】ステージに、複数の吸引孔１１および複数の空孔１９を設けておく。そして、空孔１９のそれぞれに挿入される吸着ユニット２９を上昇（第１の方向に移動）させ、ステージ１０上の基板１を吸着させる。その後、吸着パッド２１の各々を下降（第１の方向と反対方向に移動）させることにより、基板１をステージ１０に当接させて、その後、基板１を吸引孔１１の各々によって固定する。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板をステージ上に固定する方法に係る。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス基板などの平面基板（以下、単に基板という）をステージ上に載置しておき、ステージ上方から液滴を吐出させて、当該基板上にパターン印刷をするプロセス技術がある。ここで、反りのある基板をステージ上にそのまま載置したのでは、印刷精度が悪くなるため、反りのある基板であっても、ステージ上に平坦に固定しておく必要がある。
このために、ステージに複数の吸引孔を設けておき、ステージ下方から吸引することにより、ステージ上に基板を固定する方法が知られている。そして、基板を平坦にするために、ステージの中央部分では小さく吸引し、ステージの端部分では大きく吸引する、というように吸引力に差をつける方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−２２６０４２号公報（第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、反りの位置や大きさは基板によって異なるから、上述した方法を用いてすべての平面基板を平坦に固定することは不可能である。
本発明は以上の点を考慮して行われたものであり、反りの位置や大きさにばらつきがある個々の基板についてステージ上に平坦に固定するための基板固定方法、基板固定装置、基板固定装置を備えた印刷装置および、基板固定方法を用いて表示装置（有機ＥＬ装置、液晶表示装置、プラズマ表示装置など）を製造する方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の構成は、複数の吸引孔および複数の空孔を有するステージに基板を固定する基板固定方法であって、前記空孔の各々に挿入された吸着ユニットを第１の方向に移動させて、前記ステージに載置された基板を離間させる過程と、離間した状態の基板を前記吸着ユニットの各々に吸着させる過程と、前記吸着ユニットを、前記第１の方向とは反対方向に移動させて、前記基板を前記ステージに当接させる過程と、前記ステージ上に当接させた基板を、前記複数の吸引孔で吸引する過程とを有することを特徴とする。
【０００６】
かかる構成によれば、ステージ上に載置した基板は、ステージの空孔の各々に挿入された吸着パッドが第１の方向に移動されることにより、ステージから離間された状態になり、当該基板は、吸着パッドの各々に吸着させられる。その後、吸着パッドが第１の方向とは反対方向に移動されることにより、当該基板はステージに当接され、基板は空孔の各々によって吸引固定される。このように、ステージ上に載置した基板に反りがあったとしても、当該基板をステージに当接した状態、すなわち、平坦な状態で固定することができる。
【０００７】
また、本発明の構成は、複数の吸引孔および複数の空孔を有するステージに基板を固定する方法であって、前記ステージに載置された基板を前記複数の吸引孔で吸引することを開始する過程と、前記複数の吸引孔の各々が、前記基板を吸引しているか否かを判別する過程と、前記複数の吸引孔のうち、当該判別結果が否定的となる吸引孔の近傍に位置する空孔を検出する過程と、当該検出した空孔に挿入された吸着ユニットを第１の方向に移動させて、前記基板を吸着させる過程と、前記基板を吸着した吸着ユニットを、前記第１の方向とは反対方向に移動させて、前記基板を前記ステージに当接させる過程とを有することを特徴としてもよい。
【０００８】
かかる構成によれば、ステージ上に載置された基板について、吸引できない吸引孔を検出するとともに、当該吸引孔の近傍に位置する空孔が検出される。そして、当該空孔に挿入された吸着パッドが第１の方向に移動されることにより、当該基板は、吸着パッドに吸着させられる。その後、吸着パッドが第１の方向とは反対方向に移動されることにより、当該基板はステージに当接され、基板は空孔の各々によって吸引固定される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
Ａ：第１実施形態
図１は、本実施形態に係る印刷装置１００の構成図である。図１では、印刷装置１００の構成要素を、それぞれの断面図により表した。
図１において、印刷装置１００は、ステージ１０上の基板（印刷物）１に対し、タンク８１に格納される液体をヘッド８２から吐出させて、基板１上にパターン印刷する。たとえば、印刷装置１００を、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置に用いるディスプレイ基板の製造装置として用いる場合、液体として、発光材料を有機溶媒で溶解した溶液をタンク８１に格納しておく。そして、ステージ１０上に載置したガラス基板（基板１）に対し、ヘッド８２から当該溶液を液滴として吐出させて、当該ガラス基板上に発光層をパターン形成させていく。
【００１０】
（印刷装置１００の構成）
図１を用いて、印刷装置１００の構成内容を説明する。制御部５０は、印刷装置１００の各部に駆動信号を供給して、装置各部を統括する。図１では具体的な制御線の表示は省略した。
ポンプ６０は、接続される配管１２，２４について、それぞれ独立に吸引できるように構成されている。ここで、配管１２，２４の先が塞がれた状態にあれば、ポンプ６０の吸引力により配管１２，２４内の気圧を下げていくことができる。
【００１１】
図２は、ステージ１０の斜視図である。ステージ１０は、その中央部分に、基板１を載置するための領域１０Ａを備えている。領域１０Ａには、吸引孔１１が複数（たとえば３０個）設けられており、各々の吸引孔１１は、ステージ１０の下方部で配管１２と接続されている。領域１０Ａに平坦な基板１が載置された場合、吸引孔１１の各々によって、当該基板１をステージ１０上に吸引固定することができるようになっている。
また、領域１０Ａには、吸着ユニット２９（後述）が挿入される空孔１９も設けられている。
【００１２】
図３は、補助プレート２０の斜視図である。補助プレート２０は、ステージ１０の真下に位置しており、リフト（昇降装置）４０に取り付けられている。補助プレート２０は、リフト４０の駆動により、その上下位置が移動する。これにより、補助プレート２０とステージ１０との距離が遠近する。リフト４０には位置センサが取り付けられており、補助プレート２０の高さ位置を示すセンサ信号を制御部５０に出力する。
補助プレート２０は、ステージ１０の空孔１９に対応する位置のそれぞれに吸着ユニット２９が設けられている。本実施形態においては、図３に示すように、補助プレート２０は、その四隅位置および中央位置の５箇所に、吸着ユニット２９を備えている。
【００１３】
吸着ユニット２９は、ジャバラ２３と吸着パッド２１を接続した構成である。また、各々の吸着ユニット２９のジャバラ２３の下方部は、配管２４と接続されている。
吸着パッド２１は、シリコンで構成されており、その先端である開口部２１Ａは、基板１の底面と密着しやすくなるように、広がりをもたせた形状になっている。また、ジャバラ２３は、その形状を自在に伸縮することができる部材である。
ここで、ジャバラ２３の伸縮は方向を問わず、また、ジャバラ２３と吸着パッド２１とはローリングにより接続される。これにより、開口部２１Ａの面の向きは自在に変化することができるようになっている。
【００１４】
（配管構成について）
図１に戻り、印刷装置１００の配管構成について説明する。印刷装置１００は、配管１２および吸引孔１１により構成される第１の配管ルートと、配管２４および吸着ユニット２９により構成される第２の配管ルートを備えている。そして、それぞれの配管ルートは、ポンプ６０により、独自に吸引することができるように構成されている。
【００１５】
はじめに、第１の配管ルートについて説明する。反りのない平坦な基板１をステージ１０に載置した場合、基板１の底面によって吸引孔１１のすべてが塞がれた状態になる。この状態においては、ポンプ６０の吸引力により、配管１２内の気圧を低く変化させることができるから、これにより、基板１をステージ１０上に固定することができる。
一方、反りのある平坦でない基板１をステージ１０上にそのまま載置した場合は、基板１の底面によって吸引孔１１のすべては塞がれた状態にならないから（図１参照）、ポンプ６０の吸引力によっては、配管１２内の気圧を低く変化させることができず、基板１をステージ１０上に固定することはできない。
【００１６】
次に、第２の配管ルートについて説明する。吸着ユニット２９をステージ１０の空孔１９に挿入するようにして上昇させていくと（第１の方向への移動）、吸着パッド２１の開口部２１Ａが、基板１の底面で塞がれていき、結果、すべての開口部２１Ａが基板１の底面で塞がれた状態になる。この状態においては、ポンプ６０の吸引力により、配管２４内の気圧を低く変化させることができるから、これにより、基板１を吸着ユニット２９に吸着させることができる。
【００１７】
（動作）
このような印刷装置１００を用いて、反りのある平坦でない基板１がステージ１０に載置された場合に、当該基板１を平坦な状態に固定する際の具体的な動作を説明する。
【００１８】
図４は、この際の制御部５０の制御内容を示すフローチャートである。
はじめに、制御部５０は、吸着ユニット２９を上昇（第１の方向に移動）させるべく、リフト４０を駆動して補助プレート２０を上限位置Ａまで上昇させていく（ステップＳａ１）。この際、制御部５０は、リフト４０から出力される位置センサ信号の内容に基づきリフト４０の制御を行う。上限位置Ａについては予め定められる位置であり、すべての吸着ユニット２９を基板１の底面に接触させることができる位置として定められる。
【００１９】
図５および図６は、補助プレート２０を上昇させた場合における、吸着ユニット２９と、ステージ１０上の基板１の関係を示したものである。
基板１と吸着ユニット２９とが離間した初期状態（図５の状態）から、補助プレート２０を上昇していくと、吸着ユニット２９の吸着パッド２１が、ステージ１０の複数の空孔１９にそれぞれ挿入するようにして上昇していき、ステージ１０上の基板１に近づいていく。
そして、基板１が平坦に載置された部分に対し、吸着ユニット２９が接触して、吸着パッド２１の開口部２１Ａが基板１の底面により塞がれた状態となる（図６の状態）。基板１が平坦に載置されていない部分に対しては、吸着ユニット２９はまだ接触することはできない。
【００２０】
その後、補助プレート２０をさらに上昇させていくと、すでに基板１に接触している吸着ユニット２９のジャバラ２３は、縮むように形状変化し、基板１をステージ１０から離間させるように力を加える。一方、基板１に接触していなかった吸着ユニット２９は、基板１の底面と接触する。
図７は、この段階における、吸着ユニット２９と、ステージ１０上の基板１との位置関係を示したものである。
【００２１】
ここで、ジャバラ２３の伸縮方向は問わないから、吸着パッド２１の開口部２１Ａの面方向は自在の方向をとることができる。このため、基板１の底面が水平ではなかったとしても、かかる底面の向きに合わせるようにして、吸着パッド２１の開口部２１Ａは基板１の底面に接触し、塞がれた状態になる。
このように、すべての吸着ユニット２９の開口部２１Ａを基板１の底面で塞がれた状態にするために、制御部５０は、補助プレート２０を上限位置Ａまで上昇させていくのである。言い方を換えると、すべての吸着ユニット２９の開口部２１Ａが基板１の底面で塞がれた状態とするための補助プレート２０の位置として、上限位置Ａが定められている。
【００２２】
図４に戻り、動作の説明を続ける。
このようにして、すべての吸着ユニット２９の開口部２１Ａが塞がれた状態になると、制御部５０は、配管２４内の吸引を開始するよう、ポンプ６０を駆動させる（ステップＳａ２）。この段階では、ポンプ６０の吸引力により、配管２４内の気圧を低く変化させていくことができから、これにより、吸着ユニット２９の各々で基板１を吸着させた状態にすることができる。
【００２３】
そして、制御部５０は、吸着ユニット２９の各々を下降（第１の方向とは反対の方向に移動）させるべく、リフト４０を駆動し、補助プレート２０を下限位置Ｂまで下降させていく（ステップＳａ３）。下限位置Ｂについては、ステージ１０に基板１を当接するための位置として予め定められている。詳細は後述する。
この段階において、吸着ユニット２９の開口部２１Ａは基板１を吸着した状態にあるから、補助プレート２０の下降移動に伴い、吸着ユニット２９のジャバラ２３は、その形状を伸張させていく。あわせて、吸着ユニット２９の吸着パッド２１は、基板１をステージ１０に引きつけるように力を加えていく。これにより基板１がステージ１０に当接されることになる。
図８は、この段階における、吸着ユニット２９と、ステージ１０上の基板１との位置関係を示したものである。
【００２４】
このように、すべての吸引孔１１を基板１の底面で塞がれた状態（図８の状態）にするために、制御部５０は、補助プレート２０を下限位置Ｂまで下降させていくのである。言い方を換えると、基板１をステージ１０に当接させて、すべての吸引孔１１を基板１の底面で塞がれた状態とするための補助プレート２０の位置として、下限位置Ｂが定められている。
【００２５】
この後、制御部５０は、配管１２内の吸引を開始するよう、ポンプ６０を駆動させる（図４：ステップＳａ４）。この段階では、ポンプ６０の吸引力により、配管１２内の気圧を低く変化させていくことができるから、基板１を、吸引孔１１の各々により吸引固定することができる。
そして、制御部５０は、ポンプ６０を制御して、配管２４の吸引を終了させる（ステップＳａ５）。これにより、吸着ユニット２９の開口部２１Ａで基板１を吸着していた状態が開放され、伸張状態にあったジャバラ２３がもとの形状に戻る（上掲図５の状態）。
【００２６】
このように、本実施形態に係る印刷装置１００によれば、反りを有する基板１がステージ１０上に載置された場合であっても、基板１はステージ１０に当接させられた上で、平坦な状態として固定される。基板１をステージ１０に当接させるように機能する吸着ユニット２９は、基板１に対して複数の位置に設置されており（上述実施形態においては四隅位置と中央位置の５箇所）、基板１の反りの位置によらず、ステージ１０に基板１を平坦に固定することができる。
【００２７】
Ｂ：第２実施形態
図９は、第２実施形態に係る印刷装置５００の構成図である。上述した印刷装置１００と同じ構成要素には同じ符号を付している。
上述第１実施形態に係る印刷装置１００では、ステージ１０上に載置した基板１を平坦に固定するために、すべての吸着ユニット２９を用いて基板１をステージ１０上に引きつける制御をした。これに対し、本実施形態に係る印刷装置５００では、すべての吸着ユニット２９を用いるのではなく、基板１が平坦に載置されていない部分の近傍にある吸着ユニット２９のみを用いる点に特徴がある。
【００２８】
印刷装置５００は、基板１がステージ１０上に載置されると、当該基板１の底面によって吸引孔１１が塞がれた状態にあるか否かを検出する。検出の際には、ポンプ６０により吸引孔１１を吸引した際に、基板１を吸引することができなかった吸引孔１１、すなわちエアー漏れのあった吸引孔１１を検出することによって行う。そして、エアー漏れのあった吸引孔１１に近隣する空孔１９に挿入される吸着ユニット２９を用いて、基板１をステージ１０に当接させ、基板１をステージ１０上に固定していくのである。
【００２９】
以下、印刷装置５００の構成のうち、上述した印刷装置１００と異なる部分について説明する。
図９において、吸着ユニット２９に接続される配管２４は、それぞれ並列にポンプ６０に取り付けられている。これにより、吸着ユニット２９ごとに、ポンプ６０の吸引力を用いて基板１を吸着することができる。
また、吸着ユニット２９ごとに、補助プレート２０およびリフト４０が用意されている。これにより、制御部５０の制御下、吸着ユニット２９ごとに位置制御することができるようになっている。
【００３０】
また、ステージ１０に設けられる吸引孔１１のそれぞれには、圧力センサ１１Ｓが設けられている。圧力センサ１１Ｓは、各々の吸引孔１１の内側の位置に設けられており、吸引孔１１内側における気圧を測定する。
ポンプ６０の吸引力で各々の吸引孔１１を吸引していくと、基板１の底面で塞がれた吸引孔１１には外気が入り込まないから、当該吸引孔１１における気圧は小さくなる。一方、基板１の底面で塞がれない吸引孔１１については、外気が入り込むから、当該吸引孔１１における気圧は大きくなる（例えば大気圧と同じになる）。気圧センサ１１Ｓの各々は、気圧を測定するとともに、その結果を示すセンサ信号を制御部５０に出力する。
ここで、配管１２には、吸引孔１１に対応させて逆流防止バルブ１１Ｂを取り付けている。これにより、個々の吸引孔１１からポンプ６０に向かう方向でのみ気体が流れることになり、気圧が高い旨を示すセンサ信号が出力された気圧センサ１１Ｓに係る吸引孔１１について、エアー漏れが発生しており、基板１を吸引することができていない旨を検出することができる。
【００３１】
次に、印刷装置５００において、反りのある平坦でない基板１がステージ１０に載置された場合において、当該基板１をステージ１０上に平坦に固定する際の、具体的な動作の内容を説明する。
図１０は、この際の、制御部５０の制御内容を示すフローチャートである。
はじめに、制御部５０は、ポンプ６０を駆動し、配管１２について吸引を開始させる（ステップＳｂ１）。そして、個々の吸引孔１１に設けた気圧センサ１１Ｓから出力されるセンサ信号の内容に基づき、吸引孔１１の各々について、基板１の底面により塞がれた状態（エアー漏れのない状態）であるか、塞がれない状態（エアー漏れのある状態）であるかを判別する。そして、制御部５０は、エアー漏れのある吸引孔１１があったときには（ステップＳｂ２：ＹＥＳ）、駆動する吸着ユニット２９について決定する（ステップＳｂ３）。
【００３２】
ここで、駆動する吸着ユニット２９の決定手順について説明する。
図１１は、ステージ１０の全体図であり、各々の吸引孔１１に設けた気圧センサ１１Ｓに係るセンサ信号の内容を対応付けて図示したものである。図１１では、図面左下に位置する吸引孔１１−１，１１−２，１１−３についてエアー漏れがあったことを想定し、便宜上、これらの吸引孔１１−１，１１−２，１１−３について黒く塗りつぶして図示した。
この場合、制御部５０は、吸引孔１１−１，１１−２，１１−３の近傍に位置する空孔１９−１に挿入される吸着ユニット２９を駆動するように決定する。ここで、エアー漏れのあった吸引孔１１と駆動すべき吸着ユニット２９との対応関係は、予め最適な関係が求められており、制御部５０のメモリ（図示せず）に格納されている。
【００３３】
駆動する吸着ユニット２９を決定した後の制御部５０の制御内容は、上述第１実施形態の内容と略同一であるため、以下に簡単に説明する。
制御部５０は、駆動することを決定した吸着ユニット２９を上昇（第１の方向に移動）させるべく、対応するリフト４０を駆動させて、補助プレート２０を上限位置Ａまで上昇させる（ステップＳｂ４）。次いで、制御部５０は、配管２４を吸引するようにポンプ６０を駆動する（ステップＳｂ５）。このようにして、制御部５０は、決定した吸着ユニット２９を上昇（第１の方向に移動）させて、当該吸着ユニット２９で基板１を吸着させていく。
その後、制御部５０は、基板１を吸着させた吸着ユニット２９を下降（第１の方向と反対の方向に移動）させるべく、対応するリフト４０を駆動させて、補助プレート２０を下限位置Ｂまで下降させる（ステップＳｂ６）。
【００３４】
次に、制御部５０は、各々の吸引孔１１の気圧センサ１１Ｓから出力されるセンサ信号の内容から、エアー漏れがある吸引孔１１が存在するかどうかを判別する（ステップＳｂ７）。エアー漏れがない場合は（ステップＳｂ７：ＮＯ）、制御部５０は、吸引孔１１の各々により基板１がステージ上に吸引固定できた旨を判断し、配管２４の吸引を終了させる（ステップＳｂ８）。
一方、エアー漏れのある吸引孔１１が未だ存在する場合は（ステップＳｂ７：ＹＥＳ）、かかる吸引孔１１の位置に近接する空孔１９に挿入される吸着ユニット２９について駆動し、上述した制御を繰り返し行うことで、基板１をステージ１０に当接させるようにしていく。
【００３５】
このようにして、本実施形態に係る印刷装置５００によれば、反りのある平坦でない基板１が載置された際に、基板１のうち平坦でない部分（吸引孔１１についてエアー漏れのあった場所）を検出した上で、検出場所と近接した空孔１９に挿入される吸着ユニット２９を駆動していく。そして、上述第１実施形態と同様に該吸着ユニット２９で基板１を吸着させた後、吸着した基板１をステージ１０に当接させて、吸引孔１１の各々によって固定していく。本実施形態に係る印刷装置５００によれば、基板１ごとに駆動する吸着ユニット２９を決定していくので、基板１の個々の反りの状況により対応して基板１をステージ１０上に固定していくことができる。
【００３６】
Ｃ：変形例
上述した各実施形態は、発明の内容を説明するための便宜上のものであり、任意に変形をすることができる。
たとえば、吸着ユニット２９を設ける位置や数については任意に変形可能である。上述した各実施形態では、四隅と中央の５箇所に設けたが、さらに多くの吸着ユニット２９を設けるようにし、基板１が多面的な反っていたような場合であっても平坦固定できるようにしてもよい。
【００３７】
また、上述した各実施形態では、ポンプ６０がそれぞれ独立に配管１２、配管２４を吸引できる構成としたが、配管ごと複数のポンプを設ける構成にしてもよい。また、ポンプ６０は１の配管を吸引できる構成とし、複数のバルブを設けることによって、複数の配管ルートを構成するようにしてもよい。この場合は、制御部５０によりバルブの開閉制御を行うことになる。
【００３８】
また、上述した各実施形態では、補助プレート２０を予め決められるＡ位置まで上昇させた後、配管２４の吸引を開始して、吸着ユニット２９で基板１を吸着させていた。これに対して、はじめに配管２４の吸引を開始しておき、吸着ユニット２９で基板１を吸着できる状態になるまで、補助プレート２０を上昇させるように制御してもよい。この場合、Ａ位置は上限リミット位置となり、Ａ位置まで補助プレート２０を上昇させても吸着ユニット２９が吸着しない場合は、その後の動作は行わないように制御してもよい。すなわち、この場合は、基板１の反りが大きすぎる場合や、印刷装置１００の動作自体に不具合が発生した場合に該当するから、その後の動作を停止するよう制御するのである。一方、上限リミット位置までの間で、吸着ユニット２９で基板１を吸着できた場合には、上述実施形態と同様の制御を行い、ステージ１０に基板１の当接させることによって、吸引孔１１の各々により基板１をステージ上に吸引固定することができる。
【００３９】
以上、本発明に係る基板固定装置を印刷装置として用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、有機ＥＬ表示装置以外の表示装置（たとえば、液晶表示装置、プラズマ表示装置など）の製造工程においても、それらの平板状基板を固定して所望の加工、処理を行う場合に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る印刷装置１００の構成図である。
【図２】ステージ１０の斜視図である。
【図３】補助プレート２０の斜視図である。
【図４】印刷装置１００の動作内容を示すフローチャートである。
【図５】吸着ユニット２９と基板１との位置関係を示す図である。
【図６】吸着ユニット２９と基板１との位置関係を示す図である。
【図７】吸着ユニット２９と基板１との位置関係を示す図である。
【図８】吸着ユニット２９と基板１との位置関係を示す図である。
【図９】第２実施形態に係る印刷装置５００の構成図である。
【図１０】印刷装置５００の動作内容を示すフローチャートである。
【図１１】印刷装置５００の制御内容を説明するための図である。
【符号の説明】
１０…ステージ
１１…吸引孔
１２…配管
１９…空孔
２０…補助プレート
２１…吸着パッド
２３…ジャバラ
２４…配管
２９…吸着ユニット
４０…リフト
５０…制御部
６０…ポンプ
１００…印刷装置
１１Ｓ…吸着センサ
５００…印刷装置

Claims (6)

1. 複数の吸引孔および複数の空孔を有するステージに基板を固定する基板固定方法であって、
   前記空孔の各々に挿入された吸着ユニットを第１の方向に移動させて、前記ステージに載置された基板を離間させる過程と、
   離間した状態の基板を前記吸着ユニットの各々に吸着させる過程と、
   前記吸着ユニットを、前記第１の方向とは反対方向に移動させて、前記基板を前記ステージに当接させる過程と、
   前記ステージ上に当接させた基板を、前記複数の吸引孔で吸引する過程と
   を有することを特徴とする基板固定方法。
2. 複数の吸引孔および複数の空孔を有するステージに基板を固定する方法であって、
   前記ステージに載置された基板を前記複数の吸引孔で吸引することを開始する過程と、
   前記複数の吸引孔の各々が、前記基板を吸引しているか否かを判別する過程と、
   前記複数の吸引孔のうち、当該判別結果が否定的となる吸引孔の近傍に位置する空孔を検出する過程と、
   当該検出した空孔に挿入された吸着ユニットを第１の方向に移動させて、前記基板を吸着させる過程と、
   前記基板を吸着した吸着ユニットを、前記第１の方向とは反対方向に移動させて、前記基板を前記ステージに当接させる過程と
   を有することを特徴とする基板固定方法。
3. 複数の吸引孔および複数の空孔を有するステージと、
   前記複数の空孔の各々に挿入される吸着ユニットと、
   前記吸着ユニットを第１の方向に移動させて、前記ステージに載置された基板を吸着するとともに、前記吸着ユニットを前記第１の方向とは反対方向に移動させて、前記基板を前記ステージに当接させるリフトと
   を備えることを特徴とする基板固定装置。
4. 請求項３に記載の基板固定装置と、
   前記ステージの上方から前記基板に対して液滴を吐出することにより当該基板上に印刷をするヘッドと
   を備えることを特徴とする印刷装置。
5. 請求項４に記載の印刷装置において、
   前記液滴は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）材料を含む溶液であること
   を特徴とする印刷装置。
6. 請求項１または請求項２のいずれかに記載の基板固定方法を用いて表示装置を製造する表示装置製造方法。

Images