JPWO2017110467A1 - 基板吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施形態によるワークテーブル10の平面図である。ワークテーブル10は、1枚のベースプレート20と、ベースプレート20の上部に固定された第1〜第5載置台11〜15と、を備えている。
基板がワークテーブル10上に搬入されてくると、真空ポンプ等を作動させる。吸着工程では、まず可動吸着装置30のみが作動するように、可動吸着装置30に接続された吸着系のみを減圧し、各載置台11〜15の溝11a〜15aに接続された吸着系は減圧しない。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
11〜15 載置台
11a〜15a 溝
15b 貫通孔
30 可動吸着装置
31 フランジ部材
32 シリンダ
32b 長穴(規制機構の一部)
33 コイルスプリング
34 規制機構
38 ピン
39 ネジ部材
Claims (8)
- ワークテーブルに形成された複数の孔のそれぞれに着脱可能であり、前記ワークテーブル上に載置された基板を吸着するための基板吸着装置であって、
上方に開口する収容部を内部に有するとともに、前記収容部の底部に吸着源に連通する連通孔を有し、前記ワークテーブルの孔に着脱可能なフランジ部材と、
前記フランジ部材の収容部に所定の範囲で上下動自在に配置され、上下に貫通する吸引孔を内部に有するシリンダと、
前記シリンダを、前記シリンダの上端面が前記テーブルの載置面から所定量だけ突出するように前記シリンダを上方に付勢する付勢手段と、
を備えた基板吸着装置。 - 前記シリンダは、
金属製のシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の上部に装着され、前記ワークテーブルに載置されるワークに当接する樹脂製の当接部材と、
を有する、請求項1に記載の基板吸着装置。 - 前記フランジ部材は金属製であり、
前記フランジ部材の収容部の内周面と前記シリンダ本体の外周面との隙間は、50μm以下である、
請求項2に記載の基板吸着装置。 - 前記シリンダの上端面が前記ワークテーブルの載置面から突出する量を規制する規制機構をさらに備えている、請求項1から3のいずれかに記載の基板吸着装置。
- 前記規制機構は、
前記シリンダに、上下方向に所定の長さで形成された穴と、
前記フランジ部材に設けられ、前記シリンダが上下方向に移動した際に前記穴の上下の端面に当接するピンと、
を有している、
請求項4に記載の基板吸着装置。 - 加工される基板が載置されるとともに、載置された基板を吸着して保持する基板加工装置のワークテーブルであって、
吸着源に連通する溝が表面に形成され、前記溝を介して基板を載置面に吸着保持可能なテーブル本体と、
上端面が前記テーブル本体の載置面から突出するように上下動自在で基板を吸着可能なシリンダを有し、前記テーブル本体の複数個所に配置された可動吸着装置と、
を備えたワークテーブル。 - 前記テーブル本体の溝は、前記可動吸着装置の周囲を囲むように形成されている、請求項6に記載のワークテーブル。
- 前記テーブル本体には孔が形成されており、
前記可動吸着装置は、
上方に開口する収容部を内部に有するとともに、前記収容部の底部に吸着源に連通する連通孔を有し、前記テーブル本体の孔に着脱可能なフランジ部材と、
前記フランジ部材の収容部に所定の範囲で上下動自在に配置され、上下に貫通する吸引孔を内部に有するシリンダと、
前記シリンダを、前記シリンダの上端面が前記テーブル本体の載置面から所定量だけ突出するように前記シリンダを上方に付勢する付勢手段と、
を有する、
請求項6又は7に記載のワークテーブル。
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