KR100630381B1 - 가공물 고정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가공하고자 하는 가공물을 고정시키기 위한 가공물 고정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가공물 고정장치는,

그 상부에는 상기 가공물을 받쳐서 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 지지된 가공물의 하면과 더불어 진공형성공간을 이루게 되는 진공형성용 홈부를 가지는 플레이트를 포함하여 이루어져, 상기 진공형성공간에 진공이 형성될 때 그 진공압에 의해 상기 가공물을 흡착하여 고정시키는 것에 있어서,

상기 플레이트의 지지부에 대해 승강 가능하게 설치되며 그 지지부에 대해 돌출되도록 상방으로 탄성 바이어스되어 있는 샤프트와,

상기 샤프트를 위치고정시키기 위한 고정수단을 구비하고 있는 것에 특징이 있다.

Description

가공물 고정장치{Vacuum clamping apparatus}

도 1은 종래의 가공물 고정장치의 개략적 사시도이다.

도 2a는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선 개략적 단면도이다.

도 2b는 종래의 가공물 고정장치를 설명하기 위한 개략적 단면도이다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가공물 고정장치의 개략적 분리사시도이다.

도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 개략적 단면도이다.

도 5a는 도 4의 A부분의 확대도이다.

도 5b는 도 5a에 도시된 가공물 고정장치의 작동을 설명하기 위한 개략적 단면도이다.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ선 개략적 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 보호의 설명>

100 ... 가공물 고정장치 W ... 가공물

10 ... 플레이트 20 ... 플레이트 본체부

27 ... 관통공 29 ... 결합공

30 ... 지지부 31 ... 블럭형상부

40 ... 홈부 45 ... 진공형성공간

50 ... 샤프트 51 ... 샤프트 본체부

52 ... 볼 53 ... 받침부재

61 ... 하우징 63 ... 클램핑부재

63a ... 파지부 63b ... 돌출부

64 ... 가압부재 64b ... 가압부

67 ... 회동핀 68 ... 인장스프링

70 ... 압축스프링 90 ... 유압실린더

91 ... 유압실린더 로드 HP ... 유압펌프

VP ... 진공펌프 F ... 굴곡된 부분

본 발명은 가공대상이 되는 가공물을 가공하고자 할 때 이 가공물을 고정시키기 위한 가공물 고정장치에 관한 것으로서, 특히, 가공물이 평평한 형태로 되어 있지 않고 굴곡이 있는 경우에도 이 가공물을 안정적으로 지지하여 고정시킬 수 있는 가공물 고정장치에 관한 것이다.

기계공작에서 재료를 바이스(vice)에 물려서 고정시키거나 콜릿척(colldt chuk)에 물려서 고정시키는 것과 같이, 어떤 재료나 대상물(가공물)을 가공하기 위해서는 우선 그 가공물을 정확하게 고정시켜야 할 필요가 있다. 이렇게 가공물을 고정시키기 위한 가공물 고정장치는 다양한 형태와 종류가 있다. 이러한 다양한 가공물 고정장치들 중, 반도체 웨이퍼나 액정표지장치(LCD)와 같이 판상으로 이루어진 가공물을 고정시키기 위해서는 진공흡착을 이용하는 장치나 자성을 이용하는 장치들이 있다. 가공물이 판형의 금속재료인 경우는 자석을 이용하여 이 가공물을 고정시킬 수 있지만, 상기한 바와 같은 반도체 웨이퍼나 액정표시장치와 같이 가공물이 금속재료가 아닌 경우에는 진공흡착방식을 이용하여 가공물을 고정시켰다. 이렇게 진공흡착방식을 이용한 가공물 고정장치가 도 1 및 도 2에 도시되어 있다.

도 1은 종래의 가공물 고정장치의 개략적 분리사시도이며, 도 2a는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선 개략적 단면도이다.

도 1 및 도 2a를 참조하면, 종래의 가공물 고정장치(1)는 판형으로 이루어진 플레이트 본체부(2)가 구비된다. 이 플레이트 본체부(2)의 상면에는 소정의 두께를 가진 직육면체형의 블럭형상부(3)들이 상호 이격되어 독립적으로 형성되어 있다. 이 블럭형상부(3)들의 사이에는 좁고 긴 공간들이 형성되며 이 공간들은 모두 연결되어 있어서 전체적으로 보면 격자형상으로 된 홈부(4)를 형성한다. 이 블럭형상부(3)들의 상면에는 가공하고자 하는 판형의 가공물(W)이 놓여지게 된다. 이렇게 판형의 가공물(W)이 블럭형상부(3)들의 상면에 놓여지면, 이 판형의 가공물(W)의 하면이 상기 홈부(4)를 덮게 된다. 한편, 상기 플레이트 본체부(2)에는 이 본체부(2)의 상면과 하면을 관통하는 관통공(5)이 복수개 형성되어 있으며, 이 관통공(5)들은 각각 도관(6)을 통해 진공펌프(VP)와 연결되어 있다. 가공물(W)이 상기 블럭형상부(3)들에 올려져 지지된 상태에서, 상기 진공펌프(VP)가 가동되면 상기 홈부(4)와 가공물(W)의 하면 사이의 공간(7)에 있던 공기들은 관통공(5)을 통해 진공펌프(VP)로 빨려 들어가게 되고, 상기 홈부(4)와 가공물(W)의 하면 사이의 공간(7)은 진공이 형성된다. 이렇게 진공이 형성되면, 상기 가공물(W)은 진공흡착되어 상기 블럭형상부들(2)의 상면에 고정됨으로써, 가공물(W)에 원하는 가공을 행할 수 있게 된다.

그러나, 상기한 구성으로 이루어진 종래의 가공물 고정장치(1)에서, 가공하고자 하는 판형의 대상물에 굴곡이 있는 등 평탄도가 낮을 때는 가공을 원활하게 수행할 수 없는 문제점이 있었다. 즉, 도 2b에 도시된 바와 같이, 가공물(W)에 굴곡이 형성되어 볼록하게 들떠 있는 부분(F)을 가지는 경우 상기 블럭형상부(3)의 상면에 안정적으로 지지되어 있지 않고 그 사이에 공간이 형성되게 된다. 물론 이 공간도 진공으로 형성되어 있다. 가공을 행하던 도중, 상기 블럭형상부(3)의 상면에 밀착되서 지지되지 않고 볼록하게 되어 있는 부분(F)을 가압하게 되면 가공물(W)의 형상이 변형되어 가공을 제대로 행할 수 없게되는 문제가 생길 수 있다. 또한, 상기 볼록한 부분(F)을 가압시에 이 가공물(W)의 형상이 변형되면서 가공물(W)의 단부가 들리게 되고, 이에 따라 진공상태가 해제됨으로써 가공물(W)이 제대로 고정되지 않게 될 우려도 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 가공의 대상이 되는 가공물이 굴곡되어 있거나 파도형 등으로 되어 있어 평탄도가 낮은 경우에도, 이 가공물을 안정적으로 지지하여 고정시킬 수 있도록 구조가 개선된 가공물 고정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 가공물을 고정시키기 위한 가공물 고정장치는, 그 상부에는 상기 가공물을 받쳐서 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 지지된 가공물의 하면과 더불어 진공형성공간을 이루게 되는 진공형성용 홈부를 가지는 플레이트를 포함하여 이루어져, 상기 진공형성공간에 진공이 형성될 때 그 진공압에 의해 상기 가공물을 흡착하여 고정시키는 가공물 고정장치에 있어서, 상기 플레이트의 지지부에 대해 승강 가능하게 설치되며 그 지지부에 대해 돌출되도록 상방으로 탄성 바이어스되어 있는 샤프트와, 상기 샤프트를 위치고정시키기 위한 고정수단을 구비하고 있는 것에 특징이 있다.

본 발명에 따르면, 상기 고정수단은, 상기 샤프트를 승강 가능하게 지지하며 상기 지지부에 결합되는 하우징과, 상기 하우징에, 상기 샤프트를 클램핑하는 클램핑방향 및 그 반대방향으로 이동 가능하게 설치되는 클램핑부재와, 상기 하우징 내에 왕복이동 가능하게 설치되며, 그 일방향으로의 이동시에 상기 클램핑부재가 상기 샤프트를 클램핑하도록, 상기 클램핑부재를 상기 클램핑방향으로 가압하는 가압부재를 구비하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에 따르면, 상기 샤프트는, 상기 플레이트의 지지부에 대해 승강 가능한 샤프트 본체부와, 상기 샤프트 본체부의 상단에 회전 가능하게 결합되는 받침부재를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에 따르면, 상기 지지부는, 상호 이격되어 있는 복수의 판형 직육면체 블럭형상부들로 이루어지며, 상기 홈부는 이 직육면체 블럭형상부들 사이의 홈에 의하여 형성되어 격자형으로 이루어진 것이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가공물 고정장치를 더욱 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가공물 고정장치의 개략적 분리사시도이며, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선 개략적 단면도이고, 도 5a는 도 4의 A부분의 확대도이며, 도 5b는 도 5a에 도시된 가공물 고정장치의 작동을 설명하기 위한 개략적 단면도이고, 도 6은 도 5a의 Ⅵ-Ⅵ선 개략적 단면도이다.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가공물 고정장치(100)는 플레이트(10)와, 샤프트(50)와, 이 샤프트(50)를 고정하기 위한 고정수단을 구비한다.

상기 플레이트(10)는 본체부(20)와 지지부(30)와 진공형성용 홈부(40)를 구비한다. 상기 본체부(20)는 판형상으로 이루어져 상면(21)과 하면(22)을 구비한다. 또한, 이 본체부(20)의 둘레에는 상기 상면(21)으로부터 돌출된 테두리부(23)가 형성되어 있다. 상기 지지부(30)는 가공 대상이 되는 가공물(W)을 받쳐서 지지하기 위한 것으로서, 소정의 두께를 가지는 대략 직육면체의 판형으로 된 다수의 블럭형상부(31)들로 이루어져 있다. 이 블럭형상부(31)들은 상기 플레이트 본체부(20)에 대하여 돌출되어 있다. 또한, 이 블럭형상부(31)들은 상기 플레이트 본체부(20)상에 상호 이격되게 독립적으로 배치되며, 더욱 상세하게는 이 블럭형상부(31)들은 상호 일정 간격으로 이격된 복수의 줄과 열을 형성하게 된다. 한편, 상기 블럭형상부(31)의 상면과 플레이트 본체부(20)의 하면(22)을 관통하는 결합공 (29)이 형성되어 있다. 이 결합공(29)은 후술할 고정수단의 하우징(61)이 결합되는 부분으로서, 이 결합공(29)의 외주면에는 암나사산이 형성되어 있다. 본 실시예에서, 이 결합공(29)은 상기 블럭형상부(31)에 복수개 형성되어 있으나, 다른 실시예에서는 각 블력형상부(31)에 하나씩 형성되는 것이 바람직하다. 이 결합공(29)에 후술할 하우징(61)이 결합되지 않을 때에는 별도의 마개부재(미도시)에 의하여 폐쇄된다. 즉, 이 마개부재(미도시)는 그 외주면에 나사산을 가지고 있어 상기 결합공(29)의 내주면에 나사체결한다.

상기 진공형성용 홈부(40)는 상기 지지부(30)에 받쳐져 지지된 판형상의 가공물(W)의 하면과 더불어 진공이 형성될 공간(45)을 형성하는 부분이다. 본 실시예에서, 이 홈부(40)는 상기 직육면체형 블럭형상부(31)들 사이의 홈들에 의하여 형성된다. 즉, 상기 직육면체형 블럭형상부(31)들은 상호 일정간격으로 이격되어 있고, 이 블럭형상부(31)들 사이에는 좁고 긴 형태의 홈이 형성된다. 또한, 이 블럭형상부(31)들은 일정간격으로 이격되어 복수의 열과 줄을 형성하고 있으므로, 상기 플레이트(10)의 위쪽에서 내려다 보았을 때 이 좁고 긴 형태의 홈들은 격자형으로 배치되어 있으며, 서로 연결되어 있다.

한편, 상기 플레이트(10)에는 상기 홈의 바닥면과 상기 플레이트 본체부(20)의 하면(22) 사이를 관통하는 관통공(27)이 형성되어 있다. 이 관통공(27)은 상기 플레이트(10)의 본체부(20)에 복수개 배치되어 있다. 이 복수의 관통공(27)들에는 도관(28)이 연결되며, 이 도관(28)은 진공펌프(VP)에 연결되게 된다.

상기 샤프트(50)는 상기 블럭형상부(31)에 몰입되는 위치와 돌출되는 위치 사이에서 승강가능하게 설치되며, 이 샤프트(50)를 위치고정시키기 위하여 상기 고정수단이 구비된다. 이 고정수단은 통형의 하우징(61)과 가압부재(64)를 구비한다. 상기 통형의 하우징(61)의 외주면에는 수나사산이 형성되어 있어 상기 결합공(29)에 나사결합된다. 이 하우징(61)의 상면에는 상기 샤프트(50)가 끼워져 가이드되기 위한 구멍(62)이 형성되어 있다. 상기 하우징(61)내에는 받침대(66)가 설치된다. 상기 받침대(66)는 상기 샤프트(50)를 중심으로 그 둘레를 따라 일정 각도 간격으로 4개 배치되어 상기 하우징(61)에 고정된다, 각 받침대(66)는 상기 축방향을 따라 길게 형성되어 있다. 상기 4개의 받침대(66)의 내측에는 유압실린더(90)가 배치되며, 이 유압실린더(90)는 유압펌프(HP)에 연결되어 있다. 상기 4개의 받침대(66)의 각 상단부에는 상기 샤프트(50)를 클램핑하여 위치고정시키기 위한 클램핑부재(63)가 배치된다. 즉, 이 클램핑부재(63)는 상기 샤프트(50)를 중심으로 그 둘레를 따라 일정 각도간격으로 4개 배치된다. 이 클램핑부재(63)도 상기 샤프트(50)의 축방향을 따라 길게 배치되어 있으며, 그 하단부는 회동핀(67)에 의하여 상기 받침대(66)의 상단부와 연결되어 있어, 이 클램핑부재(63)는 상기 받침대(66)에 회동가능하게 결합된다. 즉, 이 클램핑부재(63)는 상기 회동핀(67)을 중심으로 상기 샤프트(50)쪽으로 접근되어 그 샤프트(50)를 클램핑 하는 클램핑방향 및 이 클램핑방향의 반대방향인 상기 샤프트(50)로부터 이격되는 방향으로 이동가능하다. 상기 클램핑부재(63)의 상단에는 상기 샤프트(50) 방향으로 절곡되어 있는 파지부(63a)가 형성되어 있다. 이 파지부(63a)는 상기 클램핑부재(63)가 클램핑방향으로 이동시 상기 샤프트(50)에 접촉 및 가압함으로써, 이 샤프트(50)를 클 램핑하여 위치고정시킨다. 즉, 상기 클램핑부재(63)의 파지부(63a)는, 상기한 바와 같이, 상기 샤프트(50)를 중심으로 그 둘레를 따라 일정 각도 간격으로 4개 배치되어, 이 4개의 파지부(63a)가 동시에 상기 샤프트(50)를 가압함으로써 이 샤프트(50)가 안정적으로 고정된다. 또한, 이 클램핑부재(63)의 중앙부에는 걸림부(63b)가 돌출된 형태로 마련되어 있다. 이 걸림부(63b)는 후술할 가압부재(64)와 접촉되는 부분으로서, 그 하부에서 상부로 갈수록 그 돌출길이가 길어져 개략적 단면형상이 역삼각형으로 이루어져 있다. 상기 클램핑부재(63)와 하우징(61)의 내주면 사이에는 인장스프링(68)이 결합되어 있다. 이 인장스프링(68)은 상기 클램핑부재(67)를 하우징(61)의 내주면쪽 즉, 상기 샤프트(50)를 클램핑하는 방향과 반대방향으로 탄성가압한다.

상기 가압부재(64)는 상기 유압실린더(90)의 로드(91)에 결합된다. 또한, 이 가압부재(64)에는 일정각도 간격으로 배치된 4개의 가이드공(64a)이 형성되어 있어, 도 6에 도시된 바와 같이, 이 가압부재(64)는 상기 받침대(66)에 끼워지게 된다. 상기 유압실린더(90)의 로드(91)가 왕복이동시에, 이 가압부재(64)도 함께 상기 하우징(61)내에 왕복이동된다. 상기 가압부재(64)의 상부에는 돌출된 형태의 가압부(64b)가 마련되며, 이 가압부(64b)는 상부에서 하부로 갈수록 그 돌출길이가 짧아져 개략적 단면형상이 삼각형을 이루고 있다. 이 가압부(64b)는 가압부재(64)가 상승시에 상기 클램핑부재(63)의 돌출부(63b)에 걸리게 되어 상기 클램핑부재(63)를 상기 샤프트(50)에 접근하는 방향, 즉 상기 샤프트(50)를 클램핑하는 방향으로 가압한다.

상기 샤프트(50)는 샤프트 본체부(51)와, 볼(52)과 받침부재(53)를 구비한다. 상기 샤프트 본체부(51)는 원기둥형으로 상기 하우징(61)의 상하방향을 따라 길게 배치되어 상기 블럭형상부(31)에 대해 승강가능하게 설치된다. 이 샤프트 본체부(51)는 상기 4개의 클램핑부재(63)의 중심부에 배치되어, 상기 하우징(61)의 구멍(62)에 끼워져 있다. 상기 샤프트 본체부(51)의 하부와 상기 받침대 사이에는 압축스프링(70)이 끼워져 있어, 이 샤프트 본체부(51)는 상기 블럭형상부(31)의 외부로 돌출되도록 상방향으로 탄성바이어스 되어 있다. 상기 본체부(51)의 상단에는 상기 볼(52)이 회전가능하게 결합되어 있다. 이 볼(52)은 전후방향, 좌우방향 등 전방위에 걸쳐서 회전가능하다. 이 볼(52)의 상단에는 상기 가공물(W)의 굴곡진 부분(F)을 지지하기 위한 받침부재(53)가 결합되어 있다. 이 받침부재(53)는 상기 회전가능한 볼(52)에 결합되어 있으므로, 전방향으로 회전가능하므로, 상기 가공물(W)어 어떠한 형상으로 굴곡되어 있는 경우에도, 이 굴곡된 부분(F)을 안정적으로 지지할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가공물 고정장치(100)의 작용에 대하여 설명한다.

상기 가공물(W)을 가공물 고정장치(100)의 블럭형상부(31)들 위에 얹어 놓은 후, 이 가공물(W)에서 굴곡된 부분(F)의 위치를 파악한다. 이후, 가공물(W)을 들어내고, 상기 가공물(W)의 굴곡된 부분(F)이 위치되는 곳들에 배치된 블럭형상부(31)들에 상기 샤프트(50)가 설치되어 있는 하우징(61)을 각각 나사결합 시킨다. 하우징(61)이 결합되기 전에는 이 결합공(29)들은 마개부재(미도시)가 나사결합되 어 있어 폐쇄되어 있으며, 상기한 바와 같이 하우징(61)을 결합할 때는 이 마개부재(미도시)를 상기 결합공(29)으로부터 빼낸 후 결합시킨다. 따라서, 하우징(61)이 결합되지 않는 결합공(29)은 상기 마개부재가 끼워져 결합된 상태를 유지한다. 이렇게 상기 하우징(61)을 결합시켰을 때, 상기 샤프트(50)는 그 하부의 스프링(80)에 의하여 탄성바이어스 되어 있는 상태이므로 상기 블럭형상부(31)의 외부 상방향으로 돌출되어 있게 된다. 이러한 상태에서 상기 가공물(W)을 다시 블럭형상부(31)들 위에 얹어 놓으면, 이 가공물(W)의 하면들 중 평평한 부분은 상기 블럭형상부(31)들의 상면에 지지되며, 굴곡된 부분(F)들은 상기 샤프트(50)의 받침부재(53)를 누르게 된다. 이에 따라 상기 샤프트 본체부(51)는 상기 가공물(W)의 하면에 눌린 상태로 하방향으로 이동하게 된다. 이렇게, 상기 가공물(W)이 블럭형상부(31)들 상에 놓여지게 되면, 상기 가공물(W)의 하면과 상기 진공성형용 홈부(40) 사이에는 폐쇄된 공간(45)이 형성된다. 이 때, 상기 진공펌프(VP)를 작동시키면, 상기 플레이트 본체부(20)의 하면에 형성되어 있는 관통공(27)을 통해 상기 폐쇄된 공간(45)에 있던 공기들이 모두 빨려 나가게 되고 상기 페쇄된 공간(45)에는 진공이 형성된다. 이렇게 진공이 형성되는 동안 상기 가공물(W)들은 진공흡착되어 상기 블럭형상부(31)에 완전히 밀착되어 고정된다.

한편, 도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 가공물(W)의 굴곡된 부분(F)이 샤프트(50)에 의하여 받쳐져 있는 상태에서, 상기 유압펌프(HP)를 작동시키면, 유압실린더(90)의 로드(91)가 상방향으로 이동되고, 이 로드(91)에 결합되어 있는 가압부재(64)도 함께 상승한다. 가압부재(64)가 상승할 때, 이 가압부재(64)의 가압부 (64b)가 상기 클램핑부재(63)의 돌출부(63b)를 상기 샤프트(50) 방향으로 밀어 낸다. 이렇게 상기 클램핑부재(63) 돌출부(63b)가 샤프트(50) 방향으로 밀리면서, 상기 클램핑부재(63)는 상기 회동핀(67)을 중심으로 상기 샤프트(50)를 클램핑하는 클램핑방향으로 이동되고, 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 클램핑부재(63)의 파지부(63a)는 상기 샤프트 본체부(51)를 가압하여 위치고정시킨다. 상기한 바와 같이, 이 클램핑부재(63)는 상기 샤프트(50)를 중심으로 그 둘레에 일정 각도간격으로 4개 배치되어 있어, 상기 샤프트(50)를 안정적으로 위치고정시킬 수 있다.

상기한 바와 같이, 가공물(W)은 진공흡착되어 가공물 고정장치(100)의 블럭형상부(31)들에 고정되어 있으며, 상기 굴곡된 부분(F)은 샤프트(50)에 의하여 안정적으로 지지되어 있으므로, 가공물(W)을 대상으로 안정적으로 가공을 행할 수 있다. 종래의 가공물 고정장치에서도 가공물(W)이 진공흡착되어 위치고정되어 있기는 하지만, 굴곡된 부분(F)을 지지하지 못하게 되어 이 굴곡된 부분(F)을 가압하게 되면 가공물(W)의 형상이 변하거나 가공물(W)의 단부가 들려서 진공상태가 해제되는 등의 문제점이 있었으나, 본 발명에 따른 가공물 고정장치(100)에서는 이 굴곡된 부분(F)이 샤프트(50)에 의하여 지지되어 있으므로, 이 굴곡된 부분(F)을 가압하는 경우에도 종래의 장치에서와 같은 문제점이 발생하지 않게 된다는 장점이 있다.

지금가지, 상기 지지부(30)가 직육면체형의 다수의 블럭형상부(31)들로 이루어진 것으로 설명 및 도시하였으나, 이 지지부(30)는 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 돌출된 고리형으로 형성될 수도 있다. 즉, 상기 지지부(30)의 형상은 가공 물(W)의 형상과 가공조건에 따라서 다양하게 변할 수 있다.

또한, 지금까지 상기 샤프트(50)를 위치고정시키기 위한 고정수단은 우징(66)과 클램핑부재(63)와 가압부재(64)로 이루어지며, 이들을 구동시키기 위한 유압실린더(90)가 구비되어 있는 것으로 설명 및 도시하였으나, 이는 단지 설명의 편의를 위해 예를 든것에 불과하며, 공압실린더, 고압 또는 유압 콜릿척(collet chuk) 등의 다양한 공지의 클램핑 수단이 채용될 수도 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 가공물 고정장치는, 가공의 대상이 되는 가공물이 굴곡되어 있거나 파도형 등으로 되어 있어 평탄도가 낮은 경우에도, 이 가공물을 안정적으로 지지하여 고정시킬 수 있어 가공이 용이하며, 또한 가공물이 안정적으로 지지되어 가공되므로 가공의 불균일성으로 인해 필요한 연마작업 등과 같은 별도의 후공정을 요하지 않는다는 장점이 있다.

Claims (4)

1. 가공하고자 하는 가공물을 고정시키기 위한 가공물 고정장치로서,

   그 상부에는 상기 가공물을 받쳐서 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 지지된 가공물의 하면과 더불어 진공형성공간을 이루게 되는 진공형성용 홈부를 가지는 플레이트를 포함하여 이루어져, 상기 진공형성공간에 진공이 형성될 때 그 진공압에 의해 상기 가공물을 흡착하여 고정시키는 가공물 고정장치에 있어서,

   상기 플레이트의 지지부에 대해 승강 가능하게 설치되며 그 지지부에 대해 돌출되도록 상방으로 탄성 바이어스되어 있는 샤프트와,

   상기 샤프트를 위치고정시키기 위한 고정수단을 구비하며,

   상기 지지부는 상호 이격되어 있는 복수의 판형 직육면체 블럭형상부들로 이루어지며,

   상기 홈부는 이 직육면체 블럭형상부들 사이의 홈에 의하여 형성되어 격자형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가공물 고정장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 고정수단은,

   상기 샤프트를 승강 가능하게 지지하며 상기 지지부에 결합되는 하우징과,

   상기 하우징에, 상기 샤프트를 클램핑하는 클램핑방향 및 그 반대방향으로 이동 가능하게 설치되는 클램핑부재와,

   상기 하우징 내에 왕복이동 가능하게 설치되며, 그 일방향으로의 이동시에 상기 클램핑부재가 상기 샤프트를 클램핑하도록, 상기 클램핑부재를 상기 클램핑방향으로 가압하는 가압부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공물 고정장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 샤프트는, 상기 플레이트의 지지부에 대해 승강 가능한 샤프트 본체부와, 상기 샤프트 본체부의 상단에 회전 가능하게 결합되는 받침부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 가공물 고정장치.
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