JP2000100913A - 板状体の吸着装置及びその制御方法 - Google Patents
板状体の吸着装置及びその制御方法Info
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- JP2000100913A JP2000100913A JP26696898A JP26696898A JP2000100913A JP 2000100913 A JP2000100913 A JP 2000100913A JP 26696898 A JP26696898 A JP 26696898A JP 26696898 A JP26696898 A JP 26696898A JP 2000100913 A JP2000100913 A JP 2000100913A
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】加熱を伴なう場合でも板状体を確実に吸着する
ことができる板状体の吸着装置を提供する。 【解決手段】板状体２７３を吸着させるための複数の吸
着孔Ｂ１〜Ｂ１６が形成された吸着板２６と、複数の吸
着孔から外気を吸引させるために複数の吸着孔に接続さ
れた負圧源と、吸着孔と負圧源との接続を開閉する負圧
開閉装置Ｓｏｌ１〜Ｓｏｌ１６と、吸着孔の負圧を検出
する負圧検出装置ＢＳ１〜ＢＳ１６と、負圧検出装置に
より検出された負圧の値が所定値よりも小さい場合に、
少なくともその所定値よりも小さい負圧を示す吸着孔の
前記負圧源との接続を閉じるように、負圧開閉装置を制
御する制御装置１５０とを具備する。
ことができる板状体の吸着装置を提供する。 【解決手段】板状体２７３を吸着させるための複数の吸
着孔Ｂ１〜Ｂ１６が形成された吸着板２６と、複数の吸
着孔から外気を吸引させるために複数の吸着孔に接続さ
れた負圧源と、吸着孔と負圧源との接続を開閉する負圧
開閉装置Ｓｏｌ１〜Ｓｏｌ１６と、吸着孔の負圧を検出
する負圧検出装置ＢＳ１〜ＢＳ１６と、負圧検出装置に
より検出された負圧の値が所定値よりも小さい場合に、
少なくともその所定値よりも小さい負圧を示す吸着孔の
前記負圧源との接続を閉じるように、負圧開閉装置を制
御する制御装置１５０とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状体を吸着して
保持するための板状体の吸着装置及びその制御方法に関
するものである。
保持するための板状体の吸着装置及びその制御方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス板等の板状体のバキューム
吸着は、板状の吸着板に複数のバキューム穴、バキュー
ムミゾを設け吸着を行っている。
吸着は、板状の吸着板に複数のバキューム穴、バキュー
ムミゾを設け吸着を行っている。
【０００３】例えば、特開昭５６−４８４２６号公報に
は、複数のバキューム穴（パッド）によって吸着した場
合、吸着しない（吸着できない）バキューム穴を、その
もれ空気により弁体を自動的に封止させることにより閉
じる方法が開示されている。
は、複数のバキューム穴（パッド）によって吸着した場
合、吸着しない（吸着できない）バキューム穴を、その
もれ空気により弁体を自動的に封止させることにより閉
じる方法が開示されている。
【０００４】また、特開平７−１８３３６６号公報に
は、ガラス板の吸着方法として、複数のミゾ吸着部を中
心から外へタイムラグを設けるように制御してガラス板
を吸着する方法が開示されている。
は、ガラス板の吸着方法として、複数のミゾ吸着部を中
心から外へタイムラグを設けるように制御してガラス板
を吸着する方法が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ガラス板の
加熱板へのバキューム吸着において、室温でのガラス板
のソリ、変形、加熱板のソリ、変形、あるいはガラス板
と加熱板の間へのゴミ等のかみ込みによってバキューム
圧がもれている場合、もれのないバキューム穴でのみ吸
着することはできる。しかしながら、ガラス板の加熱を
ともなう場合は、そのもれたエアーにより、バキューム
穴と、ガラス板の間には、空気の流路が形成され、その
空気の流路によって冷やされ、ガラスに温度分布を生じ
てしまう。ガラスに生じた温度分布により、更にガラス
のソリが大きくなり、そうすると更に空気の流路が拡大
し、加速的にガラスのソリが増大し、ついには、吸着し
ていたバキューム穴部分もガラスのソリによりもれ出
し、吸着が不完全になる。従って、室温でのガラス板の
吸着はもとより、加熱、冷却の全工程において、バキュ
ーム穴の吸着不完全によるもれエアーが生じないように
する必要がある。
加熱板へのバキューム吸着において、室温でのガラス板
のソリ、変形、加熱板のソリ、変形、あるいはガラス板
と加熱板の間へのゴミ等のかみ込みによってバキューム
圧がもれている場合、もれのないバキューム穴でのみ吸
着することはできる。しかしながら、ガラス板の加熱を
ともなう場合は、そのもれたエアーにより、バキューム
穴と、ガラス板の間には、空気の流路が形成され、その
空気の流路によって冷やされ、ガラスに温度分布を生じ
てしまう。ガラスに生じた温度分布により、更にガラス
のソリが大きくなり、そうすると更に空気の流路が拡大
し、加速的にガラスのソリが増大し、ついには、吸着し
ていたバキューム穴部分もガラスのソリによりもれ出
し、吸着が不完全になる。従って、室温でのガラス板の
吸着はもとより、加熱、冷却の全工程において、バキュ
ーム穴の吸着不完全によるもれエアーが生じないように
する必要がある。
【０００６】既に述べたように、特開昭５６−４８４２
６号公報には、１つのバキューム源を用い、複数のバキ
ュームパッドに供給し、バキュームが不完全でもれてい
るパッドについて、そのもれエアーにより、弁体を閉じ
る方法が記載されている。しかし、弁体を閉じるには、
大きなもれエアーの流量が必要となり、ガラス板と平板
の小さなスキマにできる微少なもれエアーにより弁体を
閉じることはできない。
６号公報には、１つのバキューム源を用い、複数のバキ
ュームパッドに供給し、バキュームが不完全でもれてい
るパッドについて、そのもれエアーにより、弁体を閉じ
る方法が記載されている。しかし、弁体を閉じるには、
大きなもれエアーの流量が必要となり、ガラス板と平板
の小さなスキマにできる微少なもれエアーにより弁体を
閉じることはできない。
【０００７】また、特開平７−１８３３６６号公報に
は、ガラス板の同芯状の複数のミゾにより、中心部より
外へタイムラグを設けてガラスを吸着する方法が記載さ
れているが、バキューム圧がもれていた場合への対処方
法は何等開示されていない。
は、ガラス板の同芯状の複数のミゾにより、中心部より
外へタイムラグを設けてガラスを吸着する方法が記載さ
れているが、バキューム圧がもれていた場合への対処方
法は何等開示されていない。
【０００８】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、加熱を伴なう場合でも
板状体を確実に吸着することができる板状体の吸着装置
及びその制御方法を提供することである。
されたものであり、その目的は、加熱を伴なう場合でも
板状体を確実に吸着することができる板状体の吸着装置
及びその制御方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる板状体の吸着装
置は、板状体を吸着させるための複数の吸着孔が形成さ
れた吸着板と、前記複数の吸着孔から外気を吸引させる
ために該複数の吸着孔に接続された負圧発生手段と、前
記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を開閉する負圧開
閉手段と、前記吸着孔の負圧を検出する負圧検出手段
と、該負圧検出手段により検出された負圧の値が所定値
よりも小さい場合に、少なくとも該所定値よりも小さい
負圧を示す吸着孔の前記負圧発生手段との接続を閉じる
ように、前記負圧開閉手段を制御する制御手段とを具備
することを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わる板状体の吸着装
置は、板状体を吸着させるための複数の吸着孔が形成さ
れた吸着板と、前記複数の吸着孔から外気を吸引させる
ために該複数の吸着孔に接続された負圧発生手段と、前
記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を開閉する負圧開
閉手段と、前記吸着孔の負圧を検出する負圧検出手段
と、該負圧検出手段により検出された負圧の値が所定値
よりも小さい場合に、少なくとも該所定値よりも小さい
負圧を示す吸着孔の前記負圧発生手段との接続を閉じる
ように、前記負圧開閉手段を制御する制御手段とを具備
することを特徴としている。
【００１０】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段とは、
前記複数の吸着孔の１つにつき１組ずつ設けられている
ことを特徴としている。
において、前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段とは、
前記複数の吸着孔の１つにつき１組ずつ設けられている
ことを特徴としている。
【００１１】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記複数の吸着孔は、ｎ個（ｎは２以上の整
数）のグループに分類されており、該ｎ個のグループの
内の各グループから１つずつ選ばれたｎ個の吸着孔につ
き１組の前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段が設けら
れていることを特徴としている。
において、前記複数の吸着孔は、ｎ個（ｎは２以上の整
数）のグループに分類されており、該ｎ個のグループの
内の各グループから１つずつ選ばれたｎ個の吸着孔につ
き１組の前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段が設けら
れていることを特徴としている。
【００１２】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記ｎ個のグループとは、４個のグループで
あることを特徴としている。
において、前記ｎ個のグループとは、４個のグループで
あることを特徴としている。
【００１３】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記吸着板は、前記板状体を加熱可能に構成
されていることを特徴としている。
において、前記吸着板は、前記板状体を加熱可能に構成
されていることを特徴としている。
【００１４】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記板状体を前記吸着板により室温から所定
の温度まで加熱し冷却するまでの間を通して、前記制御
手段は、前記負圧開閉手段を同じように制御することを
特徴としている。
において、前記板状体を前記吸着板により室温から所定
の温度まで加熱し冷却するまでの間を通して、前記制御
手段は、前記負圧開閉手段を同じように制御することを
特徴としている。
【００１５】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記制御手段は、前記負圧開閉手段により前
記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を閉じた場合に、
前記板状体が落下するか否かを判定し、前記板状体が落
下する場合には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わない
ことを特徴としている。
において、前記制御手段は、前記負圧開閉手段により前
記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を閉じた場合に、
前記板状体が落下するか否かを判定し、前記板状体が落
下する場合には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わない
ことを特徴としている。
【００１６】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記制御手段は、前記負圧開閉手段により前
記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を閉じた場合に、
前記板状体が落下するか否かを判定し、前記板状体が落
下する場合には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わない
とともに、警報を発することを特徴としている。
において、前記制御手段は、前記負圧開閉手段により前
記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を閉じた場合に、
前記板状体が落下するか否かを判定し、前記板状体が落
下する場合には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わない
とともに、警報を発することを特徴としている。
【００１７】また、この発明に係わる板状体の吸着装置
において、前記板状体はガラス板であることを特徴とし
ている。
において、前記板状体はガラス板であることを特徴とし
ている。
【００１８】また、本発明に係わる吸着装置の制御方法
は、板状体を吸着させるための複数の吸着孔が形成され
た吸着板と、前記複数の吸着孔から外気を吸引させるた
めに該複数の吸着孔に接続された負圧発生手段と、前記
吸着孔と前記負圧発生手段との接続を開閉する負圧開閉
手段と、前記吸着孔の負圧を検出する負圧検出手段とを
備える板状体の吸着装置を制御するための吸着装置の制
御方法であって、前記負圧検出手段により検出された負
圧の値が所定値よりも小さい場合に、少なくとも該所定
値よりも小さい負圧を示す吸着孔の前記負圧発生手段と
の接続を閉じることを特徴としている。
は、板状体を吸着させるための複数の吸着孔が形成され
た吸着板と、前記複数の吸着孔から外気を吸引させるた
めに該複数の吸着孔に接続された負圧発生手段と、前記
吸着孔と前記負圧発生手段との接続を開閉する負圧開閉
手段と、前記吸着孔の負圧を検出する負圧検出手段とを
備える板状体の吸着装置を制御するための吸着装置の制
御方法であって、前記負圧検出手段により検出された負
圧の値が所定値よりも小さい場合に、少なくとも該所定
値よりも小さい負圧を示す吸着孔の前記負圧発生手段と
の接続を閉じることを特徴としている。
【００１９】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段と
は、前記複数の吸着孔の１つにつき１組ずつ設けられて
いることを特徴としている。
法において、前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段と
は、前記複数の吸着孔の１つにつき１組ずつ設けられて
いることを特徴としている。
【００２０】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記複数の吸着孔は、ｎ個（ｎは２以上の
整数）のグループに分類されており、該ｎ個のグループ
の内の各グループから１つずつ選ばれたｎ個の吸着孔に
つき１組の前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段が設け
られていることを特徴としている。
法において、前記複数の吸着孔は、ｎ個（ｎは２以上の
整数）のグループに分類されており、該ｎ個のグループ
の内の各グループから１つずつ選ばれたｎ個の吸着孔に
つき１組の前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段が設け
られていることを特徴としている。
【００２１】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記ｎ個のグループとは、４個のグループ
であることを特徴としている。
法において、前記ｎ個のグループとは、４個のグループ
であることを特徴としている。
【００２２】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記吸着板は、前記板状体を加熱可能に構
成されていることを特徴としている。
法において、前記吸着板は、前記板状体を加熱可能に構
成されていることを特徴としている。
【００２３】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記板状体を前記吸着板により室温から所
定の温度まで加熱し冷却するまでの間を通して、前記負
圧開閉手段を同じように制御することを特徴としてい
る。
法において、前記板状体を前記吸着板により室温から所
定の温度まで加熱し冷却するまでの間を通して、前記負
圧開閉手段を同じように制御することを特徴としてい
る。
【００２４】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記負圧開閉手段により前記吸着孔と前記
負圧発生手段との接続を閉じた場合に、前記板状体が落
下するか否かを判定し、前記板状体が落下する場合に
は、前記負圧開閉手段の閉動作を行わないことを特徴と
している。
法において、前記負圧開閉手段により前記吸着孔と前記
負圧発生手段との接続を閉じた場合に、前記板状体が落
下するか否かを判定し、前記板状体が落下する場合に
は、前記負圧開閉手段の閉動作を行わないことを特徴と
している。
【００２５】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記負圧開閉手段により前記吸着孔と前記
負圧発生手段との接続を閉じた場合に、前記板状体が落
下するか否かを判定し、前記板状体が落下する場合に
は、前記負圧開閉手段の閉動作を行わないとともに、警
報を発することを特徴としている。
法において、前記負圧開閉手段により前記吸着孔と前記
負圧発生手段との接続を閉じた場合に、前記板状体が落
下するか否かを判定し、前記板状体が落下する場合に
は、前記負圧開閉手段の閉動作を行わないとともに、警
報を発することを特徴としている。
【００２６】また、この発明に係わる吸着装置の制御方
法において、前記板状体はガラス板であることを特徴と
している。
法において、前記板状体はガラス板であることを特徴と
している。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】図１は、本発明の板状体の吸着装置を適用
した一実施形態の封着装置を用いて組立、封着をするワ
ークを示した図である。
した一実施形態の封着装置を用いて組立、封着をするワ
ークを示した図である。
【００２９】図１において、２７１はガラス板（９００
mm×６００mm ｔ＝３mm）からなるフェースプレート
で、その表面には蛍光物からなる発光体２７１ｃが配置
されている。
mm×６００mm ｔ＝３mm）からなるフェースプレート
で、その表面には蛍光物からなる発光体２７１ｃが配置
されている。
【００３０】２７３はガラス板からなるリアプレート
で、その表面には電子放出源２７３ｃが配置されてい
る。電子放出源２７３ｃから電子が放出され、発光体２
７１ｃを光らせ、平面型画像表示装置を構成する。ま
た、２７２は外枠である。
で、その表面には電子放出源２７３ｃが配置されてい
る。電子放出源２７３ｃから電子が放出され、発光体２
７１ｃを光らせ、平面型画像表示装置を構成する。ま
た、２７２は外枠である。
【００３１】図２は、ワークを組み立てた状態を示した
図である。
図である。
【００３２】図２において、（ａ）は平面型画像表示装
置の斜視図で、ガラスリアプレート２７３とガラスフェ
ースプレート２７１の間に外枠２７２をはさみ込んでフ
リット接合したものである。（ｂ）は断面図であり、外
枠２７２の融着面２７２ａ，２７２ｂには、あらかじめ
フリットガラスが塗布されている。
置の斜視図で、ガラスリアプレート２７３とガラスフェ
ースプレート２７１の間に外枠２７２をはさみ込んでフ
リット接合したものである。（ｂ）は断面図であり、外
枠２７２の融着面２７２ａ，２７２ｂには、あらかじめ
フリットガラスが塗布されている。
【００３３】２７４はスペーサーで、内部を真空状態に
した時に大気圧でガラスプレート２７１，２７３が割れ
ない様に支柱の役割をしている。
した時に大気圧でガラスプレート２７１，２７３が割れ
ない様に支柱の役割をしている。
【００３４】図３は、上記のガラスプレート及び外枠を
封着する封着装置の構成を示す斜視図であり、図４は、
その側断面図である。
封着する封着装置の構成を示す斜視図であり、図４は、
その側断面図である。
【００３５】図３及び図４において、２０は上部加熱板
で昇降テーブル１８に吊り金具２２ａ〜２２ｅにより取
り付けられている。昇降テーブル１８は、ボールネジ４
２により、昇降動作を行う。上部加熱板２０にはガラス
フェースプレート２７１がバキューム吸着される。
で昇降テーブル１８に吊り金具２２ａ〜２２ｅにより取
り付けられている。昇降テーブル１８は、ボールネジ４
２により、昇降動作を行う。上部加熱板２０にはガラス
フェースプレート２７１がバキューム吸着される。
【００３６】２６は下部加熱板でｘ−ｙ−θテーブル２
８上に支柱４８ａ，４８ｂ，５０ａ，５０ｂを介して設
置され、ガラスリアプレート２７３がバキューム吸着さ
れる。ガラスリアプレート２７３上には、外枠２７２が
のせられる。
８上に支柱４８ａ，４８ｂ，５０ａ，５０ｂを介して設
置され、ガラスリアプレート２７３がバキューム吸着さ
れる。ガラスリアプレート２７３上には、外枠２７２が
のせられる。
【００３７】ワークの接合動作時は、図１において、平
面度測定装置１００の測定部１０４は、左，右どちらか
にあり、上、下加熱板２０，２６の間からは、逃げた位
置にある。
面度測定装置１００の測定部１０４は、左，右どちらか
にあり、上、下加熱板２０，２６の間からは、逃げた位
置にある。
【００３８】接合動作は、上、下加熱板２０，２６によ
って、外枠２７２に塗布されたフリットガラスが溶ける
温度である４２０℃まで加熱する。その後、ＣＣＤカメ
ラ３６Ａ，３６Ｂでアライメントマーク２７３ａ，２７
３ｂとアライメントマーク２７１ｂ，２７１ｃを画像処
理し、位置を合わせるべく、ｘ−ｙ−θテーブル２８に
よって、所定の値だけ、リアプレート２７３を移動させ
る。そして、昇降テーブル１８を下降させ、フェースプ
レート２７１をリアプレート２７３及び外枠２７２に押
しつけ、降温し、フリットガラスを固化させる。そし
て、図２（ａ）に示す平面型画像表示装置の接合が完了
する。
って、外枠２７２に塗布されたフリットガラスが溶ける
温度である４２０℃まで加熱する。その後、ＣＣＤカメ
ラ３６Ａ，３６Ｂでアライメントマーク２７３ａ，２７
３ｂとアライメントマーク２７１ｂ，２７１ｃを画像処
理し、位置を合わせるべく、ｘ−ｙ−θテーブル２８に
よって、所定の値だけ、リアプレート２７３を移動させ
る。そして、昇降テーブル１８を下降させ、フェースプ
レート２７１をリアプレート２７３及び外枠２７２に押
しつけ、降温し、フリットガラスを固化させる。そし
て、図２（ａ）に示す平面型画像表示装置の接合が完了
する。
【００３９】以上の封着組立における、上、下加熱板２
０，２６へのガラスプレート２７１，２７３のバキュー
ム吸着について詳しく説明する。
０，２６へのガラスプレート２７１，２７３のバキュー
ム吸着について詳しく説明する。
【００４０】図５及び図６は、バキュームの配管構成を
示す図である。
示す図である。
【００４１】下加熱板２６には、リアガラスプレート２
７３の範囲内にバキューム穴Ｂ１〜Ｂ１６が形成されて
いる。夫々のバキューム穴には、ステンレス管１５１が
つながれ、バキューム圧力センサーＢＳ１〜ＢＳ１６が
つながれている。更に、ビニールチューブ１５２によっ
て、ソレノイドバルブＳｏｌ１〜Ｓｏｌ１６が夫々接続
され、ビニールチューブ１５３によって、集合配管１５
４ａにまとめられている。集合配管１５４ａには、図３
に示すバキュームポンプ１５５がつながれ、常にバキュ
ーム圧を発生している。上加熱板２０も同様に、フェー
スガラスプレート２７１の範囲内にバキューム穴Ｂ１７
〜Ｂ３２が形成され、バキューム圧力センサーＢＳ１７
〜ＢＳ３２、ソレノイドバルブＳｏｌ１７〜Ｓｏｌ３
２、集合配管１５４ｂ、バキュームポンプ１５５が接続
されている。バキューム圧力センサーＢＳ１〜ＢＳ３２
の電気信号は、夫々バキュームコントローラー１５０に
送られている。
７３の範囲内にバキューム穴Ｂ１〜Ｂ１６が形成されて
いる。夫々のバキューム穴には、ステンレス管１５１が
つながれ、バキューム圧力センサーＢＳ１〜ＢＳ１６が
つながれている。更に、ビニールチューブ１５２によっ
て、ソレノイドバルブＳｏｌ１〜Ｓｏｌ１６が夫々接続
され、ビニールチューブ１５３によって、集合配管１５
４ａにまとめられている。集合配管１５４ａには、図３
に示すバキュームポンプ１５５がつながれ、常にバキュ
ーム圧を発生している。上加熱板２０も同様に、フェー
スガラスプレート２７１の範囲内にバキューム穴Ｂ１７
〜Ｂ３２が形成され、バキューム圧力センサーＢＳ１７
〜ＢＳ３２、ソレノイドバルブＳｏｌ１７〜Ｓｏｌ３
２、集合配管１５４ｂ、バキュームポンプ１５５が接続
されている。バキューム圧力センサーＢＳ１〜ＢＳ３２
の電気信号は、夫々バキュームコントローラー１５０に
送られている。
【００４２】バキュームコントローラー１５０からは、
夫々のソレノイドバルブＳｏｌ１〜Ｓｏｌ３２を
「入」、「切」できるよう配線されている。
夫々のソレノイドバルブＳｏｌ１〜Ｓｏｌ３２を
「入」、「切」できるよう配線されている。
【００４３】次に、上記のように構成されるバキューム
吸着の動作について説明する。
吸着の動作について説明する。
【００４４】作業者は、室温にて、上加熱板２０にフェ
ースガラスプレート２７１を押しつけ、バキュームコン
トローラー１５０によりソレノイドバルブＳｏｌ１７〜
Ｓｏｌ３２を「入」状態にし、各バキューム穴Ｂ１〜Ｂ
１６のバキュームをＯＮにする。
ースガラスプレート２７１を押しつけ、バキュームコン
トローラー１５０によりソレノイドバルブＳｏｌ１７〜
Ｓｏｌ３２を「入」状態にし、各バキューム穴Ｂ１〜Ｂ
１６のバキュームをＯＮにする。
【００４５】即ちソレノイドバルブＳｏｌ１７〜Ｓｏｌ
３２が弁を開き、ガラスプレート２７１をバキュームす
る。バキュームができればバキューム圧力センサーＢＳ
１７〜ＢＳ３６は良信号をコントローラーに送る。バキ
ュームポンプによる元圧は、バキュームポンプ後の負圧
調整器により、５００mmHgに設定されている。従ってエ
アーもれなくバキュームできれば、５００mmHgの圧力を
示す。５０mmHgのマージンをとって、バキューム圧力セ
ンサーは４５０mmHg以上なら良信号となるように設定す
る。下加熱板２６にガラスプレート２７３をバキューム
する場合も同様である。
３２が弁を開き、ガラスプレート２７１をバキュームす
る。バキュームができればバキューム圧力センサーＢＳ
１７〜ＢＳ３６は良信号をコントローラーに送る。バキ
ュームポンプによる元圧は、バキュームポンプ後の負圧
調整器により、５００mmHgに設定されている。従ってエ
アーもれなくバキュームできれば、５００mmHgの圧力を
示す。５０mmHgのマージンをとって、バキューム圧力セ
ンサーは４５０mmHg以上なら良信号となるように設定す
る。下加熱板２６にガラスプレート２７３をバキューム
する場合も同様である。
【００４６】ここでもし、ガラスプレートのソリ、加熱
板のソリ、ガラスプレートと加熱板の間に小さなゴミを
かみ込んでしまった場合等には、バキューム圧力が下が
ってエアーがもれている状態となる（大きな面積の薄い
ガラス板は、一部分にもれがあっても他の部分は、たわ
んで吸着する性質がある。このため、バキューム穴の幾
つかがバキュームしていなくても他のバキューム穴によ
りガラス板を吸着する事は可能である。）。
板のソリ、ガラスプレートと加熱板の間に小さなゴミを
かみ込んでしまった場合等には、バキューム圧力が下が
ってエアーがもれている状態となる（大きな面積の薄い
ガラス板は、一部分にもれがあっても他の部分は、たわ
んで吸着する性質がある。このため、バキューム穴の幾
つかがバキュームしていなくても他のバキューム穴によ
りガラス板を吸着する事は可能である。）。
【００４７】エアーもれがあるバキューム穴は、バキュ
ーム圧力センサーにより検出し（４５０mmHg以下）、ソ
レノイドバルブを閉じる。ただしこの場合、上加熱板２
０に吸着されているガラス板は、バキュームもれが沢山
あった場合、ソレノイドバルブを閉じてしまうと落下し
てしまう。即ち、ガラスの４等分ごとのバキューム穴、
（Ｂ１７，１８，２１，２２）（Ｂ１９，２０，２３，
２４）（Ｂ２５，２６，２９，３０）（Ｂ２７，２８，
３１，３２）のそれぞれのエリアで最低１個のバキュー
ム穴がＯＮでなければガラスは落下してしまう。もちろ
ん作業者が最初にガラス板をバキュームさせるために、
手動のフォークリフト等によってガラス板を加熱板２０
に押しつけ、バキュームＯＮした時、先の４つのエリア
で最低１個のバキューム穴がＯＮ状態になっていなけれ
ば、もはや、そのガラス板は吸着不可能である。
ーム圧力センサーにより検出し（４５０mmHg以下）、ソ
レノイドバルブを閉じる。ただしこの場合、上加熱板２
０に吸着されているガラス板は、バキュームもれが沢山
あった場合、ソレノイドバルブを閉じてしまうと落下し
てしまう。即ち、ガラスの４等分ごとのバキューム穴、
（Ｂ１７，１８，２１，２２）（Ｂ１９，２０，２３，
２４）（Ｂ２５，２６，２９，３０）（Ｂ２７，２８，
３１，３２）のそれぞれのエリアで最低１個のバキュー
ム穴がＯＮでなければガラスは落下してしまう。もちろ
ん作業者が最初にガラス板をバキュームさせるために、
手動のフォークリフト等によってガラス板を加熱板２０
に押しつけ、バキュームＯＮした時、先の４つのエリア
で最低１個のバキューム穴がＯＮ状態になっていなけれ
ば、もはや、そのガラス板は吸着不可能である。
【００４８】例えば、バキューム穴Ｂ１８とＢ３２のバ
キューム圧がもれていた場合、ソレノイドバルブによっ
てこれらのバキューム穴Ｂ１８とＢ３２を閉じるという
ような事で上加熱板２０へのガラスプレート２７１の吸
着が行われる。
キューム圧がもれていた場合、ソレノイドバルブによっ
てこれらのバキューム穴Ｂ１８とＢ３２を閉じるという
ような事で上加熱板２０へのガラスプレート２７１の吸
着が行われる。
【００４９】下加熱板２６へのガラスプレート２７３の
吸着も同様である。下加熱板は、バキュームが全てＯＦ
Ｆになっても落下する事はないが、４つのエリアの１つ
のエリアが全てバキュームＯＦＦになれば、そのエリア
のガラスがソリ上がることになるので、ＮＧとなる。従
って下加熱板に対しても上加熱板と同様の制御を行って
いる。
吸着も同様である。下加熱板は、バキュームが全てＯＦ
Ｆになっても落下する事はないが、４つのエリアの１つ
のエリアが全てバキュームＯＦＦになれば、そのエリア
のガラスがソリ上がることになるので、ＮＧとなる。従
って下加熱板に対しても上加熱板と同様の制御を行って
いる。
【００５０】室温にて、上、下の加熱板にガラスプレー
トが吸着された後、昇温する。昇温中は、加熱板とガラ
スプレートの熱膨張の差により、加熱板表面とガラスプ
レートがずれてしまう。また、温度の分布に差があれば
ガラスにソリが生じる。
トが吸着された後、昇温する。昇温中は、加熱板とガラ
スプレートの熱膨張の差により、加熱板表面とガラスプ
レートがずれてしまう。また、温度の分布に差があれば
ガラスにソリが生じる。
【００５１】これらの要因により、バキューム穴とガラ
スにスキマが生じ、バキューム圧がもれる事がある。
スにスキマが生じ、バキューム圧がもれる事がある。
【００５２】バキューム圧がもれると、そこに外からの
空気の流路が形成され、その部分の温度が下がり、更に
温度分布が広がりソリが拡大する。そのために、バキュ
ーム圧が４５０mmHg以下になればソレノイドバルブを閉
じる。先に説明した４つのエリアの中の１つのエリアの
最後の１つのバキューム圧力が４５０mmHg以下になった
場合、それを閉じるとガラスの落下につながるのでこの
場合は、もはや工程を進める事は不可能となる。そこで
この場合は、バキュームのＯＦＦは行わず、警報により
作業者に知らせ、工程を止め、冷却にはいると共に、ガ
ラスの落下を防ぐべく（ガラスが落下してもわれないよ
うに）弾性体等を敷く。
空気の流路が形成され、その部分の温度が下がり、更に
温度分布が広がりソリが拡大する。そのために、バキュ
ーム圧が４５０mmHg以下になればソレノイドバルブを閉
じる。先に説明した４つのエリアの中の１つのエリアの
最後の１つのバキューム圧力が４５０mmHg以下になった
場合、それを閉じるとガラスの落下につながるのでこの
場合は、もはや工程を進める事は不可能となる。そこで
この場合は、バキュームのＯＦＦは行わず、警報により
作業者に知らせ、工程を止め、冷却にはいると共に、ガ
ラスの落下を防ぐべく（ガラスが落下してもわれないよ
うに）弾性体等を敷く。
【００５３】この様にバキューム圧が４５０mmHg以下に
なればバキューム圧を閉じるという制御を室温、昇温、
冷却中の工程全てについて行う。
なればバキューム圧を閉じるという制御を室温、昇温、
冷却中の工程全てについて行う。
【００５４】図７は、他の例を示した図である。
【００５５】バキューム穴Ｂ１〜Ｂ１６の各々にバキュ
ーム圧力センサー、ソレノイドを接続すると数が多くな
る。
ーム圧力センサー、ソレノイドを接続すると数が多くな
る。
【００５６】そこで、図７に示すように、４つのエリア
の中の１つずつを同じバキューム圧力センサー、ソレノ
イドに接続する。
の中の１つずつを同じバキューム圧力センサー、ソレノ
イドに接続する。
【００５７】即ち、Ｂ１，Ｂ３，Ｂ９，Ｂ１１を１組の
バキューム圧力センサとソレノイドＢＳ１，Ｓｏｌ１に
つなぐというようにする。この事により、バキューム圧
力センサー、ソレノイドの数を減らす事ができる。
バキューム圧力センサとソレノイドＢＳ１，Ｓｏｌ１に
つなぐというようにする。この事により、バキューム圧
力センサー、ソレノイドの数を減らす事ができる。
【００５８】動作は、先と同様にバキューム圧力センサ
ーが４５０mmHg以下になったらソレノイドを閉じる。こ
の場合、Ｂ１がエアーもれしてＢ３，Ｂ９，Ｂ１１がバ
キュームしていても、４５０mmHg以下になればソレノイ
ドを閉じる。従ってＢ３，Ｂ９，Ｂ１１もバキュームが
切られる。しかし、それぞれのエリアの他の３つのバキ
ューム穴によりガラス板が吸着されている。それぞれの
エリアの他のバキューム穴もバキュームが切られ、それ
ぞれのエリア内の１つのバキューム穴によってのみガラ
スが吸着されている時、残る１つずつのバキューム穴も
４５０mmHg以下になった場合は、もはや工程を進める事
ができず、バキュームをＯＦＦせず、警報を発し対処を
待つ。
ーが４５０mmHg以下になったらソレノイドを閉じる。こ
の場合、Ｂ１がエアーもれしてＢ３，Ｂ９，Ｂ１１がバ
キュームしていても、４５０mmHg以下になればソレノイ
ドを閉じる。従ってＢ３，Ｂ９，Ｂ１１もバキュームが
切られる。しかし、それぞれのエリアの他の３つのバキ
ューム穴によりガラス板が吸着されている。それぞれの
エリアの他のバキューム穴もバキュームが切られ、それ
ぞれのエリア内の１つのバキューム穴によってのみガラ
スが吸着されている時、残る１つずつのバキューム穴も
４５０mmHg以下になった場合は、もはや工程を進める事
ができず、バキュームをＯＦＦせず、警報を発し対処を
待つ。
【００５９】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。
【００６０】例えば上記の実施形態では、ガラス板を吸
着する場合について説明したが、本発明は、ガラス板に
限定されることなく、他の板状の部材の吸着にも適用可
能である。
着する場合について説明したが、本発明は、ガラス板に
限定されることなく、他の板状の部材の吸着にも適用可
能である。
【００６１】また、バキューム穴を４つのエリアに分割
する場合について説明したが、これに限定されることな
く、２つのエリア、３つのエリア、あるいは５つ以上の
エリアに分割してもよい。
する場合について説明したが、これに限定されることな
く、２つのエリア、３つのエリア、あるいは５つ以上の
エリアに分割してもよい。
【００６２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
室温での上、下加熱板への板状体の吸着に関し、ソリ、
ゴミ等によりバキューム穴によるバキューム吸着の圧力
が下がり、バキュームが不適当とされる個所があって
も、それを閉じる事により、確実に板状体を吸着でき
る。
室温での上、下加熱板への板状体の吸着に関し、ソリ、
ゴミ等によりバキューム穴によるバキューム吸着の圧力
が下がり、バキュームが不適当とされる個所があって
も、それを閉じる事により、確実に板状体を吸着でき
る。
【００６３】また、加熱、冷却の工程が存在する場合
に、温度分布あるいは他の要因によって、バキューム穴
によるバキューム吸着の圧力が下がっても、その個所の
バキュームを閉じる事により、板状体と加熱板の間に生
じた外気の空気流路による温度分布、ひいては、ソリの
影響を無くし、板状体を確実に加熱板に吸着する事がで
きる。
に、温度分布あるいは他の要因によって、バキューム穴
によるバキューム吸着の圧力が下がっても、その個所の
バキュームを閉じる事により、板状体と加熱板の間に生
じた外気の空気流路による温度分布、ひいては、ソリの
影響を無くし、板状体を確実に加熱板に吸着する事がで
きる。
【００６４】
【図１】本発明の板状体の吸着装置を適用した一実施形
態の封着装置を用いて組立、封着をするワークを示した
図である。
態の封着装置を用いて組立、封着をするワークを示した
図である。
【図２】ワークを組み立てた状態を示した図である。
【図３】ガラスプレート及び外枠を封着する封着装置の
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図４】ガラスプレート及び外枠を封着する封着装置の
側断面図である。
側断面図である。
【図５】バキュームの配管構成を示す図である。
【図６】バキュームの配管構成を示す図である。
【図７】他の実施形態を示す図である。
１ 封着装置 １８ 昇降テーブル ２０ 上加熱板 ２６ 下加熱板 ２８ ｘ−ｙ−θテーブル １００ 平面度測定装置 １５０ バキュームコントローラー １５１ ＳＵＳ配管 １５２，１５３ ビニールチューブ １５４ 集合配管 １５５ バキュームポンプ Ｂ１〜Ｂ３２ バキューム穴 ＢＳ１〜ＢＳ３２ バキューム圧力センサー Ｓｏｌ１〜Ｓｏｌ３２ ソレノイドバルブ ２７１ ガラスフェースプレート ２７６ ガラスリアプレート ２７２ 外枠
Claims (18)
- 【請求項１】 板状体を吸着させるための複数の吸着孔
が形成された吸着板と、 前記複数の吸着孔から外気を吸引させるために該複数の
吸着孔に接続された負圧発生手段と、 前記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を開閉する負圧
開閉手段と、 前記吸着孔の負圧を検出する負圧検出手段と、 該負圧検出手段により検出された負圧の値が所定値より
も小さい場合に、少なくとも該所定値よりも小さい負圧
を示す吸着孔の前記負圧発生手段との接続を閉じるよう
に、前記負圧開閉手段を制御する制御手段とを具備する
ことを特徴とする板状体の吸着装置。 - 【請求項２】 前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段と
は、前記複数の吸着孔の１つにつき１組ずつ設けられて
いることを特徴とする請求項１に記載の板状体の吸着装
置。 - 【請求項３】 前記複数の吸着孔は、ｎ個（ｎは２以上
の整数）のグループに分類されており、該ｎ個のグルー
プの内の各グループから１つずつ選ばれたｎ個の吸着孔
につき１組の前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段が設
けられていることを特徴とする請求項１に記載の板状体
の吸着装置。 - 【請求項４】 前記ｎ個のグループとは、４個のグルー
プであることを特徴とする請求項３に記載の板状体の吸
着装置。 - 【請求項５】 前記吸着板は、前記板状体を加熱可能に
構成されていることを特徴とする請求項１に記載の板状
体の吸着装置。 - 【請求項６】 前記板状体を前記吸着板により室温から
所定の温度まで加熱し冷却するまでの間を通して、前記
制御手段は、前記負圧開閉手段を同じように制御するこ
とを特徴とする請求項５に記載の板状体の吸着装置。 - 【請求項７】 前記制御手段は、前記負圧開閉手段によ
り前記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を閉じた場合
に、前記板状体が落下するか否かを判定し、前記板状体
が落下する場合には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わ
ないことを特徴とする請求項１に記載の板状体の吸着装
置。 - 【請求項８】 前記制御手段は、前記負圧開閉手段によ
り前記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を閉じた場合
に、前記板状体が落下するか否かを判定し、前記板状体
が落下する場合には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わ
ないとともに、警報を発することを特徴とする請求項１
に記載の板状体の吸着装置。 - 【請求項９】 前記板状体はガラス板であることを特徴
とする請求項１に記載の板状体の吸着装置。 - 【請求項１０】 板状体を吸着させるための複数の吸着
孔が形成された吸着板と、前記複数の吸着孔から外気を
吸引させるために該複数の吸着孔に接続された負圧発生
手段と、前記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を開閉
する負圧開閉手段と、前記吸着孔の負圧を検出する負圧
検出手段とを備える板状体の吸着装置を制御するための
吸着装置の制御方法であって、 前記負圧検出手段により検出された負圧の値が所定値よ
りも小さい場合に、少なくとも該所定値よりも小さい負
圧を示す吸着孔の前記負圧発生手段との接続を閉じるこ
とを特徴とする吸着装置の制御方法。 - 【請求項１１】 前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段
とは、前記複数の吸着孔の１つにつき１組ずつ設けられ
ていることを特徴とする請求項１０に記載の吸着装置の
制御方法。 - 【請求項１２】 前記複数の吸着孔は、ｎ個（ｎは２以
上の整数）のグループに分類されており、該ｎ個のグル
ープの内の各グループから１つずつ選ばれたｎ個の吸着
孔につき１組の前記負圧開閉手段と前記負圧検出手段が
設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の吸
着装置の制御方法。 - 【請求項１３】 前記ｎ個のグループとは、４個のグル
ープであることを特徴とする請求項１２に記載の吸着装
置の制御方法。 - 【請求項１４】 前記吸着板は、前記板状体を加熱可能
に構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の
吸着装置の制御方法。 - 【請求項１５】 前記板状体を前記吸着板により室温か
ら所定の温度まで加熱し冷却するまでの間を通して、前
記負圧開閉手段を同じように制御することを特徴とする
請求項１４に記載の吸着装置の制御方法。 - 【請求項１６】 前記負圧開閉手段により前記吸着孔と
前記負圧発生手段との接続を閉じた場合に、前記板状体
が落下するか否かを判定し、前記板状体が落下する場合
には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わないことを特徴
とする請求項１０に記載の吸着装置の制御方法。 - 【請求項１７】 前記負圧開閉手段により前記吸着孔と
前記負圧発生手段との接続を閉じた場合に、前記板状体
が落下するか否かを判定し、前記板状体が落下する場合
には、前記負圧開閉手段の閉動作を行わないとともに、
警報を発することを特徴とする請求項１０に記載の吸着
装置の制御方法。 - 【請求項１８】 前記板状体はガラス板であることを特
徴とする請求項１０に記載の吸着装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26696898A JP2000100913A (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 板状体の吸着装置及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26696898A JP2000100913A (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 板状体の吸着装置及びその制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000100913A true JP2000100913A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17438222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26696898A Withdrawn JP2000100913A (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 板状体の吸着装置及びその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000100913A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001319572A (ja) * | 2000-05-02 | 2001-11-16 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理室、プラズマディスプレイ装置の製造装置及びプラズマディスプレイ装置の製造方法 |
| JP2002337034A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 面発光式吸着テーブル |
| JP2004179399A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Seiko Epson Corp | 基板固定方法、基板固定装置、印刷装置および表示装置製造方法 |
| WO2004092020A1 (en) * | 2003-04-14 | 2004-10-28 | 3M Innovative Properties Company | Device for applying adhesive tape |
| EP1514651A1 (en) * | 2002-06-04 | 2005-03-16 | Yamatake Corporation | Negative pressure attraction device and attraction confirming sensor |
| JP2005347153A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの点灯検査装置および点灯検査方法 |
| JP2006100072A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Pioneer Electronic Corp | 平板の重ね合わせ方法及びその装置並びにこれを用いるプラズマディスプレイパネルの組立方法及びその装置 |
| JP2010205741A (ja) * | 2010-05-17 | 2010-09-16 | Ulvac Japan Ltd | プラズマディスプレイ装置の製造装置 |
-
1998
- 1998-09-21 JP JP26696898A patent/JP2000100913A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4655406B2 (ja) * | 2001-05-11 | 2011-03-23 | 株式会社東京精密 | 面発光式吸着テーブル |
| JP2002337034A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 面発光式吸着テーブル |
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| JP4513424B2 (ja) * | 2004-06-04 | 2010-07-28 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネルの点灯検査装置 |
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| JP4637540B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2011-02-23 | パナソニック株式会社 | 平板の重ね合わせ装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法及び製造装置 |
| JP4629800B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2011-02-09 | 株式会社アルバック | プラズマディスプレイ装置の製造装置 |
| JP2010205741A (ja) * | 2010-05-17 | 2010-09-16 | Ulvac Japan Ltd | プラズマディスプレイ装置の製造装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |