JP2002337034A - 面発光式吸着テーブル - Google Patents
面発光式吸着テーブルInfo
- Publication number
- JP2002337034A JP2002337034A JP2001141092A JP2001141092A JP2002337034A JP 2002337034 A JP2002337034 A JP 2002337034A JP 2001141092 A JP2001141092 A JP 2001141092A JP 2001141092 A JP2001141092 A JP 2001141092A JP 2002337034 A JP2002337034 A JP 2002337034A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- suction table
- work
- plate
- emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】載置されたワークの全面を吸着することができ
ると共に、吸着面全面から発光する吸着テーブルを提供
すること。 【解決手段】吸着テーブル上面の吸着板を、上面と下面
とが平行な透明円柱を多数並列に並べて板状となした構
造とし、吸着板の下方に設けた面発光体から光を照射す
る構成とした。
ると共に、吸着面全面から発光する吸着テーブルを提供
すること。 【解決手段】吸着テーブル上面の吸着板を、上面と下面
とが平行な透明円柱を多数並列に並べて板状となした構
造とし、吸着板の下方に設けた面発光体から光を照射す
る構成とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワークを吸着する吸
着テーブルに関し、 特に面発光式吸着テーブルに関す
る。
着テーブルに関し、 特に面発光式吸着テーブルに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ダイシング装置等でワークを吸着
載置する吸着テーブルは、セラミックスの焼結体からな
る吸着板を上面に組み込んだポーラステーブルが一般的
であった。ダイシング装置では、このポーラステーブル
に半導体ウエーハ等の前記ワークの裏面を吸着載置し
て、該ワークの表面に形成された回路パターン若しくは
アライメントマークをＣＣＤカメラで撮像し、パターン
マッチング手法によってアライメントをおこなってい
る。アライメントされたワークは、次に高速で回転する
ブレードで個々のチップに切断される。ところが、例え
ば加速度センサのパターンが形成されたウエーハのよう
に、ダイシング時の切削水を表面にかけたくない、ある
いは切り屑等を付着させたくない等、加工するワークの
表面を保護する目的でワークの裏面側から加工しなけれ
ばならないワークが存在する。
載置する吸着テーブルは、セラミックスの焼結体からな
る吸着板を上面に組み込んだポーラステーブルが一般的
であった。ダイシング装置では、このポーラステーブル
に半導体ウエーハ等の前記ワークの裏面を吸着載置し
て、該ワークの表面に形成された回路パターン若しくは
アライメントマークをＣＣＤカメラで撮像し、パターン
マッチング手法によってアライメントをおこなってい
る。アライメントされたワークは、次に高速で回転する
ブレードで個々のチップに切断される。ところが、例え
ば加速度センサのパターンが形成されたウエーハのよう
に、ダイシング時の切削水を表面にかけたくない、ある
いは切り屑等を付着させたくない等、加工するワークの
表面を保護する目的でワークの裏面側から加工しなけれ
ばならないワークが存在する。
【０００３】このようなワークの場合、該ワークの表面
側を吸着テーブルに吸着載置して、該ワークの裏面から
加工することになる。この時の該ワークのアライメント
は、ワークの表面側（吸着テーブル側）から光を照射し
て、透過光から得られる画像をワークの裏面側上方に配
置したＣＣＤカメラで撮像して行われる。このため、こ
のようなワークの場合には、面発光式の吸着テーブルが
用いられる。ここで用いられる照射光は、ワークが非常
に薄い場合は可視光でも構わないが、ワークに厚みがあ
って透過しない場合には赤外光が用いられる。
側を吸着テーブルに吸着載置して、該ワークの裏面から
加工することになる。この時の該ワークのアライメント
は、ワークの表面側（吸着テーブル側）から光を照射し
て、透過光から得られる画像をワークの裏面側上方に配
置したＣＣＤカメラで撮像して行われる。このため、こ
のようなワークの場合には、面発光式の吸着テーブルが
用いられる。ここで用いられる照射光は、ワークが非常
に薄い場合は可視光でも構わないが、ワークに厚みがあ
って透過しない場合には赤外光が用いられる。
【０００４】従来の面発光式吸着テーブルを図６に示
す。図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は側断面図であ
る。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、従来の面
発光式吸着テーブルは、吸着テーブル本体１１の上面に
吸着板１２、底板１３、空気室１７、及び赤外線ランプ
１６Ａ、１６Ａ、…とからなっている。吸着板１２は円
盤状のポーラス部１２Ｐの面内に数個の透明体１２Ｑ、
１２Ｑ、…が混在している。ポーラス部１２Ｐに存在す
る無数の空洞部は、吸着テーブル本体１１に設けられた
連通孔１１Ｐを経由して空気室１７につながり、チュー
ブ１８Ａを介してバキュームポンプと接続されている。
これにより吸着テーブルに搭載されたワークは吸着載置
される。また透明体１２Ｑ、１２Ｑ、…の下方には夫々
赤外線ランプ１６Ａが配置され、発光された赤外線は吸
着テーブル本体１１に設けられた窓１１Ｑ、１１Ｑ、…
から各透明体１２Ｑを通してワークに照射される。
す。図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は側断面図であ
る。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、従来の面
発光式吸着テーブルは、吸着テーブル本体１１の上面に
吸着板１２、底板１３、空気室１７、及び赤外線ランプ
１６Ａ、１６Ａ、…とからなっている。吸着板１２は円
盤状のポーラス部１２Ｐの面内に数個の透明体１２Ｑ、
１２Ｑ、…が混在している。ポーラス部１２Ｐに存在す
る無数の空洞部は、吸着テーブル本体１１に設けられた
連通孔１１Ｐを経由して空気室１７につながり、チュー
ブ１８Ａを介してバキュームポンプと接続されている。
これにより吸着テーブルに搭載されたワークは吸着載置
される。また透明体１２Ｑ、１２Ｑ、…の下方には夫々
赤外線ランプ１６Ａが配置され、発光された赤外線は吸
着テーブル本体１１に設けられた窓１１Ｑ、１１Ｑ、…
から各透明体１２Ｑを通してワークに照射される。
【０００５】このように構成された従来の面発光式吸着
テーブルにおいては、吸着載置されたワークは、吸着板
１２の面内に複数個配置された透明体１２Ｑ、１２Ｑ、
…を介して光を照射され、ワークを透過した光によるパ
ターン画像が撮像されてアライメントされる。
テーブルにおいては、吸着載置されたワークは、吸着板
１２の面内に複数個配置された透明体１２Ｑ、１２Ｑ、
…を介して光を照射され、ワークを透過した光によるパ
ターン画像が撮像されてアライメントされる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来の面
発光式吸着テーブルにおいては、透明体１２Ｑの位置が
固定されているので、ワークのパターンの撮像位置が限
られ、アライメントに最適なパターンの撮像位置を選択
できない。またワークに専用のアライメントマークが設
けられている場合は、前記透明体１２Ｑを専用のアライ
メントマーク位置に合わせて配置した吸着テーブルを各
ワーク毎に夫々用意しなければならなかった。更にワー
クが割れウエーハの場合、そのウエーハ全体を撮像して
ウエーハの外形形状を認識し、その外形形状に適応した
アライメント画像の撮像位置を設定したり、その外形形
状に適応した加工範囲を設定することが必要であるが、
この従来の面発光式吸着テーブルではウエーハ全体を撮
像することができず、このようなウエーハには対応する
ことができなかった。また、従来の面発光式吸着テーブ
ルは、透明体１２Ｑ部分ではワークを吸引していないの
で、この部分ではワークの吸着力が無く、ダイシングの
ような切断加工の場合にはこの部分のみにチッピングが
生じる等、加工品質が低下するという問題もあった。
発光式吸着テーブルにおいては、透明体１２Ｑの位置が
固定されているので、ワークのパターンの撮像位置が限
られ、アライメントに最適なパターンの撮像位置を選択
できない。またワークに専用のアライメントマークが設
けられている場合は、前記透明体１２Ｑを専用のアライ
メントマーク位置に合わせて配置した吸着テーブルを各
ワーク毎に夫々用意しなければならなかった。更にワー
クが割れウエーハの場合、そのウエーハ全体を撮像して
ウエーハの外形形状を認識し、その外形形状に適応した
アライメント画像の撮像位置を設定したり、その外形形
状に適応した加工範囲を設定することが必要であるが、
この従来の面発光式吸着テーブルではウエーハ全体を撮
像することができず、このようなウエーハには対応する
ことができなかった。また、従来の面発光式吸着テーブ
ルは、透明体１２Ｑ部分ではワークを吸引していないの
で、この部分ではワークの吸着力が無く、ダイシングの
ような切断加工の場合にはこの部分のみにチッピングが
生じる等、加工品質が低下するという問題もあった。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、吸着載置するワークの全面を吸着でき、更に
ワーク全体又は任意の領域を撮像できる透過光を照射で
きる面発光式吸着テーブルを提供することを目的とす
る。
たもので、吸着載置するワークの全面を吸着でき、更に
ワーク全体又は任意の領域を撮像できる透過光を照射で
きる面発光式吸着テーブルを提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークを吸着する吸着テーブルにおい
て、該吸着テーブルは吸着テーブル本体と、該吸着テー
ブル本体の上面に配置された吸着板と、前記吸着テーブ
ル本体の内部に設けられた空気室と、同じく前記吸着テ
ーブル本体の内部に設けられた発光体とから構成され、
前記吸着板は光透過性材質から成ると共に通気性を有
し、上面と下面とが平行な透明柱状体を多数並列に並べ
て板状となした構造であり、あるいは前記吸着板は、透
明板状体に多数の孔を設けた構造であり、更に前記発光
体は、面発光体であることを特徴としている。
成するために、ワークを吸着する吸着テーブルにおい
て、該吸着テーブルは吸着テーブル本体と、該吸着テー
ブル本体の上面に配置された吸着板と、前記吸着テーブ
ル本体の内部に設けられた空気室と、同じく前記吸着テ
ーブル本体の内部に設けられた発光体とから構成され、
前記吸着板は光透過性材質から成ると共に通気性を有
し、上面と下面とが平行な透明柱状体を多数並列に並べ
て板状となした構造であり、あるいは前記吸着板は、透
明板状体に多数の孔を設けた構造であり、更に前記発光
体は、面発光体であることを特徴としている。
【０００９】本発明に係る面発光式吸着テーブルは前述
のように構成されているので、吸着載置するワークの全
面を吸着することができると共に、ワークの吸着面全面
に光を照射することができる。
のように構成されているので、吸着載置するワークの全
面を吸着することができると共に、ワークの吸着面全面
に光を照射することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。尚各図において、同一の部材については同一の番号
又は記号を付している。
るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。尚各図において、同一の部材については同一の番号
又は記号を付している。
【００１１】図１は本発明に係る面発光式吸着テーブル
の平面図で、図２は図１におけるＸ−Ｘ断面を示す側断
面図である。
の平面図で、図２は図１におけるＸ−Ｘ断面を示す側断
面図である。
【００１２】図１及び図２に示すように、面発光式吸着
テーブル１０は、円筒上の吸着テーブル本体１１の上部
に、後述する吸着板１２が吸着板１２の上面と吸着テー
ブル本体１１の上面とが同一面になるように接着剤で固
定されると共に、中間支持部材１５を介してサポート板
１４で支持されている。前記吸着テーブル本体１１の底
部には底板１３があり、底板１３と前記サポート板１４
及び前記吸着テーブル本体１１の内側面とで囲われた空
間が空気室を形成している。この空気室はニップル１８
に連結されたチューブ１８Ａにて図示しないバキューム
ポンプに接続されている。また前記底板１３には面発光
体１６が取付けられ、この面発光体１６に接続されてい
るリード線１９Ａ、１９Ａはシール１９を経由して吸着
テーブル本体１１の外部に取り出されている。
テーブル１０は、円筒上の吸着テーブル本体１１の上部
に、後述する吸着板１２が吸着板１２の上面と吸着テー
ブル本体１１の上面とが同一面になるように接着剤で固
定されると共に、中間支持部材１５を介してサポート板
１４で支持されている。前記吸着テーブル本体１１の底
部には底板１３があり、底板１３と前記サポート板１４
及び前記吸着テーブル本体１１の内側面とで囲われた空
間が空気室を形成している。この空気室はニップル１８
に連結されたチューブ１８Ａにて図示しないバキューム
ポンプに接続されている。また前記底板１３には面発光
体１６が取付けられ、この面発光体１６に接続されてい
るリード線１９Ａ、１９Ａはシール１９を経由して吸着
テーブル本体１１の外部に取り出されている。
【００１３】吸着板１２は、図１に示すように、上面と
下面とが平行な透明円柱体１２Ａを多数並列に並べて、
互いの接触部分を接着剤で接着して板状に形成されたも
のである。この透明円柱体１２Ａ同士を接着する方法
は、先ず個々の透明円柱体１２Ａの円柱側面にガラス接
着剤を薄く塗布して乾燥させる。ガラス接着剤が乾燥し
た後、透明円柱体１２Ａを円柱の軸心を夫々平行にして
多数並べて円盤状となし、この円盤状の外周を剥離剤の
付いたテープで仮留めする。この状態でこの円盤を炉に
入れて前記ガラス接着剤の溶融点まで昇温する。炉から
出した前期円盤が室温になった状態で先に仮留めしたテ
ープを外周から剥離する。このようにして得られた円盤
は、多数の前記透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…の互いに
接触する部分が前記ガラス接着剤で溶着されて一体とな
り、また並列に並べた時に夫々３本又は４本の隣り合う
間にできる微小隙間は通気孔１２Ｂを形成している。こ
れで光透過性と通気性とを併せ持った吸着板１２が得ら
れる。
下面とが平行な透明円柱体１２Ａを多数並列に並べて、
互いの接触部分を接着剤で接着して板状に形成されたも
のである。この透明円柱体１２Ａ同士を接着する方法
は、先ず個々の透明円柱体１２Ａの円柱側面にガラス接
着剤を薄く塗布して乾燥させる。ガラス接着剤が乾燥し
た後、透明円柱体１２Ａを円柱の軸心を夫々平行にして
多数並べて円盤状となし、この円盤状の外周を剥離剤の
付いたテープで仮留めする。この状態でこの円盤を炉に
入れて前記ガラス接着剤の溶融点まで昇温する。炉から
出した前期円盤が室温になった状態で先に仮留めしたテ
ープを外周から剥離する。このようにして得られた円盤
は、多数の前記透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…の互いに
接触する部分が前記ガラス接着剤で溶着されて一体とな
り、また並列に並べた時に夫々３本又は４本の隣り合う
間にできる微小隙間は通気孔１２Ｂを形成している。こ
れで光透過性と通気性とを併せ持った吸着板１２が得ら
れる。
【００１４】中間支持部材１５を介して前記吸着板１２
を支持するサポート板１４は、透明ガラス板でできてお
り、上面と下面とを連通する導通孔１４Ａ、１４Ａ、…
を有している。この導通孔１４Ａ、１４Ａ、…はサポー
ト板１４の上方と空気室１７とを連通している。
を支持するサポート板１４は、透明ガラス板でできてお
り、上面と下面とを連通する導通孔１４Ａ、１４Ａ、…
を有している。この導通孔１４Ａ、１４Ａ、…はサポー
ト板１４の上方と空気室１７とを連通している。
【００１５】図３は図２上のＡ−Ａ矢視図であって、中
間支持部材１５の形状を表している。中間支持部材１５
は、ワークＷを吸着板１２上に載置して真空吸着した時
に、吸着板１２の中央部が吸引力によって下方に撓むの
を防止するために設けられているものである。この中間
支持部材１５は、適度の間隔で前記吸着板１２を支える
と共に、前記面発光体１６から照射される赤外光の遮蔽
をできるだけ少なくし、また前記吸着板１２とサポート
板１４間の通気性もできるだけ損なわないような形状が
求められる。本実施の形態の場合は、図３に示すよう
に、０．０１ｍｍ程度の薄い帯状鋼板を渦巻状に成形し
たものが用いられている。
間支持部材１５の形状を表している。中間支持部材１５
は、ワークＷを吸着板１２上に載置して真空吸着した時
に、吸着板１２の中央部が吸引力によって下方に撓むの
を防止するために設けられているものである。この中間
支持部材１５は、適度の間隔で前記吸着板１２を支える
と共に、前記面発光体１６から照射される赤外光の遮蔽
をできるだけ少なくし、また前記吸着板１２とサポート
板１４間の通気性もできるだけ損なわないような形状が
求められる。本実施の形態の場合は、図３に示すよう
に、０．０１ｍｍ程度の薄い帯状鋼板を渦巻状に成形し
たものが用いられている。
【００１６】図４は同じく図２上のＡ−Ａ矢視図であっ
て、中間支持部材１５の別の実施形態を表している。
て、中間支持部材１５の別の実施形態を表している。
【００１７】この中間支持部材１５の別の実施形態は、
図４に示すように、平面形状がハニカム状に形成された
鋼材で、六角形を形成する壁はやはり０．０１ｍｍ程度
の薄いものである。
図４に示すように、平面形状がハニカム状に形成された
鋼材で、六角形を形成する壁はやはり０．０１ｍｍ程度
の薄いものである。
【００１８】尚、この中間支持部材１５の形状は前記渦
巻状及びハニカム状に限らず、種々の形状が可能であ
り、また吸着板１２とサポート板の形状によっては不要
とすることもできる。
巻状及びハニカム状に限らず、種々の形状が可能であ
り、また吸着板１２とサポート板の形状によっては不要
とすることもできる。
【００１９】図５は面発光式吸着テーブル１０の吸着板
１２の別の実施形態を表している。図５に示す吸着板１
２は、透明なガラス板でできており、上下を貫通する無
数の微小孔からなる通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…が形成さ
れている。この微小孔の通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…は直
径０．０１ｍｍ程度で、レーザー加工機によって孔加工
されている。この微小な通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…によ
って、ワークＷの全面を吸着するようになっている。
１２の別の実施形態を表している。図５に示す吸着板１
２は、透明なガラス板でできており、上下を貫通する無
数の微小孔からなる通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…が形成さ
れている。この微小孔の通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…は直
径０．０１ｍｍ程度で、レーザー加工機によって孔加工
されている。この微小な通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…によ
って、ワークＷの全面を吸着するようになっている。
【００２０】以上のように構成された本発明に係る面発
光式吸着テーブル１０の作用を説明する。 先ず、ワー
クＷがパターンの形成された表面を下にして面発光式吸
着テーブル１０の吸着板１２に載置される。次に図示し
ないバキュームポンプが作動し、吸着テーブル本体１１
に設けられたニップル１８に接続されたチューブ１８Ａ
から空気室１７内の空気を吸込み、空気室１７内部は負
圧となる。空気室１７内部はサポート板１４に設けられ
ている導通孔１４Ａ、１４Ａ、…を介して吸着板１２の
無数の通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…と連通しているので、
吸着板１２に載置されたワークＷは負圧により吸引され
て吸着保持される。一方、図示しない電源にリード線１
９Ａ、１９Ａで接続された面発光体１６がその上面全体
で発光する。尚、リード線１９Ａ、１９Ａは吸着テーブ
ル本体１１に設けられたシール１９を経由して外部に出
ているので、空気室１７の密閉度が損なわれることはな
い。面発光体１６から発光された可視光又は赤外光は、
透明ガラス板でできたサポート板１４、及び吸着板１２
を構成する透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…を透過すると
共に、透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…間の微小隙間でで
きた通気孔１２Ｂを通過してワークＷの表面（吸着面）
に照射される。ワークＷの外形形状を撮像する場合や特
定部分のパターンを撮像する場合は、ワークＷの吸着面
に照射されワークＷを透過した光をワークＷの上方に設
置されたＣＣＤカメラで撮影する。このようにしてワー
クＷの裏面から撮影した画像からワークＷの外形形状を
認識し、加工範囲を設定したり、あるいは撮影して得ら
れたパターン画像を基にワークＷのアライメントを行
う。
光式吸着テーブル１０の作用を説明する。 先ず、ワー
クＷがパターンの形成された表面を下にして面発光式吸
着テーブル１０の吸着板１２に載置される。次に図示し
ないバキュームポンプが作動し、吸着テーブル本体１１
に設けられたニップル１８に接続されたチューブ１８Ａ
から空気室１７内の空気を吸込み、空気室１７内部は負
圧となる。空気室１７内部はサポート板１４に設けられ
ている導通孔１４Ａ、１４Ａ、…を介して吸着板１２の
無数の通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…と連通しているので、
吸着板１２に載置されたワークＷは負圧により吸引され
て吸着保持される。一方、図示しない電源にリード線１
９Ａ、１９Ａで接続された面発光体１６がその上面全体
で発光する。尚、リード線１９Ａ、１９Ａは吸着テーブ
ル本体１１に設けられたシール１９を経由して外部に出
ているので、空気室１７の密閉度が損なわれることはな
い。面発光体１６から発光された可視光又は赤外光は、
透明ガラス板でできたサポート板１４、及び吸着板１２
を構成する透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…を透過すると
共に、透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…間の微小隙間でで
きた通気孔１２Ｂを通過してワークＷの表面（吸着面）
に照射される。ワークＷの外形形状を撮像する場合や特
定部分のパターンを撮像する場合は、ワークＷの吸着面
に照射されワークＷを透過した光をワークＷの上方に設
置されたＣＣＤカメラで撮影する。このようにしてワー
クＷの裏面から撮影した画像からワークＷの外形形状を
認識し、加工範囲を設定したり、あるいは撮影して得ら
れたパターン画像を基にワークＷのアライメントを行
う。
【００２１】以上説明したように、本発明によれば、載
置されたワークＷの全面にわたって吸着することができ
ると共に、吸着面全領域に光を照射することができる。
置されたワークＷの全面にわたって吸着することができ
ると共に、吸着面全領域に光を照射することができる。
【００２２】尚、前記した吸着板１２は、本実施の形態
で説明した２つの例に限らず、光透過性と通気性とを併
せ持った材質及び構造であれば面発光式吸着テーブル１
０の吸着板１２として適用できる。
で説明した２つの例に限らず、光透過性と通気性とを併
せ持った材質及び構造であれば面発光式吸着テーブル１
０の吸着板１２として適用できる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る面発光
式吸着テーブルよれば、吸着載置するワークの全面を吸
着でき、更にワーク全体又は任意の領域を撮像できる透
過光を照射できる。従って本発明に係る面発光式吸着テ
ーブルをダイシング装置等に適用した場合、加工するワ
ークの表面を保護する目的でワークの裏面から加工する
ために、ワークの表面側を吸着テーブルに載置した時
に、ワークの裏面側からであってもワークのアライメン
トに最適なパターンの撮像位置を選択できる。またワー
クに専用のアライメントマークが設けられている時で
も、専用の吸着テーブルを各ワーク毎に夫々用意する必
要がない。更にワークが割れウエーハの場合、そのウエ
ーハ全体を撮像してウエーハの外形形状を認識し、その
外形形状に適応したアライメント画像の撮像位置を設定
したり、その外形形状に適応した加工範囲を設定するこ
とができる。
式吸着テーブルよれば、吸着載置するワークの全面を吸
着でき、更にワーク全体又は任意の領域を撮像できる透
過光を照射できる。従って本発明に係る面発光式吸着テ
ーブルをダイシング装置等に適用した場合、加工するワ
ークの表面を保護する目的でワークの裏面から加工する
ために、ワークの表面側を吸着テーブルに載置した時
に、ワークの裏面側からであってもワークのアライメン
トに最適なパターンの撮像位置を選択できる。またワー
クに専用のアライメントマークが設けられている時で
も、専用の吸着テーブルを各ワーク毎に夫々用意する必
要がない。更にワークが割れウエーハの場合、そのウエ
ーハ全体を撮像してウエーハの外形形状を認識し、その
外形形状に適応したアライメント画像の撮像位置を設定
したり、その外形形状に適応した加工範囲を設定するこ
とができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブ
ルの平面図
ルの平面図
【図２】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブ
ルの側断面図
ルの側断面図
【図３】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブ
ルの中間支持部材を説明する矢視図
ルの中間支持部材を説明する矢視図
【図４】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブ
ルの中間支持部材の他の実施形態を説明する矢視図
ルの中間支持部材の他の実施形態を説明する矢視図
【図５】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブ
ルの吸着板の他の実施形態を説明する平面図
ルの吸着板の他の実施形態を説明する平面図
【図６】従来の面発光式吸着テーブルの平面図及び側断
面図
面図
Ｗ…ワーク、１０…面発光式吸着テーブル、１１…吸着
テーブル本体、１２…吸着板、１２Ａ…透明円柱体、１
６…面発光体、１７…空気室
テーブル本体、１２…吸着板、１２Ａ…透明円柱体、１
６…面発光体、１７…空気室
Claims (4)
- 【請求項１】ワークを吸着する吸着テーブルにおいて、
該吸着テーブルは吸着テーブル本体と、該吸着テーブル
本体の上面に配置された吸着板と、前記吸着テーブル本
体の内部に設けられた空気室と、同じく前記吸着テーブ
ル本体の内部に設けられた発光体とから構成され、前記
吸着板は光透過性材質から成ると共に通気性を有するこ
とを特徴とする面発光式吸着テーブル。 - 【請求項２】前記吸着板は、上面と下面とが平行な透明
柱状体を多数並列に並べて板状となした構造であること
を特徴とする請求項１に記載の面発光式吸着テーブル。 - 【請求項３】前記吸着板は、透明板状体に多数の孔を設
けた構造であることを特徴とする請求項１に記載の面発
光式吸着テーブル。 - 【請求項４】前記発光体は、面発光体であることを特徴
とする請求項１、２、又は３のうちいずれか１項に記載
の面発光式吸着テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001141092A JP4655406B2 (ja) | 2001-05-11 | 2001-05-11 | 面発光式吸着テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001141092A JP4655406B2 (ja) | 2001-05-11 | 2001-05-11 | 面発光式吸着テーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002337034A true JP2002337034A (ja) | 2002-11-26 |
| JP4655406B2 JP4655406B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=18987595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001141092A Expired - Fee Related JP4655406B2 (ja) | 2001-05-11 | 2001-05-11 | 面発光式吸着テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4655406B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006281434A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-10-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの保持機構 |
| JP2007042810A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワーク切断方法 |
| JP2007201433A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Nidec-Read Corp | 基板保持台 |
| JP2008119758A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-29 | Aronshiya:Kk | 吸着盤 |
| JP2011238649A (ja) * | 2010-05-06 | 2011-11-24 | Lintec Corp | 位置検出装置及びこれを用いたアライメント装置 |
| WO2012146238A1 (de) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | 3D-Micromac Ag | Transluzenzvorrichtung zum anhaften von körpern |
| JP2014150219A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブル |
| KR101436825B1 (ko) | 2013-06-28 | 2014-09-02 | 충남대학교산학협력단 | Ｌｅｄ 조명장치가 내장된 테이블 |
| KR20160019852A (ko) * | 2014-08-12 | 2016-02-22 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치와 절단 방법, 흡착 기구와 이를 이용하는 흡착 장치 및 절단 시스템 |
| JP2017224829A (ja) * | 2017-07-10 | 2017-12-21 | 株式会社東京精密 | レーザダイシング装置及び方法 |
| JP2020191357A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 三菱電機株式会社 | 真空チャックおよび半導体装置の製造方法 |
| DE102022211377A1 (de) | 2022-10-26 | 2024-05-02 | Cellcentric Gmbh & Co. Kg | Unterdruckelement für eine (unterdruck-)arbeitsfläche |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63110633A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Nec Corp | 縮小投影式露光装置 |
| JPH08274148A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-10-18 | Sony Corp | 基体固定装置及び基体の固定方法 |
| JPH0976088A (ja) * | 1995-09-16 | 1997-03-25 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 加工物吸着板 |
| JPH11284056A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 吸着固定装置 |
| JP2000019361A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光通信ユニットの実装装置および実装方法 |
| JP2000100913A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Canon Inc | 板状体の吸着装置及びその制御方法 |
-
2001
- 2001-05-11 JP JP2001141092A patent/JP4655406B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63110633A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Nec Corp | 縮小投影式露光装置 |
| JPH08274148A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-10-18 | Sony Corp | 基体固定装置及び基体の固定方法 |
| JPH0976088A (ja) * | 1995-09-16 | 1997-03-25 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 加工物吸着板 |
| JPH11284056A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 吸着固定装置 |
| JP2000019361A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光通信ユニットの実装装置および実装方法 |
| JP2000100913A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Canon Inc | 板状体の吸着装置及びその制御方法 |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006281434A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-10-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの保持機構 |
| JP4705450B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2011-06-22 | 株式会社ディスコ | ウェーハの保持機構 |
| JP2007042810A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ワーク切断方法 |
| JP2007201433A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Nidec-Read Corp | 基板保持台 |
| JP2008119758A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-29 | Aronshiya:Kk | 吸着盤 |
| JP4657193B2 (ja) * | 2006-11-08 | 2011-03-23 | 株式会社アロン社 | 吸着盤 |
| JP2011238649A (ja) * | 2010-05-06 | 2011-11-24 | Lintec Corp | 位置検出装置及びこれを用いたアライメント装置 |
| WO2012146238A1 (de) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | 3D-Micromac Ag | Transluzenzvorrichtung zum anhaften von körpern |
| JP2014150219A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブル |
| KR101436825B1 (ko) | 2013-06-28 | 2014-09-02 | 충남대학교산학협력단 | Ｌｅｄ 조명장치가 내장된 테이블 |
| KR20160019852A (ko) * | 2014-08-12 | 2016-02-22 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치와 절단 방법, 흡착 기구와 이를 이용하는 흡착 장치 및 절단 시스템 |
| CN105364972A (zh) * | 2014-08-12 | 2016-03-02 | 东和株式会社 | 切割装置、吸附机构及使用其的吸附装置、切割系统 |
| JP2016040060A (ja) * | 2014-08-12 | 2016-03-24 | Ｔｏｗａ株式会社 | 切断装置及び切断方法並びに吸着機構及びこれを用いる装置 |
| KR101687639B1 (ko) * | 2014-08-12 | 2016-12-19 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치와 절단 방법, 흡착 기구와 이를 이용하는 흡착 장치 및 절단 시스템 |
| JP2017224829A (ja) * | 2017-07-10 | 2017-12-21 | 株式会社東京精密 | レーザダイシング装置及び方法 |
| JP2020191357A (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 三菱電機株式会社 | 真空チャックおよび半導体装置の製造方法 |
| JP7118030B2 (ja) | 2019-05-21 | 2022-08-15 | 三菱電機株式会社 | 真空チャックおよび半導体装置の製造方法 |
| DE102022211377A1 (de) | 2022-10-26 | 2024-05-02 | Cellcentric Gmbh & Co. Kg | Unterdruckelement für eine (unterdruck-)arbeitsfläche |
| WO2024089093A1 (de) * | 2022-10-26 | 2024-05-02 | Cellcentric Gmbh & Co. Kg | Unterdruckelement für eine (unterdruck-)arbeitsfläche |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4655406B2 (ja) | 2011-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5307384B2 (ja) | ウエーハの分割方法 | |
| JP4655406B2 (ja) | 面発光式吸着テーブル | |
| CN101866881A (zh) | 光器件晶片的加工方法 | |
| JP2007242787A (ja) | ウエーハの分割方法 | |
| JP2020088068A (ja) | 被加工物の加工方法 | |
| KR20210018072A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
| CN114505603A (zh) | 卡盘工作台和激光加工装置 | |
| JP2006294807A (ja) | ウエーハの分割方法 | |
| JP2007115961A (ja) | 基板保持装置 | |
| JPH09174364A (ja) | 半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル | |
| JP2720331B2 (ja) | 加工物吸着板 | |
| TWI830954B (zh) | 晶圓的加工方法 | |
| JP7301468B2 (ja) | 被加工物の加工方法、熱圧着方法 | |
| TWI812847B (zh) | 晶圓的加工方法 | |
| JP6576172B2 (ja) | チャックテーブル | |
| JP7383338B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
| US20060231454A1 (en) | Carrier, holder, laser cutting device and method for separating semiconductor products using laser light | |
| KR20210018073A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
| CN112838055A (zh) | 晶片的加工方法 | |
| JP2003333389A (ja) | 撮像ユニット | |
| JP3555467B2 (ja) | 電子部品用セラミック材の加工方法及び加工装置 | |
| JP2006214896A (ja) | 形状認識装置 | |
| JP2021027232A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
| JP2021064644A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
| JP2021027235A (ja) | ウェーハの加工方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080115 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100423 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100430 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100618 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100811 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101007 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101130 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101213 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4655406 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |