KR101360117B1 - 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법 - Google Patents

평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101360117B1
KR101360117B1 KR1020060074696A KR20060074696A KR101360117B1 KR 101360117 B1 KR101360117 B1 KR 101360117B1 KR 1020060074696 A KR1020060074696 A KR 1020060074696A KR 20060074696 A KR20060074696 A KR 20060074696A KR 101360117 B1 KR101360117 B1 KR 101360117B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
chamber
actuator
moving
bonding
Prior art date
Application number
KR1020060074696A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080013319A (ko
Inventor
황재석
Original Assignee
엘아이지에이디피 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘아이지에이디피 주식회사 filed Critical 엘아이지에이디피 주식회사
Priority to KR1020060074696A priority Critical patent/KR101360117B1/ko
Publication of KR20080013319A publication Critical patent/KR20080013319A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101360117B1 publication Critical patent/KR101360117B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

본 발명은 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 관한 것으로, 제 1기판이 부착되고, 상기 제 1기판의 위치가 독립적으로 이동 가능하게 마련되는 제 1챔버; 제 2기판이 부착되고, 상기 제 1챔버와 결합되어 합착공간을 형성하는 제 2챔버; 상기 제 2챔버에 대하여 상기 제 1챔버를 이동시키는 리프트부; 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 작동량과, 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 이동거리를 감지하여 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 작동량을 보정하는 간격조절부;를 구비하며, 이에 따라 평판 표시패널의 합착방법시 각 기판의 간격을 항상 일정하게 유지할 수 있도록 함으로써, 기판의 간격조절 불량에 의한 평판 표기패널의 불량을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법{apparatus for attaching substrates and method for attaching substrates by using same}
도 1은 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치를 나타낸 간략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치의 간격조절부를 나타낸 확대도이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치의 간격조절부를 나타낸 블록도이다.
도 4는 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착공정을 나타낸 순서도이다.
도 5는 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착공정에서 간격조절 공정을 나타낸 순서도이다.
**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**
100 : 합착장치
20 : 상부챔버
30 : 하부챔버
40 : 리프트부
50 : 간격조절부
본 발명은 평판 표시패널의 제조장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 표시패널의 제조공정에서 기판을 합착시키기 위하여 마련되는 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되어 왔다. 이에 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 그 일부는 이미 실생활에 널리 사용되고 있다.
그 중 LCD의 경우에는 CRT(Cathode Ray Tube)에 비하여 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 많이 사용되고 있다.
이러한, LCD는 전극이 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transistor) 기판과 형광체가 도포된 CF(Color filter) 기판 사이에 액정(Liquid Crystal)을 주입하여 형성된다. 양 기판의 외주면에는 액정 물질을 누출을 막기 위한 봉인재(Sealer)가 구비되며, 양 기판 사이에는 소정 간격으로 양 기판 사이의 간격을 유지하기 위한 간격재(Spacer)가 배치된다.
따라서 LCD를 제조함에 있어서는 TFT기판 및 CF 기판을 각각 제조한 후에 양 기판을 합착하고 그 사이의 공간에 액정 물질을 주입하는 공정이 필수적으로 필요하며 이중 기판을 합착시키는 공정은 LCD의 품질을 결정하는 중요한 공정 중에 하나이다.
이러한 기판 합착 공정은 그 내부를 진공 상태로 형성시킬 수 있는 상부챔버와 하부챔버로 구성되는 기판 합착 장치에 의하여 수행되며, 기판 합착 장치에서는 진공 상태에서 기상부챔버의 상정반 및 하부챔버의 하정반에 기판을 부착시키기 위하여 정전척(ESC:Electro Static Chuck)이 각각 사용될 수 있다.
즉, 상정반 및 하정반에 전원을 인가하고 그 전원에 의하여 발생하는 정전기력에 의하여 상정반과 하정반에 각각 기판을 부착시킨 상태에서 상정반과 하정반에 부착된 기판을 가압하여 합착시키는 것이다.
이때, 상정반과 하정반에 부착된 기판을 합착시키기 위해서는 얼라이너(aligner)에 의해 하정반에 부착된 기판이 전후 좌우방향 또는 회전되면서 상정반에 부착된 기판에 대하여 정렬된다. 그 후 기판을 합착시키기 위해서 상하부 기판을 최대한 접근시킨 후 가접합시키고, 양 기판에 압력을 가하여 합착시킨다.
여기서, 가접합되는 기판 사이의 간격을 항상 일정한 간격을 유지하여야 한다. 이때 가접합되는 기판 사이의 간격이 불균일할 경우에는 TFT기판과 CF기판의 불균일한 합착을 유발하며, 합착되는 기판 사이에 공정가스가 유입되어 기포가 발생하는 등 합착되는 기판의 불량을 초래한다.
이에 별도의 장비를 이용하여 기판의 가접합 전에 미리 설정된 설정값과 보 정치에 의해 기판 사이의 간격을 조절하는 공정을 거치기도 한다. 하지만 기판의 가접합시 챔버 환경과, 기판의 합착시 챔버 환경이 상이하여 기판의 합착과정에서 기판의 위치가 바뀌게 되는 문제점이 있다.
이와 같은 현상에 의해 기판의 위치가 의도하지 않은 방향으로 바뀔 경우에는 합착되는 TFT기판과 CF기판의 불균일한 합착을 유발하며, 합착되는 기판 사이에 공정가스가 유입되어 기포가 발생하는 등 합착되는 기판의 불량을 초래할 수 있는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 평판 표시패널의 합착이 진행되는 공정 중에도 기판이 사이의 간격을 균일하게 유지할 수 있도록 한 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치는,제 1기판이 부착되고, 상기 제 1기판의 위치가 독립적으로 이동 가능하게 마련되는 제 1챔버; 제 2기판이 부착되고, 상기 제 1챔버와 결합되어 합착공간을 형성하는 제 2챔버; 상기 제 2챔버에 대하여 상기 제 1챔버를 이동시키는 리프트부; 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 작동량과, 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 이동거리를 감지하여 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 작동량을 보정하는 간격조절부;를 구비한다.
여기서, 상기 제 1챔버는, 상기 간격조절부에 의해 상기 제 1챔버에 대하여 이동가능하게 마련되는 제 1정반; 상기 제 1정반의 하부에 마련되어 소정의 평편도를 갖는 제 1스테이지; 상기 제 1스테이지에 마련되어 상기 제 1기판을 부착하는 제 1부착플레이트;를 구비한다.
또한, 상기 제 1챔버에 상기 제 1챔버의 각 구성부를 관통하여 상기 제 1기판으로 연장되는 관통공이 형성되고, 상기 관통공의 외측에 상기 제 1기판과 상기 제 2기판의 정렬상태를 판독하기 위한 얼라인 카메라가 마련된다.
그리고, 상기 제 2챔버는, 상기 제 2챔버에 마련되는 제 2정반; 상기 제 2정반의 상부에 마련되며 소정의 평편도를 갖는 제 2스테이지; 상기 제 2스테이지에 마련되어 상기 제 2기판을 부착하는 제 2부착플레이트;를 구비한다.
한편, 상기 간격조절부는 상기 제 1정반을 이동시키는 다수의 액추에이터; 상기 액추에이터의 작동량을 감지하는 엔코더; 상기 액추에이터에 의해 이동되는 상기 제 1정반의 이동거리를 감지하는 거리센서; 상기 엔코더에서 감지되는 상기 액추에이터의 작동량과, 상기 거리센서에서 감지하는 상기 제 1정반의 이동량을 상호 비교하여 액추에이터의 이동량을 제어하는 제어부;를 구비한다.
또한 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착방법은, 제 1기판과 제 2기판을 합착공간으로 공급하는 공급단계; 상기 제 1기판과 상기 제 2기판 사이 간격을 조절하는 조절단계; 상기 제 1기판과 상기 제 2기판 사 이 위치를 정렬하는 정렬단계; 상기 합착공간에 진공압을 형성하는 진공압형성단계; 상기 제 1기판을 상기 제 2기판측으로 이동하는 이동단계; 상기 제 1기판과 상기 제 2기판을 합착하는 합착단계;를 포함하여, 상기 제 1기판과 상기 제 2기판 사이의 간격에 변화가 발생하는 단계에서 상기 제 1기판을 이동시키는 액추에이터의 작동량과 상기 기판이 이동되는 거리를 감지하여 상기 액추에이터의 작동을 제어하는 제어단계가 더 포함된다.
여기서, 상기 제어단계는, 상기 제 1기판이 상기 액추에이터에 의해 이동됨에 따라 상기 액추에이터에 마련된 엔코더에서 상기 액추에이터의 작동량을 감지하는 제 1감지단계; 상기 액추에이터에 의해 상기 제 1기판이 이동됨에 따라 거리센서에서 상기 제 1기판의 이동거리를 감지하는 제 2감지단계; 상기 액추에이터의 작동량과, 상기 제 1기판의 이동거리를 상호 비교하여 상기 액추에이터의 작동량을 보정하여 제어하는 액추에이터 제어단계;를 포함한다.
그리고, 상기 액추에이터 제어단계에서, 상기 정렬 단계시 상기 제 1기판과 상기 제 2기판의 정렬을 위하여 사용되는 얼라인 카메라의 포커싱 정보에서 얻어지는 상기 제 1기판과 상기 제 2기판의 거리값을 상호 비교하여 상기 액추에이터의 작동량을 보정한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착공정을 상세히 설명한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 정의되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의 내려진 것으로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어 서는 아니 될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치를 나타낸 간략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치의 간격조절부를 나타낸 확대도이고, 도 3은 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치의 간격조절부를 나타낸 블록도이다.
도시한 바와 같이 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치(100)는, 베이스(10)와, 베이스(10)의 상부에 마련되는 하부챔버(30)와, 하부챔버(30)와 결합되어 TFT기판과 CF기판의 합착환경을 형성하는 기판의 합착공간을 형성하는 상부챔버(20)와, 하부챔버(30)에 대하여 상부챔버(20)를 승강 및 하강시키는 리프트부(40)와, TFT기판과 CF기판의 간격이 변화됨에 따라 TFT기판과 CF기판의 간격을 측정하고 측정되는 값에 따라 TFT기판과 CF기판의 사이의 거리를 설정된 거리로 변화시키는 간격조절부(50)(도 2참조)를 구비한다.
상기 상부챔버(20)는 리프트부(40)에 의해 지지되는 상태로 마련되며, 하부챔버(30)와 결합되어 공간을 형성하도록 그 하부가 함입되는 상부공간부(21)가 형성된다.
여기서, 상부공간부(21)의 저면에는 상부챔버(20)에 대하여 승강 및 하강되도록 마련되며, TFT기판(또는 CF기판)이 부착되는 상정반(22)이 마련된다. 이러한 상정반(22)은 상부챔버(20)의 내측으로 연장되는 다수의 지지바(22a)가 마련되며, 다수의 지지바(22a)들은 후술할 간격조절부(50)에 의해 승강 및 하강 가능하게 지지된다.
여기서, 상정반(22)의 하부에는 소정의 평편도를 갖는 상부스테이지(23)가 마련된다. 상부스테이지(23)의 저면에는 투입되는 기판이 부착되는 상부부착플레이트(24)를 구비한다. 한편 상부부착플레이트(24)는 정전력에 의해 기판을 부착하는 정전척(ESC:Electro Static Chuck)으로 마련되는 것이 바람직하다.
한편 상부챔버(20)의 상부에는 상부챔버(20)와 상정반(22)을 관통하여 상정반(22)의 상부부착플레이트(24)에 부착된 기판을 분리하기 위한 기판분리장치(25)가 마련된다. 이러한 기판분리장치(25)는 기판을 가압하는 분리핀(25a)과 분리핀(25a)을 이동시키는 분리핀작동체(25b)로 마련된다.
또한, 상부챔버(20)의 상부에는 상부챔버(20)와 상정반(22)을 관통하는 관통공(27)이 형성되고, 관통공(27)의 외측에는 관통공(27)을 통하여 상정반(22)의 상부부착플레이트(24)에 부착된 기판과 후술할 하부챔버(30)의 하부부착플레이트(34)에 부착된 기판의 정렬상태를 판독하기 위한 얼라인 카메라(26)가 마련된다.
이러한, 얼라인 카메라(26)는 상부챔버(20)와 하부챔버(30) 사이에 위치하는 각 기판의 얼라인 마크(미도시)를 중첩하여 관측할 수 있도록 장착되며, 적어도 기판의 대각된 두 모서리를 이상을 관측하도록 마련된다.
상기 하부챔버(30)는 베이스(10)의 상면에 안착되는 상태로 마련되며, 상부챔버(20)와 결합되어 공간을 형성하도록 그 상부가 함입되는 하부공간부(31)가 형성된다. 하부공간부(31)의 상면에는 하부챔버(30)에 마련되어 CF기판(또는 TFT기판)을 부착하는 하정반(32)이 마련된다.
여기서 하정반(32)은 하부챔버(30)의 하부공간부에 부착되는 하부스테이 지(33)와, 하부스테이지(33)의 상면에 마련되어 기판을 부착하는 하부부착플레이트(34)를 구비한다. 한편 하부부착플레이트(34)는 정전력에 의해 기판을 부착하는 정전척(ESC:Electro Static Chuck)으로 마련되는 것이 바람직하다.
한편 하부챔버(30)의 하부에는 하부챔버(30)와 하정반(32)을 관통하여 하정반(32)의 하부부착플레이트(34)에 부착된 기판을 승강시켜 분리하기 위한 기판승강장치(35)가 마련된다. 이러한 기판승강장치(35)는 기판을 승강시키는 승강핀(35a)과 승강핀(35a)을 이동시키는 승강핀작동체(35b)로 마련된다.
또한, 하부챔버(30)의 하부에는 하부챔버(30)와 하정반(32)을 관통하는 관통공(37)이 형성되고, 관통공(37)의 외측에는 관통공(37)을 통하여 얼라인 카메라(26)에 판독광을 제공하는 얼라인 조명(36)이 마련된다.
그리고 상부챔버(20)와 하부챔버(30)의 인접하는 일면에는 상부챔버(20)와 하부챔버(30)에 의해 기판의 합착공간이 형성될 때 합착공간과 외부와의 기밀을 유지하기 위한 기밀부재(38)가 마련된다.
상기 리프트부(40)는 하부챔버(30)에 대하여 상부챔버(20)를 승강 또는 하강시키기 위한 것으로, 하부챔버(30) 또는 하부챔버(30)가 안착된 베이스에 설치될 수 있으며, 상부챔버(20)의 하측에 상부챔버의 하부를 지지하도록 평행하게 설치되는 것이 바람직하다.
상기 간격조절부(50)는 도 2 내지 도 3에 도시한 바와 같이 상정반(22)에 마련되는 다수의 지지바(22a) 하부에 위치하며 다수의 지지바(22a)에 대응되도록 마련되며, 상부챔버(20)와 하부챔버(30) 사이에 설치되는 것이 바람직하다.
이러한, 간격조절부(50)는 지지바(22a)를 승강 및 하강시키기 위하여 선형으로 이동되는 액추에이터(52)와, 지지바(22a)를 지지하며 액추에이터(52)에 의해 이동되는 서포터(54)를 구비한다.
한편, 액추에이터(52)에는 액추에이터(52)의 작동을 감지하는 엔코더(56)가 부착되고, 지지바(22a)의 하부에는 지지바(22a)의 이동거리를 측정하는 거리센서(58)가 더 마련되며, 엔코더(56)에서 감지되는 액추에이터(52)의 이동량과, 거리센서(58)에서 감지하는 실제 지지바(22a)의 이동량을 상호 비교하여 액추에이터(52)의 이동량을 제어하는 제어부(60)가 마련된다.
여기서, 거리센서(58)는 지지바(22a)의 이동거리를 감지한다고 하였으나, 기판의 이동거리를 측정할 수 있는 기판 또는 기판이 부착되는 상정반(22)을 감지할 수도 있으며 거리센서(58)의 감지대상을 한정하는 것은 아니다.
또한, 제어부(60)는 엔코더(56) 및 거리센서(58)에서 감지되는 측정값 이외에 상술한 얼라인 카메라(26)의 포커싱정보를 통하여 실제 기판의 이동거리 및 액추에이터(52)의 작동거리를 상호 비교할 수 있다.
한편, 도면에 도시되지는 않았지만 상부챔버(20)와 하부챔버(30)에는 상부챔버(20)와 하부챔버(30)에 의해 형성되는 합착공간을 진공상태로 형성하는 배기펌프(미도시)와, 합착공간에 공정가스인 N2를 공급하기 위한 공급펌프(미도시)가 각각 마련된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치의 작동을 실시예를 통 하여 상세히 설명한다. 이하에서 언급되는 각각의 요소들은 상술한 설명과 도 1 내지 도 3을 참조하여 이해하여야 한다.
먼저 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착공정을 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착공정을 나타낸 순서도이다.
먼저, 별도의 공정을 통하여 제작된 TFT기판과 CF기판이 기판 공급장치(미도시)에 의해 합착장치(100)로 공급된다(단계 S101). 이에 상부챔버(20)와 하부챔버(30) 사이로 각 기판이 삽입되고, 상부챔버(20)의 상부부착플레이트(24)와 하부챔버의 하부부착플레이트(34)에 각각 부착된다(단계 S102).
이후, 리프트부(40)에 의해 상부챔버(20)가 하강되면서 하부챔버(30)에 안착된다. 이에 상부챔버(20)와 하부챔버(30)에 각각 부착된 각 기판이 합착되기 위한 합착공간이 형성된다(단계 S103).
그리고 합착공간이 형성되면 간격조절부(50)에 의해 상부챔버(20)와 하부챔버(30)에 각각 부착된 기판의 사이 간격을 조절한다(단계 S104). 이러한 기판 사이의 간격조절은 후술될 상정반(22)의 하강시에도 진행되며, 간격조절부(50)의 작동을 따로 설명하면서 상세히 하도록 한다.
한편, 기판 사이의 간격이 조절된 후에는 상부에 위치한 기판과 하부에 위치한 기판의 위치를 정렬한다(단계 S105). 이때 각 기판은 얼라인 카메라(26)에 의해 촬상되는 각 기판의 마킹된 얼라인마크(미도시)를 기준으로 정렬된다. 이러한 기판의 정렬은 이후 설명될 상정반의 하강시에도 실시간으로 정렬될 수 있다.
이후, 기판의 정렬이 완료되면, 상정반(22)을 지지하고 있는 간격조절부(50) 의 액추에이터(52)에 의해 상정반(22)이 하정반(32) 측으로 하강하게 된다(단계 S106). 이때 하강되는 상정반(22)은 상정반(22)에 부착된 기판과 하정반(32)에 부착된 기판 사이의 간격이 일정하도록 간격조절부(50)에 의해 제어된다.
즉 상정반(22)에 부착된 기판과 하정반(32)에 부착된 기판이 상정반(22)이 하강되는 동안에도 항상 평행을 유지하도록 간격조절부(50)에 의해 제어되는 것이다.
이후, 상정반(22)의 기판과 하정반(32)의 기판이 일정거리를 유지하면 상정반(22)의 하강이 정지되고, 상부챔버(20)와 하부챔버(30)에 의해 형성되 합착공간에 진공압을 형성한다(단계 S107). 이때 합착공간에 진공압을 형성하는 과정에서도 간격조절부(50)에 의해 기판의 간격이 일정하게 유지된다.
한편, 합착공간의 진공압 형성이 완료되면, 상정반(22)에 부착된 기판을 하정반(32)에 부착된 기판의 상부로 자유낙하시켜 상정반(22)의 기판을 하정반(32)의 기판에 가접합한다(단계 S108).
다음으로 합착공간의 내부 즉, 가접합된 양 기판의 외부에 N2가스를 공급하여 압력을 가함으로써, 양 기판이 견고하게 부착되어 분리되지 않도록 합착한다(단계 S109). 즉, 챔버 내 합착공간의 압력을 상승시킴으로써, 가접합된 기판 내부와 외부의 압력차에 의하여 양 기판이 강력하게 합착되도록 한다.
이후, 합착공간의 압력을 대기압 상태로 복원하고 합착된 기판을 배출한다(단계 S110). 이때 대기압 상태로 복원하는 이유는 압력의 제어가 용이하며, 이후 이루어지는 기판 반출 작업이 대기압상태에서 이루어지므로 더 이상의 공정이 불필요하기 때문이다.
한편 상술한 바와 같은 과정 중에 각 기판 사이의 간격조절 및 위치 정렬시에는 간격조절부(50)에 의해 각 기판 사이의 간격이 실시간으로 감지됨과 동시에 감지되는 정보에 따라 제어된다. 이하 간격조절부(50)에 의해 진행되는 기판의 간격조절과정을 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착공정에서 간격조절 공정을 나타낸 순서도이다.
먼저, 각 기판 사이의 간격을 조절하고자 상정반(22)을 승강 또는 하강시키기 위하여 액추에이터(52)가 작동되면, 액추에이터(52)에 의해 기판이 부착된 상정반(22)이 승강 또는 하강하게 된다(단계 S201).
이에 액추에이터(52)에 마련된 엔코더(56)에서 액추에이터의 작동량을 감지하고(단계 S202), 이와 동시에 거리센서(58)에서 상정반(22) 또는 상정반(22)의 지지바(22a)의 이동거리를 측정하여 상정반(22)의 상부부착플레이트에 부착된 기판의 이동거리를 감지한다(단계 S203).
이후, 엔코더(56)에서 감지되는 감지값과 거리센서(58)에서 감지되는 이동량을 상호 비교함(단계 S204)과 동시에 기판의 얼라인을 위해 마련된 얼라인 카메라(26)에서 촬상되는 얼라인 마크의 포커싱 정보에서 얻어지는 거리값을 상호 비교하여 기판의 이동에 따른 오차를 보정한다(단계 S205).
이에 따라 산출되는 오차값에 의해 액추에이터(52)의 작동량을 보정하여 상 정반(22)에 의해 승강 또는 하강되는 기판과 하정반(32)에 부착된 기판사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다(단계 S206).
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구 범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 앞으로의 실시예들의 변경은 본 발명의 기술을 벗어날 수 없을 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 따르면, 평판 표시패널의 합착공정시 각 기판의 간격을 항상 일정하게 유지할 수 있도록 함으로써, 기판의 간격조절 불량에 의한 평판 표기패널의 불량을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 제 1기판이 부착되고, 상기 제 1기판의 위치가 독립적으로 이동 가능하게 마련되는 제 1챔버;
    제 2기판이 부착되고, 상기 제 1챔버와 결합되어 합착공간을 형성하는 제 2챔버;
    상기 제 2챔버에 대하여 상기 제 1챔버를 이동시키는 리프트부;
    상기 제 1기판을 이동시키기 위한 작동량과, 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 이동거리를 감지하여 상기 제 1기판을 이동시키기 위한 작동량을 보정하는 간격조절부;를 포함하며,
    상기 제 1챔버는,
    상기 간격조절부에 의해 상기 제 1챔버에 대하여 이동가능하게 마련되는 제 1정반;
    상기 제 1정반의 하부에 마련되어 소정의 평편도를 갖는 제 1스테이지;
    상기 제 1스테이지에 마련되어 상기 제 1기판을 부착하는 제 1부착플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시패널의 합착장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1정반, 상기 제 1스테이지, 상기 제 1부착플레이트를 관통하는 관통공이 형성되고, 상기 관통공의 외측에 상기 제 1기판과 상기 제 2기판의 정렬상태를 판독하기 위한 얼라인 카메라가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판 표시패널의 합착장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제 2챔버는,
    상기 제 2챔버에 마련되는 제 2정반;
    상기 제 2정반의 상부에 마련되며 소정의 평편도를 갖는 제 2스테이지;
    상기 제 2스테이지에 마련되어 상기 제 2기판을 부착하는 제 2부착플레이트;를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시패널의 합착장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 간격조절부는
    상기 제 1정반을 이동시키는 액추에이터;
    상기 액추에이터의 작동량을 감지하는 엔코더;
    상기 액추에이터에 의해 이동되는 상기 제 1정반의 이동거리를 감지하는 거리센서;
    상기 엔코더에서 감지되는 상기 액추에이터의 작동량과, 상기 거리센서에서 감지하는 상기 제 1정반의 이동량을 상호 비교하여 액추에이터의 이동량을 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시패널의 합착장치.
  6. 제 1기판과 제 2기판을 합착공간으로 공급하는 공급단계;
    상기 제 1기판과 상기 제 2기판 사이 간격을 조절하는 조절단계;
    상기 제 1기판과 상기 제 2기판 사이 위치를 정렬하는 정렬단계;
    상기 합착공간에 진공압을 형성하는 진공압형성단계;
    상기 제 1기판을 상기 제 2기판측으로 이동하는 이동단계;
    상기 제 1기판과 상기 제 2기판을 합착하는 합착단계;를 포함하며,
    상기 제 1기판과 상기 제 2기판 사이의 간격에 변화가 발생하는 단계에서,
    상기 제 1기판이 액추에이터에 의해 이동됨에 따라 상기 액추에이터에 마련된 엔코더에서 상기 액추에이터의 작동량을 감지하는 제 1감지단계;
    상기 액추에이터에 의해 상기 제 1기판이 이동됨에 따라 거리센서에서 상기 제 1기판의 이동거리를 감지하는 제 2감지단계;
    상기 액추에이터의 작동량과, 상기 제 1기판의 이동거리를 상호 비교하여 상기 액추에이터의 작동량을 보정하여 제어하는 액추에이터 제어단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시패널의 합착방법.
  7. 삭제
  8. 제 6항에 있어서, 상기 액추에이터 제어단계에서,
    상기 정렬 단계시 상기 제 1기판과 상기 제 2기판의 정렬을 위하여 사용되는 얼라인 카메라의 포커싱 정보에서 얻어지는 상기 제 1기판과 상기 제 2기판의 거리값을 상호 비교하여 상기 액추에이터의 작동량을 보정하는 것을 특징으로 하는 평판 표시패널의 합착방법.
KR1020060074696A 2006-08-08 2006-08-08 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법 KR101360117B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060074696A KR101360117B1 (ko) 2006-08-08 2006-08-08 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060074696A KR101360117B1 (ko) 2006-08-08 2006-08-08 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080013319A KR20080013319A (ko) 2008-02-13
KR101360117B1 true KR101360117B1 (ko) 2014-02-21

Family

ID=39341092

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060074696A KR101360117B1 (ko) 2006-08-08 2006-08-08 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101360117B1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5368290B2 (ja) 2009-12-18 2013-12-18 株式会社アドバンテスト キャリア組立装置
KR101329228B1 (ko) * 2011-05-04 2013-11-13 엘아이지에이디피 주식회사 멀티 정반 및 이를 이용한 터치패널과 디스플레이 패널을 합착하는 패널합착장치
KR101348863B1 (ko) * 2012-02-16 2014-01-07 박웅기 전자부품용 패널의 접합 방법 및 장치
KR101490413B1 (ko) * 2012-12-28 2015-02-04 엘아이지에이디피 주식회사 기판 합착장치
KR101586623B1 (ko) * 2015-06-09 2016-01-20 주식회사 톱텍 진공챔버 합착 스테이지 보정장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0618829A (ja) * 1992-06-30 1994-01-28 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置
JP2003131241A (ja) 2001-10-24 2003-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶基板の貼り合わせ方法
KR20060080565A (ko) * 2000-11-30 2006-07-10 아넬바 가부시기가이샤 기판 중합 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0618829A (ja) * 1992-06-30 1994-01-28 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置
KR20060080565A (ko) * 2000-11-30 2006-07-10 아넬바 가부시기가이샤 기판 중합 장치
JP2003131241A (ja) 2001-10-24 2003-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶基板の貼り合わせ方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080013319A (ko) 2008-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8256101B2 (en) Apparatus for attaching substrates of flat display panel
KR101367661B1 (ko) 척의 평행도 및 평편도 조절유닛을 가진 기판 합착장치
JP2021008668A (ja) 成膜装置、制御方法、及び電子デバイスの製造方法
KR101111063B1 (ko) 기판합착장치
KR101360117B1 (ko) 평판 표시패널의 합착장치 및 이를 이용한 합착방법
KR20070046375A (ko) 기판과 마스크 정렬 장치 및 정렬 방법
KR20100054959A (ko) 기판합착장치 및 이를 이용한 기판합착방법
KR100994494B1 (ko) 기판 합착장치
KR101469966B1 (ko) 기판합착장치용 면압 측정장치 및 이것을 이용한 기판합착방법
KR100960816B1 (ko) 기판 합착장치
KR100913220B1 (ko) 기판합착장치
KR100931609B1 (ko) 기판합착장치
KR101456693B1 (ko) 기판 합착장치
KR101367663B1 (ko) 기판합착장치
KR101490413B1 (ko) 기판 합착장치
KR101358952B1 (ko) 평판 표시패널의 합착장치
JP2004309594A (ja) 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法
KR101385656B1 (ko) 기판합착장치에서 기판의 평행도 조정방법
US20090133801A1 (en) Substrate attaching apparatus
KR100915699B1 (ko) 기판합착장치
KR101060653B1 (ko) 기판 이송 장치, 기판 이송 방법 및 이를 이용한 기판 합착장치
JP2003255311A (ja) 基板貼り合わせ方法及び装置
KR100643504B1 (ko) 액정 패널용 기판의 합착 장치 및 기판 합착 방법
KR100917801B1 (ko) 기판합착장치
KR101000091B1 (ko) 기판 합착장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee