JPH0618829A

JPH0618829A - 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置

Info

Publication number: JPH0618829A
Application number: JP17319892A
Authority: JP
Inventors: Toshio Sekikawa; 利夫関川; Kazumi Kasuya; 一己粕谷; Kiyoo Katagiri; 清男片桐
Original assignee: Shin Etsu Engineering Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Engineering Co Ltd
Priority date: 1992-06-30
Filing date: 1992-06-30
Publication date: 1994-01-28
Anticipated expiration: 2012-04-23
Also published as: JP2604090B2

Abstract

(57)【要約】【目的】液晶表示板用ガラス基板の貼り合せを行う上
定盤，下定盤の平坦度及び組み付け時の平行度、更にガ
ラス基板における平行度にバラつきがあってもそれらの
影響を無くして高精度の平行度を有する貼り合せを行う
ことができる貼り合せ装置を提供すること。【構成】機枠１の下側に固定台板２が設けられ、その
固定台板２の上方に可動台板３が上下動自在に取付けら
れ、且つ前記固定台板２の上に下定盤４を、可動台板３
の下に上定盤５が夫々水平方向に移動可能に取付けられ
たガラス基板の貼り合せ装置において、上記上定盤５を
固定外枠９と外枠９内に位置する可動定盤部10とで構成
し、その可動定盤部10は固定外枠９と平面方向は剛性を
持ち、鉛直方向は可撓性を有する連結部材12で連結し、
可動定盤部12の周囲複数箇所に加圧手段13を装備すると
共に、その加圧箇所におけるガラス基板ａ，ｂ間のギャ
ップを検出する検出手段14，15を設け、その検出手段の
検出値によって加圧手段13の加圧力を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶表示板を構成するガ
ラス基板（上下電極板）の貼り合わせ装置に関し、詳し
くは貼り合せたガラス基板における内側面の平行度を向
上する貼り合せ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示板（LCD ）は、透明導電性電極
をコ―トした２枚のガラス基板間に数μｍのスペ―サを
用いてシ―ル材の内側に液晶を封入したもので、その２
枚のガラス基板は位置合せマ―クによって狂いなく貼り
合せられている。そして、２枚のガラス基板の貼り合せ
を行う従来の貼り合せ装置は、図６に示すように金属製
平板で構成された下定盤16が固定台板17に、上定盤18が
可動台板19に夫々水平方向に移動可能に取付けられ、可
動台板19の下降によって２枚のガラス基板ａ，ｂを加圧
し、ガラス基板ａ，ｂ間のシール材ｃを所定の厚さに潰
して液晶を封入する空間を区画するというものである。

【０００３】しかも、上記の加圧は加圧前約30μあった
シール材を６〜８μまで潰し、ガラス基板の内側面間の
ギャップを均一にして平行度を上げるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の貼り合
せ装置によってガラス基板内側面の平行度をだすための
必要条件（±0.1 μレベルの）としては、(1) 上定盤，
下定盤の平坦度（各定盤の表面の平坦度）を上げ、上・
下定盤を台板に対して組み付けた時の平行度を上げる、
(2) ガラス基板の平行度を良くする（実状は15〜20μあ
ると言われている）の二つの方法が挙げられる。

【０００５】しかしながら、現実には(1) 及び(2) とも
充分に満足できる状況では無く、その結果貼り合せを完
了した２枚のガラス基板間のギャップは均一になりにく
く、それにより液晶表示板として完成されたものは色む
らを生じるといった問題点を有する。尚、上述した(1)
における上定盤，下定盤の平坦度のバラつき、及び組み
付け時のバラつきによる影響を多少なりとも少なくする
手段として定盤とガラス基板との間にゴムシート等の緩
衝材を介在する方法が考えられているが、これらによっ
ても充分満足できる平行度が得られないのが実状であ
る。

【０００６】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは上定盤，下定盤の平坦度及び組み付け時の平行度、
更にガラス基板における平行度にバラつきがあってもそ
れらの影響を無くして高精度の平行度を有する貼り合せ
を行うことができる貼り合せ装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する為
に本発明が講じた技術的手段は、機枠の下側に固定台板
が設けられ、その固定台板の上方に可動台板が上下動自
在に取付けられ、且つ前記固定台板の上に下定盤を、可
動台板の下に上定盤が夫々水平方向に移動可能に取付け
られたガラス基板の貼り合せ装置において、上記上定盤
を固定外枠と外枠内に位置する可動定盤部とで構成し、
その可動定盤部は固定外枠と平面方向は剛性を持ち、鉛
直方向は可撓性を有する連結部材で連結し、可動定盤部
の周囲複数箇所に加圧手段を装備すると共に、その加圧
箇所におけるガラス基板間のギャップを検出する検出手
段を設け、その検出手段の検出値によって加圧手段を制
御することを特徴とする。

【０００８】上記の可動定盤部と固定外枠とを連結する
連結部材の取付け位置は、可動定盤部の上面、定盤部の
厚さ方向の中間部、或いは定盤部の下面等のいずれの位
置でも良く、又連結部材としてはバネ鋼、その他の可撓
性材料が挙げられる。

【０００９】更に、ガラス基板間のギャップを検出する
検出手段としては、加圧箇所の上下変動量（歪み量）を
検出するロードセル、或いは２枚のガラス基板間のギャ
ップを側方から直接監視して検出するギャップメータ等
が挙げられる。

【００１０】

【作用】上記した手段によれば、上定盤が固定外枠と可
動定盤部とで構成され、その可動定盤部は固定外枠に対
して平面方向は剛性を持ち、鉛直方向は可撓性を有する
連結部材で連結されているため、２枚のガラス基板を貼
り合せるために可動定盤部を複数箇所の加圧手段を作動
させて下降させると、その加圧手段の加圧力に応じて下
降量が異なる。それにより、加圧箇所の歪み量の変動を
監視したり、ギャップメータの検出値をフィードバック
させて加圧手段の加圧力を制御することで２枚のガラス
基板間のギャップ（平行度）を均一化することができ
る。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を基に説明する
と、貼合せ装置Ａは、機枠１と、その機枠１内の下側に
固定された固定台板２と、その固定台板２の上方に配置
された可動台板３とから成り、固定台板２上には下側の
ガラス基板ａを載承保持する下定盤４が設けられ、可動
台板３の下には上側のガラス基板ｂを吸着保持する上定
盤５が設けられている。

【００１２】固定台板２上に取付けられる下定盤４は、
固定台板２上をＹ方向に摺動する下部材６と、その下部
材６上に取付けられて水平回動する上部材７とで構成さ
れ、下部材６は固定台板２上に起立固定された２本の平
行な案内手を介して摺動可能に支持されている。又、下
部材６に対して回転可能に支持される上部材７はベアリ
ング８を介在して支持されている。

【００１３】可動台盤３の下方に支持される上定盤５
は、平面形状が正方形をなした環状の固定外枠９とその
固定外枠９の内側に位置する平板状の可動定盤部10とで
構成し、固定外枠９は機枠１に固定したガイドレール11
に嵌合係着してＸ方向に移動調整可能とされ、そうした
固定外枠９の水平方向内側に可動定盤部10が配置される
と共に、固定外枠９と可動定盤部10とは平面方向は剛性
を持ち、鉛直方向は可撓性を有するバネ鋼等の連結部材
12を用いて四辺が連結されている。

【００１４】上記の連結部材12は固定外枠９の上面と可
動定盤部10の上面とに亘って架設固定され、可動定盤部
10の周辺における連結部材12が連結された辺の略中央位
置に加圧手段13が夫々固定されると共に、その加圧手段
の取付箇所には加圧による上下方向の変位量（歪み）を
検出するロードセル等の変位計14が取付けられ、その変
位計の検出値が加圧手段にフィードバックされて加圧力
が制御されるようになっている。

【００１５】図４及び図５は二枚のガラス基板ａ，ｂの
貼り合わせにおいて内面間の間隔を検出しながら貼り合
わせを行う装置の実施例を示し、機枠１側にガラス基板
の内面間隔を監視するギャップメータ15が該ガラス基板
を包囲するように配置固定され、その各ギャップメータ
15の検出値がフィードバックされて可動定盤部10に対す
る各加圧手段の加圧力が制御されるようにしてある。
尚、図４及び図５においてギャップメータ15以外の構成
は前示実施例で示したと同じ構成であるためそれらの構
成については説明を省略する。又、上述した上定盤５に
おける可動定盤部10のガラス基板ｂと当接する面には真
空吸引力が作用する通孔が形成され、その通孔は真空ポ
ンプに接続されて可動定盤部10に上側のガラス基板を吸
着保持する吸着力が働くようにしてある。

【００１６】上述した貼り合せ装置によって二枚のガラ
ス基板の貼り合わせを行う場合、可動定盤部10を加圧手
段13によって下方に押し下げると固定外枠９に対して鉛
直方向に可撓性を有する連結部材12で連結された可動定
板部10はその加圧手段13の加圧力に応じて押し下げら
れ、それによりガラス基板ａ，ｂの貼り合せの加圧力も
全面に均一に掛らず、加圧力の強弱に応じて差が生じ
る。従って、各加圧手段の加圧力を変位計14で検出し、
その検出値を基に加圧手段の加圧力を調整制御すること
により二枚のガラス基板ａ，ｂの内面間のギャップ（平
行度）を均一にすることが出来る。

【００１７】又、図４及び図５の貼り合せ装置にあって
は貼り合せられる二枚のガラス基板ａ，ｂの内面間のギ
ャップがガラス基板の外方周囲に配置したギャップメー
タ15で監視検出し、その検出値に応じて該当箇所の加圧
手段の加圧力を強弱調整することで貼り合せられる二枚
のガラス基板ａ，ｂの内面間のギャップ（平行度）を均
一にすることが出来る。

【００１８】

【発明の効果】本発明の貼り合せ装置は以上詳述したよ
うに、上定盤を固定外枠と外枠内に位置する可動定盤部
とで構成し、その可動定盤部は固定外枠と平面方向は剛
性を持ち、鉛直方向は可撓性を有する連結部材で連結
し、可動定盤部の周囲複数箇所に加圧手段を装備すると
共に、その加圧箇所におけるガラス基板間のギャップを
検出する検出手段を設け、その検出手段の検出値によっ
て加圧手段を制御するように構成したものであるから、
ガラス基盤を圧着する可動定盤部の周囲の加圧力を強弱
調整することが出来る。従って、上下定板の表面の平坦
度、或いはそれら定板を組み付けた時の平行度、更には
ガラス基板（ワーク）の平行度等にバラつきがあっても
それらの影響を無くし、ガラス基板の内面間のギャップ
（平行度）を均一にして向上させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の貼り合せ装置の一実施例を示す縦断正
面図である。

【図２】図１の（２）−（２）線に沿える横断面図であ
る。

【図３】可動定盤部を加圧手段で加圧した状態の縦断正
面図である。

【図４】本発明の貼り合せ装置の他の実施例を示す縦断
正面図である。

【図５】図４の（５）−（５）線に沿える横断面図であ
る。

【図６】従来の貼り合せ装置を示す縦断正面図である。

【符号の説明】

Ａ…貼り合せ装置１…機枠２…固定台板３…可動台板４…下定盤５…上定盤９…固定外枠 10…可動定盤部 12…連結部材 13…加圧手段 14…検出手段（変位計、ギャップメータ）ａ，ｂ…ガラス基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】機枠の下側に固定台板が設けられ、その
固定台板の上方に可動台板が上下動自在に取付けられ、
且つ前記固定台板の上に下定盤を、可動台板の下に上定
盤が夫々水平方向に移動可能に取付けられたガラス基板
の貼り合せ装置において、上記上定盤を固定外枠と外枠
内に位置する可動定盤部とで構成し、その可動定盤部は
固定外枠と平面方向は剛性を持ち、鉛直方向は可撓性を
有する連結部材で連結し、可動定盤部の周囲複数箇所に
加圧手段を装備すると共に、その加圧箇所におけるガラ
ス基板間のギャップを検出する検出手段を設け、その検
出手段の検出値によって加圧手段を制御するたことを特
徴とする液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置。