JP2010145533A - 基板合着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上部チャンバー300と、上記上部チャンバー300の下方に配置されて、板形状に形成される上定盤と、上記上定盤の外側端に突出して設けられる支持ピン350と、上記上部チャンバー300に接して基板の合着空間を形成する下部チャンバー400と、上記支持ピン350を支持して、端部が上記支持ピン350を受容する溝形状のプッシュロード412と、上記下部チャンバー400の縁部に設けられ、上記プッシュロード412を昇降させるアクチュエータ411と、を包含して構成する。
【選択図】図2
Description
200:フレーム
300:上部チャンバー
330:上定盤
350:支持ピン
400:下部チャンバー
410:間隔調節部
411:アクチュエータ
412:プッシュロード
413:弾性部材
500:駆動部
600:排気部
Claims (5)
- 上部チャンバーと、
上記上部チャンバーの下方に配置されて、板形状に形成される上定盤と、
上記上定盤の外側端に突出して設けられる支持ピンと、
上記上部チャンバーに接して基板の合着空間を形成する下部チャンバーと、
上記支持ピンを支持して、端部が上記支持ピンを受容する溝形状のプッシュロードと、
上記下部チャンバーの縁部に設けられ、上記プッシュロードを昇降させるアクチュエータと、
を包含して構成されることを特徴とする基板合着装置。 - 上記支持ピンは複数個で、上記上定盤の各外側端に設けられることを特徴とする請求項1記載の基板合着装置。
- 上記支持ピンの終端を上記上部チャンバーに対して弾力支持する弾性部材を更に包含して構成されることを特徴とする請求項1記載の基板合着装置。
- 上記弾性部材は、ボールプランジャーであることを特徴とする請求項3記載の基板合着装置。
- 上記支持ピンは一対で、上記上定盤の外側端に沿って相互対向する位置にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項3または4に記載の基板合着装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03242999A (ja) * | 1990-02-21 | 1991-10-29 | Sharp Corp | 基板貼合装置 |
JPH0618829A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-28 | Shinetsu Eng Kk | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置 |
JP2001282126A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | 基板組立装置 |
JP2002296601A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶基板の貼り合わせ方法 |
WO2005041154A1 (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-06 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 基板位置合わせ装置 |
-
2008
- 2008-12-16 JP JP2008320049A patent/JP5172639B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03242999A (ja) * | 1990-02-21 | 1991-10-29 | Sharp Corp | 基板貼合装置 |
JPH0618829A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-28 | Shinetsu Eng Kk | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置 |
JP2001282126A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | 基板組立装置 |
JP2002296601A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶基板の貼り合わせ方法 |
WO2005041154A1 (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-06 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 基板位置合わせ装置 |
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