JPH03242999A - 基板貼合装置 - Google Patents
基板貼合装置Info
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- JPH03242999A JPH03242999A JP2039929A JP3992990A JPH03242999A JP H03242999 A JPH03242999 A JP H03242999A JP 2039929 A JP2039929 A JP 2039929A JP 3992990 A JP3992990 A JP 3992990A JP H03242999 A JPH03242999 A JP H03242999A
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- Japan
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- stage
- substrate
- glass substrate
- drive mechanism
- guide mechanism
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 68
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は2枚の基板、例えば液晶基板における上ガラス
基板と下ガラス基板とを重ね合わせ高精度で貼り合わせ
る基板貼合装置に関する。
基板と下ガラス基板とを重ね合わせ高精度で貼り合わせ
る基板貼合装置に関する。
〈従来の技術〉
この種の基板貼合装置の従来例としては第5図に示すよ
うなものが掲げられる。
うなものが掲げられる。
図中10は、図外の装置本体に固定された上ステージ1
0である。この上ステージ10の下面には上ガラス基板
aを吸着して取り付けることができるようになっている
。一方の下ガラス基板すはガイド機構60を介して装置
本体に装備された下ステージ20上に取り付けることが
できるようになっている。
0である。この上ステージ10の下面には上ガラス基板
aを吸着して取り付けることができるようになっている
。一方の下ガラス基板すはガイド機構60を介して装置
本体に装備された下ステージ20上に取り付けることが
できるようになっている。
ガイド機構60はレールであるX軸ガイド61、Y軸ガ
イド62、シャフト軸であるZ軸ガイド63、リング状
のベアリングであるθ軸ガイド64がら構成されており
、これで下ステージ2oをX、Y、Z、θ方向に移動自
在にするようになっている。ここにX、Z方向とは図中
示されている方向である一方、Y方向とは紙面垂直な方
向で、θ方向とはZ軸を軸芯とした回転方向であるとす
る。
イド62、シャフト軸であるZ軸ガイド63、リング状
のベアリングであるθ軸ガイド64がら構成されており
、これで下ステージ2oをX、Y、Z、θ方向に移動自
在にするようになっている。ここにX、Z方向とは図中
示されている方向である一方、Y方向とは紙面垂直な方
向で、θ方向とはZ軸を軸芯とした回転方向であるとす
る。
下ステージ20をx、y、z、θ方向に動がせるに必要
な駆動力は次に説明する駆動機構7oにより得られるよ
うになっている。この駆動機構70はモータとボール螺
子機構とを組み合わせた独立の機構を4組含んだ構成と
なっている。なお、図中では下ステージ20をZ方向に
交互に動かせる上下駆動機構71のみが示されており、
他については図示省略されている。
な駆動力は次に説明する駆動機構7oにより得られるよ
うになっている。この駆動機構70はモータとボール螺
子機構とを組み合わせた独立の機構を4組含んだ構成と
なっている。なお、図中では下ステージ20をZ方向に
交互に動かせる上下駆動機構71のみが示されており、
他については図示省略されている。
上記のような構成の基板貼合装置により上ガラス基板a
と下ガラス基板すとが貼り合わされるまでの過程につい
て説明する。
と下ガラス基板すとが貼り合わされるまでの過程につい
て説明する。
まず、初期状態では、上ステージ1oと下ステージ20
との間には隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステ
ージ10、下ステージ2oに上ガラス基板a、下ガラス
基板すを夫々取り付ける。そして上下駆動機構71を動
作させて、下ステージ2oをZ方向に動かせると、下ス
テージ2oが上ステージ1oに近接するとともに上ガラ
ス基板aと下ガラス基板すとが接触し、両者の間に存在
する接着剤により互いに貼り付けられ、液晶基板が作成
されるようになっている。
との間には隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステ
ージ10、下ステージ2oに上ガラス基板a、下ガラス
基板すを夫々取り付ける。そして上下駆動機構71を動
作させて、下ステージ2oをZ方向に動かせると、下ス
テージ2oが上ステージ1oに近接するとともに上ガラ
ス基板aと下ガラス基板すとが接触し、両者の間に存在
する接着剤により互いに貼り付けられ、液晶基板が作成
されるようになっている。
このとき両基板に付けられたアライメントマークがずれ
ていたならば、下ステージ2oをX、Y平面上を動かせ
るべく、駆動機構70を所定動作させる。すると、上ス
テージlo側の上ガラス基板aは固定のままであるが、
下ステージ2o側の下ガラス基ti bが動き、これで
貼合圧力が加えられた状態におけるガラス基板aと下ガ
ラス基板すとの位置合わせが行われるようになっている
。そして所定時間経過後に上下駆動機構71を再び動作
させ、下ステージ20をZ方向に動かすと、上ステージ
1oとの間番こ隙間ができるので、この隙間を通して下
ステージ20側に付いた液晶基板を取り出すようにす〈
発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記従来例による場合には、次に述べる
ような欠点が指摘されている。
ていたならば、下ステージ2oをX、Y平面上を動かせ
るべく、駆動機構70を所定動作させる。すると、上ス
テージlo側の上ガラス基板aは固定のままであるが、
下ステージ2o側の下ガラス基ti bが動き、これで
貼合圧力が加えられた状態におけるガラス基板aと下ガ
ラス基板すとの位置合わせが行われるようになっている
。そして所定時間経過後に上下駆動機構71を再び動作
させ、下ステージ20をZ方向に動かすと、上ステージ
1oとの間番こ隙間ができるので、この隙間を通して下
ステージ20側に付いた液晶基板を取り出すようにす〈
発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記従来例による場合には、次に述べる
ような欠点が指摘されている。
まず、第1の欠点としては、貼合圧力が上ガラス基板a
と下ガラス基板すとに加えられた状態で下ステージ20
を動かすと、この過程で両基板の間に反力が生じ、この
反力がガイド機構6oに直接作用してこの各部が撓むの
である。この反力は時間の経過とともに小さくなるが、
ガイド機構60の各部に生じていた撓みも開放されるこ
とになる。この結果、下ステージ20が若干動いてしま
い、これが上ガラス基板aと下ガラス基板すとのアライ
メント精度を高める上で大きな障害となっている。
と下ガラス基板すとに加えられた状態で下ステージ20
を動かすと、この過程で両基板の間に反力が生じ、この
反力がガイド機構6oに直接作用してこの各部が撓むの
である。この反力は時間の経過とともに小さくなるが、
ガイド機構60の各部に生じていた撓みも開放されるこ
とになる。この結果、下ステージ20が若干動いてしま
い、これが上ガラス基板aと下ガラス基板すとのアライ
メント精度を高める上で大きな障害となっている。
次に、第2の欠点としては、上ガラス基板a又は下ガラ
ス基板すの厚みが不均一である場合には、貼合圧力も面
全体にわたって均一でなく、部分的に無理な力が加わり
、破損の虞れがあるという欠点がある。
ス基板すの厚みが不均一である場合には、貼合圧力も面
全体にわたって均一でなく、部分的に無理な力が加わり
、破損の虞れがあるという欠点がある。
本発明は上記事情に鑑みて創案されたものであり、その
目的とするところは、基板のアライメント精度を高める
ことができ又は基板の厚みの不均一に関係なく均一な貼
合圧力を得ることができる基板貼合装置を提供すること
にある。
目的とするところは、基板のアライメント精度を高める
ことができ又は基板の厚みの不均一に関係なく均一な貼
合圧力を得ることができる基板貼合装置を提供すること
にある。
〈課題を解決するための手段〉
本発明の第1請求項にかかる基板貼合装置は、第1の基
板を取り付けた第1のステージと第2の基板を取り付け
た第2のステージとが面接触位置から面離反位置にかけ
て、動く構成となっており、前記第1の基板と第2の基
板とを互いに重ねて貼り合わせる装置であって、前記第
1のステージに対して前記第2のステージを平面的に移
動自在にするガイド機構と、前記第2のステージを前記
ガイド機構に沿って動かしめる駆動機構とを具備してお
り、前記駆動機構により作り出される駆動力を前記ガイ
ド機構を介してではなく直接に第2のステージに伝達さ
せるようになっている。
板を取り付けた第1のステージと第2の基板を取り付け
た第2のステージとが面接触位置から面離反位置にかけ
て、動く構成となっており、前記第1の基板と第2の基
板とを互いに重ねて貼り合わせる装置であって、前記第
1のステージに対して前記第2のステージを平面的に移
動自在にするガイド機構と、前記第2のステージを前記
ガイド機構に沿って動かしめる駆動機構とを具備してお
り、前記駆動機構により作り出される駆動力を前記ガイ
ド機構を介してではなく直接に第2のステージに伝達さ
せるようになっている。
本発明の第2請求項にかかる基板貼合装置は、第1の基
板を取り付けた第1のステージと第2の基板を取り付け
た第2のステージとが面接触位置から面離反位置にかけ
て動く構成となっており、前記第1の基板と第2の基板
とを互いに重ねて貼り合わせる装置であって、前記第2
のステージの中でも少なくとも第2の基板の載置部分を
自由に傾けることができるようになっている。
板を取り付けた第1のステージと第2の基板を取り付け
た第2のステージとが面接触位置から面離反位置にかけ
て動く構成となっており、前記第1の基板と第2の基板
とを互いに重ねて貼り合わせる装置であって、前記第2
のステージの中でも少なくとも第2の基板の載置部分を
自由に傾けることができるようになっている。
〈作用〉
まず、本発明の第1請求項にかかる基板貼合装置につい
て説明する。
て説明する。
第1のステージと第2のステージとを面離反位置から面
接触位置に動かすと、第1の基板と第2の基板とが互い
に重ね合わされ、両者間に存在する接着剤により貼り合
わされる。
接触位置に動かすと、第1の基板と第2の基板とが互い
に重ね合わされ、両者間に存在する接着剤により貼り合
わされる。
この際、第1の基板と第2の基板とが位置ずれをしてい
たならば、この位置ずれに応じて駆動機構を動作させる
。すると、駆動機構により作り出された駆動力が直接に
第2のステージに伝わり、第2のステージのみがガイド
機構により規制されて平面的に動くともに、第2の基板
のみが動かされ、結果として、第1の基板と第2の基板
の位置ずれが打ち消される。このとき、第1の基板と第
2の基板との間に発生する反力は、ガイド機構及び駆動
機構に伝達される。だが、この反力の全てがガイド機構
に直接作用するわけでなく、ガイド機構に作用する反力
は、移動機構に作用する分だけ少ないものになる。それ
故、第2のステージの位置決めに大きな影響を有するガ
イド機構における各部の撓み量は非常に小さく、この撓
みが元に戻った際における第2のステージの移動量も極
めて小さいものとなる。
たならば、この位置ずれに応じて駆動機構を動作させる
。すると、駆動機構により作り出された駆動力が直接に
第2のステージに伝わり、第2のステージのみがガイド
機構により規制されて平面的に動くともに、第2の基板
のみが動かされ、結果として、第1の基板と第2の基板
の位置ずれが打ち消される。このとき、第1の基板と第
2の基板との間に発生する反力は、ガイド機構及び駆動
機構に伝達される。だが、この反力の全てがガイド機構
に直接作用するわけでなく、ガイド機構に作用する反力
は、移動機構に作用する分だけ少ないものになる。それ
故、第2のステージの位置決めに大きな影響を有するガ
イド機構における各部の撓み量は非常に小さく、この撓
みが元に戻った際における第2のステージの移動量も極
めて小さいものとなる。
その後、第1のステージと第2のステージとを面接触位
置から面離反位置に動かし、貼り合わされた第1の基板
と第2の基板とを取り出す。
置から面離反位置に動かし、貼り合わされた第1の基板
と第2の基板とを取り出す。
次に、本発明の第2請求項にかかる基板貼合装置につい
て説明する。
て説明する。
第1のステージと第2のステージとを面離反位置から面
接触位置に動かすと、第1の基板及び第2の基板に貼合
圧力が加えられる。このとき、第1の基板と第2の基板
の厚みが不均一であると、これに応じて第2のステージ
の中でも少なくとも第2の基板の載置部分が自由に傾く
ので、結果として、第1の基板と第2の基板に加えられ
る貼合圧力は面全体にわたって均一となる。
接触位置に動かすと、第1の基板及び第2の基板に貼合
圧力が加えられる。このとき、第1の基板と第2の基板
の厚みが不均一であると、これに応じて第2のステージ
の中でも少なくとも第2の基板の載置部分が自由に傾く
ので、結果として、第1の基板と第2の基板に加えられ
る貼合圧力は面全体にわたって均一となる。
〈実施例〉
以下、本発明にかかる基板貼合装置の一実施例を図面を
参照して説明する。第1図、第2図は基板貼合装置の側
面図、平面図、第3図(a)、伽)は下ステージの平面
図、側面図、第4図は下ステージの機能を説明するため
の第3図(ロ)に対応する−である。
参照して説明する。第1図、第2図は基板貼合装置の側
面図、平面図、第3図(a)、伽)は下ステージの平面
図、側面図、第4図は下ステージの機能を説明するため
の第3図(ロ)に対応する−である。
ここに掲げる基板貼合装置は、液晶基板製造用のもので
、液晶基板としての上ガラス基板と下ガラス基板とを高
精度にアライメントし貼り合わせる装置である。第1図
及び第2図を参照してその機械構成について説明する。
、液晶基板としての上ガラス基板と下ガラス基板とを高
精度にアライメントし貼り合わせる装置である。第1図
及び第2図を参照してその機械構成について説明する。
図中1は図外の装置本体に固定された天板である。この
天板1の下面中央部には上ステージ10(第1のステー
ジに相当する)が固定されており、上ステージ10の面
上には上ガラス基板a(第1の基板に相当する)を吸着
して取り付けることができるようになっている(第4図
参照)。また、天板1の下面でも上ステージ10の周囲
に相当する部位には後述する駆動機構40X1.40X
!、407が固定されている。なお、第1図中示すZ方
向は上ステージ10の面に対する鉛直方向に、第2図中
に示すX、Y、θ方向は上ステージ10の平面上に夫々
設定されている。
天板1の下面中央部には上ステージ10(第1のステー
ジに相当する)が固定されており、上ステージ10の面
上には上ガラス基板a(第1の基板に相当する)を吸着
して取り付けることができるようになっている(第4図
参照)。また、天板1の下面でも上ステージ10の周囲
に相当する部位には後述する駆動機構40X1.40X
!、407が固定されている。なお、第1図中示すZ方
向は上ステージ10の面に対する鉛直方向に、第2図中
に示すX、Y、θ方向は上ステージ10の平面上に夫々
設定されている。
また、図中2は、天板1と同じく装置本体に固定された
下板である。この下板2の上面にはガイド機構30等を
介して下ステージ20(第2のステージに相当する)が
移動自在に設けられており、下ステージ20の上面には
、下ガラス基板b(第1の基板に相当する)を取り付け
ることができるようになっている(第4図参照)。なお
、下ステージ20は上ステージ10に対向配置されてい
る。
下板である。この下板2の上面にはガイド機構30等を
介して下ステージ20(第2のステージに相当する)が
移動自在に設けられており、下ステージ20の上面には
、下ガラス基板b(第1の基板に相当する)を取り付け
ることができるようになっている(第4図参照)。なお
、下ステージ20は上ステージ10に対向配置されてい
る。
ここでガイド機構30について詳しく説明する。
下板2と下段台31との間には2本のレールであるX軸
ガイド34が設けられており、これで下段台31が下板
2に対してX方向に移動自在にされている。
ガイド34が設けられており、これで下段台31が下板
2に対してX方向に移動自在にされている。
また下段台31と中段台32との間にはX軸ガイド34
と同じ構造のY軸ガイド35が設けられており、これで
中段台32が下段台31に対してX方向に移動自在にさ
れている。更に、中段台32と上段台33との間には2
本のシャフトであるZ軸ガイド36が設けられており、
これで上段台33が中段台32に対してZ軸方向に移動
自在にされている。この上段台33と下ステージ20と
の間にはリング状をなしたベアリングであるθ軸ガイド
37が設けられており、これで下ステージ20が上段台
33に対してθ方向に移動自在にされている。
と同じ構造のY軸ガイド35が設けられており、これで
中段台32が下段台31に対してX方向に移動自在にさ
れている。更に、中段台32と上段台33との間には2
本のシャフトであるZ軸ガイド36が設けられており、
これで上段台33が中段台32に対してZ軸方向に移動
自在にされている。この上段台33と下ステージ20と
の間にはリング状をなしたベアリングであるθ軸ガイド
37が設けられており、これで下ステージ20が上段台
33に対してθ方向に移動自在にされている。
つまり上記のような構造のガイド機構30により下ステ
ージ20が下板2に対してx、y、z、θ方向に移動自
在にされるようになっている。
ージ20が下板2に対してx、y、z、θ方向に移動自
在にされるようになっている。
また、中段台32にはZ軸ガイド36の他に、ボール螺
子機構である上下駆動機構50が設けられており、上下
駆動機構50を動作させると、上段台33を中段台32
に対して、言い換えると、下ステージ20を下板2に対
してX方向に動かすことができるようになっている。し
かも下ステージ20が上ステージ10に近接すると、両
者の間に上ガラス基板aと下ガラス基板すとが挟み込ま
れ、かかる状態に至ると、上記した駆動機構40X1.
40.□、40yにより下ステージ20をx、y、θ方
向に動かすことができるようになっている。
子機構である上下駆動機構50が設けられており、上下
駆動機構50を動作させると、上段台33を中段台32
に対して、言い換えると、下ステージ20を下板2に対
してX方向に動かすことができるようになっている。し
かも下ステージ20が上ステージ10に近接すると、両
者の間に上ガラス基板aと下ガラス基板すとが挟み込ま
れ、かかる状態に至ると、上記した駆動機構40X1.
40.□、40yにより下ステージ20をx、y、θ方
向に動かすことができるようになっている。
ここで駆動機構40X+について説明する。図中411
は天板1の下面に固定されたモータである。モータ41
X、のシャフトは、天板1側のサポートベアリング42
.、に支持されたボール螺子45XIに連結されており
、このボール螺子45XIの先端部には、天板1に固定
したスライド49X+によりX方向に交互に移動自在な
移動部材43X1が連結されている。この移動部材43
.1の内部には、ボール螺子45X1に螺着されたナツ
トが設けられている一方、先端部には下ステージ20の
一側面に接触するローラフォロア4481が設けられて
いる。また、天板1の下面でも上ステージIOを基準と
するモータ41X1の対向位置には、バネ45XIを介
して付勢部材46X+が設けられており、付勢部材46
XIのモータ41X、側光端部には、下ステージ20の
他端面に接触するローラフォロア48X、が設けられて
いる。
は天板1の下面に固定されたモータである。モータ41
X、のシャフトは、天板1側のサポートベアリング42
.、に支持されたボール螺子45XIに連結されており
、このボール螺子45XIの先端部には、天板1に固定
したスライド49X+によりX方向に交互に移動自在な
移動部材43X1が連結されている。この移動部材43
.1の内部には、ボール螺子45X1に螺着されたナツ
トが設けられている一方、先端部には下ステージ20の
一側面に接触するローラフォロア4481が設けられて
いる。また、天板1の下面でも上ステージIOを基準と
するモータ41X1の対向位置には、バネ45XIを介
して付勢部材46X+が設けられており、付勢部材46
XIのモータ41X、側光端部には、下ステージ20の
他端面に接触するローラフォロア48X、が設けられて
いる。
即ち、モータ41X1を動作させて、移動部材43.1
1 が反X方向に移動すると、下ステージ20とともに付勢
部材46X1が動かされてバネ45.、が縮むようにな
っている。その後、モータ41.、を上記とは反対に動
作させ、移動部材43X1がX方向に移動すると、バネ
45X、の付勢力により付勢部材46Xlとともに下ス
テージ20が動かされるようになっている。
1 が反X方向に移動すると、下ステージ20とともに付勢
部材46X1が動かされてバネ45.、が縮むようにな
っている。その後、モータ41.、を上記とは反対に動
作させ、移動部材43X1がX方向に移動すると、バネ
45X、の付勢力により付勢部材46Xlとともに下ス
テージ20が動かされるようになっている。
一方、駆動機構40X2.40yについては駆動機構4
0X1と全く同一の構造で、ただ、これらは、第2図に
示すように下ステージ20に対する配置関係のみが異な
っている。即ち、駆動機構40.、.40.□を同しよ
うに動作させると、駆動機構40.におけるローラフォ
ロア44y、 48.が回転して滑るとともに、下ステ
ージ20がX方向に交互に動かされるようになっている
。また、駆動機構40つ1.40X2の何れか一方を動
作させると、同様に、下ステージ20がθ方向に交互に
動かされるようになっている。
0X1と全く同一の構造で、ただ、これらは、第2図に
示すように下ステージ20に対する配置関係のみが異な
っている。即ち、駆動機構40.、.40.□を同しよ
うに動作させると、駆動機構40.におけるローラフォ
ロア44y、 48.が回転して滑るとともに、下ステ
ージ20がX方向に交互に動かされるようになっている
。また、駆動機構40つ1.40X2の何れか一方を動
作させると、同様に、下ステージ20がθ方向に交互に
動かされるようになっている。
そして駆動機構40yのみを動作させると、駆動機構4
0X1.40X2におけるローラフォロア44.、.4
88□、44.1.488□が回転して滑るとともに、
下ステージ20がX方向に交互に動かされるようになっ
ている。
0X1.40X2におけるローラフォロア44.、.4
88□、44.1.488□が回転して滑るとともに、
下ステージ20がX方向に交互に動かされるようになっ
ている。
2
次に、下ステージ20の詳細について第3図及び第4図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
上段台33にθ軸ガイド37を介して取り付けられたス
テージ本体22には、底面中央部に支持台23に有する
凹部221が形成されている。この凹部221の開口面
には゛、下ガラス基板20を取り付は可能なステージ2
1が設けられてい葛。このステージ21の裏面中央部と
支持台23の半球状先端部とは接触しており、これでス
テージ21が点支持されるようになっている。また、ス
テージ21とステージ本体22の縁部との間には、複数
個の板バネ24が設けられており、ステージ本体22に
対してステージ21が第4図に示すように若干傾くこと
ができるようになっている。
テージ本体22には、底面中央部に支持台23に有する
凹部221が形成されている。この凹部221の開口面
には゛、下ガラス基板20を取り付は可能なステージ2
1が設けられてい葛。このステージ21の裏面中央部と
支持台23の半球状先端部とは接触しており、これでス
テージ21が点支持されるようになっている。また、ス
テージ21とステージ本体22の縁部との間には、複数
個の板バネ24が設けられており、ステージ本体22に
対してステージ21が第4図に示すように若干傾くこと
ができるようになっている。
以上のように構成された基板貼合装置の動作説明を再び
第1図及び第2図に戻って行う。
第1図及び第2図に戻って行う。
初期状態では、上ステージ10と下ステージ20との間
には隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステージ1
0、下ステージ20に、液晶基板を構成する上ガラス基
板a、下ガラス基板すを夫々取り付ける。そして、上下
駆動機構50を動作させて、下ステージ20をZ方向に
動かせると、下ステージ20が上ステージ10に近接し
、上ガラス基板aと下ガラス基板すとが接触し、用意さ
れた接着剤により貼り合わされる。このとき、第4図に
示すように両者の厚みが不均一である場合でも、これに
応じてステージ21が傾くようになっているので、貼合
圧力は全面にわたって均一となる。
には隙間が出来ており、この隙間を通じて上ステージ1
0、下ステージ20に、液晶基板を構成する上ガラス基
板a、下ガラス基板すを夫々取り付ける。そして、上下
駆動機構50を動作させて、下ステージ20をZ方向に
動かせると、下ステージ20が上ステージ10に近接し
、上ガラス基板aと下ガラス基板すとが接触し、用意さ
れた接着剤により貼り合わされる。このとき、第4図に
示すように両者の厚みが不均一である場合でも、これに
応じてステージ21が傾くようになっているので、貼合
圧力は全面にわたって均一となる。
また、両基板に付けられたアライメントマークがずれて
いたならば、このずれに応じて駆動機構40X1.40
.□、40.を動作させる。すると、上ステージ10側
の上ガラス基板aは固定のままであるが、下ステージ2
0側の下ガラス基板すがX、Yからなる平面上を動き、
これにより両者の位置合わせが行われる。そして所定時
間経過後に上下駆動機構50を再び動作させ、下ステー
ジ20をZ方向に動かすと、上ステージ10との間に隙
間ができるので、この状態で下ステージ20側に付いた
液晶基板を取り出す。
いたならば、このずれに応じて駆動機構40X1.40
.□、40.を動作させる。すると、上ステージ10側
の上ガラス基板aは固定のままであるが、下ステージ2
0側の下ガラス基板すがX、Yからなる平面上を動き、
これにより両者の位置合わせが行われる。そして所定時
間経過後に上下駆動機構50を再び動作させ、下ステー
ジ20をZ方向に動かすと、上ステージ10との間に隙
間ができるので、この状態で下ステージ20側に付いた
液晶基板を取り出す。
以上のように構成された基板貼合装置による場合には、
次のようなメリットを享受できる。
次のようなメリットを享受できる。
上ガラス基板aと下ガラス基板すとの位置ずれを修正す
るべく、上ガラス基板aと下ガラス基板すとの間に貼合
圧力を加えられた状態で下ステージ20を動かすと、こ
の過程で両基板の間に反力が発生する。だが、氷菓の装
置では、この反力の全てがガイド機構30に直接作用す
る訳ではなく、駆動機構40に作用する分だけ少ないも
のになる。それ故、反力とともに発生するガイド機構3
0における各部の撓み量も小さく、この撓みが元に戻っ
た際における下ステージ20の移動量も極めて小さいも
のとなる。従って、上ガラス基板aと下ガラス基板すと
の位置合わせの精度を高めることができる。なお、反力
が100〜200Kgf程度であるときでも、アライメ
ント精度を±2μm以内に収め得ることが実験により確
かめられている。
るべく、上ガラス基板aと下ガラス基板すとの間に貼合
圧力を加えられた状態で下ステージ20を動かすと、こ
の過程で両基板の間に反力が発生する。だが、氷菓の装
置では、この反力の全てがガイド機構30に直接作用す
る訳ではなく、駆動機構40に作用する分だけ少ないも
のになる。それ故、反力とともに発生するガイド機構3
0における各部の撓み量も小さく、この撓みが元に戻っ
た際における下ステージ20の移動量も極めて小さいも
のとなる。従って、上ガラス基板aと下ガラス基板すと
の位置合わせの精度を高めることができる。なお、反力
が100〜200Kgf程度であるときでも、アライメ
ント精度を±2μm以内に収め得ることが実験により確
かめられている。
更にその上で、上ガラス基板aと下ガラス基板すの厚み
が不均一である場合でも、貼合圧力は全面にわたって均
一となるようになっているので、貼合圧力が部分的に大
きくなるということもなく、5 6 液晶基板を破損させる虞れがない。従って、氷菓装置に
よる場合には、液晶基板の製造不良率を低く設定する上
で非常に大きな意義がある。
が不均一である場合でも、貼合圧力は全面にわたって均
一となるようになっているので、貼合圧力が部分的に大
きくなるということもなく、5 6 液晶基板を破損させる虞れがない。従って、氷菓装置に
よる場合には、液晶基板の製造不良率を低く設定する上
で非常に大きな意義がある。
なお、本発明の第1請求項にかかる基板貼合装置は、液
晶基板を製造する場合の適用例に止まらないことは勿論
のこと、駆動機構により生成される駆動力がガイド機構
を介してではなく直接に第2のステージに加えられるよ
うな基本構造であればどのような設計変更を加えても構
わない。
晶基板を製造する場合の適用例に止まらないことは勿論
のこと、駆動機構により生成される駆動力がガイド機構
を介してではなく直接に第2のステージに加えられるよ
うな基本構造であればどのような設計変更を加えても構
わない。
また、本発明の第2請求項にかかる基板貼合装置は、前
記第2のステージの中でも少なくとも第2の基板の載置
部分を自由に傾けることができる構造であればどのよう
に設計変更を加えても構わない。
記第2のステージの中でも少なくとも第2の基板の載置
部分を自由に傾けることができる構造であればどのよう
に設計変更を加えても構わない。
〈発明の効果〉
以上、本発明の第1請求項にかかる基板貼合装置による
場合には、第1の基板と第2の基板との位置ずれを修正
する際に両者の間に発生する反力がガイド機構に直接作
用しないようになっているので、ガイド機構に作用する
反力が直接作用する場合に比較して遥かに小さいものと
なる。それ故、反力の作用とともに発生するガイド機構
における各部の撓み量も小さく、この撓みが元に戻った
際における下ステージの移動量も極めて小さいものとな
る。従って、第1の基板と第2の基板との位置合わせの
精度を高く設定する上で非常に大きな意義がある。
場合には、第1の基板と第2の基板との位置ずれを修正
する際に両者の間に発生する反力がガイド機構に直接作
用しないようになっているので、ガイド機構に作用する
反力が直接作用する場合に比較して遥かに小さいものと
なる。それ故、反力の作用とともに発生するガイド機構
における各部の撓み量も小さく、この撓みが元に戻った
際における下ステージの移動量も極めて小さいものとな
る。従って、第1の基板と第2の基板との位置合わせの
精度を高く設定する上で非常に大きな意義がある。
また、本発明の第2請求項にかかる基板貼合装置による
場合には、第1の基板と第2の基板との厚みが不均一な
ときでも、貼合圧力は全面にわたって均一となるような
構成となっているので、貼合圧力が部分的に大きくなる
ということもなく、両基板を破損させるという可能性が
無くなる。
場合には、第1の基板と第2の基板との厚みが不均一な
ときでも、貼合圧力は全面にわたって均一となるような
構成となっているので、貼合圧力が部分的に大きくなる
ということもなく、両基板を破損させるという可能性が
無くなる。
第1図乃至第4図は本発明にかかる基板貼合装置の一実
施例を説明するための図であって、第1図、第2図は基
板貼合装置の側面図、平面図、第3図(a)、(b)は
下ステージの平面図、側面図、第4図は下ステージの機
能を説明するための第3図(b)に対応する図である。 第5図は従来の基板貼合装置を説明するための図であっ
て、第1図に対応する図である。 10・・・上ステージ 20・・・下ステージ 30・・・ガイド機構 40 、、.40.2.40. ・ 50・・・上下駆動機構 a・・・上ガラス基板 b・・・下ガラス基板 ・駆動機構
施例を説明するための図であって、第1図、第2図は基
板貼合装置の側面図、平面図、第3図(a)、(b)は
下ステージの平面図、側面図、第4図は下ステージの機
能を説明するための第3図(b)に対応する図である。 第5図は従来の基板貼合装置を説明するための図であっ
て、第1図に対応する図である。 10・・・上ステージ 20・・・下ステージ 30・・・ガイド機構 40 、、.40.2.40. ・ 50・・・上下駆動機構 a・・・上ガラス基板 b・・・下ガラス基板 ・駆動機構
Claims (2)
- (1)第1の基板を取り付けた第1のステージと第2の
基板を取り付けた第2のステージとが面接触位置から面
離反位置にかけて動く構成となっており、前記第1の基
板と第2の基板とを互いに重ねて貼り合わせる基板貼合
装置において、前記第1のステージに対して前記第2の
ステージを平面的に移動自在にするガイド機構と、前記
第2のステージを前記ガイド機構に沿って動かしめる駆
動機構とを具備しており、前記駆動機構により作り出さ
れる駆動力を前記ガイド機構を介してではなく直接に第
2のステージに伝達させるようにしてあることを特徴と
する基板貼合装置。 - (2)第1の基板を取り付けた第1のステージと第2の
基板を取り付けた第2のステージとが面接触位置から面
離反位置にかけて動く構成となっており、前記第1の基
板と第2の基板とを互いに重ねて貼り合わせる基板貼合
装置において、前記第2のステージの中でも少なくとも
第2の基板の載置部分を自由に傾けることができるよう
にしてあることを特徴とする基板貼合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2039929A JP2578007B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 基板貼合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2039929A JP2578007B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 基板貼合装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03242999A true JPH03242999A (ja) | 1991-10-29 |
JP2578007B2 JP2578007B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=12566633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2039929A Expired - Lifetime JP2578007B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 基板貼合装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2578007B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010145533A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Advanced Display Process Engineering Co Ltd | 基板合着装置 |
JP2012524913A (ja) * | 2009-04-24 | 2012-10-18 | ヒ ハン、ドン | パネル取り付け装置 |
CN104148350A (zh) * | 2014-08-01 | 2014-11-19 | 大连益盛达智能科技有限公司 | Cog邦定机端子清洁压头机构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52149347A (en) * | 1976-06-08 | 1977-12-12 | Fujitsu Ltd | Part inserting device |
JPH01260898A (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-18 | Fujitsu Ltd | 部品挿入ヘッド |
-
1990
- 1990-02-21 JP JP2039929A patent/JP2578007B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52149347A (en) * | 1976-06-08 | 1977-12-12 | Fujitsu Ltd | Part inserting device |
JPH01260898A (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-18 | Fujitsu Ltd | 部品挿入ヘッド |
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JP2012524913A (ja) * | 2009-04-24 | 2012-10-18 | ヒ ハン、ドン | パネル取り付け装置 |
CN104148350A (zh) * | 2014-08-01 | 2014-11-19 | 大连益盛达智能科技有限公司 | Cog邦定机端子清洁压头机构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2578007B2 (ja) | 1997-02-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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