JP2005268760A - ステージ装置｛ｓｔａｇｅａｐｐａｒａｔｕｓ｝ - Google Patents

Abstract

【課題】超精密の位置制御が可能なように位置誤差を容易に減らすことができるステージ装置を提供する。
【解決手段】第１ステージ１０と、前記第１ステージ１０に対して移動可能に設けられる第２ステージ２０を備えたステージ装置１に関し、前記第１ステージ１０及び前記第２ステージ２０を連結する少なくとも一つのフレキシャヒンジ３０と；前記第１ステージ１０及び前記第２ステージ２０の間に設けられて前記第１ステージ１０及び前記第２ステージ２０を加圧して、前記第１ステージ１０及び前記第２ステージ２０の中心に対して対称をなすように設けられた複数のアクチュエータ４０と；前記第１ステージ１０及び前記第２ステージ２０のうちのいずれか一つに対する他の一つの移動を調節するように前記複数のアクチュエータ４０を制御する制御部とを含む。
【選択図】図２

Description

本発明は、ステージ装置に係わり、より詳しくは、ステージを精密に制御するように構造を改善したステージ装置に関する。

一般に、超精密用ステージ装置は半導体のウエハー及び液晶表示パネル（ＬＣＤ）などの精密検査のためのスキャニング装置、半導体加工機及び超精密加工機などに用いられる。

そして、このようなステージ装置は主に半導体のウエハーなどを支持するフレームのようなステージと、ステージと結合されてステージを移動させるように駆動するアクチュエータと、このようなアクチュエータを精密に制御するための制御部などを含む。

このような従来の超精密用ステージ装置は特許文献１のマイクロリソグラフィックレチクル位置装置（ｍｉｃｒｏ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｃ ｒｅｔｉｃｌｅ ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ）に開示されている。このような従来のステージ装置は、図１に示されているように、ベースなどに固定された外部フレーム３５、３７と、外部フレーム３５、３７の内側に外部フレーム３５、３７に対して移動可能に四角形状に設けられた内部フレーム４１、４３、４５、４７と、ベースなどに固定されて内部フレーム４１、４３、４５、４７を加圧するように駆動する駆動モータ６１、６２、６３と、駆動モータ６１、６２、６３の駆動力を内部フレーム４１、４３、４５、４７に伝達するように設けられたコネクティングロッド７１、７２、７３と、駆動モータ６１、６２、６３の駆動力によって内部フレーム４１、４３、４５、４７が平面の３自由度（Ｘ、Ｙ、θ）を有するように内部フレーム４１、４３、４５、４７及び外部フレーム３５、３７の間に設けられた複数のフレキシャヒンジ（ｆｌｅｘｕｒｅ ｈｉｎｇｅ）５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７、５８とを含む。

駆動モータ６１、６２、６３は四角形状のフレーム３３の外側に３個設けられる。つまり、第１駆動モータ６１及び第２駆動モータ６２は内部フレーム４７の外側に各々左右方向に設けられる。そして、第３駆動モータ６３は外部フレーム３７の外側中央に設けられる。そして、第１駆動モータ６１及び第２駆動モータ６２は第１コネクティングロッド７１及び第２コネクティングロッド７２を駆動させて内部フレーム４７の左側及び右側を各々加圧する。そして、第３駆動モータ６３は第３コネクティングロッド７３を駆動させて内部フレーム４３の中央を加圧する。そして、このような駆動モータ６１、６２、６３はガルバノメータであることができる。

コネクティングロッド７１、７２、７３は駆動モータ６１、６２、６３に対応して３個設けられる。そして、コネクティングロッド７１、７２、７３の一側はクランク（ｃｒａｎｋ）６５、６６、６７によって駆動モータ６１、６２、６３に結合され、他側は内部フレーム４７、４３に結合される。

このような構成による従来のステージ装置の作動過程は次の通りである。

第３駆動モータ６３の駆動によって内部フレーム４１、４３、４５、４７はＸ軸の前後方向に移動可能であり、第１駆動モータ６１及び第２駆動モータ６２の同一な駆動によって内部フレーム４１、４３、４５、４７はＹ軸の前後方向に移動可能になる。そして、第１駆動モータ６１及び第２駆動モータ６３の駆動を異にすることによって内部フレーム４１、４３、４５、４７は内部フレーム４１、４３、４５、４７の中心に対してθ方向に正回転及び逆回転可能になる。

しかし、このような従来のステージ装置は駆動力を発生する駆動モータがフレームに対して非対称的な構造に配置されるが、超精密の位置制御が要求される場合、このような非対称的な構造によって位置誤差を減らし難いという問題点がある。

そして、このような従来のステージ装置はフレームを移動させるために駆動モータを使用するが、このような駆動モータでは数十ナノメートル（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）の位置誤差を有する超精密の位置制御を実現し難く、駆動時に発生する熱によってフレームに熱的変形を招くことがあるという問題点がある。
米国特許第４，６６７，４１５号明細書

したがって、本発明の目的は、超精密の位置制御が可能なように位置誤差を容易に減らすことができるステージ装置を提供することにある。

前記目的は、本発明によって、第１ステージと、前記第１ステージに対して移動可能に設けられた第２ステージとを備えるステージ装置において、前記第１ステージ及び前記第２ステージを連結する少なくとも一つのフレキシャヒンジと；前記第１ステージ及び前記第２ステージの間に設けられて前記第１ステージ及び前記第２ステージを加圧し、前記第１ステージ及び前記第２ステージの中心に対して対称をなすように設けられた複数のアクチュエータと；前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちのいずれか一つに対する他の一つの移動を調節するように前記複数のアクチュエータを制御する制御部とを含むことを特徴とするステージ装置によって達成される。

ここで、前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちの少なくとも一つには前記アクチュエータの加圧力を加圧方向に集中させる少なくとも一つのガイドが設けられるのが好ましい。

前記ガイドは、前記アクチュエータと近接した前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちの少なくとも一つに前記アクチュエータの加圧方向に沿って相互離隔するように切り取られた一対の第１切取ガイドと、前記各第１切取ガイドから前記他の第１切取ガイドに向かって相互離隔するように切り取られた少なくとも一対の第２切取ガイドとを含むことが好ましい。

前記第２ステージは前記第１ステージの外側に設けられ、前記第１ステージには前記アクチュエータを収容するように複数のアクチュエータ収容部が設けられるのが好ましい。

前記ガイドは前記各アクチュエータ収容部に隣接するように前記第１ステージに複数個設けられるのが好ましい。

前記第１ステージと結合されるベースをさらに含み、前記第１ステージには前記ベースと結合する複数の締結部が設けられるのが好ましい。

前記第１ステージは正六角形の板状に設けられ、前記第１ステージには前記アクチュエータ収容部が前記第１ステージの中心に対して対称をなすように３個設けられるのが好ましい。

前記フレキシャヒンジは前記第１ステージの各辺に対応して前記第１ステージの中心に対称となるように６個設けられるのが好ましい。

前記制御部は前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちのいずれか一つに対して他の一つが前記第１及び第２ステージによって形成された板面で３自由度で移動するように前記複数のアクチュエータを制御するのが好ましい。

前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちのいずれか一つに対する他の一つの位置誤差は±２０ｎｍ（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）程度であるのが好ましい。

前記フレキシャヒンジは前記第１ステージ及び前記第２ステージの間に形成された複数のカッティング部によって形成され、前記第１ステージ及び前記第２ステージの中心に対して対称をなすように複数個設けられるのが好ましい。

前記フレキシャヒンジは前記第１ステージ及び前記第２ステージを所定の幅で連結するように形成された補助カッティング部を含むのが好ましい。

前記補助カッティング部はＴ字形状に切取られるのが好ましい。

前記アクチュエータは圧電素子が設けられた圧電駆動器を含むのが好ましい。

前記アクチュエータの前記第１ステージを加圧する端部には接触ボールが設けられるのが好ましい。

本発明によると、超精密の位置制御が可能なように位置誤差を容易に減らすことができる。

そして、アクチュエータに圧電素子を利用した圧電駆動器を使用することによって位置誤差を一層減らすことができ、さらにステージの位置誤差を±１０ｎｍ（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）程度まで低下させることができる。

説明に先立って、いろいろな実施例において、同一な構成を有する構成要素については同一な符号を使用して代表的に第１実施例で説明し、その他の実施例では第１実施例と異なる構成についてのみ説明する。

以下、添付図面を参照して本発明について詳細に説明する。

図２及び図３に示されているように、本発明の第１実施例によるステージ装置１は第１ステージ１０及び第１ステージ１０に対して相対移動可能に設けられた第２ステージ２０を有するステージ５と、第１ステージ１０及び第２ステージ２０を連結する少なくとも一つのフレキシャヒンジ３０と、第１ステージ１０及び第２ステージ２０の間に設けられて第１ステージ１０及び第２ステージ２０を加圧するアクチュエータ４０と、第１ステージ１０及び第２ステージ２０のうちのいずれか一つに対して他の一つが移動するように複数のアクチュエータ４０を制御する制御部（図示せず）とを含む。そして、第１ステージ１０または第２ステージ２０を固定するように設けられたベース３をさらに含むのが好ましい。

ステージ５は超精密の位置制御が要求される半導体のウエハー及び液晶表示パネル（ＬＣＤ）などの精密検査のためのスキャニング装置、半導体加工機及び超精密加工機などに用いられて検査または加工しようとするウエハーなどを支持する。そして、ステージ５は本発明の第１実施例によって正六角形の板状に設けられるが、円形の板状や正六角形でない三角形や四角形及び八角形のような他の多角形の板状に設けられることもできる。しかし、ステージ５はその中心に対して対称をなすように設けられるのが好ましい。そして、ステージ５には前述の第１ステージ１０及び第２ステージ２０と、第１ステージ１０及び第２ステージ２０を連結する前述の複数のフレキシャヒンジ３０が形成される。そして、第１ステージ１０及び第２ステージ２０のうちの少なくとも一つにはアクチュエータ４０の加圧力を加圧方向に集中させる少なくとも一つのガイド１５が設けられるのが好ましい。

ベース３は第１実施例によってステージ５の下側に設けられて後述の第１ステージ１０の締結部１３とスクリューによって結合されて第１ステージ１０を固定する役割を果たす。しかし、ベース３は第２ステージ２０と結合されて第１ステージ１０を第２ステージ２０に対して移動可能にすることができることはもちろんである。

第１ステージ１０は第２ステージ２０の内側に正六角形形状に設けられる。そして、第１ステージ１０には複数のアクチュエータ４０を各々収容し、第１ステージ１０の中心に対して対称をなすように複数のアクチュエータ収容部１１が設けられる。そして、このようなアクチュエータ収容部１１は３個設けられるのが好ましいが、第１ステージ１０の中心に対して対称をなすように６個など設けられることができることはもちろんである。そして、このようなアクチュエータ収容部１１は第１ステージ１０の形状によって変わることもできる。つまり、第１ステージ１０の形状が正四角形の板状であれば、アクチュエータ収容部１１は第１ステージ１０の中心に対して対称をなすように４個設けられることができることはもちろんである。そして、第１ステージ１０にはベース３と結合する複数の締結部１３が設けられる。そして、締結部１３は３個設けられるのが好ましいが、２個あるいは４個以上設けられることができることはもちろんである。しかし、このような締結部１３はアクチュエータ４０の個数と同一に設けられることが好ましく、第１ステージ１０の中心に対して対称をなすように設けられるのが好ましい。

第２ステージ２０は第１ステージ１０と複数のフレキシャヒンジ３０によって連結されてアクチュエータ４０の駆動によって第１ステージ１０に対して移動可能になる。そして、第２ステージ２０は第１ステージ１０の外側に設けられて精密に制御されるウエハーなどのような物品を支持して移送する。そして、第２ステージ２０には後述のアクチュエータ４０に設けられたステージ結合部４１を収容して結合するようにアクチュエータ結合部２３が設けられるのが好ましい。そして、第２ステージ２０はその上側にウエハーなどを安着させることができる別途の支持部を有することができることはもちろんである。

ガイド１５はアクチュエータ４０と近接した第１ステージ１０及び第２ステージ２０のうちの少なくとも一つにアクチュエータ４０の加圧方向に沿って相互離隔するように切り取られた一対の第１切取ガイド１６と、各第１切取ガイド１６から他の第１切取ガイド１６に向かって相互離隔するように切り取られた少なくとも一対の第２切取ガイド１７とを含む。そして、ガイド１５は各アクチュエータ収容部１１に隣接するように第１ステージ１０に複数設けられるのが好ましい。つまり、ガイド１５はアクチュエータ収容部１１に収容されたアクチュエータ４０の加圧力が第１ステージ１０に分散されることを防止してアクチュエータ４０の加圧力を加圧方向に集中させることによりアクチュエータ４０の加圧力を容易に制御することができる。

第１切取ガイド１６は第１ステージ１０のアクチュエータ収容部１１と連通するように切取られるのが好ましい。しかし、第１切取ガイド１６はアクチュエータ収容部１１に近接するように設けられることができることはもちろんである。

第２切取ガイド１７は一対の第１切取ガイド１６から内側に切取られて一対設けられる。そして、このような第２切取ガイド１７はアクチュエータ４０の加圧方向に離隔して二対設けられるのが好ましい。つまり、第２切取ガイド１７が二対設けられることによって一層効果的にアクチュエータ４０の加圧力が第１ステージ１０に分散されることを防止してアクチュエータ４０の加圧力を加圧方向に集中させることによりアクチュエータ４０の加圧力をさらに容易に制御することができる。

アクチュエータ４０は第１ステージ１０及び第２ステージ２０の中心に対して対称をなすように複数個設けられる。そして、本発明の第１実施例でアクチュエータ４０は第１ステージ１０のアクチュエータ収容部１１に各々収容されるように３個設けられる。つまり、アクチュエータ４０は第１ステージ１０の中心に対して１２０゜の等角度に離隔して配置されるのが好ましい。そして、各アクチュエータ４０はアクチュエータ４０の加圧方向が第１ステージ１０の中心に対して偏心されるように設けられるのが好ましい。つまり、アクチュエータ４０の加圧方向がアクチュエータ４０の長さ方向に作用すれば、アクチュエータ４０の長さ方向の中心軸線が第１ステージ１０の中心に対して偏心されるように設けられるのが好ましい。そして、各アクチュエータ４０は圧電素子で形成された圧電駆動器であるのが好ましい。つまり、アクチュエータ４０は作動時に複数の圧電素子によってその長さ方向に伸縮可能に設けられ、このような長さの伸縮を利用して第１ステージ１０及び第２ステージ２０を加圧する。そして、このようなアクチュエータ４０は制御部（図示せず）と連結されて制御部によってその長さの伸縮量が制御される。そして、アクチュエータ４０の一側は第２ステージ２０と接触可能に設けられ、その一側端部には第２ステージ２０のアクチュエータ結合部２３に挿入されて結合されるステージ結合部４１が設けられる。そして、アクチュエータ４０の他側には第１ステージ１０と接触して第１ステージ１０を加圧するように接触ボール４３が設けられる。

ステージ結合部４１は第２ステージ２０のアクチュエータ結合部２３に挿入されてスクリューなどによって結合されるのが好ましい。そして、ステージ結合部４１の端部には制御部と連結されるケーブル４５が設けられる。

接触ボール４３はガイド１５が形成された第１ステージ１０と点接触して第１ステージ１０を加圧する。つまり、接触ボール４３が第１ステージ１０に点接触することによってアクチュエータ４０の加圧力が第１ステージ１０に正確に伝えられて第１ステージ１０または第２ステージ２０の移動がステージ５がなす平面上にのみ制限可能になる。

フレキシャヒンジ３０は第１ステージ１０及び第２ステージ２０の間に形成された複数のカッティング部２１によって形成され、第１ステージ１０及び第２ステージ２０の中心に対して対称をなすように複数個設けられる。そして、フレキシャヒンジ３０は第１ステージ１０に対して第２ステージ２０がステージ５の板面上で移動可能に無摩擦の弾性力を有し、このようなフレキシャヒンジ３０を無摩擦弾性ベアリングとも称する。そして、フレキシャヒンジ３０には第１ステージ１０及び第２ステージ２０を所定の幅で連結するように補助カッティング部３１が設けられるのが好ましい。そして、フレキシャヒンジ３０は本発明の第１実施例で第１ステージ１０の各辺に対応して第１ステージ１０の中心に対称となるように６個設けられる。

カッティング部２１は６個のフレキシャヒンジ３０を構成するように６個設けられるのが好ましい。そして、カッティング部２１はワイヤーカッティングによって加工されるのが好ましいが、レーザーのような他の加工方法で加工されることができることはもちろんである。そして、前述のアクチュエータ収容部１１及びガイド１５も同様にワイヤーカッティングによって加工されるのが好ましい。

補助カッティング部３１はカッティング部２１によって形成されたフレキシャヒンジ３０の弾性力を一層微細に制御するように設けられる。そして、補助カッティング部３１はＴ字形状に切取られるのが好ましい。

制御部（図示せず）は各アクチュエータ４０とケーブル４５によって連結される。そして、制御部は第１ステージ１０及び第２ステージ２０のうちのいずれか一つに対して他の一つが第１ステージ１０及び第２ステージ２０によって形成された平面上で３自由度で移動するように複数のアクチュエータ４０を制御する。第１実施例で制御部はベースに固定された第１ステージ１０に対して第２ステージ２０を平面上で３自由度（Ｘ、Ｙ、θ）で移動するようにアクチュエータ４０を制御し、これにより第２ステージ２０が第１ステージ１０に対して超精密の位置誤差を有して移動する。ここで、第１ステージ１０及び第２ステージ２０のうちのいずれか一つに対する他の一つの移動誤差は約±２０ｎｍ（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）程度であるのが好ましい。第１ステージ１０及び第２ステージ２０のうちのいずれか一つに対する他の一つの位置誤差が±１０ｎｍ（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）程度であることがさらに好ましい。そして、第１ステージ１０及び第２ステージ２０のうちのいずれか一つに対する他の一つの最大移動距離は１０〜２０μｍ（ｍｉｃｒｏ ｍｅｔｅｒ）程度であるのが好ましいが、５０μｍ（ｍｉｃｒｏ ｍｅｔｅｒ）程度まで可能であることはもちろんである。

このような構成によって本発明の第１実施例によるステージ装置の作動過程を図４及び図５を参照して説明すると、次の通りである。

まず、第２ステージ２０が第１ステージ１０に対してステージ５の板面上でＸ軸に移動する過程は図４に示された通りである。つまり、制御部が３個のアクチュエータ４０のうちのＸ軸に加圧力が作動するアクチュエータ４０を駆動させる。そうすると、第１ステージ１０はベースに固定されるので第２ステージ２０が第１ステージ１０に対してＸ軸方向に移動する。そして、第２ステージ２０をＸ軸の反対方向に移動させるためには、制御部が３個のアクチュエータ４０のうちのＸ軸に加圧力が作動するアクチュエータ４０を除いた残り２つを適切に駆動させればよい。しかし、制御部が第２ステージ２０を第１ステージ１０に対してＸ軸方向またはＸ軸の反対方向に移動させるために３個のアクチュエータ４０を適切に駆動させることができることはもちろんである。

そして、第２ステージ２０を第１ステージ１０に対してステージ５の板面上でＹ軸に移動させたりθ方向に回転させるためにも（図５参照）、同様に制御部が３個のアクチュエータ４０を適切に駆動させればよい。

これによって、本発明の第１実施例によるステージ装置はステージの中心に対して複数のアクチュエータを対称的に配置することによって、超精密の位置制御が可能なように位置誤差を容易に減らすことができる。

そして、アクチュエータに圧電素子を利用した圧電駆動器を使用することによって従来のモータのようなアクチュエータに比べて位置誤差を一層減らすことができ、さらにステージの位置誤差を±１０ｎｍ（ｎａｎｏ ｍｅｔｅｒ）程度まで低下させることができる。

図６及び図７は本発明の他の実施例による平面図である。つまり、図６は本発明の第２実施例によるステージ装置１ａの平面図である。第２実施例によるステージ装置１ａは第１ステージ１０ａ及び第２ステージ２０ａで構成されたステージ５ａが四角形状に設けられており、第１実施例と同様なアクチュエータ４０、フレキシャヒンジ３０及びガイド１５がステージ５ａの中心に対して対称になるように各々４個設けられる。そして、図７は本発明の第３実施例によるステージ装置の平面図である。第３実施例によるステージ装置１ｂは第１ステージ１０ｂ及び第２ステージ２０ｂで構成されたステージ５ｂが三角形状に設けられており、第１実施例のようなアクチュエータ４０、フレキシャヒンジ３０及びガイド１５がステージ５ｂの中心に対して対称になるように各々３個設けられる。

このような構成によって本発明の第２及び第３実施例によるステージ装置の作動過程は前述の第１実施例とほとんど類似しているので省略する。

これによって、本発明の第２及び第３実施例による構成でも超精密の位置制御が可能なように位置誤差を容易に減らすことができる。

従来のステージ装置の斜視図である。 本発明の第１実施例によるステージ装置の斜視図である。 本発明の第１実施例によるステージ装置の分解斜視図である。 本発明の第１実施例によるステージ装置の第２ステージが第１ステージに対してＸ軸に移動する作動平面図である。 本発明の第１実施例によるステージ装置の第２ステージが第１ステージに対してθ方向に移動する作動平面図である。 本発明の他の実施例によるステージ装置の平面図である。 本発明の他の実施例によるステージ装置の平面図である。

符号の説明

１、１ａ、１ｂ ステージ装置
５、５ａ、５ｂ ステージ
１０、１０ａ、１０ｂ 第１ステージ
１１ アクチュエータ収容部
１５ ガイド
１６ 第１切取ガイド
１７ 第２切取ガイド
２０、２０ａ、２０ｂ 第２ステージ
２１ カッティング部
２３ アクチュエータ結合部
３０ フレキシャヒンジ
３１ 補助カッティング部
４０ アクチュエータ
４１ ステージ結合部
４３ 接触ボール
４５ ケーブル

Claims (15)

1. 第１ステージと、前記第１ステージに対して移動可能に設けられた第２ステージとを備えるステージ装置において、
   前記第１ステージ及び前記第２ステージを連結する少なくとも一つのフレキシャヒンジと、
   前記第１ステージ及び前記第２ステージの間に設けられて前記第１ステージ及び前記第２ステージを加圧し、前記第１ステージ及び前記第２ステージの中心に対して対称をなすように設けられた複数のアクチュエータと、
   前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちのいずれか一つに対する他の一つの移動を調節するように前記複数のアクチュエータを制御する制御部と
   を含むことを特徴とするステージ装置。
2. 前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちの少なくとも一つには前記アクチュエータの加圧力を加圧方向に集中させる少なくとも一つのガイドが設けられることを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記ガイドは、前記アクチュエータと近接した前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちの少なくとも一つに前記アクチュエータの加圧方向に沿って相互離隔するように切り取られた一対の第１切取ガイドと、前記各第１切取ガイドから前記他の第１切取ガイドに向かって相互離隔するように切り取られた少なくとも一対の第２切取ガイドとを含むことを特徴とする、請求項２に記載のステージ装置。
4. 前記第２ステージは前記第１ステージの外側に設けられ、
   前記第１ステージには前記アクチュエータを収容するように複数のアクチュエータ収容部が設けられることを特徴とする、請求項３に記載のステージ装置。
5. 前記ガイドは、前記各アクチュエータ収容部に隣接するように前記第１ステージに複数個設けられることを特徴とする、請求項４に記載のステージ装置。
6. 前記第１ステージと結合されるベースをさらに含み、
   前記第１ステージには前記ベースと結合する複数の締結部が設けられることを特徴とする、請求項４に記載のステージ装置。
7. 前記第１ステージは正六角形の板状に設けられ、前記第１ステージには前記アクチュエータ収容部が前記第１ステージの中心に対して対称をなすように３個設けられることを特徴とする、請求項４に記載のステージ装置。
8. 前記フレキシャヒンジは、前記第１ステージの各辺に対応して前記第１ステージの中心に対称となるように６個設けられることを特徴とする、請求項７に記載のステージ装置。
9. 前記制御部は、前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちのいずれか一つに対して他の一つが前記第１及び第２ステージによって形成された板面で３自由度で移動するように前記複数のアクチュエータを制御することを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
10. 前記第１ステージ及び前記第２ステージのうちのいずれか一つに対する他の一つの位置誤差は±２０ｎｍ程度であることを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
11. 前記フレキシャヒンジは、前記第１ステージ及び前記第２ステージの間に形成された複数のカッティング部によって形成され、前記第１ステージ及び前記第２ステージの中心に対して対称をなすように複数個設けられることを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
12. 前記フレキシャヒンジは、前記第１ステージ及び前記第２ステージを所定の幅で連結するように形成された補助カッティング部を含むことを特徴とする、請求項１１に記載のステージ装置。
13. 前記補助カッティング部はＴ字形状に切取られることを特徴とする、請求項１２に記載のステージ装置。
14. 前記アクチュエータは圧電素子が設けられた圧電駆動器を含むことを特徴とする、請求項１に記載のステージ装置。
15. 前記アクチュエータの前記第１ステージを加圧する端部には接触ボールが設けられたことを特徴とする、請求項１４に記載のステージ装置。
    

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