JPH0355136A

JPH0355136A - アクチュエータユニットおよびそれを用いたレベル調整のできるステージ装置

Info

Publication number: JPH0355136A
Application number: JP1192144A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Tomita; 良幸冨田; Fumiaki Sato; 文昭佐藤; Kazuhiro Ito; 一博伊藤
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 1989-07-25
Filing date: 1989-07-25
Publication date: 1991-03-08
Anticipated expiration: 2013-07-09
Also published as: JP2773777B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】Ｌ産業上の利用分野ｊ本発明は、ステージ装置を駆動することのできるアクチ
ュエータおよびそれを用いたレベル調整のできるステー
ジ装置に関し、特に半導体製造装置等の高精度のステー
ジ装置に適したアクチュエータおよびそれを用いたレベ
ル調整のできるステージ装置に関する。

近年、例えは半導体集積回路の分野において、集積度の
向上と共に要求される加工精度はますます向上している
。より狭い線幅を実現するため、３露光装置は紫外光の代わりに電子線やＸ線を光源として
用いるものに研究開発の対象か移行している。これに伴
い、駆動ステージの精度も向上させる必要かある。たと
えば、０．２５ないし０．３μｍの線幅を実現するには
約０．０５μｍのアライメント（整合）精度か要求され
、これを達或するには駆動ステージとしては約０．００
５μｍ、甘くても０．０１μｍの精度が要求される６このような高精度のＸＹＺ駆動ステージを例えば１５０
〜２００ＩＩｌｍ／ＳｅＣの速度で移動させることか要
求される。

このような駆動ステージ装置は、入射ビームの焦点深度
内に感光膜を配置させること等のためレベル調整もでき
なくてはならない６半導体ウェハか大径化することに伴
い、ウェ〜ハの反り、厚さ分布、傾き等に合わせて、１
枚のウェーハ内で焦点を何度も合わせ直す必要がある。

［従来の技術］従来のＸＹＺ駆動ステージ装置等は、ＤＣモ４夕とボールねじを組み合わせたアクチュエータを用いた
ものが主流である。しかし、ガタ、バツクラッシ等のた
めにその駆動精度は、大体の場合約０．１μｍか限界で
あり、０．０■μｍやそれ以下の精度を出すことは困難
である。

ソニアモー夕を駆動力源とする駆動ステージ装置も知ら
れている。リニアモータも０．０１μｍ以下の位置精度
を達成することは困難である。

一方、アクチュエータユニットとして圧電素子を用いた
ＸＹ駆動装置等も提案されている。圧電素子は微小の変
位を生じさせることに長じているか変位の絶対値を大き
くすることは難しい。

そこで、高精度の駆動を行うには粗動と微動を組み合わ
せるのか有利となる。

駆動ステージ装置を何段階かに積み上げ、粗動、微動を
各軸方向、各回転方向について行うことも提案されてい
る。

これらの従来の駆動ステージ装置において、アクチュエ
ータの軸は被駆動体に対して直角方向に設けられ、被駆
動体を押すか引くことにより被駆５動体に駆動力を鋤かせている。ＸＹ面を画定するステー
ジ体のＺ方向レベルの調整をする場合、Ｚ方向に沿った
軸を有するアクチュエータで駆動する．アクチュエータ
の軸方向長さか大きいと、ステージ装置全体の寸法もか
なり大きくなる。

被駆動体番ま支持体」二に段？ｆられな案内面や案内レ
ール等の案内部材上を移動する。たとえば、まずステー
ジをＸ方向に移動可能に保持する案内部材とＸ方向駆動
源を含むＸ段が構或され、次にこのＸ段全体をＹ方向に
移動可能に保持する案内部材とＹ方向駆動源を有ずるＹ
段が構成され、このＹ段をさらにＺ方向に移動させる案
内部材と駆動源とを有するＺ段か構成される。さらに必
要に応じて、θＸ、θｙ、θＺの回転段が付加される。

また、各方向で粗動と微動とを別個に行う場合はこれら
の段数が倍加する。

［発明か解決しようとする課題コ以上説明したように、従来の技術によれは、平面状のス
テージ装置のレベルを調整するためには、６平面と直交する軸方向を持つアクチュエータを用い、ス
テージ装置の体積を大きなものとしていた。

また、簡単な構成では高精度か得難く、高精度を得よう
とすると装置全体かさらに大きなものになってしまう。

また、駆動ステージ装置の段数か増加すると、駆動源と
被駆動体との間に介在する部材の数か増加し、部材間の
遊び等の存在により駆動源の発生した駆動力か被駆動体
にどれたけ伝達されるのかが不正確になる。

さらに、被駆動体か支持体の案内部上を移動すると、移
動の際摩擦により駆動負荷が増大し、位置精度や応答性
を悪くする，本発明の目的は、高精度の駆動ステージ装置に適したア
クチュエータユニットを提供することである。

本発明の他の目的は、ＸＹ面内に軸方向を有するアクヂ
ュエータを用い、Ｚ方向の駆動力を発揮するアクチュエ
ータユニットを提供することである。

７本発明の他の目的は、高精度の駆動ステージ装置を提供
することである本発明の他の目的は、小型な１段構成でしかも自由度か
高い駆動ステージ装；ｄを提ｆ１（することてある。

［課題を解決するための千段」本発明によれは、ＸＹ平面に沿って軸か配置された第１
のウェッジ構造体内でアクチュエータをＸＹ面内方向に
変位させることによって第１のウェッジ部材を軸方向に
移動させ、ウェッジ面の結合を介して第２のウェッジ構
造体をＸＹ平而とほぼ直交するＺ方向に移動させる。

なお本明細書においてＸＹ方向とはステージ面等の任意
の平面内において互いに直交する方向を言う。また、Ｚ
方向とはＸＹ方向のいすれに対しても直交する方向を指
すものとする。

第１図（Ａ），（Ｂ）は本発明の基本的２形態を概略的
に示す。

たとえは第１図（Ａ）を参照して説明すると、８基部２の支持面２ａ，２ｂの上に第１のウェッジ構造体
５か載置されている。第１のウェッジ構造体５は、軸方
向の両端に端面４ａ、４ｂを有し、与えられた信号によ
ってその軸方向長さを変化させるアクチュエータ３と、
これら端面４ａ，４ｂに固定され、前記基部２の支持面
２ａ，２ｂ上に結合、支持され、反対側に第１の対称的
なウェッジ面６ａ，６ｂを有する第１のウェッジ部材７
ａ７ｂとを含む。この第１のウェッジ構造体５の上に、
第１の対称的なウェッジ面６ａ，６ｂとほぼ平行な第２
の対称的なウェッジ面８ａ，８ｂを有する第２のウェッ
ジ構造体９が配置され、結合、支持されている。

好ましくは、基部２の支持面２ａ，２ｂと第１のウェッ
ジ部材７ａ，７ｂとの間、および第１のウェッジ部材７
ａ，７ｂの第１の対称的なウェッジ面６ａ，６ｂと第２
のウェッジ構造体９の第２の対称的なウェッジ面８ａ，
８ｂとの間には接着剤層か設けられている。

第１図（Ａ）の構成においては、第１のウェッ９ジ部材７ａ，７ｂが第２のウェッジ構造体９に向かって
狭まるウェッジ面を有し、第２のウェッジ構造体９かこ
れに対して第１のウェッジ禍造体に向かって拡がるウェ
ッジ面を有している。

第１図（Ｂ）は、これらの傾斜が逆になった形態を示す
。すなわち、第２のウェッジ楕造体９が下に向かって狭
まるウェッジ面を有し、第１のウェッジ構造体５は上に
向かって拡がるウェッジ面を有している。

第２のウェッジ構造体９は、ステージ体等の被駆動体１
に接続され、被駆動体１を基部２に対して駆動する。

また本発明によれば、支持面を有する基部２と、ステー
ジ面を有する被駆動体１と、前記基部２と前記被駆動体
１との間に配置された３つのアクチュエータユニットで
あって、各アクチュエータユニットは、軸方向両端に２
つの端面４ａ，４ｂを有し、与えられた信号によってそ
の軸方向長さを変化させるアクチュエータ３と、アクチ
ュエータの両端面４ａ，４ｂに固定され、前記基部２の
支１　０持面２ａ．２ｂ上に結合、支持され、反対測に第１の対
称的なウェッジ面６ａ，６ｂを有する第１のウェッジ部
材７ａ，７ｂとを含む第１のウェッジ構造体５と、前記
第１の対称的なウェッジ面６ａ，６ｂとほぼ平行な第２
の対称的なウェッジ面８ａ　　８ｂを有し、第１のウェ
ッジ構造体上に結合、支持される第２のウェッジ構造体
と、を有し、アクチュエータ３の軸方向の伸縮によって
第２のウェッジ構造体９か支持面とほぼ直交する方向に
変位することかできるアクチュエータユニットとを有し
、３つのアクチュエータユニットを操作することにより
支持面に対するステージ面のレベルおよび傾きを調整で
きるステージ装置か提供される。

好ましくは、被駆動体１は軸方向には高い剛性を有し、
軸と直交する方向には低い剛性を有する弾性リンク部１
０を介してアクチュエータと結合される。

１１［作用］アクチュエータ３かＸＹ面内の軸方向に伸縮すると、第
１のウェッジ部材７ａ，７ｂが軸方向に駆動され、ウェ
ッジ面６ａ，６ｂか軸方向に沿って離れるか、近付くよ
うに移動する。ウェッジ面６ａ，６ｂの移動に伴って、
これと係合するウｊ−．ッジ面８ａ，８ｂを有する第２
のウェッジ梢造体９はＸＹ面と直交するＺ方向に変位す
る。

第１図（Ａ）においては、アクチュエータ３か縮むと、
上方に狭まるウェッジ面を有する第１のウェッジ部材７
ａ，７ｂか内開に動き、ウェッジ面６ａと第２のウェッ
ジ構造体９のウェッジ面８ａとの間、および同様にウェ
ッジ而６ｂとウェッジ面８ｂとの間に間隙を生じようと
する。そこで、間隙を生じないようにするため、下方に
開いたウェッジ面を有する第２のウェッジ桶造体９が図
中下方に移動する６逆にアクチュエータ３が仲ひると、
下方に開いたウェッジ面を有する第２のウェッジ構造体
９は押されるように上方に移動する。

このように、ｘＹ平面内に軸を有するアクチュエ１２ータの軸方向変位によってＸＹ平面と直交する２方向の
変位が発生する。

第１図（Ｂ）においては、アクチュエータ３が縮むと、
上方に拡がるウェッジ面を有する第１のウェッジ部材７
ａ，７ｂが内開に動く。そのウェッジ面６ａ、６ｂか第
２のウェッジ構造体９のウェッジ面８ａ，８ｂを両測か
ら挾み付けるようにし、第２のウェッジ構造体９を上方
に持ち上ける。

逆に、アクチュエータ３が伸びると、上方に開いたウェ
ッジ面６ａ，６ｂは互いに離れるように移動し、下方に
狭まるウェッジ面を有する第２のウェッジ構造体９か下
方に移動する。

このように、ＸＹ平面内に軸を有するアクチュ工一夕の
軸方向変位をＺ方向の変位に変換するアクチュエータユ
ニットか得られる。

ウェッジ面の傾斜角をθとすると、ＸＹ面内の変位Ｘに
よって生じるＺ方向の変位Ｚは、ｚ　　＝−　　ｘ゜ｔ
ａｎθ となる。

従って、角度θの選択によって、アクチュエータの変位
量Ｘを拡大ないし縮小してＺ方向の変位２に変換するこ
ともできる。

摺動する面間に、接着剤層を設けると、接着剤層は剪断
変形しやすいので、滑らかに抵抗少なく面間の摺動運動
を許容する。

このアクチュエータユニットを３組以上用いてステージ
のＺレベル調整、Ｘ軸回り、Ｙ軸回りの回転をさせるこ
とができる。

３組以上のアクチュエータユニツ１・をそれぞれ同一量
駆動すると、被駆動体１はＺ方向に平行移動する。

３組のアクチュエータユニットの変位量を異ならせるこ
とによりＸ軸回りの回転、Ｙ軸回りの回転も行わせるこ
とができる。したかって、各アクチュエータユニツｌ一
の変位量を調整することによって、任意のＺ，θＸ，θ
Ｙ運動をさせることができる。

各アクチュエータユニットの駆動量に差かあると、各ア
クチュエータユニットに曲げモーメントか発生する。

１　４軸方向に剛性が高く、軸と直交する方向に剛性か低い弾
性リンク部１ｏを介して被駆動体を支持することにより
、これらの曲げモーメントを吸収することかてきる。

すなわち、弾性リンク部１ｏは、軸と直交する方向に低
い剛性を有するので、カを受けると容易に軸と直交する
方向に変形する。これにより、アクチュエータユニット
間の干渉を小さくすることができる。

また、駆動の際の反力が小さいので、被駆動体１の受け
る応力も小さくなり、内部歪みの発生を抑えることかで
きる。

さらに弾性リンク部１ｏによる結合によって結合部の遊
びを排し、被駆動体を高精度で駆動することかできる。

［実施例コ以下、・本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第２図（Ａ）〜（Ｄ）はアクチュエータユニッ１５１〜を示す。第２図（Ａ）はアクチュエータユニットの
軸方向断面図、第２図（Ｂ）はアクチュエータユニット
の四面図、第２図（Ｃ）はアクチュエータユニツ１〜の
平面図、第２図（Ｄ）はアク・１−ユエータユニツ１〜
の部分拡大図である。

第２図（Ａ＞を参照して説明すると、圧電素子であるア
クチュエータ素子１３ａ、１３ｂは収納ケース２４ａ、
２４ｂにそれぞれ収納されている。

この収納ケース２４ａ、２４ｂは、スライドウェッジ体
１７ａ、１７ｂにボル１・その他の適当な方法で固定さ
れている。さらに、第２図（Ｂ）に示すように、収納ケ
ース２４ａ、２　４　ｂは互いに突き合わされ、ボルｌ
・２５等の適当な手段によって締め付けられ、圧電素子
であるアクチュエータ素子１３ａ、１３ｂに適当な予圧
を与えている。したがって、アクチュエータ素子１３ａ
、１．　３　ｂ、収納ケース２４ａ、２４ｂ、スライド
ウェッジ体１．　７　ａ、１．　７　ｂは、一体に結合
されて第１のウェッジ梢造体５を構成する。スライドウ
ェッジ体１７ａ、１７ｂは下面にスライドｒｆｊｉ　１
　５　ａ、１５ｂ１　６を有し、十−面に傾斜スライド而１６ａ、１６ｂを有ず
る。これらのスライド面１．　６　ａ、１６ｂは図中左
右に対称な傾斜角を有する。

第１のウェッジ構造体５は、スライド面１２ａ、１２ｂ
を有するアクチュエータベース１２上に載買される。ア
クチュエータ素子１３ａ、１３ｂか伸縮すると、それに
件ってスライドウェッジ体１７ａ、１７ｂか互いに離れ
たり、近付くように変位する。

第１のウェッジ構造体５の上には第２のウェッジ構造体
９が載置されている。第２のウェッジ構造体９の下面に
は、スライドウェッジ体１７ａ、１７ｂのウェッジ面１
６ａ、１６ｂに対面するウェッジ而１８ａ、１８ｂか形
成されている。すなわち、ウェッジ面１６ａと１　８　
ａは平行に配置され、ウェッジ面１６ｂと１８ｂも平行
に配置される。スライドウェッジ体１７ａ、１７ｂが互
いに離れる方向に変位すると、第２のウェッジ構造体９
のウェッジ面１８ａ、１８ｂは押し圧力を受けて上方に
変位する。逆にスライドウェッジ体１７１　７ａ、１７ｂか互いに近付く方向に変位すると、第２のウ
ェッジｍ造体９のウェッジ面１８ａ、１８ｂは引き寄せ
られるように下方に変位する。

スライドウェッジ体１．　７　ａ、１．　７　ｂとアク
チュエータベース１２の間およびスライドウェッジ体１
７ａ、１７ｂと第２のウェッジ横遣体９の間の接触は、
単なる摺動接触でも良いか、好ましくは、第２図（Ｄ）
に示すようにその間を接着剤層２７、２つによって結合
する。接着剤層２７、２９はたとえば厚さ１００〜５０
０μ１ｎの薄い接着剤層で形或される。接着剤層２７、
２９はたとえばエポキシ樹脂で形或される。たとえば、
圧電素子であるアクチュエータ素子１３ａ、１．　３　
ｂか４０μｍ程度の軸方向変位を生じた時、第２のウェ
ッジ横造体９は１０〜２０μｍ程度のＺ方内変付を生じ
るように構或する。接着剤層は剪断変形に対する耐性は
低いが圧縮に対する耐性は高い。従って、スライドウェ
ッジ体１７か変位しようとした時に、容易に剪断変形を
起こして第２のウェッジ構造体９を図中樅方向に駆動す
る。

１　８第２のウェッジ構造体９の上面には一体に形成された弾
性リンク部２０が設けられている。弾性リンク部２０は
径を絞った円柱形状を有する。すなわち、弾性リンク部
２０は軸方向に対しては十分な剛性を有するか、軸方向
と直交する方向に対してはその剛性を低くしている６弾
性リンク部２０はさらに締結部２１に連続している。

第２図（Ｃ）に示すように、締結部２１にはたとえば４
つのネジ穴が形成され、ボルト２２ａ、２２ｂ、２２ｃ
、２２ｄを受け入れる。被駆動体１はこれらのボルトに
よって締結Ｍ２１に固定されている。

弾性リンク部２０は被駆動体１に複数の駆動力源か結合
された場合に、他の駆動力源が駆動力を印加した時、そ
の駆動力による変位を許容するために設ける。すなわち
、横から力を受けると、弾性リンク部２０は曲かって被
駆動体１の変位を許容する。

被駆動体１を単一のアクチュエータユニットて駆動する
場合には、弾性リンク部２０は必すしも１９必要ない。

第３図（Ａ）、（Ｂ）は、弾性リンク部の２つの構造例
を示す。第３図（Ａ）は第２図（Ａ）に示したような因
柱形状の弾・一．リンク部２０社を示す。被駆動体１１
が図中上下方向に移動する場合には、弾性リンク部２０
ａは−」二下方向に曲げ変形することによってその変位
を許容する。第２のウェッジ構造体９が図中左右方向に
移動する際には、弾性リンク部２０ａは軸方向には十分
な剛性を右するので、被駆動体１１を左右方向に駆動ず
る。

第３図（Ｂ）は、弾性リンク部の他の′ｎＩｊ造例を示
す。弾性リンク部２０ｂは相対的に大きな径を有する剛
性部３０と両測から中央に向かって径か次第に小さくな
る球面ヒンジ状のヒンジ部３１、３２を有する。被駆動
体１１かその面内方向に変位する際には、ヒンジ部３１
、３２が結合角度を変化させることにより、その変位を
許容する。第２のウェッジ構造体９が図中左右方向に変
位する場合には、ヒンジ部３１、３２は十分な剛性を有
し、被駆動体ｌ１を左右方向に駆動する。なお、２０１つの剛性部３０の両端に一対のヒンジ部３】、３２を
有する場合を示したか、間にヒンジ部を挾んで複数の剛
性部を有する′！ｌ４造としても良い，第４図（Ａ）、
（Ｂ）はレベル調整のできるステージ装置を示す。

第４図（Ａ）は、概略上面図であり、ベース構造体３５
の上にステージ体４０がアクチュエータユニット３９ａ
〜３９ｅ、３９ｇのみによって支持されている６第４図（Ｂ）の断面に示すように、ベースＷ４造体３５
はその上面に凹部を有し、ステージ体４０８まベース横
造体３５の凹部に対応する凸部４１を有する。ベース横
造体３５の凹部は底面３６および側面３７等によって画
定され、ステージ体４０の凸部４１の面４２とは所定の
間隙４３をもって隔てられている。

第４図（Ａ）の平面図において、破線で示すように、ス
テージ体４０の下には３つのＺ軸方向アクチュエータユ
ニット３９ａ、３９ｂ、３９ｃか正三角形の各頂点ない
しは各辺の中央部に対応す２１る位置に配置されている。また、ステージ体４０の各辺
部の内３辺には、それぞれの辺に平行な軸を有する３つ
のアクチュエータユニット３９ｄ、３９ｅ、３９ｇか配
置されている。それぞれのアクチュエータユニットはベ
ース構造体３５に固定されたアクチュヱータベースとス
テージ体４０に固定された弾性リンク部材とを有する。

アクチュエータユニッｌ−　３　９　ａ、３９ｂ、３９
ｃかＺ軸方向の変位およびＸ軸の回り、Ｙ軸の回りの回
転の３つの自由度を司どる。また、３つのアクチュエー
タユニヅト３９ｄ、３９ｅ、３９ｇはＸ軸方向、Ｙ軸方
向、ＸＹ面内の回転の３つの自由度を司どる。なお、Ｚ
軸方向のアクチュエータユニツｌ・を４つないしそれ以
上設ける構成としてもよい。

第４図（Ｂ）に示すＺ軸方向のアクチュエータユニット
３９ａは第２図（Ａ）〜（Ｄ＞に示したものと同等であ
る。アクチュエータベース１２かボルト４５によってベ
ースｗ１造体３５に固定され、締結部２１かボルｌ−２
２によってステージ体４０に固定されている。第２のウ
ェッジ構造体９が図２　２中上下方向に変位すると、弾性リンク部２０を介して締
結部２１が駆動され、ステージ体４０か上下方向に駆動
される。

ＸＹ方向のアクチュエータユニッｌ−　３　９　ｄ、３
９ｅ、３９ｇはアクチュエータの軸方向に沿って弾性リ
ンク部材を備えたものである。本ステージ禍成の場合、
３９ｄ、３９ｅ、３９ｇの各アクチュエータ変位量は、
複雑に関連し合いながらステージ変位量Ｘ．Ｙ、θＺを
決定する。これらＸＹ面内の変位を生じる場合には、Ｚ
軸方向のアクチュエータユニット３９ａ、３９ｂ、３９
ｃの弾性リンク部２０は曲げを生じることによってその
変位を許容する。

なお、第４｛〆１（Ａ）、（Ｂ）に示ずベース槍造体３
５は、さらに粗動ステージ装置に装架されることによっ
て、所望の駆動スパンを有するＸＹｚステージ装置を構
成する。

第５図は制御系を概略的に示す。

被駆動体１のＸ方向、Ｙ方向およびｘＹ面内の回転θＺ
をモニタするため、３つのＪ！Ｉ距系５０，２３６０ａ，６０ｂが設けられている。たとえは、被駆動体
１のＸ方向の位置をモニタずるための系５０は、被駆動
体１上のミラー５９、レー−１７”光源５１、ビームス
プリッタ５３、ミラー５５、受光器５７を含み、入射レ
ーサ光５２の一部と反射レーサ光５４との干渉縞を計数
してミラー４つのＸ方向位置を計測する。

レーザ光源６　１．　ａと受光器６７，ｉを含む第１の
Ｙ方向モニタ系６０ａ、レーザ光源６１ｂ、受光器６７
ｂを含む第２のＹ方向モニタ系６０ｂも同様の原理によ
ってミラー６つのＹ方向の位置を計測する。２個所でＹ
方向イ１７置をａ］１１定することにより、ミラー６９
のＸＹ面内の角度θＺも測定できる６また、カメラ８０を含む別系統のモニタ系が設けられて
おり、被駆動体１の平面像を撮像して、ｘＹ面内の位置
合わせを行えるように構成されている。

さらに被駆動体１の裏面には３つの静電容量センサ７１
、７３、７５か設けられており、Ｚ方向２４の位置を３点で計測する。これらの結果からＺ方向位置
、Ｘ軸回りの回転、Ｙ軸回りの回転か測定できる。

これらの各モニタ系の出力信号は制御回路８５に入力さ
れる。目標設定値との比較等の後、制御回路８５から補
正信号が圧電アクチュエータ等に送られる。

以上実施例に沿って説明したが、本発明はこれらに制限
されるものではない。たとえば、種々の変形、改良、組
み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう，こ発明の効果］以上述べたように、本発明によれば、アクチュエータ素
子の軸方向に直交する方向に駆動力を発揮することがで
きる。

駆動力方向の寸法を小さくすることかできるので、レベ
ル調整かできるステージ装置を小型にすることかできる
。

また、ウェッジ面角度を調整することにより、２５アクチュエータ素子の変位を拡大、縮小することかでき
る。

１つのステージ体を、種々の方向に駆動することにより
、レベル調整のできるステージ装置全体の構或を簡単な
ものとすることがてきる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ＞、（Ｂ）は本発明の基本実施例によるウェ
ッジを利用したアクチュエータユニッｌ・の概念図、第２図（Ａ）〜（Ｄ＞は本発明の実施例によるアクチュ
エータユニッ１へを示す図であり、第２図（Ａ）は縦方
向断面図、第２図（Ｂ）は叫面図、第２図（Ｃ）は平面
図、第２１”ｉ？ｌ（Ｄ＞は部分拡大断面図、第３図（Ａ＞、（Ｂ）は弾性リンク部の２つの横遣例を
示す斜視図、第４図（Ａ）、（Ｂ）は実施例によるレベル調整ンので
きるステージ装置を示す図であり、第４図（Ａ）は平面
図、第４図（Ｂ）はＩＶ　Ｂ　−　ＩＶ　Ｂ線２６に沿う断面図、第５図は制御系の概略ブロック図である。図において、１２２ａ、２ｂ３４ａ、４ｂ５６ａ、６ｂ７ａ、７ｂ８ａ、８ｂ９１０１２１３１７１６、１８２０被駆動体基部支持面アクチュエータ端面第１のウェッジ′Ｍ４遺体第１の対称的なウェッジ面第１のウェッジ部材第２の対称的なウェッジ面第２のウェッジ楕遣体弾性リンク部アクチュエータペースアクチュエータ素子スライドウェッジ体ウェッジ面弾性リンク部２７２１２４２７、３５３９４０２つ締結部収納ケース接着剤層ベース構造ｆ水アクチュエータユニッステージ体１・

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、一対の支持面を有する基部と、軸方向両端に２つの端面を有し、与えられた信号によっ
てその軸方向長さを変化させるアクチュエータと、アク
チュエータの両端面に固定され、前記基部の支持面上に
結合、支持され、反対側に第１の対称的なウェッジ面を
有する第１のウェッジ部材とを含む第１のウェッジ構造
体と、前記第１の対称的なウェッジ面とほぼ平行な第２の対称
的なウェッジ面を有し、第１のウェッジ構造体上に結合
、支持される第２のウェッジ構造体と、を有し、アクチ
ュエータの軸方向の伸縮によって第２のウェッジ構造体
が軸方向とほぼ直交する方向に変位するアクチュエータ
ユニット。
（２）、前記支持面と前記第１のウェッジ部材との間、
および前記第１のウェッジ面と前記第２のウェッジ面と
の間にそれぞれ接着剤層を有する請求項１記載のアクチ
ュエータユニット。
（３）、支持面を有する基部と、ステージ面を有する被駆動体と、前記基部と前記被駆動体との間に配置された３つ以上の
アクチュエータユニットであって、各アクチュエータユ
ニットは、軸方向両端に２つの端面を有し、与えられた
信号によってその軸方向長さを変化させるアクチュエー
タと、アクチュエータの両端面に固定され、前記基部の
支持面上に結合、支持され、反対側に第１の対称的なウ
ェッジ面を有する第１のウェッジ部材とを含む第１のウ
ェッジ構造体と、前記第１の対称的なウェッジ面とほぼ
平行な第２の対称的なウェッジ面を有し、第１のウェッ
ジ構造体上に結合、支持される第２のウェッジ構造体と
、を有し、アクチュエータの軸方向の伸縮によって第２
のウェッジ構造体が支持面とほぼ直交する方向に変位す
ることができるアクチュエータユニットと、を有し、３つのアクチュエータユニットを操作すること
により支持面に対するステージ面のレベルおよび傾きを
調整できるステージ装置。
（４）、前記各アクチュエータユニットが軸方向に剛性
が高く、軸と直交する方向に剛性が低い弾性リンク部を
有する請求項３記載のステージ装置。