JPH0356895A

JPH0356895A - 駆動ステージ装置およびそのためのアクチュエータユニット

Info

Publication number: JPH0356895A
Application number: JP1192143A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Tomita; 良幸冨田; Fumiaki Sato; 文昭佐藤; Kazuhiro Ito; 一博伊藤
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 1989-07-25
Filing date: 1989-07-25
Publication date: 1991-03-12
Anticipated expiration: 2012-11-12
Also published as: JP2676256B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】Ｅ産業上の利用分野］本発明は、駆動ステージ装置ないし脂動テーブル装置に
関し、特に小型で精密駆動可能な駆動ステージ装置およ
びそれに用いるアクチュエータユニットに関する．近年、例えば半導ｔ＊集積回路の分野において、集積度
の向上と共に要求される加工精度はますます向上してい
る．より狭い線幅を実現するため、露光装置の研究開発
の対象は紫外光の代わりに電子線やＸ線を光源として用
いるものに移行している．これに伴い、露光時にウエー
ハを保持する駆動ステージの精度も向上させる必要かあ
る．たとえば、０，２５ないし０．３μｍの線幅を実現
するには約０．０５μｍのアライメント（整合〉精度か
要求される．これを達成するには駆動ステージとしては
約０．００５μｍ、甘くても０。０１μｍの精度が要求
される．このような高ｊ？４度の駆動ステージを、削えば１３０
〜２００ｎｍ／Ｓｅｃの速度で移動させることが要求さ
れる。

，１，ｔ来の技術］従来のＸＹ　（ＸＹＺ）駆動ステージ装置等は、Ｄ　Ｃ
モータとボールねじを組み合わせたアクチュエータを用
いたものが主流である．しかし、ガタ、ハンクラッシ等
のためにその駆動精度は、大体の場合約０．１ノ．４　
Ｉｎか限界であり、０，Ｏｌμｍやそれ以下の精度を出
すことは極めて困難である．リニアモータを駆動力源と
する駆動ステージ装置ら知られている．リニアモー夕も
０．０１μｍ以ｒの位置精度を達或することは困雑であ
る．一方、アクチｌエータユニットとして圧電素子を用
いたＸＹ駆動装置も提案されている．圧電素子は微小な
変ｉｉｔを生じさせることに長じているか変７αの絶対
隣を太きぐずることは難しい．そこで、高精度の駆動を
行うには粗動と微動を組み合わせるのが有利となる．駆動ステージ装置を何段階かに積み上げ、粗動、微動を
各軸方向について行うことも提案されている．これらの従来の駆動ステージ装置において、アクチュエ
ータは被駆動体に対して直角方向に設けられ、被駆動体
を押すか引くことにより被駆動体に駆動力を働かせてい
る．被駆動体は支持体上に設けられた案内面や案内レー
ル等の案内部材上を移動する．たとえば、まずステージ
をＸ方向に移動可能に保持する案内部材とＸ方向駆動源
を含むＸ段が楕成され、次にこのＸ段全体をＹ方向に移
動可能に保持する案内部材とＹ方向駆動源を有するＹ段
か楕戒される．必要に応じてさらにＺ段、θＸ段、θｙ
段、θＺ段か設けられる．各方向で粗動と微動とを別個
に行う場合はこれらの段数か倍加する， ″Ｌ発明か解決しようする課題］駆動ステージ装置の段数か増加すると、駆動源と被駆動
体との間に介在する部材の数か増加し、部材間の遊び等
の存在により脂動源の発生した駆動力か被脂動咋にどれ
だけ伝達されるのかが不正確になる。

また、駆動ステージ装置の段数が増加すると、全体の寸
法、重量か大きくなる。これは、応答速度を制限する要
因ともなる．また、従来のアクチュエータは被駆動体に対して直角方
向に設けられているのでアクチュエータ設置のために広
いスペースが必要であり、駆動ステージ装置か大きくな
る．また、従来の駆動ステージ装置は通常、ｌ段で１方向の
駆動を行う構成を有し、１段構成当たりの駆動方向の自
由度は低い．更に、戒駆動体か支持体の案内部上を移動すると、移動
の際摩擦により駆動負荷か増大し、位置精度や応答性を
悪くする。

本発明の目的は、高精度の駆動ステージ装置を提供する
ことである本発明の他の目的は、小型な１段構或でしかも自由度か
高い駆動ステージ装置を提供することである。

本発明の池の目的は応答性の優れた駆動スデージ装置を
提供することである．本発明のさらに池の発明はこれらの駆動ステージ装置に
用いるアクチュエータユニットを提洪することである． ′Ｌ課題を解決するための手段］本発明によれば、ＸＹθ駆動ステージ装置のステージ面
は、一対の１方向アクチュエータユニヴト（駆動装置）
と、一個の直交方向アクチュエータユニット（駆動装置
）によって直接駆動される．たとえば第１図を参照して
説明すると、ＸＹ面を画定するステージ面３ｓを有する
被駆動体３は、Ｘ方向に沿った２つの対向辺部３ａ，３
ｂとＹ方向に治った２つの対向辺部３ｃ．３ｄとを有し
、３Ｍの第■のアクチュエーターユニント１０ａ１０ｂ
，１０ｃによって直接保持、駆動される．各第１のアク
チュエータユニットは被駆動体３の各辺部３ａ〜３ｃと
平行な軸方向を有し、各辺部と物理的支持を与えること
のできる基部１との間に接枕される．各第１のアクチュ
エータユニット１０１は対応する辺部に平行な軸方向の
駆動力を発生するアクチェエータ８１と軸方向に高い剛
性を有し、軸方向と直交する方向に低い剛性を有する弾
性リンク部９ｉとを含む．なお、本明細書において、ＸＹ方向とはステーシ面等の
任意の平面内において互いに直交する方向を言う．また
、２方向とはＸＹ而に直交する方向を指すものとする．
：ｉ．な、θＸ回転、θｙ回転及びθＺ回転とはそれぞ
れＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の回りの回転を指すものとする。

また、本発明によれば、ＸＹＺθ駆動装置のステージ面
は、−ＩｌｌのＸ方向アクチュエータユニット（駆動装
置〉と、一対のＹ方向アクチュエータユニット（駆動装
′Ｒ．）と、３つ以上の２方向アクチュエータユニｌト
（駆動笠置）によって直接駆動される．たとえば、第１図を参照して説明すると、ＸＹ面を画定
するステージ面３ｓを有する被駆動体３は、Ｘ方向に沿
った２つの対向辺部３ａ，３ｂとＹ方向に治った２つの
対向辺部３ｃ，３ｄとを有し、３組の第１のアクチュエ
ータースニ／ト１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、３組以上の
第２のアクチュエータユニット１０ｅ〜１０ｇによって
直接保持一駆動される．各第１のアクチュエータユニッ
トは被駈動体３の各辺部３ａ〜３ｃと平行な軸方向を有
し、各辺部と物理的支持を与えることのできる基部１と
の間に接続される．各第２のアクチュエータユニットは
、Ｚ方向に平行な軸方向を有し、被駆動体３のステージ
面３ｓを画定する３点以上の点の１つと基部１との間に
接続される．各第１のアクチュエータユニット］Ｏｉ　
（ｉ＝ａｂ，ｃ，ｄ）は対応する辺部に平行な軸方向の
駆動力を発生するアクチュエータ８１と軸方向に高い剛
性を有し、軸方向と直交する方向に低い剛性を有する弾
性リンク部９１とを含む．各第２のアクチュエータユニ
ット］Ｏｊ　　（ｊ＝ｅ，ｆ，ｇ）はＺ方向の駆動力を
発生するアクチュエータ８ｊとＺ方向に高い剛性を有し
、２方向と直交する方ぎりに低いｉｊｌｌｌ性を有する
弾性リンク部９，ｊとを富む。

これらの駆動ステージ装置用に用いることのできる圧電
アクチュエータユニットは、軸方向に駆動力を発生する
ことのできるアクチュエータ８１と、軸方向に対して高
い剛性を有し、軸方向と直交する方向に低い剛性を有す
る弾性リンク部材９１とを有する。

リンク部材は、好ましくは相対的に大きな径を有する剛
性部と、相対的に小さな径を有する少なくとも２つの弾
性部とを有し、これらの剛性部、弾性部が軸方向に整列
して配置される．こ作用Σ ＸＹθ駆動ステージ装置は、Ｘ．Ｙ方向およびＸＹ平面
内の回転θＺ方向にステージ面を駆動ずることができる
。

たとえは、第１図においてＺ方向アクチュエ−タユニッ
ト１．　０　ｅ〜１０ｇを無視すると、Ｘ方向のアクチ
ュエータユニット１．　０　ａが＋Ｘ方向に駆動すると
、彼駆動体３は近似的に＋Ｘ方向に移動しようとする．
この時、被駆動体３かＹ方向のアクチュエータユニット
ｌＱｂ．１．０ｃの弾性リンク部９ｂ，９ｃをＸ方向に
押す６弾性リンク部９ｂ．９ｃは、Ｘ方向に対して剛性
か低いので、Ｘ方向の力を受けると容易に弾性変形（曲
げ）を起こす。従って、Ｘ方向のアクチュエータユニッ
ト１０ａにより、被駆動体３はＸ方向に駆動される．な
お、被駆動体３をＹ方向へ移動させる場合もＸ方向への
移動の場合と同様な原理で行うことかできる．弾性リンク部の弾性変形によって反力か生じるか、弾性
リンク部は軸方向に直角の方向に対して剛性か低いので
、その反力は直交方向のアクチュエータユニットの駆動
負荷としては小さい。従ってアクチュエータユニットは
、その駆動スパンを確保することかできる．また、駆動
ステージ装置は良好に印加信号に応答することかできる
。

さらに、アクチュエータユニットＬＯａをーＸ方向に、
アクチュエータユニットＬＯｃを＋Ｙ方向に、アクチュ
エータユニット１０ｂをーＹ方向に邪動することにより
一被駆動体３を第１図中で左ｒｉ１りに回転駆＠（＋θ
Ｚ回耘）することができる。駆動方向を逆にすることに
よりーθＺ回転も同機に行うことかできる．ＸＹＺθ駆動装置はＸＹｚ各軸方向および各軸方向の周
囲の回転方向にステージ面を駆動することかできる。

たとえば、第１図を参照して説明すると、ＸＹ面内の駆
動は、Ｚ方向のアクチュエータユニツ１・１０ｅ〜１０
ｇの弾性リンク部が弾性変形すること以外は上述と同櫟
である．Ｚ方向に関しては、第１のアクチュエータユニソト１．
　０　ａ　．　　１　０　ｂ　，　　１　０　ｃの駆動
量を０とし、第２のアクチュエータユニント１．　０　
ｅ〜１０ｇをそｈ．ぞれ同一方向に同一量駆動すると、
被駆動体３はＺ方向に亜進する．この時、第１のアクチュエータユニン１・の弾・陀リン
ク部９ａ〜９ｃから若干の反力を受けるが、前述のよう
に、弾性リンク部は軸と直交する方向の剛性か低いので
、被駆動体は２方向に容易に朋動される。

また、第２の圧電アクチュエータユニット１０ｅ〜１０
ｇの駆動量のバランスにより、θＸ、θｙ方向の回転を
行うことができる．さらに、全ての圧電アクチュエータユニント１０ａ〜Ｌ
ｏｇを同時に適当量駆動することにより、ｘ，ｙ，ｚ．
θＸ、θｙ、θＺの６自由度の任意の動きを被駆動体３
に伝達することか可能となる．［実施例］以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

ＸＹθ駆動ステージ装置第２図、第３Ｉ７ｌは本発明の実施例によるＸＹθ微動
駆動ステージ装置を示す６駆動量は、たとえば１方向の
並進か最大２０μｍ、回転か最大２０秒程度である．第
２図は平面図、第３図は第２［謁の一部破断ｉ＋１１１
而図である。

訓中、１は物理的支持を与えるベースｆ＃ｌ　３ｕ体（
基部）であり、そのＬ面中央に凹部２が設けらノ土てい
る．ｆｌｎ距Ｐｔを大きくする時は、このベース横造体
１をさらにリニアモータ、ボールネジ等乙こＬつｎ１動
駆動する．３はステージ而３ｓを有する；皮１１〆動体
で、Ｘ方向の２つの村向辺部３ａ．３ｂ．Ｙ方向の２つ
の対向辺部３ｃ，３ｄを有ずる格正方形または長方形の
形状を有する．この被駆動体３の下面はベース横造体１
の四部２内に入り込む凸部・４を有し、ステーシの剛性
を高めている．この凸部４とベース横造体１の凹部２と
の間には間隙５か保たれる．すなわち、被駆動体３はベ
ース横造体１から遊離した状態にある．また被駆動Ｃ本
３の上面には、ウェーハチャック等〈図示せず）を託け
５槓徳τに駆動すべきウエーハを保持してもよい。

８ａ〜８ｃはリード線（図示せず）により制御電。１，
９に接続されたアクチスエータ、たとえば圧電アンチュ
エータて゛あり、被１｝メ動体３の辺部３ａ〜３ｄの内
の３辺３ａ〜３ｃに対応して３　４）］設けられている
。各アクチュエータ８ａ〜８Ｃはそれぞｔし弾性リンク
部９ａ〜９ｃと結合してアクチヱエータユニット１．　
０　ａ〜１０ｃを横或している．アクチュエータユニッ
ト１０ａ〜１０ｃは被駆動体３の各辺部３ａ〜３ｃに平
行なＸ方向、Ｙ方向に沿って配置されている６図示の場
含、圧電アクチュエータ８ａ〜８Ｃはそれぞれその一端
をベース横遣体１に固定的に接続されている。各圧電ア
クチュエータ８ａ〜８ｃと被駆動体３の各辺部３ａ〜３
ｃの間には、それぞれ弾性リンク部９ａ〜９Ｃか介在し
ている。この弾性リンク部９ａ〜９Ｃは、被駆動体３を
ベース構造体１から遊離した状態で支持するとともに、
被駆動体３にアクチュヱー夕の及ぼす力を伝達する．さ
らに、この弾・注リンク部９８〜９ｃはその軸方向と直
交する方向に力か及ぼされた場合、曲げ変形することに
よって軸と直交する方向の変位を許容する．すなわち、弾性リンク部９ａは被駆動体３をＸ方向に駆
動する力を伝達すると共に、被駆動（＊３が）′方向に
移動しようとする場合、その移動を許容するように変形
する．本実施例にむいては、圧電アクチュエータ８１は、一体
の部材１２を介してボルト１１によりベース横這体Ｉに
固定されている．弾性リンク部９１は、一体構造の部財
１６を介してボルト】５にＬつ？ｆ！ｉＩｌ〆動体３に
固定さｔＬている。ここで、これらのボルトＴ１．１５
および部材】２、１６を省路１，てベースｍ遣体１およ
び被駆動体３にアクチュエータユニットを直接溶接、接
着等により接続してもよい６なＪ５、被駆動体３と圧電
アクチュエータユニン１〜１　［）　ｉ　、部材１２の
間には、披脂動１，本３の移動を可能とする間隙を設け
てある。

第４図は第２図のＸ　Ｙ　６？駆動ステージ装置に用い
た圧電アクチュエータユニｙト１０の拡大平而［ラ１で
ある．また、第５図は圧電アクチュエータユ二１トの池
の実施例を示す平而ｒ：ＦＪ　”（−夕）る．第４ＶＡ
に示した圧菟アクナユエータユニント１０は、右端か部
材１２を介してベース横造体１に接続される。国示の場
合、圧憲アクチュエータ８が部材１２と結合している，
圧電アクチュエータ８の左端は弾性リンク部９に結合し
ている，弾性リンク部９は大径の剛性部２０と小径のヒ
ンジ部２１，２２かｔ）形成される．剛性部２０の一端
は、ヒンジ部２１を介して圧主アクチュエータ８の左端
に接続され、弾性リンク部９の左端はヒンシ部２２を介
して被駆動体３に接続さｈる。各ヒンシ部２１２２は、
両端から中央に向かって径か絞られ、断面か凹状（円弧
状）の球而ヒンジである．球而ヒンジは、軸方向には高
い剛性を有し、軸と直交する方向はソ１１１性を弱め、
曲けを許容するのに好ましい横遣て゛ある。

第５図に示しな、圧電アクチュエータユニット２３はよ
り簡単な構造の弾性リンク部２４を有する．弾性リンク
部２４は軸方向には十分な剛性を発揮すると共に、軸と
直交する方向には十分な弾性を呈するようにその径を選
択されている。すなわち仲び縮みはし難いが、曲げは比
較的容易な構或である。他の改は第−４　１’ａに示す
圧電アクチュエータユニットと同様である。

このように、圧電アクチュエータ８と、圧電アクチュエ
ータユニットの軸方向に高い剛性を有し、軸と直交ずる
方向には十分な弾性を有ずる弾性リンク部リないし２４
とを組み合わせることにより、第２図、第３図に示す実
施例に用いることのできるアクチュエータユニットを横
戊することかできる。

ＸＹＺθ駆動ステージ装置第６図、第７図は本発明の１実施閉１によるＸＹＺθ駆
動ステージ装置を示す．ＸＹ平面内の駆動に関しては、第２図、第３図に示した
実施例と同櫟である．Ｚ方向の駆動も行うために、本実施例においては、Ｚ方
向の脂動を行う３：″）の圧電アクチュエータユニット
３２ａ．３２ｂ，３２ｃか、被駆動体３とベース橿遣体
１の間に配置されている。

第７図の断面図を参照して説明すると、圧憲アクチュエ
ータユニット３２は圧な素子３６と、圧＄索子３６のＸ
Ｙ面内の伸縮運動をＺ方向の運動に変換する一対の楔部
材３７ａ、３７ｂ、３８ａ３８１つと、このＺ軸方向の
運動を被駆動体３に伝達する弾性リンク部３１ａを有す
る．圧電素子３６に接続された一方の楔部材３７ａ，３
７ｂはアクナユエータベース３５に接着剤等で結合され
、接着剤等の剪断変形によりＸＹ面内の小さな変位を許
容する．アクチュエータベース３５はベース構造体１に
ボルｌ・３４等により固定されている。

これら一方の楔部材３７ａ，３７ｂの上面は、対称的な
ｇｉ．斜面に或形されており、対向する他方の楔部材３
８の対称的傾斜面部３８ａ．３８ｂと接着剤等を介して
係合している．すなわち、一方の楔部材３７ａ，３７ｂ
が両開に拡かろうとすると、対向する楔部材３８は上方
に移動することになる。

逆に一方の楔部材３７ａ．３７ｂか互いに近付こうとす
ると、他方の楔部材３８は下方に移動するこれらの楔部
材３７、３８間の結合は接着削等の剪断変形を許容する
部材を介して行うのが好ましい．弾性リンク部３１ａの
上端は、締結横造３３ａを有し、被駆動体３とボルト３
４等を介して結合している．Ｚ方向のアクチュエータユニット３２ａ，３２ｂ　　３
２ｃに３いて、弾性リンク部３１はその軸方向に高い剛
性を有し、軸方向と直交する方向に低い剛性を有する．
軸方向の力を伝達して軸方向に被駆動体３を駆動するこ
とができるとともに、池の方向の被駆動体の運動を曲げ
等の弾性変形により許容する．Ｚ方向のアクチュエータユニットに関して、圧Ｓ素子を
Ｚ方向に設けず、ＸＹ面内に設けたのはＺ方向の高さを
減少するためである．このように配置することにより、
駆動ステージ装置全体のＺ方向の寸法を小さくすること
かできる．Ｘ−Ｙ方向の駆動のためのアクチェエータユ
ニットを被駆動体３の辺部に平行な方向に設けたのは、
１段の横或でＸ方向、Ｙ方向の変位を可能にするためと
、駆動ステージ装置全体の横成を小さなものとするため
である．第８図は制御系を概略的に示す．被駆動体３のＸ方向、Ｙ方向およびＸＹ面内の回転θＺ
をモニタするため、３つの潤距系５０６０ａ，６０ｂが
設けられている．たとえば、被駆動体３のＸ方向の位置
をモニタするための系５０は、被駆動体３上のミラー５
９、レーザ光源５■−ビームスプリッタ５３、ミラー５
５、受光器５７をきみ、入射レーサ光５２の一部と反射
レーザ光５４との干渉縞を計数してミラー４つのＸ方向
位置を計測する。

レーザ光ａｆ６１ａと受光器６７ａを含む第１のＹ方向
モニタ系６０ａ、レーザ光′ａ６　ｌ　ｂ、受光器６７
ｂを含む第２のＹ方向モニタ糸６　０　ｂも同様の原理
によってミラー６９のＹ方向の位置を計測する。２問所
でＹ方向位置をａｌ定することにより、ミラー６つのＸ
Ｙ面内の角度θＺも測定できる。

また、カメラ８０を含む別系統のモニタ系か設けられて
おり、被駆動体３の十面（象を撮作して、ＸＹ面内の位
置合わせを行えるように構成されている．さらに、被駆動体３の裏面には３つの静電容量センサ７
１、７３、７５か設けられており、Ｚ方向の位置を３げ
λで計測する，これらの結果からＺＨ向位置、Ｘｌｌ１
ｉ回りの回転、Ｙ軸回りの回転かａｖｊ定できる。

これらの各モニタ系の出力１言号は制御回路８５に人力
さｈる。目標設定値との比較等の後、制御回路８５から
補正信号か圧なアクチュエータ等に送られる２以−［実施例に沿って説明したか、本発明はこれあに限
定されるものではない。たとえば種々の変更、改良、組
み合わせ等がｉｒ能なことは当業者に向明であろう。

と発明の効果］以上述べたように、本発明によれば、ステージ而を有す
る被駆動体を複数の方向に駆動するための駆動装置か被
駆動体に直接結合した駆動ステージ装置が提１共される
．また、自由度の高い小型の駆動ステージ装置か提供され
る．（ｌＥ動ステージ装置が小型なので、応答性を高くする
ことか容易である。

【図面の簡単な説明】第１１Ａは、本発明の；１１２動ステージ装置の概念説
明図、第２図は本発明の１実施例によるＸＹθ駆動ステージ装
置の平面図、第３図は、第２図の一部破断叫而図、第４図は、Ｘ）ｌθ駆動ステージ装置に用いる圧電アク
チュエータユニントの平面図、第５図は、圧電アクチュエータユニットの１也の実施例
を示す平面図、第６図は、本発明の１実施例によるＸＹＺθ駆動ステー
ジ装置の平面図、第７図は、第６図の■■−■線に沿う断面図、第８図は
制御系の概略ブロック図である．図において、１　　　　　基部（ベース構造体）３　　　　　被駆動体３ａ〜３ｄ３Ｓ８ａ〜８ｄ９　ａ〜９ｄ１０ａ〜１０ｇ２　０２１３０ｉ３１ｔ３２ｉ２２辺部ステージ而アクチュエータ弾性リンク部第１のアクチュエータユニ・ント（圧電アクチュエータユニント）剛性部ヒンジ部圧電アクチュエータ弾性リンク部第２の圧電アクチュエータユニソ１〜

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、Ｘ方向に沿った２つの対向辺部とＹ方向に沿っ
た２つの対向辺部と、ＸＹ平面を画定するステージ面と
を有する被駆動体と、物理的支持を与えることのできる基部と、被駆動体の各辺部と平行な軸方向を有し、各々被駆動体
の各辺部と基部との間に接続された３組の第１のアクチ
ュエーターユニットであって、各アクチュエータユニッ
トは軸方向の駆動力を発生するアクチュエータと軸方向
に高い剛性を有し、軸方向と直交する方向に低い剛性を
有する弾性リンク部とを含む第１のアクチュエータユニ
ットと、を備え、Ｘ、Ｙ方向およびＸＹ平面内の回転方向にステ
ージ面を駆動することのできる駆動ステージ装置。
（２）、Ｘ方向に沿った２つの対向辺部とＹ方向に沿っ
た２つの対向辺部と、ＸＹ平面を画定するステージ面を
有する被駆動体と、物理的支持を与えることのできる基部と、被駆動体の各辺部と平行な軸方向を有し、各々被駆動体
の各辺部と基部との間に接続された３組の第１のアクチ
ュエーターユニットであって、各アクチュエータユニッ
トは軸方向の駆動力を発生するアクチュエータと軸方向
に高い剛性を有し、軸方向と直交する方向に低い剛性を
有する弾性リンク部とを含む第１のアクチュエータユニ
ットと、被駆動体のステージ面と直交するＺ方向に駆動力方向を
有し、各々被駆動体と基部との間に接続された３組以上
の第２のアクチュエータユニットであって、各アクチュ
エータユニットはＺ方向の駆動力を発生するアクチュエ
ータとＺ方向に高い剛性を有し、Ｚ方向と直交する方向
に低い剛性を有する弾性リンク部とを含む第２のアクチ
ュエータユニットと、を有し、ＸＹＺ各軸方向および各軸方向の回りの回転方
向にステージ面を駆動することのできる駆動ステージ装
置。
（３）、前記第２のアクチュエータユニットのアクチュ
エータはＸＹ平面内方向に軸を有する駆動力源とＸＹ平
面内方向の力をＺ方向の力に変換する楔部材とを含む請
求項２記載の駆動ステージ装置。
（４）、軸方向に駆動力を発生することのできるアクチ
ュエータと、軸方向に対して高い剛性を有し、軸方向と直交する方向
に低い剛性を有する弾性リンク部材とを有するアクチュエータユニット。
（５）、前記弾性アクチュエータユニットが相対的に大
きな径を有する剛性部と、相対的に小さな径を有する少
なくとも２つのヒンジ部とを有し、これらの剛性部、ヒ
ンジ部が軸方向に整列して配置されている請求項４記載
のアクチュエータユニット。
（６）、前記アクチュエータが収納ケースに納められて
予圧を印加された圧電素子を含む請求項４ないし５記載
のアクチュエータユニット。