JPS63193089A - ６自由度微動装置 - Google Patents
６自由度微動装置Info
- Publication number
- JPS63193089A JPS63193089A JP62024514A JP2451487A JPS63193089A JP S63193089 A JPS63193089 A JP S63193089A JP 62024514 A JP62024514 A JP 62024514A JP 2451487 A JP2451487 A JP 2451487A JP S63193089 A JPS63193089 A JP S63193089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- freedom
- drive
- driven part
- fine movement
- degree
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 31
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 18
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造・検査装置におけるウェハの位置
決めあるいは工作機械における試料又は工具の位置決め
に好適な６自由度で空間内を微動する自由度微動装置に
関する。
決めあるいは工作機械における試料又は工具の位置決め
に好適な６自由度で空間内を微動する自由度微動装置に
関する。
従来の６自由度微動装置は、特開昭５９−１２９６５６
に記載のように、６ケの駆動機構が、各送り方向のみな
伝達し、他の方向には動きを許容する伝導機構を設けた
構造であった。
に記載のように、６ケの駆動機構が、各送り方向のみな
伝達し、他の方向には動きを許容する伝導機構を設けた
構造であった。
上記従来技術は、各軸の駆動機構と被駆動部との結合部
に、機械的なバックラッシュや、ころがり、すべりなど
の摩擦が発生するため、機械的剛性、駆動分解能が低く
、位置決め精度な尚〈できないという問題があった。
に、機械的なバックラッシュや、ころがり、すべりなど
の摩擦が発生するため、機械的剛性、駆動分解能が低く
、位置決め精度な尚〈できないという問題があった。
本発明の目的は、空間の６自由度について、各軸独立に
、試料又は工具を、超精密に位置制御できるようにした
６自由度微動装置を提供するにある。
、試料又は工具を、超精密に位置制御できるようにした
６自由度微動装置を提供するにある。
即ち、本発明は、上記目的を達成するために、両端に球
対偶の弾性支持部を肩して伸縮駆動される電歪素子、ａ
歪素子あるいは熱変形素子等からなる駆動要素を水平な
るＸ方向として１組、Ｙ方向として２組、高さなるＺ方
向として３組設け、被駆動部とベースとを上記６組の駆
動要素によって接続支持し、被駆動部をベースに対して
６軸独立に位置制御できるように構成したことを特徴と
する６自由度微動装置である。更に本発明は、被駆動部
の６軸方向の変位をセンサで検出し、それが目標位置に
なるように駆動要素にフィードバックして駆動制御し、
被駆動部を目標位置に位置決めするようにした６自由度
微動装置である。
対偶の弾性支持部を肩して伸縮駆動される電歪素子、ａ
歪素子あるいは熱変形素子等からなる駆動要素を水平な
るＸ方向として１組、Ｙ方向として２組、高さなるＺ方
向として３組設け、被駆動部とベースとを上記６組の駆
動要素によって接続支持し、被駆動部をベースに対して
６軸独立に位置制御できるように構成したことを特徴と
する６自由度微動装置である。更に本発明は、被駆動部
の６軸方向の変位をセンサで検出し、それが目標位置に
なるように駆動要素にフィードバックして駆動制御し、
被駆動部を目標位置に位置決めするようにした６自由度
微動装置である。
〔作用〕
例えばウェハ等の試料を固定するチャック等で形成され
た被駆動部は、６つの駆動要素により、６自由度で微小
変位される。各駆動要素は、電歪素子、ａ歪素子あるい
は熱変形素子（形状記憶合金等）等の微動アクチェエー
タを駆動源とし、この両端に、球対偶の弾性支持体（ジ
ヨイント）を接着あるいは締結したものを用いる。この
要素を被駆動部の水平面内３ケ所と垂直方向３ケ所に固
定する。
た被駆動部は、６つの駆動要素により、６自由度で微小
変位される。各駆動要素は、電歪素子、ａ歪素子あるい
は熱変形素子（形状記憶合金等）等の微動アクチェエー
タを駆動源とし、この両端に、球対偶の弾性支持体（ジ
ヨイント）を接着あるいは締結したものを用いる。この
要素を被駆動部の水平面内３ケ所と垂直方向３ケ所に固
定する。
微動アクチェエータを駆動することにより、被駆動部は
球対偶の弾性支持体（ジヨイント）な介してリンク運動
する。６つの微動アクチェエータを同時に駆動しても、
その両端の球対偶の弾性支持体を介して微動アクチェエ
ータ自体が並進及び回転するため、被駆動部と駆動部と
の間にすべりや摩擦が発生しない。また、この弾性支持
体は、金属の一部に円形の断面なもつよ５なくひれを旋
盤で加工したものであるため、駆動方向に対して剛性が
高く、くびれを中心とした回転方向に対しては変形し易
い構造である。このため、パックラッシェ、すべり、マ
サツのない高剛性の駆動機構となり、超精密（分解能０
．０１μ風以下）の位置決めが可能となる。
球対偶の弾性支持体（ジヨイント）な介してリンク運動
する。６つの微動アクチェエータを同時に駆動しても、
その両端の球対偶の弾性支持体を介して微動アクチェエ
ータ自体が並進及び回転するため、被駆動部と駆動部と
の間にすべりや摩擦が発生しない。また、この弾性支持
体は、金属の一部に円形の断面なもつよ５なくひれを旋
盤で加工したものであるため、駆動方向に対して剛性が
高く、くびれを中心とした回転方向に対しては変形し易
い構造である。このため、パックラッシェ、すべり、マ
サツのない高剛性の駆動機構となり、超精密（分解能０
．０１μ風以下）の位置決めが可能となる。
以下、本発明の一実施例を説明する。第１図は本発明に
係る６自由度微動装置の一実施例を示す平面図であり、
第２図は正面図である。
係る６自由度微動装置の一実施例を示す平面図であり、
第２図は正面図である。
本実施例は、半導体ウェハ等の試料１を６自由度で精密
に位置決めする微動装置である。この微動装置において
、精密に位置決めされる被駆動部は、試料１を真空ある
いは機械的に固定するチャック（被駆動部）２である。
に位置決めする微動装置である。この微動装置において
、精密に位置決めされる被駆動部は、試料１を真空ある
いは機械的に固定するチャック（被駆動部）２である。
チャック（被駆動部）２の外周部６ケ所に、水平面内位
置決めを行な５３つの駆動要素、各々ΔＸ駆動要素５．
ΔＹ、躯動要素４．ΔＹｔＩＩＡ動要素さらに垂直及び
傾斜面内位置決めを行なう３つの駆動要素、各々、ΔＺ
１駆動豐素６．ΔＺ、駆動要素７．Δ２．駆動要素８が
、固定されている。
置決めを行な５３つの駆動要素、各々ΔＸ駆動要素５．
ΔＹ、躯動要素４．ΔＹｔＩＩＡ動要素さらに垂直及び
傾斜面内位置決めを行なう３つの駆動要素、各々、ΔＺ
１駆動豐素６．ΔＺ、駆動要素７．Δ２．駆動要素８が
、固定されている。
さらに、各々の微動動動要素の変位を測定する変位セン
サとして、ΔＸセンサ９．ΔＹ１センサ１０゜ΔＹ、セ
ンサ１１．ΔＺ、センサ１２．ΔＺ、センサ１３゜ΔＺ
、センサ１４がベース１５を測定基準として、設けられ
ている。
サとして、ΔＸセンサ９．ΔＹ１センサ１０゜ΔＹ、セ
ンサ１１．ΔＺ、センサ１２．ΔＺ、センサ１３゜ΔＺ
、センサ１４がベース１５を測定基準として、設けられ
ている。
以降、各部の機構の詳細と動作説明を行なう。
まず、駆動要素３，４，５，６，７．８の駆動源として
の微動アクチェエータ１６は、モータと送りネジ等を用
いた駆動源のような機械的バックラッシュ等が発生し易
いものではなく、電歪素子、磁歪素子、熱変形素子（形
状記憶合金等）あるいは、これらを応用したリニアアク
チェエータ（超音波モータ等ンが適当であるが、同じ作
用効果が得られるものであればこれらに限定されるもの
ではない。微動アクチェエータ１６０両端に１球対偶の
運動を可能とする弾性支持部１８を有するジヨイント１
７か接着あるいは、ネジで締結されている。このジヨイ
ント１７は、中央部に、円形の断面形状をもつくひれ部
（弾性支持部）１８を旋盤で加工した金属部品である。
の微動アクチェエータ１６は、モータと送りネジ等を用
いた駆動源のような機械的バックラッシュ等が発生し易
いものではなく、電歪素子、磁歪素子、熱変形素子（形
状記憶合金等）あるいは、これらを応用したリニアアク
チェエータ（超音波モータ等ンが適当であるが、同じ作
用効果が得られるものであればこれらに限定されるもの
ではない。微動アクチェエータ１６０両端に１球対偶の
運動を可能とする弾性支持部１８を有するジヨイント１
７か接着あるいは、ネジで締結されている。このジヨイ
ント１７は、中央部に、円形の断面形状をもつくひれ部
（弾性支持部）１８を旋盤で加工した金属部品である。
これらジ１インド１７．微動アクチェエータ１６及びジ
１インド１７を一体化した一体化ユニットの一端は、ベ
ース１５に固定したブラケット１９に、また、他の一端
は、チャック２に固定したブロック２０．２１に固定さ
れている。この構成は、ΔＸ、 １ΔＹＩ、ΔＹｔの各
駆動要素３，４．５について同様である。また、ΔＺ８
．ΔＺ、ｌΔＺ８の駆動要素６，７．８はくひれ部は同
様にしてシラインド２２の形状がジヨイント１７と異な
るが、機能は同じである。
１インド１７を一体化した一体化ユニットの一端は、ベ
ース１５に固定したブラケット１９に、また、他の一端
は、チャック２に固定したブロック２０．２１に固定さ
れている。この構成は、ΔＸ、 １ΔＹＩ、ΔＹｔの各
駆動要素３，４．５について同様である。また、ΔＺ８
．ΔＺ、ｌΔＺ８の駆動要素６，７．８はくひれ部は同
様にしてシラインド２２の形状がジヨイント１７と異な
るが、機能は同じである。
ΔＸセンサ９．ΔＹ１センサ１０ 、ΔＹ、センサ１１
は、対応する駆動要素３．４．５と同軸上に、対向して
おり、ブラケット２３に固定されている。この変位セン
サ９，１０．１１は、静電容量形変位計等で形成され、
０．００５μｍ以下の分解能をＭするものが適する。こ
のように駆動要素３，４．５と変位センサ９゜１０．１
１で構成された微動要素は、±α０１μｍ以下の位置決
め制御を目的とするものであることからして、変位セン
サも、少なくとも分解能α０１μ簿 を保証できる必要
がある。
は、対応する駆動要素３．４．５と同軸上に、対向して
おり、ブラケット２３に固定されている。この変位セン
サ９，１０．１１は、静電容量形変位計等で形成され、
０．００５μｍ以下の分解能をＭするものが適する。こ
のように駆動要素３，４．５と変位センサ９゜１０．１
１で構成された微動要素は、±α０１μｍ以下の位置決
め制御を目的とするものであることからして、変位セン
サも、少なくとも分解能α０１μ簿 を保証できる必要
がある。
一方は１、ΔＺ１．ΔＺ１．ΔＺ、センサ、 １２．１
３ 、１４は、チャック２の中心に対称に設けられてい
る。
３ 、１４は、チャック２の中心に対称に設けられてい
る。
ここで用いるセンサ１２．１！ｌ、 １４には、電気マ
イクロメータ又は、差動トランスを用いる。チャック２
は、平面移動、傾斜するため１通常の接触式の電気マイ
クロメータを使用すると、プローブ先端部が摩耗し、測
定精度が劣化する。そこで、コア（鉄芯）２３は、チャ
ック２に固定し、コイル２４はブラケット２５を介して
、ベース１５に固定する。
イクロメータ又は、差動トランスを用いる。チャック２
は、平面移動、傾斜するため１通常の接触式の電気マイ
クロメータを使用すると、プローブ先端部が摩耗し、測
定精度が劣化する。そこで、コア（鉄芯）２３は、チャ
ック２に固定し、コイル２４はブラケット２５を介して
、ベース１５に固定する。
これにより、非接触で、変位測定が可能となり。
測定精度が向上する。
なお、これらの変位センサ９，１０，１１，１２，１３
．１４は目標とする位置決め精度との関係で、決定する
ものであり、本実施例で示したセンサに限定するもので
はない。
．１４は目標とする位置決め精度との関係で、決定する
ものであり、本実施例で示したセンサに限定するもので
はない。
ここで、ｌは、各駆動要素の幾何学的配置により決定さ
れるヤコビアン行列である。
れるヤコビアン行列である。
例えば各駆動要素を第３図に示すように配置した場合、
Ｉは次の（４）式で示される。
Ｉは次の（４）式で示される。
すなわち１本微動装置は、各駆動要素の変位から、各自
由度の移動量（軸方向変位、軸回り角）が一義的に決定
される。
由度の移動量（軸方向変位、軸回り角）が一義的に決定
される。
一方、各自由度の目標値ΔＤを定めると、各駆動要素の
位置決め制御量としてのΔｔｐは、次の（５）式により
求まる。ここで、１−ｊはＩＯ逆ヤコビアン行列である
。
位置決め制御量としてのΔｔｐは、次の（５）式により
求まる。ここで、１−ｊはＩＯ逆ヤコビアン行列である
。
Δ／Ｐ＝１−’・Δ／Ｄ ・・・・・−・・・・・・
・・・・・ｆ５１従って第４図に示すようにドライバ（
駆動回路）３０に上記目標値Δｔｐが与えられ、各変位
センサ９〜１４から検出される被駆動部２の変位出力が
一致するまで各駆動要素５〜８の微動アクチェエータを
駆動制御することによって被駆動部２は所望の目標位置
に位置決めされることになる。
・・・・・ｆ５１従って第４図に示すようにドライバ（
駆動回路）３０に上記目標値Δｔｐが与えられ、各変位
センサ９〜１４から検出される被駆動部２の変位出力が
一致するまで各駆動要素５〜８の微動アクチェエータを
駆動制御することによって被駆動部２は所望の目標位置
に位置決めされることになる。
第３図は、以上述べた６自由度微動機構の６つの駆動要
素５，４，５，６，７．８の配置をモデル化して示した
ものである。すなわち、各駆動要素とウエノ・チャック
２とのジヨイント部は、ほぼ同一高さにあり、かつ、Δ
Ｘ駆動要素６とΔＹ１駆動要素４のくびれ部（球対偶の
弾性支持リンク中心）をＸ方向についてほぼ同じ位置に
すると、６自由度、すなわち、ωＸ、ωｙ、ωｚ 、
Ｘ 、 Ｙ 、 Ｚについての移動量（ΔｌＤ）は、各
駆動要素の変位量Δ／Ｐより次の（１１〜（３）式で与
えられる。
素５，４，５，６，７．８の配置をモデル化して示した
ものである。すなわち、各駆動要素とウエノ・チャック
２とのジヨイント部は、ほぼ同一高さにあり、かつ、Δ
Ｘ駆動要素６とΔＹ１駆動要素４のくびれ部（球対偶の
弾性支持リンク中心）をＸ方向についてほぼ同じ位置に
すると、６自由度、すなわち、ωＸ、ωｙ、ωｚ 、
Ｘ 、 Ｙ 、 Ｚについての移動量（ΔｌＤ）は、各
駆動要素の変位量Δ／Ｐより次の（１１〜（３）式で与
えられる。
Δ１Ｄ＝ｊ・ΔＩＦ ・・・・・・・−・・・・・・
・・・−・・・・・・・・＋１１即ち被駆動部２の位置
決めは、前記の（５）式で求まる位置決め制御量（目標
値）ΔＰと各変位センサの出力が一致するまで、微動ア
クチュエータをドライバ（ｆｆｉ動回路）３０で制御す
る閉ループ制御により行なわれる。
・・・−・・・・・・・・＋１１即ち被駆動部２の位置
決めは、前記の（５）式で求まる位置決め制御量（目標
値）ΔＰと各変位センサの出力が一致するまで、微動ア
クチュエータをドライバ（ｆｆｉ動回路）３０で制御す
る閉ループ制御により行なわれる。
前記した実施例によれば、各駆動要素と被駆動部との結
合位置（駆動点）を、同一平面内に配置することにより
、各軸の機構学的変位干渉をなくし、各軸とも、変位独
立性の高い位置決め制御を可能にした。
合位置（駆動点）を、同一平面内に配置することにより
、各軸の機構学的変位干渉をなくし、各軸とも、変位独
立性の高い位置決め制御を可能にした。
このように上記実施例をＸＭＡ露光装置、！ａ小投影露
光装置のクエハステージに適用すれば、マスク（レチク
ル）に対する平行出しと、ｘｙ平面内のアライメントと
を高精度に実現することができる。
光装置のクエハステージに適用すれば、マスク（レチク
ル）に対する平行出しと、ｘｙ平面内のアライメントと
を高精度に実現することができる。
本発明によれば、試料又は工具を、空間内６自由度につ
いて独立かつ超精密（分解能０．０１μｍ以下ンに微小
位置決めできるため、例えば、牛導体露光装置用ウェハ
微動ステージ等に適用することにより、アライメント精
度が向上でき、これによりα５μｍ以下の微細パターン
転写が可能となる。
いて独立かつ超精密（分解能０．０１μｍ以下ンに微小
位置決めできるため、例えば、牛導体露光装置用ウェハ
微動ステージ等に適用することにより、アライメント精
度が向上でき、これによりα５μｍ以下の微細パターン
転写が可能となる。
第１図は本発明の６自由度微動装置の一実施例を示す平
面図、第２図は第１図の正園部分断面図。 第３図は本発明の６自由度微動装置の運動モデルを示す
説明図、第４図は本発明の６自由度微動装置の位置決め
制御を示すブロック図である。 ２・・・・・−・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・−・チャック（被駆動
部）３．４，５，６，７．８・・・・・・・団・・・・
・・・駆動要素９、ＩＱ、１１，１２，１３．１４・曲
・変位センサ１５・・・・・・・・・・・・・川・・・
・・・・・・・−・・・・・・・・・・・ヘース１８・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・くびれ（弾性支持部）代理
人 弁理士 小 川 勝、男 １ １ コ 」 ３ 口
面図、第２図は第１図の正園部分断面図。 第３図は本発明の６自由度微動装置の運動モデルを示す
説明図、第４図は本発明の６自由度微動装置の位置決め
制御を示すブロック図である。 ２・・・・・−・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・−・チャック（被駆動
部）３．４，５，６，７．８・・・・・・・団・・・・
・・・駆動要素９、ＩＱ、１１，１２，１３．１４・曲
・変位センサ１５・・・・・・・・・・・・・川・・・
・・・・・・・−・・・・・・・・・・・ヘース１８・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・くびれ（弾性支持部）代理
人 弁理士 小 川 勝、男 １ １ コ 」 ３ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、両端に球対偶の弾性支持部を有して伸縮駆動される
駆動要素を水平なるＸ方向として１組、Ｙ方向として２
組、高さなるＺ方向として３組設け、被駆動部とベース
とを上記６組の駆動要素によって接続支持し、被駆動部
をベースに対して６軸独立に位置制御できるように構成
したことを特徴とする６自由度微動装置。 ２、上記駆動要素は、電歪素子、磁歪素子もしくは熱変
形素子で構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の６自由度微動装置。 ３、上記駆動要素の被駆動部側を支持する弾性支持部に
ついて上記駆動要素全てに亘って、ほぼ同じ高さを有す
るように配置し、更にＸ方向用駆動要素の被駆動部側を
支持する弾性支持部と一方のＹ方向用駆動要素の被駆動
部側を支持する弾性支持部とがＸ方向についてほぼ同じ
位置に配置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の６自由度微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62024514A JPH0769443B2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 | ６自由度微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62024514A JPH0769443B2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 | ６自由度微動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63193089A true JPS63193089A (ja) | 1988-08-10 |
| JPH0769443B2 JPH0769443B2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=12140278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62024514A Expired - Lifetime JPH0769443B2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 | ６自由度微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0769443B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355136A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | アクチュエータユニットおよびそれを用いたレベル調整のできるステージ装置 |
| JPH0356895A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 駆動ステージ装置およびそのためのアクチュエータユニット |
| JPH042435A (ja) * | 1990-04-13 | 1992-01-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 精密微動ステージ装置 |
| JPH05138484A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-01 | Yotaro Hatamura | 精密位置決め微動送り装置およびシステム |
| JP2009076521A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Yaskawa Electric Corp | 精密微動位置決め装置およびそれを備えた微動位置決めステージ、露光装置、検査装置 |
| WO2022117214A1 (de) * | 2020-12-04 | 2022-06-09 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Ausrichtungsvorrichtung, bearbeitungsvorrichtung und verfahren zur feinjustierung |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3409298B2 (ja) * | 1997-10-07 | 2003-05-26 | 日立建機株式会社 | 移動ステージ装置とこの移動ステージ装置を備えた走査型プローブ顕微鏡 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59129636A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | Hitachi Ltd | ６自由度を有するステ−ジの制御装置 |
| JPS6069593A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | オムロン株式会社 | 微動ステ−ジ機構 |
-
1987
- 1987-02-06 JP JP62024514A patent/JPH0769443B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59129636A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-26 | Hitachi Ltd | ６自由度を有するステ−ジの制御装置 |
| JPS6069593A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | オムロン株式会社 | 微動ステ−ジ機構 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355136A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | アクチュエータユニットおよびそれを用いたレベル調整のできるステージ装置 |
| JPH0356895A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 駆動ステージ装置およびそのためのアクチュエータユニット |
| JPH042435A (ja) * | 1990-04-13 | 1992-01-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 精密微動ステージ装置 |
| JPH05138484A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-01 | Yotaro Hatamura | 精密位置決め微動送り装置およびシステム |
| JP2009076521A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Yaskawa Electric Corp | 精密微動位置決め装置およびそれを備えた微動位置決めステージ、露光装置、検査装置 |
| WO2022117214A1 (de) * | 2020-12-04 | 2022-06-09 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Ausrichtungsvorrichtung, bearbeitungsvorrichtung und verfahren zur feinjustierung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0769443B2 (ja) | 1995-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6971183B2 (en) | Probe head for coordinate measuring machines | |
| US8215199B2 (en) | Parallel kinematic positioning system | |
| Clark et al. | Laser-based sensing, measurement, and misalignment control of coupled linear and angular motion for ultrahigh precision movement | |
| US6170367B1 (en) | Single-point flexure toric contact lens forming machine and method | |
| JP3972001B2 (ja) | 超精密位置決めシステム | |
| CN109813218A (zh) | 一种用于激光跟踪仪的三自由度靶标的精度补偿方法 | |
| CN109079552B (zh) | 一种基于柔顺并联机构的三轴刀具伺服装置 | |
| JP7154879B2 (ja) | 門形構造の位置決め装置 | |
| JPS63193089A (ja) | ６自由度微動装置 | |
| TWI572542B (zh) | Workpiece cable assembly | |
| JPH07334245A (ja) | 超精密送り装置およびこれを用いたｘｙテ−ブル並びにテ−ブル移送装置 | |
| JP2789166B2 (ja) | 研削方法 | |
| JP2007144533A (ja) | パラレルメカニズム及びこれを備えた工作機械 | |
| JP7444627B2 (ja) | メイン支持部と、当該メイン支持部に配置された中間支持部と、当該中間支持部に配置されたスケールとを有する装置 | |
| JP4794087B2 (ja) | 変位量の微調整装置 | |
| Honegger et al. | A hybrid methodology for kinematic calibration of micro/meso-scale machine tools (mMTs) | |
| JPS62266490A (ja) | 精密位置決め装置 | |
| JP2009023056A (ja) | パラレルメカニズムを備えた工作機械 | |
| JP4311621B2 (ja) | ６自由度位置・姿勢測定装置による機械の運動誤差補正方法 | |
| JP2002346959A (ja) | パラレルメカニズムのフレーム変形補正方法およびその装置 | |
| JP6770395B2 (ja) | スライダ装置およびこのスライダ装置を備えた形状測定装置 | |
| JP2007024622A (ja) | 免震構造物の水平変位計測装置 | |
| JP2002022868A (ja) | Ｘ−ｙステージの可動テーブルの支持構造 | |
| Oiwa | An ultraprecise machining system with a hexapod device to measure six-degree-of-freedom relative motions between the tool and workpiece | |
| JPS6190804A (ja) | 工作機械 |