JP6770395B2 - スライダ装置およびこのスライダ装置を備えた形状測定装置 - Google Patents
スライダ装置およびこのスライダ装置を備えた形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6770395B2 JP6770395B2 JP2016199267A JP2016199267A JP6770395B2 JP 6770395 B2 JP6770395 B2 JP 6770395B2 JP 2016199267 A JP2016199267 A JP 2016199267A JP 2016199267 A JP2016199267 A JP 2016199267A JP 6770395 B2 JP6770395 B2 JP 6770395B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- guide surface
- sliding
- axis
- sliding pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 27
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 9
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
ここで、スライダにかかる力のバランスに不均衡があるとスライダを回転させるモーメントが発生してしまい、その分だけスライダに支持された測定子にも不要な変動が生じてしまう。例えば、摩擦抵抗の合力中心が駆動力の中心からずれていると、スライダの移動時にスライダにモーメントが生じる。
ちなみに、スライダの移動方向が逆になると、モーメントの方向も逆になる。このような事象により、スライダの移動方向によってスライダの姿勢に様々な変動が生じてしまい、これが測定誤差につながってしまうという問題がある。
特許文献1(特開2015−48908)に開示のすべり案内装置を簡単に説明する。
図1は、特許文献1(特開2015−48908)に開示のすべり案内装置の構成図である。
断面矩形のガイド体2を環囲するようにスライダ3が設けられ、スライダ3はガイド体2に沿ってZ軸方向に移動する。ガイド体2と平行に送りネジ51が設けられ、スライダ3は、送りネジ51に螺合したナット53に連結されている。送りネジ51がモータなどの動力で回転すると、スライダ3がねじ送りによって移動する。
スライダ3は、X軸基準案内面21に当接するX軸基準摺動パッド31と、X軸副案内面22に当接するX軸副摺動パッド32と、を有する。
このとき、X軸基準摺動パッド31とX軸副摺動パッド32と送りネジ51とが一つの直線上にのるようにし、X軸基準摺動パッド31に生じる摩擦抵抗とX軸副摺動パッド32に生じる摩擦抵抗との合力が送りネジ51の軸線上にのるようにする。したがって、スライダ3がガイド体2に沿って移動するとき、X軸基準摺動パッド31およびX軸副摺動パッド32による摩擦抵抗ではスライダ3にモーメントが発生しない。
スライダ3は、Y軸基準案内面23に当接するY軸基準摺動パッド33と、Y軸副案内面24に当接するY軸副摺動パッド34と、を有する。
ここで、送りネジ51は、Y軸基準案内面23に近く、Y軸副案内面24からは遠い。
この状況でもY軸基準摺動パッド33の摩擦抵抗とY軸副摺動パッド34の摩擦抵抗との合力が送りネジ51の軸線上にのるようにしたい。そこで、Y軸基準摺動パッド33がY軸基準案内面23に接触する接触力N33と、Y軸副摺動パッド34がY軸副案内面24に接触する接触力N34と、の比をb/aにする。
(N33/N34=b/a)
例えば、X軸方向(Y軸回り)のモーメントが発生しないように、X軸基準摺動パッド31とX軸副摺動パッド32と送りネジ51とが一つの直線上にのるようにしなければならないが、送りネジ51の位置によっては難しい制約になる。
送りネジ51がY軸基準案内面23に近すぎると、X軸基準摺動パッド31およびX軸副摺動パッド32はX軸基準案内面21およびX軸副案内面22の縁辺に当接することになる。しかし、摺動パッド31、32が案内面21、22の端に寄り過ぎていては、X軸方向の案内精度を確保するのにバランスが良くない。
断面が略矩形状の長手状のコラムと、前記コラムに沿って移動するスライダと、前記コラムと平行に配設され、前記スライダに駆動力を与える駆動ユニットと、を備え、
前記コラムの4つの側面が案内面となっており、4つの側面のうちの一面を第1案内面とし、前記第1案内面に平行な側面を第2案内面とし、前記第1、第2案内面に直交する向きの側面を第3、第4案内面とし、
前記スライダは、
第1案内面を摺動する第1摺動パッドと、
前記第1摺動パッドと対になって前記第2案内面を摺動する第2摺動パッドと、
第3案内面を摺動する第3摺動パッドと、
第3摺動パッドと対になって第4案内面に沿って移動する第4パッドと、を有し、
前記第1摺動パッドと前記第2摺動パッドとを結ぶ仮想線と前記駆動ユニットの駆動軸線との距離はL2(>0)であって、
前記第1摺動パッドと前記第2摺動パッドとに生じる摺動抵抗を用いて、
前記第3摺動パッドと前記第4パッドとによって生じる摺動抵抗の合力を前記駆動ユニットの駆動軸線に一致させる
ことを特徴とする。
前記第4パッドは、プリロード型のエアベアリングであって、
当該第4パッドの静圧軸受面は静圧空気膜を介して前記第4案内面に非接触で対向しており、
当該第4パッドの供給エア圧力を調整することにより、当該第4パッドと対になる前記第3摺動パッドと前記第3案内面との接触部に所定のプリロードを与える
ことが好ましい。
前記第3案内面と前記駆動ユニットの駆動軸線との距離はL1であり、
前記第1摺動パッドと、前記第1摺動パッドと対になる前記第2摺動パッドとは、前記駆動軸線を通るYZ面に対称であり、
前記第1摺動パッドおよび前記第2摺動パッドのそれぞれの個数をmとし、前記第1摺動パッドおよび前記第2摺動パッドの各パッドの垂直抗力をN1とし、
前記第1摺動パッドおよび前記第2摺動パッドの各パッドと前記第1案内面および前記第2案内面との摩擦係数をμとし、
前記第3摺動パッドの個数をkとし、前記第3摺動パッドの各パッドの垂直抗力をN3とし、
前記第3摺動パッドの各パッドと前記第3案内面との摩擦係数をμとするとき、
k・μ・N3・L1=2・m・μ・N1・L2
を満たす
ことが好ましい。
なお、第1摺動パッドと第2摺動パッドとに生じる摩擦力の総和は2・m・μ・N1となり、第3摺動パッドに生じる摩擦力はk・μ・N3となる。
そして、上式を満たすように、前記第1摺動パッドおよび前記第2摺動パッドの少なくとも一方を与圧するようにする。
さらに/または、上式を満たすように、前記第4パッドへの供給エア圧力を調整して、前記第3摺動パッドに与えるプリロードを調整する。
測定対象物の表面を検出するプローブヘッドを保持した測定本体部を前記スライダ装置の前記スライダに連結した
ことを特徴とする。
(第1実施形態)
本発明に係るスライダ装置の第1実施形態を説明する。
スライダ装置は、例えば、真円度測定装置や表面粗さ測定装置などの高精度かつ高分解能な精密測定装置である形状測定装置の移動機構の一部として、例えば、Z軸移動機構として採用されるものである。
本実施形態のスライダ装置(Z軸移動機構)を採用すると、X方向やZ方向に測定子を移動させながらの連続した高精度測定が可能になり、円錐の側面を連続的にトレースしたり、円柱をスパイラル軌道でトレースしたりすることができるようになる。
形状測定装置100は、測定本体部110と、測定本体部110をZ軸方向に昇降させるZ軸移動機構200と、を備えている。
Xアーム115はX駆動部116によりX方向に進退する。X駆動部116には、Xアーム115の移動量を検出するエンコーダが内蔵されている。
Z軸移動機構200は、Z軸方向に長さをもつ長手状で縦型のZ軸コラム210と、Z軸方向の駆動力を発生させるZ駆動ユニット220と、Z軸コラム210に沿って移動するZスライダ230と、を備える。
Z軸コラム210は、断面が矩形の長手状のコラムであり、4面それぞれがZスライダ230のスライド移動を案内する案内面となっている。詳しくいうと、Z軸コラム210の一面、具体的にはY軸(−)側の側面にZ軸に沿った凹状の溝216が設けられ、この溝216内にZ駆動ユニット220が配設されている。
Z駆動ユニット220は、Z軸方向に長さを有する送りネジ221と、送りネジ221に螺合するナット223と、送りネジ221を回転駆動させるモータ222と、を備える。
いま、Zスライダ本体部240の4つの側壁に対してそれぞれ名前を付けることにする。
Zスライダ本体部240のX軸(−)側の側壁を第1側壁241とする。
同様に、X軸(+)側の側壁を第2側壁242とし、Y軸(―)側の側壁を第3側壁243とし、Y軸(+)側の側壁を第4側壁244とする。
第1側壁241の内側面を第1内側面251とし、第2側壁242の内側面を第2内側面252とし、第3側壁243の内側面を第3内側面253とし、第4側壁244の内側面を第4内側面254とする。
Z軸コラム210の各案内面211−214とZスライダ本体部240の各内側面251−254とは対向しており、具体的には、Z軸コラム210の第1案内面211に対してZスライダ本体部240の第1内側面251が対向しており、第2案内面212に対してZスライダ本体部240の第2内側面252が対向しており、第3案内面213に対してZスライダ本体部240の第3内側面253が対向しており、第4案内面214に対してZスライダ本体部240の第4内側面254が対向している。
いま、Zスライダ230と測定本体部110とが一体的になったユニットがZ方向に昇降する移動体となるので、Zスライダ230と測定本体部110とを一体的に考えたユニットをZ移動体400と称することにする。そして、Z移動体400の重心点が送りネジ221の中心線に一致にするように、Z軸移動機構200は設計されている。
この重心の位置に送りネジ221の中心線が配設されるように、Z軸コラム210に溝216を設ける。
Z移動体400の重心が送りネジ221の中心線に一致にしていれば、Z駆動ユニット220の動力がZ移動体400に作用するときでもZ移動体400にモーメントは発生しない。
案内機構260の機能としては、
(1)摺動するもの同士の耐摩耗性を確保すること、
(2)振動外乱に対する十分な剛性と減衰性を有すること、
(3)摩擦抵抗をできるだけ小さくすること、
(4)摩擦抵抗がZ移動体400の不要な回転を生まないようにすること、が求められる。
上記の(4)の機能は、言い換えると、摩擦抵抗の合力の中心をZ軸駆動ユニット220の駆動軸、および、Z移動体400の重心に一致させることと等価である。
なお、図3においては、第1摺動パッド261および第2摺動パッド262はそれぞれ1つずつ表れている。第1摺動パッド261と第2摺動パッド262とは、YZ面を対称面として対称に配置されており、X軸方向においてZ軸コラム210を互いに反対側から挟んでいる。
ただし、特許文献1(特開2015−48908号公報)とは違って、第1摺動パッド261と第2摺動パッド262とを結ぶ線上に送りネジ221が位置していない。
Zスライダ230のX軸方向の案内精度を確保するのにバランスがよくなるように、第1、第2内側面251、252においてY軸方向の中央部領域に適切に第1摺動パッド261と第2摺動パッドとが配設されればよい。
プリロード調整バネ270の圧縮量の調整により、第2摺動パッド262には適切な与圧N1が与えられている。そして、第2摺動パッド262の与圧N1の反力として、対になる第1摺動パッド261に与圧N1が与えられる。したがって、X軸方向において、"N1×2"の力が互いに向き合ってZ軸コラム210を押していることになる。
図3および図4に表れるように、4つの第3摺動パッド263は、X軸方向にLxの間隔をあけ、Z軸方向にLzの間隔をあけて配置されている。
なお、4つの第3摺動パッド263は、YZ面を対称面として対称の位置にある。
いま、4つの第3摺動パッド263は第3案内面213に接触し、それぞれの第3摺動パッド263は接触力N3でZ軸コラム210の第3案内面213を押している。
なお、この接触力N3は、次に説明するエアベアリング300が第4案内面214を押す力N0の反力として発生するものである。
エアベアリング300は、Z軸コラム210の第4案内面214に対向しており、Y軸方向において第3摺動パッド263と対になってZ軸コラム210を挟んでいる。
エアベアリング300は、外部から供給される圧縮空気の空気圧を用い、静圧空気膜350を介して非接触にZ軸コラム210の第4案内面214に予圧N0をかける。
エアベアリング300が第4案内面214に与える与圧N0の反力が、対になる4個の第3摺動パッド263に均等に与えられ、4個の第3摺動パッド263のそれぞれに接触力N3が生じる。つまり、Y軸方向において、N0(=N3×4)の力が互いに向き合ってZ軸コラム210を押していることになる。
ピストン部321は、剛性の低いOリング322を介してシリンダケース310のチャンバ311内に保持されている。
静圧軸受部331の第4案内面214に対向する面を静圧軸受面332と称することにする。
いま、ピストン部321の受圧面積をSとし、圧縮空気の空気圧をPsとする。このとき、プリロードN0は次式で表わされる。
静圧空気膜350の厚みをh、静圧空気膜350の空気圧をPrとし、また、静圧軸受面332の有効面積をAeとする。このとき、次式が成り立つ。
このとき、もちろん、静圧軸受面332と第4案内面214との間には厚さhの剛性を有する静圧空気膜350があり、静圧軸受面332と第4案内面214とは直接には接しておらず、静圧軸受面332と第4案内面214との間の摩擦はゼロである。
まず、X軸方向における、Z軸コラム210に掛かる力のつり合いを考える。
第1摺動パッド261と第2摺動パッド262とはともにZ方向に所定距離(Lz)を開けてそれぞれ2つずつ配置され、それぞれ"2×N1"の力でZ軸コラム210の案内面211、212を押し、X軸方向の力が釣り合っている。
ここで、Z軸移動機構200からの駆動力がZ移動体400に作用するとき、摩擦係数をμとして、2・μ・(2×N1)の摩擦力がZ移動体400に掛かる。
4つの第3摺動パッド263がZ軸コラム210を押す力は、対になるエアベアリング300のプリロードN0の反力であり、"N3×4"(=N0)である。すると、摩擦係数をμとして、μ・(N3×4)の摩擦力がZ移動体400に掛かる。
なお、エアベアリング300とZ軸コラム210(第4案内面214)とは非接触であるから、エアベアリング300とZ軸コラム210(第4案内面214)との間の摩擦はゼロである。
また、第1摺動パッド261と第2摺動パッド262とを結んだ仮想直線と送りネジ221(つまりZ軸)との間の距離をL2と表わした。このとき、摩擦力μ(N1×4)と摩擦力μ(N3×4)とによってX軸回りに生じるモーメントは、次式で表わされる。
(A)L1はZ移動体400の重心および送りネジ221の位置に関係する。
(B)L2は第1、第2摺動パッド261、262の位置に関係する。
(C)N1は、第2摺動パッド262のプリロード調整バネ270に関係する。
(D)N3は、エアベアリング300に供給する圧縮空気圧Psに関係する。
測定装置の設計製作の手順に照らしてみれば、(D)>(C)>(B)>(A)の順で変更し易いパラメータであると言える。
まず、Z移動体400の重心および送りネジ221の位置L1を決め、第1、第2摺動パッド261、262の位置L2を決める。これらは、測定本体部110の重量バランスや、第1、第2摺動パッド261、262によるX軸方向の案内精度を考慮して最適に決定すればよい。
第1、第2摺動パッド261、262によって生じる摩擦抵抗"μ(N1×4)"は、第3摺動パッド263に生じる摩擦抵抗μ(N3×4)とバランスをとって、摩擦抵抗の合力の中心を調整するのに必要不可欠であるからである。
もちろん、特許文献1(特開2015−48908号公報)のようにX軸方向の2つのパッドと送りネジ(Z軸)とが一直線上にのっていてはいけない。
摺動抵抗(摩擦抵抗)が小さくなる分、Z軸移動機構200への負担が減じられ、Z移動体400の駆動制御をより円滑に行うことを可能にし、Zスライダ230の変形が抑制されることにより、スライダ装置としての案内精度が向上する。
上記の説明においては、エアベアリング300を採用し、エアベアリング300の摩擦力はゼロであるとした。
ここで、エアベアリング300に代えて、特許文献1(特開2015−48908)に開示されたY軸摺動パッドを採用することもできる。Y軸副摺動パッドの摺動面の一部にエアポケットを形成し、このエアポケットに適切に調整した圧縮空気を送り込んで、Y軸副摺動パッドと第4案内面214との接触力(すなわち摩擦力)を調整するようにしてもよい。その上で、第1摺動パッド、第2摺動パッド、第3摺動パッドおよびY軸副摺動パッドに生じる摩擦力の合力がZ移動体400の重心にくるようにする。
ここでポイントになるのは、第1、第2摺動パッド261、262に生じる摩擦力(4・(μ・N1))も用いてX軸回りのモーメントをゼロに調整している点にある。
このことは、第1、第2摺動パッドの位置の自由度を確保するとともに、Y軸副摺動パッドに送り込む空気圧の調整だけに頼らず、バランスの安定性に寄与する。
110…測定本体部、111…プローブヘッド、112…スタイラス、113…測定子、114…ヘッドホルダ、115…アーム、116…X駆動部、
200…Z軸移動機構、
210…Z軸コラム、211…第1案内面、212…第2案内面、213…第3案内面、214…第4案内面、216…溝、
220…Z駆動ユニット、
221…送りネジ、222…モータ、223…ナット、
230…Zスライダ、240…Zスライダ本体部、
241…第1側壁、242…第2側壁、243…第3側壁、244…第4側壁、
246…ナットジョイント、
251…第1内側面、252…第2内側面、253…第3内側面、254…第4内側面、
260…案内機構、
261…第1摺動パッド、262…第2摺動パッド、263…第3摺動パッド、270…プリロード調整バネ、
300…エアベアリング(第4パッド)、
310…シリンダケース、311…チャンバ、312…給気パイプ、320…静圧パッド、321…ピストン部、322…Oリング、331…静圧軸受部、332…静圧軸受面、341…貫通孔、342…絞り、350…静圧空気膜、
400…Z移動体。
Claims (4)
- 断面が矩形の長手状のコラムと、前記コラムに沿って移動するスライダと、前記コラムと平行に配設され、前記スライダに駆動力を与える駆動ユニットと、を備え、
前記コラムの4つの側面が案内面となっており、4つの側面のうちの一面を第1案内面とし、前記第1案内面に平行な側面を第2案内面とし、前記第1、第2案内面に直交する向きの側面を第3、第4案内面とし、
前記スライダは、
第1案内面を摺動する第1摺動パッドと、
前記第1摺動パッドと対になって前記第2案内面を摺動する第2摺動パッドと、
第3案内面を摺動する第3摺動パッドと、
第3摺動パッドと対になって第4案内面に沿って移動する第4パッドと、を有し、
前記第1摺動パッドと前記第2摺動パッドとを結ぶ仮想線と前記駆動ユニットの駆動軸線との距離はL2(>0)であって、
前記第1摺動パッドと前記第2摺動パッドとに生じる摺動抵抗を用いて、
前記第3摺動パッドと前記第4パッドとによって生じる摺動抵抗の合力を前記駆動ユニットの駆動軸線に一致させる
ことを特徴とするスライダ装置。 - 請求項1に記載のスライダ装置において、
前記第4パッドは、プリロード型のエアベアリングであって、
当該第4パッドの静圧軸受面は静圧空気膜を介して前記第4案内面に非接触で対向しており、
当該第4パッドの供給エア圧力を調整することにより、当該第4パッドと対になる前記第3摺動パッドと前記第3案内面との接触部に所定のプリロードを与える
ことを特徴とするスライダ装置。 - 請求項2に記載のスライダ装置において、
前記第3案内面と前記駆動ユニットの駆動軸線との距離はL1であり、
前記第1摺動パッドと、前記第1摺動パッドと対になる前記第2摺動パッドとは、前記駆動軸線を通るYZ面に対称であり、
前記第1摺動パッドおよび前記第2摺動パッドのそれぞれの個数をmとし、前記第1摺動パッドおよび前記第2摺動パッドの各パッドの垂直抗力をN1とし、
前記第1摺動パッドおよび前記第2摺動パッドの各パッドと前記第1案内面および前記第2案内面との摩擦係数をμとし、
前記第3摺動パッドの個数をkとし、前記第3摺動パッドの各パッドの垂直抗力をN3とし、
前記第3摺動パッドの各パッドと前記第3案内面との摩擦係数をμとするとき、
k・μ・N3・L1=2・m・μ・N1・L2
を満たす
ことを特徴とするスライダ装置。 - 測定対象物の表面を検出するプローブヘッドを保持した測定本体部を請求項1から請求項3のいずれかに記載のスライダ装置の前記スライダに連結した
ことを特徴とする形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016199267A JP6770395B2 (ja) | 2016-10-07 | 2016-10-07 | スライダ装置およびこのスライダ装置を備えた形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016199267A JP6770395B2 (ja) | 2016-10-07 | 2016-10-07 | スライダ装置およびこのスライダ装置を備えた形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018059608A JP2018059608A (ja) | 2018-04-12 |
JP6770395B2 true JP6770395B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=61909934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016199267A Expired - Fee Related JP6770395B2 (ja) | 2016-10-07 | 2016-10-07 | スライダ装置およびこのスライダ装置を備えた形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6770395B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116147450B (zh) * | 2023-03-28 | 2023-10-03 | 济南瑞动精密传动设备有限公司 | 一种滑块综合性能测量装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01118225U (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | ||
JP6223752B2 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-11-01 | 株式会社ミツトヨ | すべり案内装置 |
-
2016
- 2016-10-07 JP JP2016199267A patent/JP6770395B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018059608A (ja) | 2018-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5674149B2 (ja) | ボールねじ軸の累積リード誤差測定装置及び測定方法 | |
US8794610B2 (en) | Two-dimension precision transfer equipment, three-dimension precision transfer equipment, and coordinate measuring machine | |
US4630942A (en) | Guiding apparatus | |
US5088208A (en) | Measurement probe for position determining apparatus | |
JP6223752B2 (ja) | すべり案内装置 | |
JPH0439011B2 (ja) | ||
JP2004069510A (ja) | デジタル測定ヘッド | |
US9227286B2 (en) | Precision feeding device and precision transfer equipment | |
JP2014238376A (ja) | 測定装置 | |
US8919219B2 (en) | Precision transfer equipment | |
JP6770395B2 (ja) | スライダ装置およびこのスライダ装置を備えた形状測定装置 | |
CN108534731B (zh) | 升降驱动装置和采用该升降驱动装置的测量机 | |
JP4704932B2 (ja) | 触針式形状測定装置及び方法とこれに適した回転規制エアシリンダ | |
JP5255422B2 (ja) | 形状測定プローブ | |
JP7054428B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP5924944B2 (ja) | すべり案内装置 | |
JP2009109425A (ja) | 位置検出装置 | |
JP5715365B2 (ja) | 真直度測定装置並びに真直度測定方法 | |
JP2008203191A (ja) | 接触式形状測定器用プローブヘッド | |
Fan et al. | The structure design of a micro-precision CMM with Abbé principle | |
JP6220149B2 (ja) | 移動装置 | |
Bosmans et al. | Long-term stability of a moving-scale measurement system with nanometer uncertainty | |
JPS60111910A (ja) | 精密平面精度測定装置 | |
Zhang et al. | Design and Experiment of Precision Flatness Measurement Device for Miniature Parts |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190905 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200626 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200925 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6770395 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |