JP6220149B2 - 移動装置 - Google Patents
移動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6220149B2 JP6220149B2 JP2013096382A JP2013096382A JP6220149B2 JP 6220149 B2 JP6220149 B2 JP 6220149B2 JP 2013096382 A JP2013096382 A JP 2013096382A JP 2013096382 A JP2013096382 A JP 2013096382A JP 6220149 B2 JP6220149 B2 JP 6220149B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed nut
- pockets
- feed
- screw shaft
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
供給孔32a〜32dからは、図2に示すように、共通の減圧手段である共通絞り7を介して流体が供給される。また、供給孔33a〜33dからは、共通の減圧手段である共通絞り19を介して流体が供給される。共通の減圧手段から流体が供給されるポケットを有していると、たとえ軸受隙間が異なっていても、ポケット間での圧力差を生じないよう動作する。したがって、各実施形態の構成により、隙間8の偏りに対して、同一の軸受面に配置されたポケットから供給される流体による圧力は、各ポケット間で圧力差を生じさせることがなく、従来例による流体静圧軸受に比してモーメント剛性を低くすることが可能である。
上述の実施の形態の効果を確認するために流体静圧軸受の並進剛性とモーメント剛性のシミュレーションを行った。ポケット9a〜9dまたは20a〜20dは、各ポケットの面積を800[mm2]とし、直径48[mm]の円周上に等配した。ポケット深さを1[mm]、軸受隙間を10[μm]、供給圧力を1.4[MPa]とした。送りナット2の送り移動を精度良く移動体3に伝達するために、ポケット9a〜9dまたは20a〜20dによって構成される流体静圧軸受は高い並進剛性を有しているべきであり、ここでは200[N/μm]程度を目標とした。
図7は、本発明の第2の実施形態に係わる移動装置の部分断面図である。図7を参照しながら本実施形態を説明する。第2の実施形態では、送りナット2の前面5に設けられたポケット9a〜9dと、ポケット9a〜9dに流体を供給する共通絞り7の間に、各ポケットに個別の減圧手段である個別絞り6a〜6dがそれぞれ設けられている。また、送りナット2の後面12に設けられたポケット20a〜20dと、ポケット20a〜20dに流体を供給する共通絞り19の間に、各ポケットに個別の減圧手段である個別絞り21a〜21dがそれぞれ設けられている。
本発明の第3の実施形態に係わる移動装置の送りナット2の前面5または送りナット2の後面12に設けるポケットの形状例を図9および図10に示す。ポケット9a〜9fの形状は、多角形ポケットを送りねじ軸1を取り囲むよう等配しても良い。また、ポケット9a〜9fの個数は、複数のポケットであれば同様の効果をなすことが可能である。
本発明の第4の実施形態に係わる移動装置の流体供給系を図11に示す。同一の軸受面を構成するポケット9a〜9dのうち、送りねじ軸1について軸対称の位置に配置されたポケットの組において共通絞り34aまたは34bを設けても良い。
2. 送りナット
3. 移動体
4. 従動部材
5. 送りナット前面
6a,6b,6c,6d. 個別絞り
7. 共通絞り
8. 隙間
9a,9b,9c,9d,9e,9f. ポケット
10. 案内部
11. 内側案内面
12. 送りナット後面
13. 外側案内面
14. 流体静圧軸受面
15. 従動部材内面
16. 流体静圧軸受面
17. 流体静圧軸受面
18. 土台
19. 共通絞り
20a,20b,20c,20d. ポケット
21a,21b,21c,21d. 個別絞り
22. ステージ
23. 内側隙間
24. 内側ポケット
25. 内側絞り
26. 外側隙間
27. 外側ポケット
28. 外側絞り
29. 下部隙間
30. 下部ポケット
31. 下部絞り
32a,32b,32c,32d. 供給孔
33a,33b,33c,33d. 供給孔
34a,34b. 共通絞り
L 送りねじ軸の軸心方向
Claims (7)
- 送りねじ軸の回動によって、送りナットを送りねじ軸の軸心に沿って移動させることによって、移動体を移動させる移動装置であって、
前記送りナットの第一の移動方向の第一の面と、前記移動体の第一の従動部を対向配置し、
前記送りナットの第二の移動方向の第二の面と、前記移動体の第二の従動部を対向配置し、
前記第一の面は、複数のポケットを有し、該第一の面の複数のポケットには、共通の第一の減圧手段を介した流体が供給され、
前記第二の面は、複数のポケットを有し、該第二の面の複数のポケットには、前記共通の第一の減圧手段とは異なる共通の第二の減圧手段を介した流体が供給されることを特徴とする移動装置。 - 前記第一の面の複数のポケットと前記共通の第一の減圧手段の間に、前記第一の面の複数のポケットそれぞれに個別の減圧手段を有する請求項1に記載の移動装置。
- 前記第一の面の複数のポケットは、前記送りねじ軸の周囲に等配に設けられている請求項1または2に記載の移動装置。
- 前記第一の面の複数のポケットのうち、軸対称の位置に配置されたポケットに、前記共通の第一の減圧手段を介した流体が供給されることを特徴とする請求項3に記載の移動装置。
- 前記送りナットの動きを規制する案内部を有し、該案内部は、前記送りナットの側面に対向する面を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の移動装置。
- 前記送りナットは、前記送りナットの側面に対向する面との間に流体を供給することによって前記案内部を支持することを特徴とする請求項5に記載の移動装置。
- 前記案内部は、前記移動体の内面と対向する面を有し、
前記移動体は、前記内面と対向する面との間に流体を供給することによって前記案内部を支持することを特徴とする請求項6に記載の移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013096382A JP6220149B2 (ja) | 2013-05-01 | 2013-05-01 | 移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013096382A JP6220149B2 (ja) | 2013-05-01 | 2013-05-01 | 移動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014219017A JP2014219017A (ja) | 2014-11-20 |
JP6220149B2 true JP6220149B2 (ja) | 2017-10-25 |
Family
ID=51937675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013096382A Active JP6220149B2 (ja) | 2013-05-01 | 2013-05-01 | 移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6220149B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5872761A (ja) * | 1981-10-28 | 1983-04-30 | Hitachi Ltd | 精密位置決め継手 |
JPS58120444A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-18 | Nachi Fujikoshi Corp | 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置 |
JPS63111360A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-16 | Okuma Mach Works Ltd | ねじ送りナツトの静圧フロ−テイング機構 |
JPH0563737U (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-24 | 豊田工機株式会社 | 静圧滑り案内装置 |
JPH08118187A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-05-14 | Fanuc Ltd | 工作機械の送りねじ装置 |
-
2013
- 2013-05-01 JP JP2013096382A patent/JP6220149B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014219017A (ja) | 2014-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8794610B2 (en) | Two-dimension precision transfer equipment, three-dimension precision transfer equipment, and coordinate measuring machine | |
US9877576B2 (en) | Table device and conveyance device | |
JP6223752B2 (ja) | すべり案内装置 | |
US9933108B2 (en) | Table device and conveyance device | |
CN110388889B (zh) | 旋转工作台和圆度测量机 | |
CN102914442A (zh) | 一种单向压力动态加载装置 | |
WO2019117152A1 (ja) | ボールねじユニットの診断システムおよびモータ制御システム | |
JP2014238376A (ja) | 測定装置 | |
JP2013079950A (ja) | 精密送り装置および精密移動装置 | |
JP6723013B2 (ja) | 流体圧アクチュエータ | |
JP5736284B2 (ja) | 精密移動装置 | |
KR102407628B1 (ko) | 테이블 장치, 위치결정장치, 플랫 패널 디스플레이 제조장치, 및 정밀기계 | |
US7504794B2 (en) | Planar motor | |
JP6220149B2 (ja) | 移動装置 | |
Fujita et al. | Dynamic characteristics and dual control of a ball screw drive with integrated piezoelectric actuator | |
JP2020082245A (ja) | 直動機構、バランサ装置および工作機械 | |
KR101218772B1 (ko) | 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지 | |
JP2007192358A (ja) | 回転機構付軸方向微動機構および粗微動位置決め装置、並びに回転機構付軸方向微動機構の設置方法および粗微動位置決め装置の設置方法 | |
Khim et al. | A three-axis translation stage using opposing wedges with error compensation | |
RU2771708C1 (ru) | Прецизионный газостатический шпиндельный узел | |
JP2007054953A (ja) | 位置決め装置 | |
JP5273270B2 (ja) | 回転機構付軸方向微動機構およびそれを用いた位置決め装置 | |
JP5067487B2 (ja) | 位置決め装置 | |
CN109163013B (zh) | 一种直线轴与回转轴复合的高精度两维静压运动系统 | |
JP6040613B2 (ja) | 位置決め装置、露光装置及び工作機械 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170227 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170831 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170929 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6220149 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |