JP7054428B2 - 表面形状測定装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る表面形状測定装置10の構成を示す正面図である。図1に示す表面形状測定装置10は、接触式の表面粗さ測定機であり、ベース12と、ベース12の上部に立設されたコラム14と、コラム14に支持された検出器16と、コラム14をベース12に対して相対移動させるリニアモータ20とを備える。
図5は、本発明の第2実施形態に係る表面形状測定装置の要部を示す正面図である。また、図6は、図5に示す表面形状測定装置の左側面図である。
図7は、本発明の第3実施形態に係る表面形状測定装置の要部を示す正面図である。図7に示す表面形状測定装置110は、ワーク移動型の表面形状測定装置である。図7において、ベース12の部分は破線によって概略的に示されている。図8は、図7に示す表面形状測定装置110の左側面図である。図8において、リニアモータ20のシャフト22とガイド用ベース40の両端を支持する支柱部材の図示は省略されている。また、図8においてベースの図示は省略されている。図9は、図7の9-9線断面図である。
図11は、本発明の第4実施形態に係る表面形状測定装置の要部を示す正面図である。図11において、図8~図9に示した構成と同一又は類似する要素には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。第3実施形態との相違点を説明する。
上述した各実施形態におけるリニアガイド50に代えて、クロスローラガイド、リニアブッシュ、ローラガイドなど、一般に摩擦を軽減するガイド機構を採用することができる。
上述した各実施形態におけるバネ64に代えて、エアシリンダやエアベアリングシリンダなどを採用してもよい。バネ64の代わりに、エアシリンダやエアベアリングシリンダを用いることにより、振動に対する絶縁性の更なる向上も図れる。
上述した各実施形態では、接触式の検出器16を例示したが、接触式の検出器16に代えて、非接触式の検出器を採用する形態も可能である。非接触式の検出器は、例えば、非測定物の表面にレーザ光を照射して、その反射光を受光することにより、表面形状を検出する構成であってよい。
第3実施形態及び第4実施形態で説明したワーク移動型の構成において、検出器16は駆動部102(図5参照)に取り付けられていてもよい。例えば、駆動部102による検出器16の移動方向をX軸方向とし、リニアモータ20によるワークWの移動方向をY軸方向とする構成を採用することにより、X軸方向及びY軸方向の両軸方向の測定を高精度に実現することができる。
図10に示した昇降機構124と連結構造部60の上下の位置関係は、逆にしてもよい。すなわち、キャリッジ54の上に連結構造部60を固定し、連結構造部60の第2プレート62とスライダ42の間に昇降機構124を配置してもよい。
本発明は、表面粗さ測定装置に限らず、輪郭形状測定装置、真円度測定装置、及び三次元座標測定装置など、各種の表面形状測定装置に適用可能である。本明細書において「表面形状測定装置」という用語は、表面粗さ測定装置、輪郭形状測定装置、真円度測定装置、及び三次元座標測定装置など、各種装置の概念を含む。また、表面粗さ測定装置或いは輪郭形状測定装置という用語は、表面粗さと輪郭形状を同時に測定可能な表面粗さ及び輪郭形状統合測定装置、並びに、表面粗さ又は輪郭形状を選択的に測定可能な表面粗さ/輪郭形状複合測定装置の概念を含む。
12・・・ベース
14・・・コラム
16・・・検出器
20・・・リニアモータ
22・・・シャフト
24・・・可動子
30・・・触針
32・・・測定子
40・・・ガイド用ベース
42・・・スライダ
50・・・リニアガイド
52・・・ガイドレール
54・・・キャリッジ
64・・・バネ
66・・・ピアノ線
70・・・制御装置
71、72、73・・・ドライバ回路
80・・・データ処理装置
102・・・駆動部
112・・・重量計
114、124・・・昇降機構
115・・・昇降用モータ
Claims (13)
- 被測定物の表面の形状に応じた信号を出力する検出器と、
前記被測定物と前記検出器とを相対移動させるリニアモータと、
前記リニアモータの推力によって移動する移動体を前記リニアモータの直動方向と平行な第1方向に摺動案内する第1ガイド機構と、
前記第1ガイド機構及び前記移動体よりも重力方向の下方に配置され、前記移動体を支持すると共に前記移動体を前記リニアモータの前記直動方向と平行な前記第1方向に案内する第2ガイド機構と、
前記第2ガイド機構と前記移動体の間に配置され、前記移動体に重力方向と逆方向に作用する力を与える付勢手段と、
を備える表面形状測定装置。 - 前記第1ガイド機構は、
前記リニアモータの前記直動方向と平行に配置されたガイド用ベースと、
前記ガイド用ベースに摺動自在に支持されたスライダと、
を含む請求項1に記載の表面形状測定装置。 - 前記第2ガイド機構は、リニアガイドである請求項1又は2に記載の表面形状測定装置。
- 前記付勢手段は、前記第1ガイド機構に対する前記移動体の重量負荷を打ち消す力を前記移動体に付与する請求項1から3のいずれか一項に記載の表面形状測定装置。
- 前記付勢手段は、重力方向に弾性変形する弾性部材を含んで構成される請求項1から4のいずれか一項に記載の表面形状測定装置。
- 前記弾性部材は、圧縮バネである請求項5に記載の表面形状測定装置。
- 前記移動体の重量を支える前記弾性部材が3箇所に配置されており、
前記移動体の重心が、平面視において、前記3箇所の3点によって囲まれる領域の内部に入る請求項5又は6に記載の表面形状測定装置。 - 前記移動体と前記第2ガイド機構はピアノ線を用いて接続されており、
前記ピアノ線は、前記直動方向に沿って配置される請求項1から7のいずれか一項に記載の表面形状測定装置。 - ベースと、
前記ベースの上部に立設されたコラムと、
をさらに備え、
前記検出器は前記コラムに支持され、
前記リニアモータは、前記コラムの長手方向に直交する前記第1方向に沿って前記コラムを前記ベースに対して相対移動させ、
前記第1ガイド機構は、前記第1方向に沿って延設され、前記コラム及び前記検出器を含む前記移動体を摺動案内する、請求項1から8のいずれか一項に記載の表面形状測定装置。 - 前記検出器を前記リニアモータの前記直動方向と直交する第2方向に移動させる駆動部をさらに備える請求項9に記載の表面形状測定装置。
- ベースと、
前記被測定物が載置される重量計と、
前記第1ガイド機構よりも重力方向の下方に配置される昇降機構と、
前記重量計の測定結果に応じて前記昇降機構の昇降動作を制御する制御手段と、
をさらに備え、
前記リニアモータは、前記重量計を前記ベースに対して相対移動させ、
前記第1ガイド機構は、前記第1方向に沿って延設され、前記重量計及び前記被測定物を含む前記移動体を摺動案内するものであり、
前記制御手段は、前記被測定物の重量分の荷重を前記付勢手段の伸縮によって打ち消すように前記昇降機構を動作させる請求項1から8のいずれか一項に記載の表面形状測定装置。 - 前記昇降機構は、前記第2ガイド機構の重力方向の下方に配置される請求項11に記載の表面形状測定装置。
- 前記昇降機構は、前記第2ガイド機構と前記付勢手段の間に配置される請求項11に記載の表面形状測定装置。
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