JPH0439011B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、テーブル上に載置された被測定物に
対して、測定子を多次元方向に移動させつつ関与
させ、この時の測定子の移動量から被測定物の寸
法・形状等を測定する二次元あるいは三次元の多
次元測定機に係り、特に、テーブル下面で測定子
支持体を連結する必要がない多次元測定機に関す
る。

【従来の技術】

被測定物を載置するための上面を有するテーブ
ルと、該テーブルを横断する形状を有すると共
に、該テーブルに対して移動可能な測定子支持体
と、該測定子支持体に保持された測定子とを有
し、テーブル上に載置された被測定物に対して、
測定子を多次元方向に移動させつつ関与させ、こ
の時の測定子の移動量から被測定物の寸法・形状
等を測定するようにした多次元測定機が知られて
おり、測定精度の高精度化、測定作業効率の向上
等の利点を発揮するため、各種産業分野において
広く使用されている。 第７図は、テーブル１０が固定され、測定子１
２が移動する型の従来の三次元測定機の一例を示
したものである。 この三次元測定機においては、被測定物を載置
するための上面１０Ａを有するテーブル１０と、
該テーブル１０を横断する門型形状を有すると共
に、該テーブル１０に対してＹ軸方向に移動可能
な門型の測定子支持体１４と、該測定子支持体１
４に保持された測定子１２が備えられている。 前記テーブル１０はベース１６上に置かれてい
る。 前記測定子支持体１４は、左右の支柱１８，２
０と、これらの支柱１８，２０の上部に、前記テ
ーブル１０を横断するＸ軸方向に架設された横行
部材２２と、該横行部材２２に沿つてＸ軸方向に
移動自在に設けられたＸ−スライダ２４と、該Ｘ
−スライダ２４に対してテーブル１０の上下方向
即ちＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドル
２６から構成されており、このスピンドル２６の
下端に前記測定子１２が取付けられている。図に
おいて、２７はスピンドル２６のケースである。 このような三次元測定機において、測定子１２
のＹ軸方向への移動は、テーブル１０の上面に固
定された案内レール２８に沿つて測定子支持体１
４の脚部１９，２１が移動することにより行なわ
れている。即ち、前記測定子支持体１４の一方の
支柱２０の脚部（Ｙ−スライド）２１には、前記
案内レール２８の上面及び両側面と対向するベア
リング、例えばエアベアリング３０，３２（第８
図参照）が設けられ、前記測定子支持体１４の他
方の支柱１８の脚部１９にも、前記テーブル１０
の上面１０Ａと対向するベアリング、例えばエア
ベリング３４が設けられている。 又、測定子１２のＸ軸方向への移動は、Ｘ−ス
ライダ２４が横行部材２２に沿つて移動すること
により行われている。更に、測定子１２のＺ軸方
向への移動は、前記スピンドル２６が上下方向に
移動することによつて行われている。 前記案内レール２８には、Ｙ軸方向用の検出器
（メインスケール）３６が取付けられ、案内レー
ル２８に沿つた測定子支持体１４の移動による測
定子１２のＹ軸方向移動変位量は、この検出器３
６で検出される。又、Ｘ−スライダ２４の移動に
よる測定子１２のＸ軸方向移動変位量は、前記横
行部材２２に取付けられた検出器（メインスケー
ル）３８で検出される。更に、スピンドル２６の
上下移動による測定子１２のＺ軸方向移動変位量
は、前記スライダ２４に取付けられた検出器（検
出部）４０で検出される。 従つて、テーブル１０の上面１０Ａに被測定物
を載置固定し、測定子１２をこの被測定物の表面
に接触させて三次元移動させることにより、被測
定物の寸法、形状等が計測される。 このような三次元測定機において、測定子支持
体１４のＹ軸方向の移動ガイドは、第８図に要旨
を示す如く、テーブル上面１０Ａの一端に設けら
れた案内レール２８の両側面及び上面と、テーブ
ル上面１０Ａの他端により行われているが、テー
ブル上面１０Ａに案内レール２８を設ける必要が
あるため、テーブル上面の測定空間が制限され、
テーブル１０上に載置できる被測定物の大きさに
制約が生ずる。又、案内レール２８がテーブル１
０上に被測定物を搬入する時の障害物となるた
め、被測定物の向きを変えてからでないとテーブ
ル１０の上面に載置できない場合があり、被測定
物搬入、搬出に支障をきたすことがある。更に、
案内レール２８のために測定子支持体１４の高さ
が高くなり、結果として三次元測定機の高さ寸法
が全体的に高くなつてしまう。又、案内レール２
８がテーブル上面に取付けられているため汚れ易
く、円滑な移動が困難となる等の問題点を有して
いた。 このような問題点を解決するべく、出願認は既
に実開昭61−123913及び特開昭61−170601を提案
している。 前者は、第９図に示す如く、前出第７図に示し
たような多次元測定機において、テーブル１０を
横断面矩形の石材製として上面１０Ａを水平とす
ると共に、このテーブル１０を支持部材４２によ
りベース１６に間隔を開けて載せ、測定子支持体
１４の各脚部（Ｙ−スライド）１９，２１に前記
テーブル上面１０Ａ及びその鉛直側面１０Ｂ，１
０Ｃと対向するエアベリング３０，３２を設け、
これらの脚部１９，２１を前記テーブル１０の下
面側を横断する連結部材４４により連結して、テ
ーブル上面１０Ａの案内レールを不要とすると共
に、測定子支持体１４に横方向からの外力が加わ
つても、傾斜したり転倒する虞をなくし、更に測
定子支持体１４の剛性を高めて、エアベリングに
よる空気反力で支柱１８，２０間の間隔が拡がる
ことがないようにしたものである。 図において、４６は、測定子支持体１４の支柱
１８，２０をテーブル上面で連結する連結部材で
ある。 この従来技術における測定子支持体１４のＹ軸
方向の移動ガイドは、第１０図に要旨を示す如
く、テーブル１０の上面１０Ａと面側の鉛直側面
１０Ｂ，１０Ｃによつて行われており、テーブル
両側面１０Ｂ，１０Ｃによるスパンの広いワイド
ガイドで、ヨーイングが防止されている。 又、後者は、第１１図に示す如く、前出第７図
に示したような多次元測定機において、テーブル
１０の下面１０ＤのＸ軸方向両端に上面１０Ａと
平行な下平面部を形成すると共に、テーブル１０
の下面側略中央にＺ軸と平行でＹ軸方向へ延びる
２つの垂直面を有する案内レール４８を設け、測
定子１２を支持する測定子支持体１４の両脚部１
９，２１にテーブル上面大び下平面部に対向する
エアベリング３０，５０を設けると共に、連結部
材４４に前記２つの垂直面と対向するエアベアリ
ング３２を設けて、測定子支持体１４をテーブル
１０に対してＹ軸方向に相対移動自在とすること
によつて、更に、測定子支持体１４の傾きに起因
する測定誤差を解消できるようにしたものであ
る。 この従来技術における測定子支持体１４のＹ軸
方向の移動ガイドは、第１２図に要旨を示す如
く、テーブル１０両端の上下面１０Ａ，１０Ｄと
案内レール４８の両側面によつて行われており、
テーブル両端の上下面によつてローリングが防止
され、テーブル下面中央に設けられた案内レール
４８の両側面による、スパンの狭いナロウガイド
によつてヨーイングが防止されている。

【発明が解決しようとする問題点】

しかしながら、実開昭61−123913、特開昭61−
170601のいずれにおいても、測定子支持体１４の
剛性を高めて、エアベアリングの反力等により測
定子支持体１４の支柱１８，２０間の間隔が拡が
るを防止したり、支柱の傾斜を防止するべく、測
定子支持体１４をテーブル１０の下面で連結部材
４４により連結していたため、部品点数が増加
し、重量が大きくなると共に、加工、組立ても困
難となり、価格も高くなる。 又、三次元測定機は積上げ構造のため、精度保
障の点から堅牢であることが必要であり、更に、
操作性、高精度で高速移動することが必要である
ことから、通常、テーブルと測定子支持体は必要
とする性質が異なり、テーブル１０は高剛性、熱
変形小から石材等が使用され、測定子支持体１４
は、更に軽量化を必要とするため、アルミニウム
鋳物や鋼等が使用される。そのため、熱膨脹係数
が異なる（例えばアルミニウム鋳物は22×10^-6
ｍ／deg、鋼は11×10^-6ｍ／deg、石材は８×10^-6
ｍ／deg）。従つて、使用環境温度が変化すると、
テーブル１０とワイドスパンの連結部材４４の熱
膨脹係数の相違により、測定子支持体１４とテー
ブル１０間のギヤツプが変化し、高温時にはギヤ
ツプ大、低温時にはギヤツプ小となつて、特にエ
アベアリングを用いた場合には、高精度の移動を
実現し得る良好なエアベアリングギヤツプが得ら
れず、良好な動特性を維持できない。 更に、テーブル１０とベース１６の間に太い連
結部材４４を通すための間隔を大きく開ける必要
があり、測定機の全体の高さが高くなる等の問題
を有していた。

【発明の目的】

本発明は、前記従来の問題点を解消するべくな
されたもので、テーブルの下面で測定子支持体を
連結することなく、測定子支持体の転倒等を防い
で測定子支持体をＹ軸方向に精度良くガイドする
ことができる多次元測定機を提供することを目的
とする。

【問題点を解決するための手段】

本発明は、被測定物を載置するための上面を有
するテーブルと、該テーブルを横断する形状を有
すると共に、該テーブルに対して移動可能な測定
子支持体と、該測定子支持体に保持された測定子
とを有し、テーブル上に載置された被測定物に対
して、測定子を多次元方向に移動させつつ関与さ
せ、この時の測定子の移動量から被測定物の寸
法・形状等を測定する多次元測定機において、テ
ーブル下面のテーブル横断方向一端側に設けられ
た、テーブル上面と平行な下平面部、及び、この
下平面部を挟み互いに平行な２つの垂直平面部を
それぞれ測定子支持体移動方向に延設してなるＹ
軸案内部と、テーブル下面のテーブル横断方向他
端側に設けられた、テーブル上面と平行な下平面
部と、前記測定子支持体のＹ軸案内部側脚部に設
けられた、前記テーブル上面と下平面部によりテ
ーブル上下方向の位置を規制する手段、及び、前
記２つの垂直平面部によりテーブル横断方向の位
置を規制する手段と、前記測定子支持体のＹ軸案
内部がない他端側脚部に設けられた、前記テーブ
ル上面と下平面部によりテーブル上下方向の位置
を規制する手段とを備えることにより、前記目的
を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記Ｙ軸案内部の２
つの垂直平面部を、前記テーブルの側面自体、及
び、前記テーブルの下面に形成した溝のテーブル
側面側の内壁側面に形成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記Ｙ時案内部の下
平面部を、前記テーブルの下面自体に形成したも
のである。 又、本発明の多の実施態様は、前記Ｙ軸案内部
の２つの垂直平面部を、前記テーブルの下面に形
成した案内部材の両側面に形成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記Ｙ軸案内部の下
平面部を、前記案内部材の下面に形成したもので
ある。 又、本発明の他の実施態様は、前記Ｙ軸案内部
の２つの垂直平面部を、前記テーブルの下面に形
成した溝の内壁両側面に形成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記Ｙ軸案内部の下
平面部を、前記溝の内壁底面に形成したものであ
る。 又、本発明の実施態様は、前記位置規制手段を
エアベアリングとしたものである。

【作用】

本発明は、前記にような多次元測定機におい
て、テーブル下面のテーブル横断方向（例えばＸ
軸方向）一端側に、テーブル上面と平行な下平面
部、及び、この下平面部を挟み互いに平行な２つ
の垂直平面部をそれぞれ測定子支持体移動方向
（Ｙ軸方向）に延設してなるナロウスパンのＹ軸
案内部と、前記テーブル上面と下平面部によりテ
ーブル上下方向（Ｚ軸方向）の位置を規制する手
段、及び、前記２つの垂直平面部によりテーブル
横断方向の位置を規制する手段からなるスパンの
狭いナロウガイドを設けているので、テーブル下
面の連結部材を用いることなく、測定子支持体の
剛性を高めることができる。又、テーブル下面の
テーブル横断方向他端側に、テーブル上面と平行
な下平面部を設けると共に、前記測定子支持体の
Ｙ軸案内部がない他端側脚部に、前記テーブル上
面と下平面部によりテーブル上下方向の位置を規
制する手段を設けているので、測定子支持体のロ
ーリングが防止される。更に、エアベアリング反
力等による支柱傾斜力成分を生じないので、テー
ブル下面で両支柱を連結しなくても高精度の測定
が可能となり、部品点数が減つて、重量が軽減さ
れると共に、加工、組立ても容易となり、安価と
なる。又、測定子支持体の傾斜や、転倒も防止さ
れる。更に、使用環境温度が変化しても、ギヤツ
プの変化が少く、高精度な移動を実現できる。
又、測定空間も十分確保でき、三次元測定機全体
の高さを低くすることができる。 又、前記Ｙ軸案内部の２つの垂直平面部を、前
記テーブルの側面自体、及び、前記テーブルの下
面に形成した溝のテーブル側面側の内壁側面に形
成した場合には、テーブルの側面をガイドに利用
することができ、案内面の形成・仕上げが容易で
ある。 又、前記Ｙ軸案内部の下平面部を、前記テーブ
ルの下面自体に形成した場合には、案内面の形
成、仕上げが容易となり、高精度の案内が可能で
ある。 又、前記Ｙ軸案内部の２つの垂直平面部を、前
記テーブルの下面に形成した案内部材の両側面に
形成した場合には、テーブルに溝を加工する必要
がなく、案内面の仕上げも容易である。 又、前記Ｙ軸案内部の下平面部を、前記案内部
材の下面に形成した場合には、案内面の仕上げが
容易である。 又、前記Ｙ軸案内部の２つの垂直平面部を、前
記テーブルの下面に形成した溝の内壁両側面に形
成した場合には、テーブル横断方向のベアリング
がテーブルの幅寸法内に納まるため、幅寸法が小
さくできる。 又、前記Ｙ軸案内部の下平面部を、前記溝の内
壁底面に形成した場合には、Ｙ軸案内部のテーブ
ル上下方向のベアリングがテーブルの高さ寸法内
に納まる。 又、前記位置規制手段を、エアベアリングとし
た場合には、非接触のガイドが可能である。

【実施例】

以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細
に説明する。 本発明の第１実施例は、第１図及び第２図に示
す如く構成されており、第１図は、第１実施例の
正面図、第２図はその側面図である。 この実施例において、テーブル６０は、石材か
ら形成された石定盤であり、その下面６０Ｄの３
個所には、支持部材６２が取付られている。従つ
て、ベース１６上に置かれたテーブル６０は、こ
の支持部材６２により、ベース１６との間に若干
の間隔が開けられている。テーブル下面を連結す
る部材が無いので、支持部材６２は、テーブル６
０を支持するのに最適な位置（例えば３角形の頂
点）に最適個数（例えば３個）設けて、効率良
く、且つ、高精度なテーブル支持を行なうことが
できる。即ち、テーブル下面に連結部材を通した
従来例のように、両端の４個所で支持する場合に
比べて、テーブル（特に中央）に無理な力が加わ
ることが無い。 測定子支持体６４は、第１図に示す如く、左右
の支柱６６，６８を備えている。これの支柱６
６，６８の上部には、横行部材７０が水平に横断
架設されている。この横行部材７０には、Ｘ−ス
ライダ７２が移動自在に取付けられている。Ｘ−
スライダ７２と一体化されているケース７４の内
部には、スピンドル７６が垂直方向（Ｚ軸方向）
に移動自在に収納され、ケース７４の下面から突
出したスピンドル７６の下端に測定子７７が取付
けられている。 前記測定子支持体６４の下部には、第１図に示
す如く、Ｙ−スライダを構成する左右の脚部６
７，６９が設けられている。 前記テーブル下面６０Ｄのテーブル横断方向
（Ｘ軸方向）一端側（図では右側）には、テーブ
ル上面６０Ａと平行な下平面部６０Ｅ、及び、こ
の下平面部６０Ｅを挟み互いに平行な２つの垂直
平面部６０Ｆ，６０Ｇをそれぞれ測定子支持体移
動方向（Ｙ軸方向）に延設してなるＹ軸案内部７
８が形成されている。ここで、垂直平面部６０Ｆ
は、テーブル６０の側面６０Ｃ自体に形成され、
垂直平面部６０Ｇは、テーブル下面に形成した溝
７９のテーブル側面側（第１図の右側）内壁側面
に形成されている。従つて、上面が精度良く水平
に仕上げられたテーブル６０の側面自体をガイド
に利用することができ、案内面の形成、仕上げが
容易である。又、比較的浅い溝で足りるので、高
いテーブル剛性を維持でき、十分な案内精度を得
られる。 又、前記テーブル下面６０ＤのＸ軸方向他端側
（第１図の左側）には、テーブル上面６０Ａと平
行な下平面部６０Ｈがテーブル下面６０Ｄ自体に
形成されている。従つて、案内面の形成、仕上げ
が容易であり、高精度のガイドが可能である。 前記測定子支持体６４のＹ軸案内部７８側脚部
６９には、前記テーブル上面６０Ａと下平面部６
０Ｅによりテーブル上下方向（Ｚ軸方向）の位置
を規制するためのエアベアリング８０が上２個、
下１個の計３個設けられている。 又、該Ｙ軸案内部側脚部６９には、前記２つの
垂直平面部６０Ｆ，６０Ｇによりテーブル横断方
向（Ｘ軸方向）の位置を規制するためのエアベア
リング８２が片側２個ずつ、計４個設けられてい
る。 更に、前記測定子支持体６４のＹ軸案内部がな
い他端側脚部６７には、前記テーブル上面６０Ａ
の他端部と前記下平面部６０ＨによりＺ軸方向の
位置を規制するためのエアベアリング８４が上２
個、下１個の計３個設けられている。 これらのエアベアリング８０，８２，８４は、
いずれも先端が半球状とされた、ギヤツプを最適
値に調整するための調整ねじ８６を介して測定子
支持体６４の脚部６９又は６７に支持されてい
る。 図において、９０は、Ｙ軸方向の変位量を検出
するための検出器を構成するメインスケールであ
る。このメインスケール９０は、スケールホルダ
９２を介してテーブル６０の側面ににねじ止めさ
れている。 一方、前記測定子支持体６４の脚部６９には、
第２図に示す如く、前記メインスケール９０に対
応するインデツクススケールや発光素子、受光素
子等が収納された検出部９４がねじで固定されて
いる。 従つて、発光素子から出た光がメインスケール
９０、インデツクススケールによつて光学波形と
なつて受光素子で受光され、これが電気信号に変
換されて、テーブル６０に対する測定子支持体６
４のＹ軸方向移動量即ち前記測定子７７のＹ軸方
向変位量が検出される。 本実施例では、第３図に示す如く、メインスケ
ール９０に対する検出部９４の姿勢を調整ねじ９
５で調整できるようになつており、この姿勢が傾
いているときに生ずる測定誤差を解消できるよう
になつている。なお、詳細は特開昭61−170601に
開示しているので、説明は省略する。 前記測定子支持体６４の脚部６９には、圧縮コ
イルばねを含むストツパ９６がねじ止めされてお
り、該ストツパ９６と、前記テーブル６０側面の
端部近傍にねじ止めされたストツパボルト９８と
の相互作用によつて、該測定子支持体６４のＹ軸
方向変位量に限度が設けられている。 前記測定子支持体６４の脚部６９には、更に、
精密測定時に測定子支持体６４とテーブル６０の
相対移動を停止させて両者の関係を固定するため
の固定ねじ１００が設けられている。 又、前記測定子支持体６４の脚部６９には、マ
イクロメータヘツド１０４、平行ばね１０６から
なる微動機構１０２が設けられており、固定ねじ
１００によつて回動される逆Ｌ字状リンク１０１
によりスケールホルダ９２の下面を押えて測定子
支持体６４とテーブル６０の相対位置を固定した
後に、マイクロメータヘツド１０４による微動調
整が可能とされている。 前記横行部材７０、Ｘ−スライダ７２等には、
Ｙ軸方向検出器と同様な構造のＸ軸方向検出器
（メインスケール１０８）、Ｚ軸方向検出器が設け
られており、横行部材７０に沿つたＸ−スライダ
７２の移動による測定子７７のＸ軸方向変位量、
Ｘ−スライダ７２に対するスピンドル７６の上下
移動による測定子７７のＺ軸方向変位量も、これ
らの検出器によつて検出される。 本実施例における測定子支持体６４のＹ軸方向
移動ガイドの基本的構成は、第４図に示す如くと
なり、特にＸ軸方向の位置規制が、テーブル側面
６０Ｃ自体とテーブル６０の下面に形成した溝７
９のテーブル側面側の内壁側面６０Ｇで行われて
いるので、剛性の高い状態でガイドを行うことが
できる。 又、Ｚ軸方向のガイドは、テーブル６０の両端
部上下面によつて行われているので、構成が簡略
であると共に、ローリング対策も十分である。 次に本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、第５図に要旨を示す如く、
テーブル６０のテーブル横断方向（Ｘ軸方向）一
端側下面に案内レール１０８を付設し、該案内レ
ール１０８の両側面によつて測定子支持体６４の
Ｘ軸方向の位置を規制すると共に、テーブル６０
他端部の上下面、一端側上部及び前記案内レール
１０８の下面でＺ軸方向の位置を規制するように
したものである。 他の点については前記第１実施例と同様である
ので説明は省略する。 この第２実施例においては、テーブル６０の下
面に溝を加工する必要がない。 なお、案内レール１０８は、テーブル６０と一
体に形成することも可能である。 次に本発明の第３実施例を詳細に説明する。 この第３実施例は、第６図に要旨を示す如く、
テーブル６０に形成した前記第１実施例と同様の
溝７９の内壁両側面で、測定子支持体６４のＸ軸
方向の位置を規制するようにしたものである。 他の点については前記第１実施例と同様である
ので説明は省略する。 この第３実施例においては、Ｘ軸方向の位置を
規制するためのベアリングが、全てテーブル６０
の幅内に納まるので、測定機の幅寸法を小さくす
ることができる。 なお前記実施例においては、いずれもベアリン
グとしてエアベアリングが用いられていたが、ベ
アリングの種類はこれに限定されず、例えばロー
ラベアリングとすることも可能である。即ち、テ
ーブルに対して測定子支持体を位置規制しながら
移動自在とすることができるのであれば任意のも
のでよい。又、検出器も光学式エンコーダに限定
されず、例えば磁気式エンコーダ等、任意のタイ
プが使用できる。 又、前記実施例においては、テーブルが固定さ
れ、測定子をこのテーブルに対して移動させる形
式であつたが、本発明の適用範囲はこれに限定さ
れず、テーブルと測定子とを相対移動させるもの
であれば、例えば測定子を固定し、テーブルを移
動させる形式の測定機にも同様に適用できる。 又、前記実施例においては、本発明が三次元測
定機に適用されていたが、本発明の適用範囲はこ
れに限定されず、テーブルの上面と平行な面を測
定子が二次元移動する二次元測定機にも同様に適
用できることは明らかである。

【発明の効果】

以上説明した通り、本発明によれば、テーブル
下面における連結部材を用いることなく、測定子
支持体の剛性を高めることができる。従つて、測
定機の大重量化を防止すると共に、加工や組立て
を簡略化し、測定機を安価に構成することができ
る。又、測定機のベース上への据付けも容易であ
る。更に、使用環境温度が変化した場合でも、テ
ーブルと測定子支持体の熱膨脹係数の相違による
位置規制手段のギヤツプ変化が少ない。従つて、
例えばエアベアリングを用いた場合には、温度変
化に拘らず、良好な動特性を維持できる。又、エ
アベアリング浮力等により測定子支持体の支柱が
傾斜することがないので、高精度な測定が行え、
測定空間も充分確保できる等の優れた効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る三次元測定機の第１実
施例の構成を示す正面図、第２図は同じく側面
図、第３図は、第１実施例の検出器部分を拡大し
て示す断面図、第４図は、前記第１実施例の要旨
構成を示す略線図、第５図は、本発明の第２実施
例の要旨構成を示す略線図、第６図は、同じく第
３実施例の要旨構成を示す略線図、第７図は、従
来の三次元測定機の一例の構成を示す斜視図、第
８図は、第７図に示した従来例の要旨構成を示す
略線図、第９図は、出願人が実開昭61−123913で
開示した三次元測定機の構成を示す正面図、第１
０図は、第９図に示した従来例の要旨構成を示す
略線図、第１１図は、出願人が特開昭61−170601
で開示した三次元測定機の構成を示す正面図、第
１２図は、第１１図に示した従来例の要旨構成を
示す略線図である。 ６０……テーブル、６０Ａ……テーブル上面、
６０Ｂ，６０Ｃ……鉛直側面、６０Ｄ……テーブ
ル下面、６０Ｆ，６０Ｇ……垂直面部、６０Ｅ，
６０Ｈ……下平面部、６４……測定子支持体、６
７，６９……脚部、７０……横行部材、７２……
Ｘ−スライダ、７７……測定子、７８……Ｙ軸案
内部、８０，８２，８４……エアベアリング、１
０８……案内レール。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被測定物を載置するための上面を有するテー
   ブルと、該テーブルを横断する形状を有すると共
   に、該テーブルに対して移動可能な測定子支持体
   と、該測定子支持体に保持された測定子とを有
   し、テーブル上に載置された被測定物に対して、
   測定子を多次元方向に移動させつつ関与させ、こ
   の時の測定子の移動量から被測定物の寸法・形状
   等を測定する多次元測定機において、 テーブル下面のテーブル横断方向一端側に設け
   られた、テーブル上面と平行な下平面部、及び、
   この下平面部を挾み互いに平行な２つの垂直平面
   部をそれぞれ測定子支持体移動方向に延設してな
   るＹ軸案内部と、 テーブル下面のテーブル横断方向他端側に設け
   られた、テーブル上面と平行な下平面部と、 前記測定子支持体のＹ軸案内部側脚部に設けら
   れた、前記テーブル上面と下平面部によりテーブ
   ル上下方向の位置を規制する手段、及び、前記２
   つの垂直平面部によりテーブル横断方向の位置を
   規制する手段と、 前記測定子支持体のＹ軸案内部がない他端側脚
   部に設けられた、前記テーブル上面と下平面部に
   よりテーブル上下方向の位置を規制する手段と、 を備えたことを特徴とする多次元測定機。 ２ 前記Ｙ軸案内部の２つの垂直平面部が、前記
   テーブルの側面自体、及び、前記テーブルの下面
   に形成した溝のテーブル側面側の内壁側面に形成
   されている特許請求の範囲第１項記載の多次元測
   定機。 ３ 前記Ｙ軸案内部の下平面部が、前記テーブル
   の下面自体に形成されている特許請求の範囲第１
   項又は第２項記載の多次元測定機。 ４ 前記Ｙ軸案内部の２つの垂直平面部が、前記
   テーブルの下面に形成した案内部材の両側面に形
   成されている特許請求の範囲第１項記載の多次元
   測定機。 ５ 前記Ｙ軸案内部の下平面部が、前記案内部材
   の下面に形成されている特許請求の範囲第４項記
   載の多次元測定機。 ６ 前記Ｙ軸案内部の２つの垂直平面部が、前記
   テーブルの下面に形成した溝の内壁両側面に形成
   されている特許請求の範囲第１項記載の多次元測
   定機。 ７ 前記Ｙ軸案内部の下平面部が、前記溝の内壁
   底面に形成されている特許請求の範囲第６項記載
   の多次元測定機。 ８ 前記位置規制手段が、エアベアリングである
   特許請求の範囲第１項記載の多次元測定機。