JP2004317243A - 測定機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定機1のベース2に、移動体5の摺動を案内する案内面を有するガイドレール21が一体的に形成されている。案内面には、防錆の被膜が形成されている。これによると、ベース2に対して、別部材として形成されたガイドレール21を取り付ける必要がないので、ベース2の製造工数および製造コストを削減できる。また、ベース2とガイドレール21は同じ素材で形成されることとなるので、バイメタル効果が発生せず、ベース2の経年安定性を確保できる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定機に関する。詳しくは、ベースと、このベース上に設けられた案内面を有するガイドレールと、前記ガイドレールの案内面にエアベアリング装置を介して摺動自在に設けられた移動体とを備える測定機に関する。
【0002】
【背景技術】
従来、被測定物の寸法や形状等の三次元データを測定する三次元測定機(例えば特許文献1参照)が知られている。このような三次元測定機の中には、水平方向の一方向(X軸方向)、および、これと直交する重力方向(Z軸方向)に測定子が移動し、被測定物が載置されたテーブルがベース上に設けられたガイドレールに沿って、前記X軸およびZ軸方向に対して直交するY軸方向に移動することで、被測定物の三次元データを測定するものがある。
【0003】
従来、このような三次元測定機においては、ベースおよびテーブルには、経年変化を極力抑えるために鋳物が採用されている。また、ガイドレールには、錆付きを防止するためにステンレスが採用されている。例えば、図4に示すように、防錆のため主にステンレスで製造されたガイドレール92がベース91上に配置されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−65561号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来の三次元測定機は、別部材として仕上げられたガイドレールをベースへねじ締結して組み立てる必要があり、三次元測定機の製作上、工数・コストがかさむという問題がある。
【0006】
また、ベース91とガイドレール92との材質の違いから、線膨張係数の微小な差によりバイメタル効果が生じ、ベース91が微小変形する。このため、測定誤差を生じる等の性能悪化を招くという問題がある。
【0007】
本発明の目的は、構造の簡易化を図るとともに、ベースの温度安定性を向上でき、案内面の経年安定性を確保できる測定機を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の測定機は、ベースと、このベース上に設けられた案内面を有するガイドレールと、前記ガイドレールの案内面にエアベアリング装置を介して摺動自在に設けられた移動体とを備える測定機であって、前記ガイドレールは、前記ベースと一体的に形成され、前記案内面には、防錆の被膜が形成されていることを特徴とする。
【0009】
ここで、ベースとは、移動体を摺動自在に支持する部材および構造体を指すものである。
【0010】
この発明によれば、ガイドレールは、ベースと一体的に形成されているから、ベースの製造後、このベースに対して、別部材として形成されたガイドレールを取り付ける必要がない。従って、ベースの製造工数および製造コストを削減でき、ベース製造の効率を向上することができる。
また、ベースとガイドレールを一体的に形成したことにより、ベースとガイドレールの素材が同一となる。これによれば、線膨張係数の違う素材から構成される部材の接合によって生じるバイメタル効果の発生を防止することができる。従って、ベースの変形が抑制され、ベースの経年安定性を確保できる。
さらに、ガイドレールの案内面には、防錆の被膜が形成されている。ここで、ベースの経年安定性を保つために、ベースの素材として鋳物材が用いられることがあるが、鋳物材は錆付きを起こす場合がある。案内面に錆付きが発生した場合、案内面の形態が変化するだけでなく、案内面によって案内される移動体の摺動が不安定となる。従って、防錆の被膜を案内面に形成したことにより、案内面の錆付きを防止できるので、案内面の形態を維持でき、移動体の摺動の経年安定性を確保できる。
そして、移動体はエアベアリング装置を介して摺動するので、摺動に際して発生する振動を抑えることができる。
【0011】
本発明では、前記被膜は、セラミックスで形成されていることが好ましい。
この発明によれば、セラミックスの被膜が案内面に形成されることにより、優れた表面粗さが実現できる。すなわち、セラミックスを案内面にコーティングしたことにより、凹凸のない均一で平坦な案内面を形成することができる。これによれば、エアベアリングから出力される空気により、移動体と案内面との間に形成されるエアギャップを常に安定した状態とすることができる。さらに、エアベアリングが空気を出力する案内面が平坦面であるので、エアベアリングからの空気圧を一定に保つことができる。従って、エアベアリングによる移動体の摺動を安定化することができる。
また、セラミックスには耐蝕性および耐熱性等の機能を有する材料がある。このような材料を用いてガイドレールの案内面をコーティングし、セラミックスの被膜を形成すれば、一層の耐蝕性および耐熱性を図ることができる。
【0012】
本発明では、前記被膜は、プラズマ溶射により形成されていることが好ましい。
この発明によれば、案内面からの被膜の剥離を防ぐことができる。すなわち、プラズマ溶射によれば、被膜を形成する粒子間および粒子と素材との間で強い結合力を得ることができる。従って、被膜とベースとの密着性を高めることができるので、被膜の剥離を防ぐことができる。
また、プラズマ溶射時のプラズマ出力を大きくすることで、粒子の付着効率を向上することができ、気孔率の減少および被膜断面のビッカース硬度を増加させることができる。これにより、気孔率が少なくムラのない均一な被膜を形成することができるだけでなく、被膜の硬度を増加させることができる。従って、案内面に形成された被膜により、均一で硬度の高い平坦な表面が形成されるので、案内面に案内される移動体の摺動を安定化することができる。
さらに、プラズマ溶射に用いられるプラズマガス温度の上限は、理論的には存在しない。これによれば、高融点材料の溶射が可能になる。従って、被膜形成に用いる溶射材料の選択の自由度を高めることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1には、本実施形態の三次元測定機が示されている。
この図において、三次元測定機1は、Y軸ガイド部21を備えるベース2と、門型コラム3と、図示しない測定子であるプローブを備えるスライダ4と、載物面51を形成するテーブル5とを備えている。なお、ベース2の構成については、後に詳述する。
【0014】
門型コラム3は、ベース2の上面から起立して形成されている。この門型コラム3は、三次元測定機1の幅方向、すなわち図1中Xで示すX軸方向へスライダ4を進退させるためのものである。門型コラム3は、2本のコラム31と、X軸ガイド部32と、スライダ駆動機構33とを備えている。
【0015】
2本のコラム31は、門型コラム3の脚部を形成するものであり、ベース2の上面における長手方向略中央で幅方向両端部から略垂直に起立して形成されている。これらコラム31の上端には、X軸ガイド部32が、2本のコラム31間に略水平に架け渡されるように配置されている。このX軸ガイド部32は、スライダ4のX軸方向への進退を案内するものであり、幅方向(X軸方向)の寸法が高さ方向(Z軸方向)の寸法よりも長い略矩形状の鋳物材によって形成されている。
【0016】
X軸ガイド部32の上面には、スライダ4をX軸方向に進退させるスライダ駆動機構33が設けられている。このスライダ駆動機構33は、図示しない駆動機構(モータ、プーリ、ベルト等)と、X軸ガイド軸331と、固定部332とを備えている。X軸ガイド軸331は、駆動機構からの駆動力をスライダ4に伝達するためのものであり、また、固定部332は、X軸ガイド軸331を軸方向回転自在にX軸ガイド部32の上面に支持するためのものである。
【0017】
スライダ4は、図示しないプローブを含んで構成されており、プローブを高さ方向、すなわち、図1中Zで示すZ軸方向に進退させる。スライダ4は、プローブの他に、スライダ本体41と、スピンドル42と、プローブヘッド43とを備えている。
【0018】
スライダ本体41は、鋼製のケースによって覆われている。このスライダ本体41の下端には、スピンドル42が、図示しない駆動機構とともに、Z軸方向に進退自在に取り付けられている。スピンドル42の先端部には、スピンドル42にプローブを取り付けるプローブヘッド43が設けられている。このプローブヘッド43は、様々なプローブが取り付けられるように構成されている。また、プローブヘッド43に関しても、交換が可能なように着脱自在に取り付けられている。なお、プローブとしては、接触式および非接触式のどちらでも取り付けることが可能である。
【0019】
テーブル5は、内部にリブを備えた略矩形状の鋳物製部材であり、上面に被測定物を載置する載物面51が形成されている。また、テーブル5は、ベース2上に配置され、三次元測定機1の長手方向、すなわち、図1中Yで示したY軸方向にベース2上を摺動する。なお、テーブル5の構成およびテーブル5のベース2上への配置に関しては、後に詳述する。
【0020】
図2には、三次元測定機1のベース2が示されている。
ベース2は、三次元測定機1の土台となるものであり、鋳物材で製造されている。この図において、ベース2の上面には、Y軸ガイド部21がベース2と一体的に鋳造されて形成されている。このY軸ガイド部21は、テーブル5の図1中Yで示したY軸方向への摺動を案内するものであり、ベース2の長手方向(Y軸方向)に沿って、互いに略平行に形成された2つの略凸状のレール211から構成されている。
【0021】
レール211には、テーブル5の摺動を案内する案内面212が形成されている。この案内面212は、それぞれのレール211の上面およびレール211間で互いに向き合う側面に形成されている。案内面212には、セラミックスがコーティングされ、これにより被膜が形成されている。すなわち、案内面212には、案内面212の素材である鋳物材にセラミックスが、プラズマ溶射により直接コーティングされている。コーティングの際のプラズマ出力は、高く設定されており、案内面212へのセラミックス材料の付着効率を高くしている。このセラミックス材料については、防錆効果があり、耐蝕性および耐熱性を備えたものを選択して使用できる。本実施形態では、アルミナ系セラミックス材料を使用したが、他の材料を使用してもよい。
【0022】
図3には、ベース2とテーブル5の一部を示す正面図が示されている。
この図において、テーブル5は、下方に延出するようにテーブル5の中央に形成された中央部52と、テーブル5の幅方向(X軸方向)両端部に形成された架設部53とを備え、これらにより、三次元測定機1の正面から見た場合、略T字状に構成されている。
テーブル5は、中央部52の側面および架設部53の底面が、ベース2に形成された案内面212に対向するように配置される。これら中央部52の側面および架設部53の底面には、複数のエアベアリング54が設けられており、これらエアベアリング54は、テーブル5を摺動自在に支持するとともに、摩擦および揺動を抑制する。
【0023】
従って、本実施形態によれば、Y軸ガイド部21がベース2と一体的に形成されている。これによれば、Y軸ガイド部21を別部材としてベース2に取り付ける必要がない。従って、ベース2の製造工数および製造コストを削減することができ、ベース2の製造の効率を向上することができる。
また、ベース2とY軸ガイド部21は一体的に形成されているので、ベース2とY軸ガイド部21の素材が同一となる。これによれば、線膨張係数の相異に起因するバイメタル効果によるベース2の変形をなくすことができる。従って、ベース2の変形を防止でき、ベース2の経年安定性を確保できるとともに、測定機の測定精度が向上する。
さらに、Y軸ガイド部21の案内面212には、防錆効果のあるセラミックスがコーティングされている。従って、案内面212の錆付きを防止でき、Y軸ガイド部21によって案内されるテーブル5の摺動の経年安定性を確保できる。
そして、テーブル5は、エアベアリング54を介して摺動するので、テーブル5の摺動によって発生する振動を抑えることができる。
【0024】
また、本実施形態によれば、案内面212にはセラミックスの被膜が形成されているので、案内面212は、凹凸のない均一で平坦な面とすることができる。これによれば、エアベアリング54のエアパッドから出力される空気によって生じ、エアパッドと案内面212との間に形成されるエアギャップを常に安定した状態とすることができる。さらに、案内面212が平坦面であるので、エアベアリング54からの空気圧を一定に保つことができる。従って、エアベアリング54を介するテーブル5の摺動を安定化して真直精度を向上することができる。
また、耐蝕性および耐熱性を実現するチタニア系セラミックス材料を用いたので、案内面212の耐蝕性および耐熱性を一層向上することができる。
【0025】
また、本実施形態によれば、プラズマ溶射により案内面212をセラミックコーティングしたので、被膜と案内面212との密着性を高めることができる。従って、被膜の剥離を防ぐことができる。
また、プラズマ出力を大きくしたので、セラミックス材料の案内面212への付着効率を一層向上することができ、気孔率が少なくムラのない均一な被膜を形成することができる。従って、案内面212に形成された被膜により、均一で平坦な表面が形成されるので、案内面212に案内されるテーブル5の摺動を安定化することができる。また、形成された被膜の硬度を増加させることができるので、被膜およびY軸ガイド部21の経年安定性を確保することができ、この点からもテーブル5の安定した摺動を維持できる。
さらに、高融点材料の溶射が可能になるので、本実施形態で使用したチタニア系セラミックス材料に限らず、他の材料を選択することができる。従って、被膜形成材料の選択の自由度を高めることができる。
【0026】
なお、本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【0027】
前記実施形態では、Y軸ガイド部21の案内面212へのセラミックコーティングは、プラズマ溶射により行うとしたが、本発明では、これに限らない。例えば、フレーム溶射、アーク溶射、レーザー溶射等の溶射法を採用できる。なお、プラズマ溶射によれば、セラミックス材料の選択範囲が広いので、多くのセラミックス材料から選択して使用することができる。また、セラミックス被膜の剥離を防止することができ、被膜の安定性を確保できる等、種々の効果を奏することができる。
【0028】
前記実施形態では、セラミックス材料は、チタニア系セラミックスを使用したが、本発明はこれに限らない。すなわち、コーティングにより形成された被膜によって、防錆効果を奏するものであるなら何でもよい。例えば、ジルコニア系、アルミナ系、ステンレス系、ムライト系、マグネシア系等のセラミックス材料が挙げられ、これらを採用してもよい。
【0029】
前記実施形態では、案内面212は、レール211の上面および2つのレール211間で互いに対向するそれぞれの側面に形成されるとしたが、本発明はこれに限らない。例えば、案内面212は、レール211の上面および外側の両側面に形成されていてもよく、この場合、それぞれの案内面212に被膜が形成されていればよい。また、この場合、テーブル5の架設部53を、下方に開口した凹状に形成して、レール211を覆うようにテーブル5を配置し、レール211の案内面212と対向する面に、エアベアリング54を配置すればよい。このような構成によれば、テーブル5の摺動時の抵抗および揺動を確実に抑えることができる。
【0030】
前記実施形態では、ベース2、テーブル5およびX軸ガイド部32は、鋳物材によって製造されるとしたが、本発明はこれに限らず、鋼製部材やはんれい岩等を用いてもよい。なお、鋳物材によってベース2、テーブル5およびX軸ガイド部32を製造すれば、鋳物材は経年による変形が少ないので、ベース2、テーブル5およびX軸ガイド部32の永年使用による変形を防ぐことができる。また、スライダ4およびテーブル5の摺動の経年安定性を確保できる。
【0031】
前記実施形態では、被測定物のY軸の測定は、被測定物が載置されたテーブル5のY軸方向への摺動により行われるとしたが、本発明では、テーブル5は固定とされ、門型コラムがY軸方向に摺動することで測定が行われるように構成してもよい。この場合、門型コラム3がベース2に設けられたY軸ガイド部21に沿って摺動するようにすればよい。なお、Y軸方向へはテーブル5が進退するように構成すれば、質量の大きい門型コラム3が進退するよりも測定時の振動や誤差を抑えることができる。
【0032】
前記実施形態では、三次元測定機1は、門型コラム3を備えるとしたが、本発明はこれに限らず、シングルアームのコラムを備えた三次元測定機等にも採用することができる。また、前記実施形態では、三次元測定機に限って説明したが、これに限らず、画像測定機などの他の測定機であってもよい。すなわち、ベースとガイドレールを備えた測定機であれば、本発明を実施できる。
【0033】
前記実施形態では、三次元測定機1の土台部分であるベース2にレール211を設け、このレール211に防錆被膜を形成する例に限って説明したが、それ以外のベースとガイドレールに本発明を実施してもよい。すなわち、移動体の進退を案内するガイドレールが形成された部材および構造体に、本発明を実施してもよい。例えば、説明および図示を省略したが、X軸ガイド部32にも同様のガイドレールが設けられており、エアベアリング装置によって、スライダ4が進退自在に支持されている。そこで、移動体であるスライダ4に対するベースとしてのX軸ガイド部32およびガイドレールに対して、本発明を採用することができる。
【0034】
前記実施形態では、三次元測定機1は、コンピュータ等に接続され、このコンピュータ等によって、被測定物の測定が制御されるような構成としてもよい。
【0035】
【発明の効果】
本発明によれば、ガイドレールはベースと一体的に形成され、ガイドレールの案内面には防錆の被膜が形成されているので、ベース製造における作業工数を削減することができ、また、案内面の錆付きを防止でき、ガイドレールの経年安定性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態にかかる三次元測定機を示す概要斜視図。
【図2】前記実施形態のベースを示す概要斜視図。
【図3】前記実施形態のベースおよびテーブルの一部を示す正面図。
【図4】従来の三次元測定機のベースとガイドレールを示す概要斜視図。
【符号の説明】
1…三次元測定機(測定機)
2…ベース
5…テーブル(移動体)
21…Y軸ガイド部
211…レール
212…案内面
Claims (3)
- ベースと、このベース上に設けられた案内面を有するガイドレールと、前記ガイドレールの案内面にエアベアリング装置を介して摺動自在に設けられた移動体とを備える測定機であって、
前記ガイドレールは、前記ベースと一体的に形成され、
前記案内面には、防錆の被膜が形成されていることを特徴とする測定機。 - 請求項1に記載の測定機において、
前記被膜は、セラミックスで形成されていることを特徴とする測定機。 - 請求項1または請求項2に記載の測定機において、
前記被膜は、プラズマ溶射により形成されていることを特徴とする測定機。
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