CN102620678B - 超精密大口径非球面形状测量机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超精密大口径非球面形状测量机，包括天然花岗岩床身、X轴部件、Z轴部件、调心调平装置和半球定心平面支承转台，直线轴和回转轴均配置高精度光栅尺组成测量反馈系统；X轴包括主气体静压导轨、椭圆弧龙门架、辅气体静压导轨和X轴直线电机；Z轴包括八棱面花岗岩导柱、V型气浮轴承块、长度计和Z轴直线电机；调心调平装置包括转台面、万向调平板、转台下静压盘和驱动单元；转台下静压盘与天然花岗岩床身之间通过气体静压轴承支承。本发明测量机采用柱坐标测量方式，通过高精度接触式测头进行数据的快速采样，可实现大口径非球面、球面、柱面和平面零件(直径900mm)的高精度形状精度测量；操作简易，调节精度高，稳定性好。

Description

超精密大口径非球面形状测量机

【技术领域】

本发明属于超精密测试与计量技术领域，特别涉及一种大尺寸球面、非球面、平面等面形精度的测量机。

【背景技术】

随着航空航天、空间遥感卫星相机、激光核聚变装置、医疗设备等高科技领域的飞速发展，对高精度大口径光学非球面元件(Φ400mm以上)有极大的需求。在国防光学系统需求的引领下，西方发达国家对此领域的研究目前已积累和储备了相当的技术优势，并形成了较为系统的、以数字化、定量化、超精密机械化和智能化为标志的大口径光学非球面制造技术。

为了不断提高精密机械、光学与仪器精度，人们进行了大量理论研究，采取了多种技术措施。精密机械、光学与仪器精度不仅反映国家的机械与仪器工业水平，也是整个国家科技和工业水平的重要标志。研究精密机械、光学与仪器精度理论及测量技术，不断提高其测量精度水平，对促进机械与仪器工业发展、加速国家现代化具有重要意义。

目前，非球面、平面的高精度检测已经成为高精度非球面、平面等光学元件制造中所面临的瓶颈问题之一，尤其对于大口径高精度非球面、平面等光学元件加工阶段和最终检测，其测量精度要求越来越高。因此急需要研制一种能够进行大口径非球面零件测量的超精密形状测量机。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种超精密大口径非球面形状测量机，用于检测铣磨-研抛加工后的大口径非球面、球面、平面、自由光学曲面的面形精度。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种超精密大口径非球面形状测量机，包括天然花岗岩床身、X轴部件、Z轴部件、调心调平装置和半球定心平面支承转台，直线轴和回转轴均配置高精度光栅尺组成测量反馈系统；X轴部件包括辅气体静压导轨、椭圆弧龙门架、主气体静压导轨和X轴直线电机；辅气体静压导轨和主气体静压导轨安装于天然花岗岩床身两侧；椭圆弧龙门架的两个末端，一端固定在辅气体静压导轨上，另一端固定在主气体静压导轨；Z轴部件包括八棱面花岗岩导柱、V型气浮轴承块、长度计和Z轴直线电机；两个V型气浮轴承块通过螺栓连接在椭圆弧龙门架上，用于调节Z轴的垂直度；八棱面花岗岩导柱7与对称连接的双V型气浮轴承块组成气体静压导轨副，实现Z轴的上下运动；Z轴直线电机的次级线圈与椭圆弧龙门架固定连接，初级线圈与花岗岩导柱连接；长度计固定在花岗岩导柱的内腔；调心调平装置包括转台面、万向调平板、转台下静压盘和驱动转台下静压盘转动的驱动单元；转台下静压盘与天然花岗岩床身之间通过气体静压轴承支承。

辅气体静压导轨和主气体静压导轨上设有进气接口，X轴部件运动时，通过进气接口给辅气体静压导轨和主气体静压导轨充气，使辅气体静压导轨、主气体静压导轨和天然花岗岩床身的顶面和侧面之间均形成气膜。

主气体静压导轨由X轴直线电机带动，带动椭圆弧龙门架沿天然花岗岩床身导轨面运动。

调心调平装置还包括若干调平装置和调心装置；转台下静压盘顶部设有凹球面和若干对称排布的凹槽；万向调平板的下部设有凸球面和锥形斜面；万向调平板安装于转台下静压盘顶部，万向调平板的凸球面与转台下静压盘的凹球面相配合；调平装置包括调平定位盘、调平螺杆、调平滑轮、调平滑轮轴和调平支座；调平支座安装在转台下静压盘上对应的凹槽中，可沿着转台下静压盘的凹槽移动；调平滑轮轴将调平滑轮连接到调平支座上；调平螺杆与调平支座螺纹配合；调心装置包括若干调心顶丝和转台面；转台面的下安装面直接安装在万向调平板上；转台面的侧面对称设置有若干螺纹通孔，若干调心顶丝设置于对应的螺纹通孔中并与转台面螺纹连接。

调平螺杆的头部截面呈梯形，调平定位盘压住调平螺杆的头部，然后通过螺栓紧固于下静压盘上，使调平螺杆只能转动，而不能轴向移动；万向调平板的侧周设有圆周面，若干调心顶丝的尖端穿过对应的螺纹通孔抵持所述圆周面。

天然花岗岩床身中心设有一个安装孔，半球座固定于该安装孔中；半球形石墨瓦固定在半球座上；转台芯轴安装于半球轴中心并连同半球轴固定在转台下静压盘上；半球轴的凸球面与半球形石墨瓦的凹球面相配合；转台下静压盘的底面开设有环形槽，该环形槽内均匀固定有若干块平面支承石墨块；平面支承石墨块与天然花岗岩床身形成气体静压轴承副。

所述精密大口径非球面形状测量机还包括第一气路和第二气路；第一气路连通半球形石墨瓦，压力气体通入半球形石墨瓦中，在半球形石墨瓦与半球轴之间形成气膜；第二气路连通所述若干平面支承石墨块，压力气体通入平面支承石墨块中，在平面支承石墨块与天然花岗岩床身之间形成气膜。

椭圆弧龙门架包括前板和后板；前板和后板之间通过若干块对称排布的加强筋板焊接固定在一起；前板和后板的下侧边沿包括半椭圆弧段。

驱动单元包括皮带轮、减速器和伺服电机；伺服电机通过减速器和皮带轮连接。

所述气膜的厚度为3～5μm。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1)实现大口径非球面、平面零件(直径900mm)的高精度形状精度测量，综合测量精度为：±0.5μm；

2)采用柱坐标坐标系，建立工件坐标系和测量坐标系，通过高精度接触式测头进行数据的快速采样；

3)测量机运动导轨采用高精度石墨气体静压轴承方式，轴承均采用优质石墨材料，提高了气体静压轴承的特性，降低了加工难度，实现高精度的平稳运动，精度保持性好；

4)测量机转台具有高精度的调心调平功能，操作简易，调节精度高，稳定性好。

【附图说明】

图1为本发明超精密大口径非球面形状测量机的主视图；

图2为图1所示超精密大口径非球面形状测量机的侧视图；

图3为本发明的调心调平装置的结构示意图；

图4为图3中A部的局部放大图；

图5为本发明的半球定心平面支承转台结构示意图；

图6为本发明的椭圆弧龙门架的俯视图；

图7为本发明的椭圆弧龙门架的主视图。

【具体实施方式】

下面结合附图对本发明做进一步详细描述：

请参阅图1及图2所示，本发明一种超精密大口径非球面形状测量机，包括天然花岗岩床身1、辅气体静压导轨2、质量平衡块3、椭圆弧龙门架4、钢带滚轮5、钢带6、花岗岩导柱7、V型气浮轴承块8、长度计9、定位芯轴10、转台面11、万向调平板12、转台下静压盘13、主气体静压导轨14、转台芯轴15、皮带轮16、减速器17、伺服电机18、X轴直线电机19和Z轴直线电机20。

本发明超精密大口径非球面形状测量机的X轴部件主要由辅气体静压导轨2、椭圆弧龙门架4、主气体静压导轨14和X轴直线电机19构成。辅气体静压导轨2和主气体静压导轨14的截面呈L形，安装于天然花岗岩床身1两侧；椭圆弧龙门架4的两个末端，一端固定在辅气体静压导轨2上，另一端固定在主气体静压导轨14；辅气体静压导轨2和主气体静压导轨14上设有进气接口，X轴部件运动时，通过进气接口给辅气体静压导轨2和主气体静压导轨14充气，使辅气体静压导轨2、主气体静压导轨14和天然花岗岩床身1的顶面和侧面之间均形成气膜。主气体静压导轨14由X轴直线电机19带动，带动椭圆弧龙门架4沿天然花岗岩床身1导轨面运动。主、辅气体静压导轨14和2的轴承材料均采用多孔质石墨，其气孔均匀，可以形成厚度均匀的气膜，运动性能平稳。超精密气体静压的气膜厚度为4～5μm，保证气膜的刚度以及导轨的稳定性。X轴驱动单元采用U型X轴直线电机19，闭环测量元件采用高精度光栅线位移传感器，分辨率达0.1μm。

本发明超精密大口径非球面形状测量机Z轴部件主要由质量平衡块3、钢带滚轮5、钢带6、花岗岩导柱7、V型气浮轴承块8、长度计9和Z轴直线电机20构成。两个V型气浮轴承块8通过四个螺栓连接在椭圆弧龙门架4上，可以进行水平方向的微小调节，用于调节Z轴的垂直度。八棱面花岗岩导柱7与对称连接的双V型气浮轴承块8组成气体静压导轨副，实现Z轴的上下运动；角形花岗岩导柱7抗扭转稳定性好。Z轴驱动单元采用U型Z轴直线电机20，电机20的次级线圈与椭圆弧龙门架4固定连接，初级线圈与花岗岩导柱7连接，在花岗岩导柱7上贴有高精度直线光栅尺，实现Z轴的高精度位移测量，通过测量反馈，最终实现Z轴高精度进给运动。Z轴测头长度计9固定在花岗岩导柱7的内腔，其直线位移分辨率为0.1μm，与Z轴系统配合，综合测量精度为±0.5μm。由于Z轴是竖直安装，采用质量平衡块3来平衡Z轴部件的运动重量，可以减小Z轴直线电机20的负载，提高进给系统的精度。质量平衡块3通过钢带6连接，钢带6的另一端固定在花岗岩导柱7的端部，并绕两个钢带滚轮5运动，最终实现Z轴部件的高精度平稳运动。

本发明超精密大口径非球面形状测量机的天然花岗岩床身1通过三点支承方式安装，X轴部件由主气体静压导轨14和辅气体静压导轨2支承在天然花岗岩床身1上，Z轴部件通过四个可调节螺栓连接在X轴部件的椭圆弧龙门架4上，可以实现在水平方向的微小调节。调心调平转台部件的转台下静压盘13与天然花岗岩床身1之间通过气体静压轴承支承，实现高精度的回转精度。

本发明超精密大口径非球面形状测量机的调心调平转台的主要特点是承载能力大(零件质量260Kg)、转台精度高、可以实现高精度的转台调心和调平功能。调心调平转台主要由定位芯轴10、转台面11、万向调平板12、转台下静压盘13、转台芯轴15、皮带轮16、减速器17和伺服电机18等构成。转台下静压盘13与天然花岗岩床身1之间通过气体静压轴承支承，实现高精度的回转精度。调心时，定位芯轴10固定在转台的中心孔处，定位芯轴10顶端设有调心孔，用于辅助调节转台中心与长度计9测头的同心，在测量时卸掉定位芯轴10。转台的调心调平功能主要由定位芯轴10、转台面11、万向调平板12、转台下静压盘13实现，能够对用于大口径零件的测量转台(直径900mm)进行精密调心调平，并具有调心调平自锁功能，突破了传统的大口径、重载型转台调心调平功能，能够实现转台三维可倾二维可调的功能，提高了测量精度。转台部件的驱动单元采用伺服电机18、减速器17和皮带轮16的组合方式，带动转台芯轴15旋转，从而带动整个转台实现低速平稳运动。对转台配置高精度圆光栅，进行角度测量反馈，可以实现转台的高精度分度功能。调心调平转台部件是超精密大口径非球面形状测量机的核心部件，具有低速平稳、回转精度高、承载能力大的特点。

请参阅图3及图4所示，本发明的调心调平装置，包括转台下静压盘13，调平定位盘22，调心顶丝23，转台台面11，调平螺杆25，调平滑轮26，调平滑轮轴27，调平支座28，定位芯轴10，万向调平板12。

四个调平支座28安装在转台下静压盘13上的四个凹槽中，可沿着转台下静压盘13上的凹槽移动。调平滑轮轴27将调平滑轮26连接到调平支座28上，调平支座28与调平螺杆25螺纹连接，调平螺杆25安装在转台下静压盘13，调平螺杆25可以旋转，并通过调平定位盘22进行调平定位，调平定位盘22通过螺钉固定在转台下静压盘13上。调平螺杆25的头部截面呈梯形，调平定位盘22压住调平螺杆25的头部，然后通过螺栓紧固于下静压盘13上，对调平螺杆25的轴向进行限制，使调平螺杆25只能转动，而不能轴向移动。

万向调平板12的底部外周为球面101，其安装在转台下静压盘13的凹球面110上；万向调平板12的底部中心处设有锥形斜面102；调平滑轮26可以在万向调平板12的锥形斜面102上进行滑动，通过调节四个调平滑轮26，可以使万向调平板12三维倾斜。转台台面11的下安装面直接安装在万向调平板12上，万向调平板12的凸球面上部设有圆周面103，四个间隔90度设置的调心顶丝23通过螺纹与调节转台台面11连接；调心顶丝23顶住万向调平板12的圆周面103，通过调节四个调心顶丝23，可以使转台台面11产生二维移动，实现转台的调心功能。定位芯轴10与转台台面11的中心孔配合，并通过螺钉固定；定位芯轴10的顶部设有用于调心的定位孔。

万向调平板12要承载转台和零件的全部质量，在结构上设计为凸球面101，与转台下静压盘13的凹球面110配合，起主要支承作用。为增大接触面积，在装配时，将万向调平板12的凸球面101和转台下静压盘13的凹球面110进行配研，得到良好的接触面积和面形精度。为实现转台的调平功能，万向调平板12的下端面设计为斜面结构，通过斜面与调平滑轮26的相对运动，实现万向调平板12的倾斜运动。

转台下静压盘13是整个调心调平装置的承载部件，其上端面设计有凹球面110，与万向调平板12的凸球面101配合，承受主要质量。在转台下静压盘13上，设有4个互相垂直的凹槽，可以保证调平支座28沿着一定的方向(凹槽方向)进行移动，提高了调平的精度；四个凹槽间隔90度设置。

调平装置由调平定位盘22，调平螺杆25，调平滑轮26，调平滑轮轴27和调平支座28组成。调平装置共有四个，均匀分布，相邻间隔90°，调平装置安装在转台下静压盘13上，可沿着转台下静压盘13上的槽移动。通过旋转调节螺杆25，由于调平定位盘22在调节螺杆25轴线方向将其定位，无法移动，从而使调平支座28带着调平滑轮26和调平滑轮轴27沿着槽移动。万向调平板12的凸球面101与转台下静压盘13的凹球面110配合，当调平滑轮26在万向调平板12的斜面上进行前后滑动，通过调节一个调平支座28，其余三个调平支座28静止，万向调平板12可以倾斜运动，实现转台部件的调平功能。

调心装置由调心顶丝23，转台台面11和定位芯轴10组成。转台台面11的下安装面直接安装在万向调平板12上，四个调心顶丝23通过螺纹与转台台面11连接，定位芯轴10与转台台面11的中心孔配合，并通过螺钉固定，可以得到转台台面11的中心位置。通过调节四个调心顶丝23，可以使转台台面11产生二维移动，当定位芯轴10端部的中心孔与测头的中心轴线重合时，实现转台的调心功能。

请参阅图5所示，本发明的半球定心平面支承转台结构，包括天然花岗岩床身1、平面支承石墨块32、转台下静压盘13、半球座34、半球形石墨瓦35、转台芯轴15和半球轴37。

半球定心结构由半球座34、半球轴37、转台芯轴15和半球形石墨瓦35组成。天然花岗岩床身1中心设有一个梯形安装孔，半球座34通过螺钉固定在天然花岗岩床身1的梯形安装孔中，半球形石墨瓦35通过环氧树脂胶粘结在半球座34上。半球轴37中心设有一通孔，转台芯轴15安装于该通孔中，半球轴37和转台芯轴15通过螺钉固定到转台下静压盘13上。伺服电机18通过减速器17和皮带轮16与转台芯轴15连接，带动转台芯轴15转动，从而驱动转台下静压盘13一起转动。半球轴37与半球形石墨瓦35进行配研，得到均匀的配合间隙，将压力气体通入半球形石墨瓦35中，使半球形石墨瓦35与半球轴37之间形成3～5μm气膜，起到定心的作用。

平面支承结构由天然花岗岩床身1、转台下静压盘13和平面支承石墨块32组成，12块平面支承石墨块32通过环氧树脂粘在转台下静压盘13的环形槽内，均匀分布转台下静压盘13一周，与天然花岗岩床身1形成气体静压轴承副。压缩气体通过转台芯轴15的气孔与转台下静压盘13的轴向气孔相通，将气体送入转台下静压盘13的水平气孔中，再与环槽中心的垂直气孔相同，气体进入环槽以后通过平面支承石墨块32上的气槽进行分配后从石墨的微小气孔中流出。平面支承石墨块32与天然花岗岩床身1结合面之间形成一层3～5μm气膜，实现气体静压转台的平面支承作用。

本发明用于大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，其承载力、刚度和精度都与半球轴和平面气体静压轴承的设计和气膜厚度有关，通过调节气体压力和配研气膜间隙，可以得到所要求的承载力、刚度和精度。该发明通过结合具有半球定心和平面支承的转台结构与气体静压轴承支承技术，在装配过程中采用配研技术，最终实现测量机转台的高精度、高刚度和大承载能力的功能。

本发明转台结构采用小尺寸的半球轴进行定心，大尺寸的平面导轨做为承载平面，并采用气体静压轴承作为半球轴和平面的支承轴承。转台半球轴只起定心的作用，承受载荷小，保证了半球轴对转台的定心精度；大尺寸平面轴承可以承受转台和大尺寸零件的重量，从而保证转台的精度以及承载能力，最终实现超精密测量机高精度和高刚度的测量。

请参阅图6和图7所示，本发明的椭圆弧龙门架4，包括椭圆弧龙门焊接架底板41、43，加强筋板47、49、412、414，主体结构前板42，外形焊接加强板44、45、415、416，主体结构后板46，连接板410、411，外形防护板48、413。

主体结构前板42和主体结构后板46对应的两端，分别通过底板41、底板43焊接在一起；主体结构前板42和主体结构后板46中间对称焊接有加强筋板47、49、412、414；主体结构前板42和主体结构后板46对应的两端，还分别焊接有外形焊接加强板44、45和外形焊接加强板415、416；主体结构前板42和主体结构后板46的上侧和下侧分别通过螺钉固定有外形防护板48、413。加强筋板49、412、主体结构前板42和主体结构后板46之间形成一个安装测量机的方孔，该方孔中设有焊接于后板46上用于固定测量机的连接板410、411。主体结构前板42和主体结构后板46的下边沿包括半椭圆弧段和与该半椭圆弧长轴顶点相切的两个直线段，该两个直线段处分别焊接加强板415、416。

本发明一种用于大口径零件测量机的焊接椭圆弧龙门结构，可用于大口径零件(零件直径小于Φ900mm)的形状精度的测量。其结构通过椭圆弧龙门焊接架底板41、43与测量机的直线运动导轨相连，带动龙门结构移动。测量机的垂直轴安装在该焊接椭圆弧龙门结构的连接板410、411上，并可以实现水平方向的微小调节。

焊接底板41、43板厚10mm，材料采用45钢，对其平面度要求达到5μm，焊接完成经过一定时间时效后要对其底面进行打磨，以保证接触面的面形精度。

加强筋板47、49、412、414板厚10mm，材料采用45钢，钣金中间有空心圆，一方面减轻质量，另一方面便于在钣金中间布置测量机电气线路等。加强筋板采用焊接工艺将其与椭圆弧龙门的主体结构焊接为一体，其主要作用是加强椭圆弧龙门的强度和刚性，以提高椭圆弧龙门结构的精度保持性和稳定性。

主体结构前板42和主体结构后板46是椭圆弧龙门结构的主体，龙门结构的强度和刚度主要由这两个板的材料、尺寸、焊接工艺等来保证。前板42和后板46板厚10mm，材料采用45钢，焊接完之后进行时效处理。由于测量垂直轴安装在椭圆弧龙门结构上，对龙门结构的整体性能要求很高，就需要较高的尺寸精度和焊接工艺来保证主体结构的强度和刚度。

外形焊接加强板44、45、415、416将主体结构的前板42和主体结构的后板46通过焊接工艺连接在一起，起到支承固定的作用。对外形焊接加强板44、45、415、416在完成切割成形以后要对其进行热处理。

连接板410、411焊接在主体结构后板46上，用于安装固定垂直轴。两个板(410、411)在垂直方向的平面度为5μm，要保证两个板与垂直轴的接触面在同一平面上，即可保证垂直轴与工作台面的垂直度。

外形防护板48、413在整个椭圆龙门结构中起到防护作用，保护椭圆龙门结构内部的结构以及管路、电气线路。外形防护板48、413通过小螺钉固定于椭圆弧龙门的主体结构上。

本发明的焊接椭圆弧龙门结构，通过其半椭圆弧结构，很好地减小了圆弧切入点处的应力集中，提高了龙门结构的稳定性。与相同跨度的花岗岩立柱龙门结构、半圆形结构相比，椭圆弧龙门结构具有占用空间小，质量轻等优点，更适合于高精度测量机的龙门结构。由于椭圆弧龙门结构受力较为均匀，龙门架的具有更长的使用寿命与精度保持性。椭圆弧龙门结构采用焊接技术，使得焊接件的设计更加灵活，可以根据不同的需要焊接成较为复杂的结构，同时还满足人机工程学的要求。

本发明的焊接椭圆弧龙门结构，立柱和横梁设计成一体，减少误差的传递，有利于提高测量机的测量精度。该龙门结构具有受力均匀，应力集中小，强度和刚度高，结构稳定性好，运动质量轻，惯量小以及电机低能耗的特点，具有较好的精度保持性。

本发明的焊接椭圆弧龙门结构，其创新点在于采用焊接龙门结构代替传统的铸铁或者花岗岩立柱和横梁，与此同时在传统焊接结构的基础上采用适合测量机结构的椭圆弧龙门结构，半个椭圆弧形状与半圆弧形状相比更为适合于测量机结构，且在椭圆弧切入点不存在应力集中，很好的保证了龙门结构的寿命和精度。对传统测量机的外观也是一个很好的创新，将测量机的功能与人机工程学很好的结合在一起，使测量机在实现功能的同时满足人的视觉效果与操作的合理性。

测量机采用焊接椭圆弧龙门结构，根据测量机的尺寸确定椭圆的长轴与短轴，形成半椭圆弧，将钢板用激光切割机完成成形切割，通过焊接工艺将龙门架的主体组成件以及必要的加强筋焊接成形；经过时效处理，释放焊接应力，再对龙门架进行修整，达到测量机所需要的精度，完成龙门架的加工工艺。

本发明实现了大口径非球面元件的专业化检测设备，同时对大口径光学元件的检测设备的进一步开发研究起到了巨大的推动和促进作用。

Claims (6)

1.一种超精密大口径非球面形状测量机，其特征在于，包括天然花岗岩床身（1）、X轴部件、Z轴部件和调心调平装置；

X轴部件包括辅气体静压导轨（2）、椭圆弧龙门架（4）、主气体静压导轨（14）和X轴直线电机（19）；辅气体静压导轨（2）和主气体静压导轨（14）安装于天然花岗岩床身（1）两侧；椭圆弧龙门架（4）的两个末端，一端固定在辅气体静压导轨（2）上，另一端固定在主气体静压导轨（14）；

辅气体静压导轨（2）和主气体静压导轨（14）上设有进气接口，X轴部件运动时，通过进气接口给辅气体静压导轨（2）和主气体静压导轨（14）充气，使辅气体静压导轨（2）、主气体静压导轨（14）和天然花岗岩床身（1）的顶面和侧面之间均形成气膜；

Z轴部件包括八棱面花岗岩导柱（7）、V型气浮轴承块（8）、长度计（9）和Z轴直线电机（20）；两个V型气浮轴承块（8）通过螺栓连接在椭圆弧龙门架（4）上，用于调节Z轴的垂直度；八棱面花岗岩导柱（7）与对称连接的双V型气浮轴承块（8）组成气体静压导轨副，实现Z轴的上下运动；Z轴直线电机（20）的次级线圈与椭圆弧龙门架（4）固定连接，初级线圈与花岗岩导柱（7）连接；长度计（9）固定在花岗岩导柱（7）的内腔；

调心调平装置包括转台面（11）、万向调平板（12）、转台下静压盘（13）和驱动转台下静压盘（13）转动的驱动单元；转台下静压盘（13）与天然花岗岩床身（1）之间通过气体静压轴承支承；

调心调平装置还包括若干调平装置和调心装置；

转台下静压盘（13）顶部设有凹球面（110）和若干对称排布的凹槽；

万向调平板（12）的下部设有凸球面（101）和锥形斜面（102）；万向调平板（12）安装于转台下静压盘（13）顶部，万向调平板（12）的凸球面（101）与转台下静压盘（13）的凹球面（110）相配合；

调平装置包括调平定位盘（22）、调平螺杆（25）、调平滑轮（26）、调平滑轮轴（27）和调平支座（28）；调平支座（28）安装在转台下静压盘（13）上对应的凹槽中，可沿着转台下静压盘（13）的凹槽移动；调平滑轮轴（27）将调平滑轮（26）连接到调平支座（28）上；调平螺杆（25）与调平支座（28）螺纹配合；

调心装置包括若干调心顶丝（23）和转台面（11）；转台面（11）的下安装面直接安装在万向调平板（12）上；转台面（11）的侧面对称设置有若干螺纹通孔，若干调心顶丝（23）设置于对应的螺纹通孔中并与转台面（11）螺纹连接；

天然花岗岩床身（1）中心设有一个安装孔，半球座（34）固定于该安装孔中；半球形石墨瓦（35）固定在半球座（34）上；转台芯轴（15）安装于半球轴（37）中心并连同半球轴（37）固定在转台下静压盘（13）上；半球轴（37）的凸球面与半球形石墨瓦（35）的凹球面相配合；

转台下静压盘（13）的底面开设有环形槽，该环形槽内均匀固定有若干块平面支承石墨块（32）；平面支承石墨块（32）与天然花岗岩床身（1）形成气体静压轴承副；

所述精密大口径非球面形状测量机还包括第一气路和第二气路；

第一气路连通半球形石墨瓦（35），压力气体通入半球形石墨瓦（35）中，在半球形石墨瓦（35）与半球轴（37）之间形成气膜；

第二气路连通所述若干平面支承石墨块（32），压力气体通入平面支承石墨块（32）中，在平面支承石墨块（32）与天然花岗岩床身（1）之间形成气膜。

2.根据权利要求1所述的一种超精密大口径非球面形状测量机，其特征在于，主气体静压导轨（14）由X轴直线电机（19）带动，带动椭圆弧龙门架（4）沿天然花岗岩床身（1）导轨面运动。

3.根据权利要求1所述的一种超精密大口径非球面形状测量机，其特征在于，调平螺杆（25）的头部截面呈梯形，调平定位盘（22）压住调平螺杆（25）的头部，然后通过螺栓紧固于下静压盘（13）上，使调平螺杆（25）只能转动，而不能轴向移动；万向调平板（12）的侧周设有圆周面（103），若干调心顶丝（23）的尖端穿过对应的螺纹通孔抵持所述圆周面（103）。

4.根据权利要求1所述的一种超精密大口径非球面形状测量机，其特征在于，椭圆弧龙门架（4）包括前板（42）和后板（46）；前板（42）和后板（46）之间通过若干块对称排布的加强筋板焊接固定在一起；前板（42）和后板（46）的下侧边沿包括半椭圆弧段。

5.根据权利要求1所述的一种超精密大口径非球面形状测量机，其特征在于，驱动单元包括皮带轮（16）、减速器（17）和伺服电机（18）；伺服电机（18）通过减速器（17）和皮带轮（16）连接。

6.根据权利要求1所述的一种超精密大口径非球面形状测量机，其特征在于，所述气膜的厚度为3～5μm。

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