JP2776427B2 - 座標測定機 - Google Patents
座標測定機Info
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- JP2776427B2 JP2776427B2 JP12210192A JP12210192A JP2776427B2 JP 2776427 B2 JP2776427 B2 JP 2776427B2 JP 12210192 A JP12210192 A JP 12210192A JP 12210192 A JP12210192 A JP 12210192A JP 2776427 B2 JP2776427 B2 JP 2776427B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- air pad
- measuring machine
- leg
- coordinate measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は座標測定機に係り、特に
X、Y、Z軸の3軸方向にプローブを移動して被測定物
の形状を測定する座標測定機に関する。
X、Y、Z軸の3軸方向にプローブを移動して被測定物
の形状を測定する座標測定機に関する。
【0002】
【従来の技術】3次元座標測定機はX、Y、Z軸の3軸
方向にプローブを移動して被測定物の形状を測定する。
図5及び図6に示すように、3次元座標測定機はYキャ
リッジ10を備えていて、Yキャリッジ10はガイド1
2に沿ってY軸方向に移動する。すなわち、ガイド12
は定盤14の表面や側面にボルト16、16…を介して
取り付けられていて、ガイド12の両側部にはYキャリ
ッジ10の一方の脚部10Aのエアパッド18、18が
摺動自在に支持されている。この場合、定盤14にはボ
ルト16、16…が螺合するねじ穴14A、14A…が
加工されている。
方向にプローブを移動して被測定物の形状を測定する。
図5及び図6に示すように、3次元座標測定機はYキャ
リッジ10を備えていて、Yキャリッジ10はガイド1
2に沿ってY軸方向に移動する。すなわち、ガイド12
は定盤14の表面や側面にボルト16、16…を介して
取り付けられていて、ガイド12の両側部にはYキャリ
ッジ10の一方の脚部10Aのエアパッド18、18が
摺動自在に支持されている。この場合、定盤14にはボ
ルト16、16…が螺合するねじ穴14A、14A…が
加工されている。
【0003】また、Yキャリッジ10の他方の脚部10
Bにはエアパッド20が設けられていて、他方の脚部1
0Bはエアパッド20を介して定盤14の表面に沿って
移動する。これにより、Yキャリッジ10はガイド12
に沿ってY軸方向に移動する。前記従来例において、Y
キャリッジ10はガイド12に沿って移動するように構
成されていたが、図7及び図8に示すように、定盤14
の溝22に沿ってYキャリッジ10を移動する3次元座
標測定機も一般に知られている。尚、図5及び図6と同
一類似部材については同一符号を付与して説明を省略す
る。
Bにはエアパッド20が設けられていて、他方の脚部1
0Bはエアパッド20を介して定盤14の表面に沿って
移動する。これにより、Yキャリッジ10はガイド12
に沿ってY軸方向に移動する。前記従来例において、Y
キャリッジ10はガイド12に沿って移動するように構
成されていたが、図7及び図8に示すように、定盤14
の溝22に沿ってYキャリッジ10を移動する3次元座
標測定機も一般に知られている。尚、図5及び図6と同
一類似部材については同一符号を付与して説明を省略す
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、定盤1
4は御影石で形成されているので、ねじ穴14A、14
A…や溝22の加工費が高くなり製品のコスト低減を図
ることができないという問題がある。また、ガイド12
をボルト16、16…を介して取り付けた場合、ボルト
16、16…の緩み等により精度が悪化するという問題
があり、定盤14に溝22を加工した場合、定盤14が
強度不足になるという問題がある。
4は御影石で形成されているので、ねじ穴14A、14
A…や溝22の加工費が高くなり製品のコスト低減を図
ることができないという問題がある。また、ガイド12
をボルト16、16…を介して取り付けた場合、ボルト
16、16…の緩み等により精度が悪化するという問題
があり、定盤14に溝22を加工した場合、定盤14が
強度不足になるという問題がある。
【0005】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、コスト低減を図ることができ、さらに、精度の
悪化や定盤の強度不足を防止することができる座標測定
機を提供することを目的とする。
もので、コスト低減を図ることができ、さらに、精度の
悪化や定盤の強度不足を防止することができる座標測定
機を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、測定テーブルの両端部に立脚された一対の
コラムを備えたYキャリッジを前記測定テーブルの表面
に沿ってY軸方向に移動する座標測定機において、前記
測定テーブルの一方と他方の側面に配設されると共に前
記測定テーブルの下方に配設されたアーム部材で連結さ
れた一対の脚部を備え、該一対の脚部の一方がYキャリ
ッジの一方のコラムに設けられた支持部材と、該支持部
材の一方の脚部に設けられ、前記測定テーブルの一方の
側面に沿って移動自在に支持された基準エアパッド部材
と、前記支持部材の他方の脚部に移動自在に設けられた
反力用エアパッド部材と、前記支持部材の熱変形を吸収
して前記反力用エアパッド部材を前記測定テーブルの他
方の側面に一定の付勢力で付勢するばね部材と、前記Y
キャリッジの他方のコラムと前記支持部材の他方の脚部
とを連結すると共に、前記支持部材の熱変形を吸収する
連結部材と、を備えたことを特徴とする。
成する為に、測定テーブルの両端部に立脚された一対の
コラムを備えたYキャリッジを前記測定テーブルの表面
に沿ってY軸方向に移動する座標測定機において、前記
測定テーブルの一方と他方の側面に配設されると共に前
記測定テーブルの下方に配設されたアーム部材で連結さ
れた一対の脚部を備え、該一対の脚部の一方がYキャリ
ッジの一方のコラムに設けられた支持部材と、該支持部
材の一方の脚部に設けられ、前記測定テーブルの一方の
側面に沿って移動自在に支持された基準エアパッド部材
と、前記支持部材の他方の脚部に移動自在に設けられた
反力用エアパッド部材と、前記支持部材の熱変形を吸収
して前記反力用エアパッド部材を前記測定テーブルの他
方の側面に一定の付勢力で付勢するばね部材と、前記Y
キャリッジの他方のコラムと前記支持部材の他方の脚部
とを連結すると共に、前記支持部材の熱変形を吸収する
連結部材と、を備えたことを特徴とする。
【0007】
【作用】本発明によれば、支持部材の一対の脚部を測定
テーブルの一方と他方の側面に配設すると共に測定テー
ブルの下方に配設されたアーム部材で連結して、一方の
脚部をYキャリッジの一方のコラムに設けた。支持部材
の一方の脚部に基準エアパッド部材を設けて、基準エア
パッド部材を測定テーブルの一方の側面に沿って移動自
在に支持した。
テーブルの一方と他方の側面に配設すると共に測定テー
ブルの下方に配設されたアーム部材で連結して、一方の
脚部をYキャリッジの一方のコラムに設けた。支持部材
の一方の脚部に基準エアパッド部材を設けて、基準エア
パッド部材を測定テーブルの一方の側面に沿って移動自
在に支持した。
【0008】また、支持部材の他方の脚部に反力用エア
パッド部材を移動自在に設けて、ばね部材で支持部材の
熱変形を吸収して反力用エアパッド部材を測定テーブル
の他方の側面に一定の付勢力で付勢する。更に、連結部
材がYキャリッジの他方のコラムと支持部材の他方の脚
部とを連結すると共に支持部材の熱変形を吸収する。従
って、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパッド部材
の測定テーブルに対する反力を一定に維持すると共に、
支持部材に連結されているYキャリッジの他方のコラム
に支持部材の熱変形の影響を与えないようにすることが
できる。
パッド部材を移動自在に設けて、ばね部材で支持部材の
熱変形を吸収して反力用エアパッド部材を測定テーブル
の他方の側面に一定の付勢力で付勢する。更に、連結部
材がYキャリッジの他方のコラムと支持部材の他方の脚
部とを連結すると共に支持部材の熱変形を吸収する。従
って、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパッド部材
の測定テーブルに対する反力を一定に維持すると共に、
支持部材に連結されているYキャリッジの他方のコラム
に支持部材の熱変形の影響を与えないようにすることが
できる。
【0009】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る座標測定
機について詳説する。図1には本発明に係る座標測定機
50の要部拡大が示され、図2にはそのA−A矢視図が
示されている。座標測定機50はYキャリッジ52及び
支持部材54等を備えていて、Yキャリッジ52は右側
Yコラム52A及び左側Yコラム52Bを有している。
支持部材54は右側脚部54Aと左側脚部54Cを有し
ていて、右左の脚部54A、54Cの下端部はそれぞれ
アーム54Bで連結されている。アーム54Bは定盤6
4の底面に沿って延長されていて、右左の脚部54A、
54Cはそれぞれ定盤64の右左の側面に沿って立設さ
れている。
機について詳説する。図1には本発明に係る座標測定機
50の要部拡大が示され、図2にはそのA−A矢視図が
示されている。座標測定機50はYキャリッジ52及び
支持部材54等を備えていて、Yキャリッジ52は右側
Yコラム52A及び左側Yコラム52Bを有している。
支持部材54は右側脚部54Aと左側脚部54Cを有し
ていて、右左の脚部54A、54Cの下端部はそれぞれ
アーム54Bで連結されている。アーム54Bは定盤6
4の底面に沿って延長されていて、右左の脚部54A、
54Cはそれぞれ定盤64の右左の側面に沿って立設さ
れている。
【0010】右側Yコラム52Aの下端部には右側脚部
54Aの上端部が固定されていて、右側脚部54Aの上
端部にはボルト56Aが螺合されている。ボルト56A
の先端部にはボール58が溶着されている。図3に示す
ように、ボール58Aは溝60A内に回動自在に嵌入さ
れていて、溝60Aは垂直方向エアパッド60の背面に
形成されている。垂直方向エアパッド60の摺動面60
Aは定盤64の右端部表面に沿って移動自在に支持され
ている。
54Aの上端部が固定されていて、右側脚部54Aの上
端部にはボルト56Aが螺合されている。ボルト56A
の先端部にはボール58が溶着されている。図3に示す
ように、ボール58Aは溝60A内に回動自在に嵌入さ
れていて、溝60Aは垂直方向エアパッド60の背面に
形成されている。垂直方向エアパッド60の摺動面60
Aは定盤64の右端部表面に沿って移動自在に支持され
ている。
【0011】また、右側脚部54Aの略中央部にはボル
ト56Bが螺合されていてボルト56Bの先端部にはボ
ール58Bが固着されている。ボール58Bは基準エア
パッド66の背面に形成されている溝66A内に回動自
在に嵌入されていて、基準エアパッド66の摺動面66
Bは定盤64の右側面に沿って移動自在に支持されてい
る。
ト56Bが螺合されていてボルト56Bの先端部にはボ
ール58Bが固着されている。ボール58Bは基準エア
パッド66の背面に形成されている溝66A内に回動自
在に嵌入されていて、基準エアパッド66の摺動面66
Bは定盤64の右側面に沿って移動自在に支持されてい
る。
【0012】さらに、図4に示すように左側脚部54C
にはシャフト68が摺動自在に支持されていて、シャフ
ト68の先端部にはフランジ68Aが形成されている。
左側脚部54Cとフランジ68Aとの間のシャフト68
には皿ばね69が配設されていて、皿ばね69はフラン
ジ68Aを右方向に付勢している。フランジ68Aには
ボール58Dが固着されていて、ボール58Dは反力用
エアパッド70の背面に形成されている溝70A内に回
動自在に嵌入されている。反力用エアパッド70の摺動
面の70Bは定盤64の左側面に沿って移動自在に支持
されている。
にはシャフト68が摺動自在に支持されていて、シャフ
ト68の先端部にはフランジ68Aが形成されている。
左側脚部54Cとフランジ68Aとの間のシャフト68
には皿ばね69が配設されていて、皿ばね69はフラン
ジ68Aを右方向に付勢している。フランジ68Aには
ボール58Dが固着されていて、ボール58Dは反力用
エアパッド70の背面に形成されている溝70A内に回
動自在に嵌入されている。反力用エアパッド70の摺動
面の70Bは定盤64の左側面に沿って移動自在に支持
されている。
【0013】このように、反力用エアパッド70が定盤
64の左側面に設けられたので、定盤64の左側面に設
けられている基準エアパッド66に反力が付与される。
また、反力用エアパッド70を皿ばね69で定盤64の
左側面方向に付勢したので、皿ばね69はアーム54B
等の支持部材54の熱変形を吸収する。従って、基準エ
アパッド66に付与される反力を略一定に保つことがで
きる。この場合、皿ばね69のばね定数は基準エアパッ
ド66のばね定数より小さく設定されている。
64の左側面に設けられたので、定盤64の左側面に設
けられている基準エアパッド66に反力が付与される。
また、反力用エアパッド70を皿ばね69で定盤64の
左側面方向に付勢したので、皿ばね69はアーム54B
等の支持部材54の熱変形を吸収する。従って、基準エ
アパッド66に付与される反力を略一定に保つことがで
きる。この場合、皿ばね69のばね定数は基準エアパッ
ド66のばね定数より小さく設定されている。
【0014】左側Yコラム52Bの下端部にはボルト5
6Cが螺合されていてボルト56Cの先端部にはボール
58Cが固着されている。ボール58Cは垂直方向エア
パッド74の背面に形成されている溝74A内に回動自
在に嵌入されていて、垂直方向エアパッド74の摺動面
74Bは定盤64の左端部に沿って移動自在に支持され
ている。
6Cが螺合されていてボルト56Cの先端部にはボール
58Cが固着されている。ボール58Cは垂直方向エア
パッド74の背面に形成されている溝74A内に回動自
在に嵌入されていて、垂直方向エアパッド74の摺動面
74Bは定盤64の左端部に沿って移動自在に支持され
ている。
【0015】また、左側Yコラム52Bの下端部には板
ばね76の上端部が取り付けられていて、板ばね76の
下端部は左側脚部54Cに連結されている。従って、左
側脚部54Cは板ばね76を介して左側Yコラム52B
に吊られた状態に保持される。これにより、アーム54
B等の支持部材54の熱変形は板ばね76で吸収される
ので、支持部材54の熱変形は左側Yコラム52Bに影
響を与えない。従って、例えば、支持部材54のアーム
54Bが熱変形しても左側Yコラム52Bには熱変形に
よる反力が発生しない。
ばね76の上端部が取り付けられていて、板ばね76の
下端部は左側脚部54Cに連結されている。従って、左
側脚部54Cは板ばね76を介して左側Yコラム52B
に吊られた状態に保持される。これにより、アーム54
B等の支持部材54の熱変形は板ばね76で吸収される
ので、支持部材54の熱変形は左側Yコラム52Bに影
響を与えない。従って、例えば、支持部材54のアーム
54Bが熱変形しても左側Yコラム52Bには熱変形に
よる反力が発生しない。
【0016】さらに、右側脚部54Aには読取りヘッド
78が設けられていて、読取りヘッド78はY軸スケー
ル80を読み取り、これにより、Yキャリッジ52のY
軸方向の移動量が検出される。Y軸スケール80は読取
りヘッド78に対向して定盤64に設けられている。
尚、定盤64はボルト82、82…を介して架台84に
載置されている。
78が設けられていて、読取りヘッド78はY軸スケー
ル80を読み取り、これにより、Yキャリッジ52のY
軸方向の移動量が検出される。Y軸スケール80は読取
りヘッド78に対向して定盤64に設けられている。
尚、定盤64はボルト82、82…を介して架台84に
載置されている。
【0017】このように構成された本発明に係る座標測
定機の作用について説明する。先ず、ボルト56A、5
6B、56Cを調整して、エアパッド60、66、74
を適正位置に位置決めする。すなわち、エアパッド6
0、66、74のそれぞれの摺動面60B、66B、7
4Bと定盤64の対向面間の距離を適正に設定する。こ
の場合、反力用エアパッド70は定盤64の左側面に設
けられると共に、皿ばね69で定盤64の左側面方向に
付勢されているので、定盤64の左側面に設けられてい
る基準エアパッド66に反力が付与される。
定機の作用について説明する。先ず、ボルト56A、5
6B、56Cを調整して、エアパッド60、66、74
を適正位置に位置決めする。すなわち、エアパッド6
0、66、74のそれぞれの摺動面60B、66B、7
4Bと定盤64の対向面間の距離を適正に設定する。こ
の場合、反力用エアパッド70は定盤64の左側面に設
けられると共に、皿ばね69で定盤64の左側面方向に
付勢されているので、定盤64の左側面に設けられてい
る基準エアパッド66に反力が付与される。
【0018】これにより、Yキャリッジ52はX軸方
向、Z軸方向への移動が拘束されてY軸方向のみに移動
する。前記実施例では板ばね76で左側Yコラム52B
と左側脚部54Cを連結したが、これに限らず、ワイヤ
等の他の連結部材を使用してもよい。
向、Z軸方向への移動が拘束されてY軸方向のみに移動
する。前記実施例では板ばね76で左側Yコラム52B
と左側脚部54Cを連結したが、これに限らず、ワイヤ
等の他の連結部材を使用してもよい。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る座標測
定機によれば、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパ
ッド部材の測定テーブルに対する反力を一定に維持する
と共に、支持部材に連結されているYキャリッジの他方
のコラムに支持部材の熱変形の影響を与えないようにす
ることができる。
定機によれば、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパ
ッド部材の測定テーブルに対する反力を一定に維持する
と共に、支持部材に連結されているYキャリッジの他方
のコラムに支持部材の熱変形の影響を与えないようにす
ることができる。
【0020】従って、測定テーブルに直接ガイド部材を
取り付けたり、測定テーブルに直接ガイド用の溝を加工
する必要がないので、コスト低減を図ることができ、さ
らに、精度の悪化や定盤の強度不足を防止することがで
きる。また、Yキャリッジの一対のコラムが支持部材に
連結されているので、一対のコラムのねじれを防止する
ことができる。
取り付けたり、測定テーブルに直接ガイド用の溝を加工
する必要がないので、コスト低減を図ることができ、さ
らに、精度の悪化や定盤の強度不足を防止することがで
きる。また、Yキャリッジの一対のコラムが支持部材に
連結されているので、一対のコラムのねじれを防止する
ことができる。
【図1】本発明に係る座標測定機の断面図
【図2】図1の矢視A−A図
【図3】本発明に係る座標測定機の要部拡大図
【図4】本発明に係る座標測定機の要部拡大図
【図5】従来の座標測定機の側面図
【図6】従来の座標測定機の側面図
【図7】従来の座標測定機の側面図
【図8】従来の座標測定機の側面図
50…座標測定機 52…Yキャリッジ 52A…右側Yコラム 52B…左側Yコラム 54…支持部材 54A、54C…脚部 54B…アーム 64…定盤 66…基準エアパッド 69…皿ばね 70…反力用エアパッド 76…板ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 21/00 G01B 21/20 G01B 5/00 G01B 5/20 G01B 7/28
Claims (1)
- 【請求項1】 測定テーブルの両端部に立脚された一対
のコラムを備えたYキャリッジを前記測定テーブルの表
面に沿ってY軸方向に移動する座標測定機において、 前記測定テーブルの一方と他方の側面に配設されると共
に前記測定テーブルの下方に配設されたアーム部材で連
結された一対の脚部を備え、該一対の脚部の一方がYキ
ャリッジの一方のコラムに設けられた支持部材と、 該支持部材の一方の脚部に設けられ、前記測定テーブル
の一方の側面に沿って移動自在に支持された基準エアパ
ッド部材と、 前記支持部材の他方の脚部に移動自在に設けられた反力
用エアパッド部材と、 前記支持部材の熱変形を吸収して前記反力用エアパッド
部材を前記測定テーブルの他方の側面に一定の付勢力で
付勢するばね部材と、 前記Yキャリッジの他方のコラムと前記支持部材の他方
の脚部とを連結すると共に、前記支持部材の熱変形を吸
収する連結部材と、 を備えたことを特徴とする座標測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12210192A JP2776427B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12210192A JP2776427B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 座標測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05312556A JPH05312556A (ja) | 1993-11-22 |
JP2776427B2 true JP2776427B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=14827670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12210192A Expired - Fee Related JP2776427B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 座標測定機 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2776427B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3638436B2 (ja) * | 1998-06-26 | 2005-04-13 | アルプス電気株式会社 | ラビング装置 |
JP2007033052A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 石材定盤を備える装置及び座標測定機 |
JP6347260B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-06-27 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
JP6288477B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-03-07 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
WO2016121967A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
JP6451942B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2019-01-16 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
JP6315291B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-04-25 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
JP6646454B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-02-14 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
WO2018193229A1 (en) | 2017-04-19 | 2018-10-25 | Renishaw Plc | Positioning apparatus |
EP3392611B1 (en) | 2017-04-19 | 2019-12-25 | Renishaw PLC | Contamination trap |
EP3392610B1 (en) | 2017-04-19 | 2022-02-23 | Renishaw PLC | Bearing mount |
US11060836B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-07-13 | Renishaw Plc | Bearing arrangement |
US10826369B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-11-03 | Renishaw Plc | Positioning apparatus with relatively moveable members and a linear motor mounted thereon |
JP6745024B2 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-08-26 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
JP6857831B2 (ja) * | 2019-04-08 | 2021-04-14 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
JP7206577B2 (ja) * | 2021-03-16 | 2023-01-18 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
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