JP3168497B2 - 直線案内装置 - Google Patents
直線案内装置Info
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- JP3168497B2 JP3168497B2 JP34182993A JP34182993A JP3168497B2 JP 3168497 B2 JP3168497 B2 JP 3168497B2 JP 34182993 A JP34182993 A JP 34182993A JP 34182993 A JP34182993 A JP 34182993A JP 3168497 B2 JP3168497 B2 JP 3168497B2
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- Japan
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- guide
- axis
- air bearings
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、直線案内装置に関
し、特に三次元座標測定機にＸ，Ｙ及びＺ軸方向案内装
置として好適な直線案内装置に関する。
し、特に三次元座標測定機にＸ，Ｙ及びＺ軸方向案内装
置として好適な直線案内装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、三次元座標測定機の高精度化を図
るため高剛性化の要請と、測定の高速化を図るため軽量
化の要請とがあり、これらの要請に応えるため、より重
量比剛性の高いセラミックスを使用するもの（特開昭5-
149739号公報）が市場に出回るようになった。
るため高剛性化の要請と、測定の高速化を図るため軽量
化の要請とがあり、これらの要請に応えるため、より重
量比剛性の高いセラミックスを使用するもの（特開昭5-
149739号公報）が市場に出回るようになった。
【０００３】図４は、本出願人の提案にかかる直線案内
装置であり、三次元測定機の支柱のキャリッジがＹ軸ガ
イドレールに取り付けられている状態を示す断面図であ
る。キャリッジ１０７は支柱１０３の下部に設けられ、
キャリッジ１０７と支柱１０３とはセラミックスで一体
に成型されている。キャリッジ１０７にはＬ字部材１１
５がボルト１１６で固定されている。Ｌ字部材１１５を
使用する理由は、セラミックスの性質上、キャリッジ１
０７を、Ｙ軸ガイドレール１０６を跨ぐような複雑な形
状に成型することが困難だからである。
装置であり、三次元測定機の支柱のキャリッジがＹ軸ガ
イドレールに取り付けられている状態を示す断面図であ
る。キャリッジ１０７は支柱１０３の下部に設けられ、
キャリッジ１０７と支柱１０３とはセラミックスで一体
に成型されている。キャリッジ１０７にはＬ字部材１１
５がボルト１１６で固定されている。Ｌ字部材１１５を
使用する理由は、セラミックスの性質上、キャリッジ１
０７を、Ｙ軸ガイドレール１０６を跨ぐような複雑な形
状に成型することが困難だからである。
【０００４】Ｙ軸ガイドレール１０６の互いに平行な案
内面１０６ａ，１０６ｂには、エアベアリング１０８，
１０９がそれぞれ設けられている。
内面１０６ａ，１０６ｂには、エアベアリング１０８，
１０９がそれぞれ設けられている。
【０００５】キャリッジ１０７及び案内面１０６ａとの
間、並びにＬ字部材１１５及び案内面１０６ｂの間のそ
れぞれに、両案内面１０６ａ，１０６ｂとほぼ直交する
直線上で両エアベアリング１０８，１０９をそれぞれ傾
動自在に支持するボール１１２，１１３が、設けられて
いる。
間、並びにＬ字部材１１５及び案内面１０６ｂの間のそ
れぞれに、両案内面１０６ａ，１０６ｂとほぼ直交する
直線上で両エアベアリング１０８，１０９をそれぞれ傾
動自在に支持するボール１１２，１１３が、設けられて
いる。
【０００６】また、定盤１０１上にもエアベアリング１
１０が設けられている。定盤１０１の上面１０１ａ及び
キャリッジ１０７の底面１０７ａの間には、エアベアリ
ング１１０を傾動自在に支持するボール１１１が挟持さ
れている。
１０が設けられている。定盤１０１の上面１０１ａ及び
キャリッジ１０７の底面１０７ａの間には、エアベアリ
ング１１０を傾動自在に支持するボール１１１が挟持さ
れている。
【０００７】キャリッジ１０７とＬ字部材１１５とは、
エアベアリング１０８，１０９を介してＹ軸ガイドレー
ル１０６の案内面１０６ａ，１０６ｂに案内される。
エアベアリング１０８，１０９を介してＹ軸ガイドレー
ル１０６の案内面１０６ａ，１０６ｂに案内される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、三次元測定
機の高剛性化を図るには当然エアベアリング１０８，１
０９の高剛性化が求められるが、そのためにはエアベア
リング１０８，１０９を案内面１０６ａ，１０６ｂに押
し付ける与圧力を大きくしなければならない。
機の高剛性化を図るには当然エアベアリング１０８，１
０９の高剛性化が求められるが、そのためにはエアベア
リング１０８，１０９を案内面１０６ａ，１０６ｂに押
し付ける与圧力を大きくしなければならない。
【０００９】ところが、上述した本件出願人の提案に係
る図４に示す構造の場合、エアベアリング１０８，１０
９の与圧力を高めると、Ｌ字部材１１５からキャリッジ
１０７に加わる応力が大きくなり、キャリッジ１０７が
破壊してしまう。
る図４に示す構造の場合、エアベアリング１０８，１０
９の与圧力を高めると、Ｌ字部材１１５からキャリッジ
１０７に加わる応力が大きくなり、キャリッジ１０７が
破壊してしまう。
【００１０】セラミックス材の破壊強度は、圧縮応力に
対しては強く、引っ張り応力に対しては弱いという特性
をもっている。したがって、曲げ応力に対しても弱い。
例えば、三次元座標測定機に最も使われているアルミナ
セラミックスにおいては、 圧縮強度：約２．０×１０9 Ｎ／ｍ3 に対して、曲げ強度：約０．３×１０9 Ｎ／ｍ3 である。
対しては強く、引っ張り応力に対しては弱いという特性
をもっている。したがって、曲げ応力に対しても弱い。
例えば、三次元座標測定機に最も使われているアルミナ
セラミックスにおいては、 圧縮強度：約２．０×１０9 Ｎ／ｍ3 に対して、曲げ強度：約０．３×１０9 Ｎ／ｍ3 である。
【００１１】図４に示す構造の場合、エアベアリング１
０８，１０９に与えている与圧力の応力はキャリッジ１
０７に引っ張り応力及び曲げ応力として加わっているの
で、上述したセラミックス材の特性によってキャリッジ
が破壊され易い。
０８，１０９に与えている与圧力の応力はキャリッジ１
０７に引っ張り応力及び曲げ応力として加わっているの
で、上述したセラミックス材の特性によってキャリッジ
が破壊され易い。
【００１２】また、セラミックスのような脆性材料は、
機械加工面にマイクロクラックとよばれる肉眼で見えな
い小さなひび割れが存在する。そのような部分に引っ張
り応力や曲げ応力が加わると、変形量が小さいために、
ひび割れの部分に激しく応力集中を起こし、小さい応力
で破壊してしまう。図４に示す構造の場合、キャリッジ
１０７とＬ字部材１１５との締結面は機械加工が行われ
ているので、その現象が発生し易い。
機械加工面にマイクロクラックとよばれる肉眼で見えな
い小さなひび割れが存在する。そのような部分に引っ張
り応力や曲げ応力が加わると、変形量が小さいために、
ひび割れの部分に激しく応力集中を起こし、小さい応力
で破壊してしまう。図４に示す構造の場合、キャリッジ
１０７とＬ字部材１１５との締結面は機械加工が行われ
ているので、その現象が発生し易い。
【００１３】したがって、鋼やアルミ軽合金製のキャリ
ッジよりも小さな与圧力しか与えられず、エアベアリン
グの高剛性化、ひいては三次元座標測定機の高剛性化が
困難であった。
ッジよりも小さな与圧力しか与えられず、エアベアリン
グの高剛性化、ひいては三次元座標測定機の高剛性化が
困難であった。
【００１４】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はキャリッジ（移動体）の破壊を防
ぎつつ、高剛性化の要請と軽量化の要請とに応えること
ができる直線案内装置を提供することである。
たもので、その課題はキャリッジ（移動体）の破壊を防
ぎつつ、高剛性化の要請と軽量化の要請とに応えること
ができる直線案内装置を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めこの発明の直線案内装置は、互いに略平行な第１及び
第２の案内面を有する案内部材と、前記第１及び第２の
案内面にそれぞれ設けられた第１及び第２のエアベアリ
ングと、前記第１及び第２エアベアリングを介して、前
記案内部材の第１及び第２の案内面に案内される移動体
と、前記移動体と前記第１の案内面との間及び前記移動
体と前記第２の案内面との間に設けられ、前記第１及び
第２の案内面と略直交する軸線上で前記第１及び第２の
エアベアリングをそれぞれ傾動自在に支持する第１及び
第２の支持部材とを備えた直線案内装置において、前記
移動体は、前記第１の支持部材に係合する移動体本体
と、前記案内部材に跨がって配置され、一端部が前記第
２の支持部材に係合し、他端部が前記第１及び第２の支
持部材のそれぞれの略中心部を通る軸線上で前記移動体
本体に固定される連結部材とから構成されている。
めこの発明の直線案内装置は、互いに略平行な第１及び
第２の案内面を有する案内部材と、前記第１及び第２の
案内面にそれぞれ設けられた第１及び第２のエアベアリ
ングと、前記第１及び第２エアベアリングを介して、前
記案内部材の第１及び第２の案内面に案内される移動体
と、前記移動体と前記第１の案内面との間及び前記移動
体と前記第２の案内面との間に設けられ、前記第１及び
第２の案内面と略直交する軸線上で前記第１及び第２の
エアベアリングをそれぞれ傾動自在に支持する第１及び
第２の支持部材とを備えた直線案内装置において、前記
移動体は、前記第１の支持部材に係合する移動体本体
と、前記案内部材に跨がって配置され、一端部が前記第
２の支持部材に係合し、他端部が前記第１及び第２の支
持部材のそれぞれの略中心部を通る軸線上で前記移動体
本体に固定される連結部材とから構成されている。
【００１６】
【作用】前述のように第１及び第２のエアベアリングを
介して案内部材の第１及び第２の案内面に案内される移
動体が、第１の支持部材に係合する移動体本体と、案内
部材に跨がって配置され、一端部が第２の支持部材に係
合し、他端部が第１及び第２の支持部材のそれぞれの略
中心部を通る軸線上で移動体本体に固定される連結部材
とから構成されているので、第１及び第２のエアベアリ
ングに大きな力で与圧力が加えられたとき、その応力は
連結部材の作用により移動体本体に圧縮応力として加わ
ることになる。したがて、移動体本体の材質が例えばセ
ラミックス材等の脆性材料であったとしても、移動体本
体の破壊のおそれがない。
介して案内部材の第１及び第２の案内面に案内される移
動体が、第１の支持部材に係合する移動体本体と、案内
部材に跨がって配置され、一端部が第２の支持部材に係
合し、他端部が第１及び第２の支持部材のそれぞれの略
中心部を通る軸線上で移動体本体に固定される連結部材
とから構成されているので、第１及び第２のエアベアリ
ングに大きな力で与圧力が加えられたとき、その応力は
連結部材の作用により移動体本体に圧縮応力として加わ
ることになる。したがて、移動体本体の材質が例えばセ
ラミックス材等の脆性材料であったとしても、移動体本
体の破壊のおそれがない。
【００１７】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１８】図２はこの発明の一実施例に係る直線案内
装置を備えた三次元座標測定機の斜視図、図１は図２の
Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
装置を備えた三次元座標測定機の斜視図、図１は図２の
Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
【００１９】図示しない測定対象物を載せる定盤１上に
は門型構造体２が取り付けられる。門型構造体２は、支
柱３と支柱４と両支柱３，４の上部に架け渡されたＸ軸
ビーム５とで構成されている。定盤１上の片側にはＹ軸
ガイドレール（案内部材）６が敷設されている。
は門型構造体２が取り付けられる。門型構造体２は、支
柱３と支柱４と両支柱３，４の上部に架け渡されたＸ軸
ビーム５とで構成されている。定盤１上の片側にはＹ軸
ガイドレール（案内部材）６が敷設されている。
【００２０】Ｘ軸ビーム５にはＸ軸キャリッジ３０が図
示しないエアベアリングを介してＸ軸方向にスライド可
能に取り付けられ、Ｘ軸キャリッジ３０はＺ軸スピンド
ル３１を図示しないエアベアリングを介してＺ軸方向に
スライド可能に支持している。Ｚ軸スピンドル３１の先
端には測定子３２が設けられている。
示しないエアベアリングを介してＸ軸方向にスライド可
能に取り付けられ、Ｘ軸キャリッジ３０はＺ軸スピンド
ル３１を図示しないエアベアリングを介してＺ軸方向に
スライド可能に支持している。Ｚ軸スピンドル３１の先
端には測定子３２が設けられている。
【００２１】支柱３の下部にはＹ軸ガイドレール６に沿
って移動するキャリッジ（移動体本体）７が設けられ、
キャリッジ７と支柱３とはセラミックスで一体に成型さ
れている。
って移動するキャリッジ（移動体本体）７が設けられ、
キャリッジ７と支柱３とはセラミックスで一体に成型さ
れている。
【００２２】Ｙ軸ガイドレール６の互いに平行な案内面
（第１及び第２の案内面）６ａ，６ｂには、エアベアリ
ング（第１及び第２のエアベアリング）８，９がそれぞ
れ設けられている。また、定盤１上にもエアベアリング
１０が設けられている。定盤１の上面１ａ及びキャリッ
ジ７の底面７ａの間には、エアベアリング１０を傾動自
在に支持するボール１１が挟持されている。
（第１及び第２の案内面）６ａ，６ｂには、エアベアリ
ング（第１及び第２のエアベアリング）８，９がそれぞ
れ設けられている。また、定盤１上にもエアベアリング
１０が設けられている。定盤１の上面１ａ及びキャリッ
ジ７の底面７ａの間には、エアベアリング１０を傾動自
在に支持するボール１１が挟持されている。
【００２３】キャリッジ７及び案内面６ａの間には、エ
アベアリング７を傾動自在に支持するボール（第１の支
持部材）１２が挟持されている。
アベアリング７を傾動自在に支持するボール（第１の支
持部材）１２が挟持されている。
【００２４】キャリッジ７には、コの字状の連結部材１
５の一端部１５ａがボルト１６で固定されている。連結
部材１５はＹ軸ガイドレール６を跨いでいる（図１参
照）。連結部材１５の他端部１５ｂにはビス１４がねじ
込まれている。連結部材１５の他端部１５ｂのビス１４
及び案内面６ｂの間には、エアベアリング９を傾動自在
に支持するボール（第２の支持部材）１３が挟持されて
いる。連結部材１５の一端部１５ａの固定箇所は、図１
に示すように、両ボール１２，１３の中心を通る仮想直
線（軸線）Ｌ1 上に位置する。
５の一端部１５ａがボルト１６で固定されている。連結
部材１５はＹ軸ガイドレール６を跨いでいる（図１参
照）。連結部材１５の他端部１５ｂにはビス１４がねじ
込まれている。連結部材１５の他端部１５ｂのビス１４
及び案内面６ｂの間には、エアベアリング９を傾動自在
に支持するボール（第２の支持部材）１３が挟持されて
いる。連結部材１５の一端部１５ａの固定箇所は、図１
に示すように、両ボール１２，１３の中心を通る仮想直
線（軸線）Ｌ1 上に位置する。
【００２５】キャリッジ７と連結部材１５とは、エアベ
アリング８，９を介してＹ軸ガイドレール６の案内面６
ａ，６ｂに案内される。
アリング８，９を介してＹ軸ガイドレール６の案内面６
ａ，６ｂに案内される。
【００２６】上述のように、コの字状の連結部材１５が
Ｙ軸ガイドレール６を跨ぐように配置され、連結部材１
５の一端部１５ａがボルト１６でキャリッジ７に固定さ
れ、キャリッジ７及び案内面６ａの間にエアベアリング
８を傾動自在に支持するボール１２が挟持され、連結部
材１５の他端部１５ｂのビス１４及び案内面６ｂの間に
エアベアリング９を傾動自在に支持するボール１３が挟
持され、しかも連結部材１５の一端部１５ａの固定箇所
が、図１に示すように、両ボール１２，１３の中心を通
る仮想直線Ｌ1 上に位置するので、エアベアリング８，
９に高い剛性を得るため大きな力で与圧力を加えたと
き、その応力がコの字状の連結部材１５の作用によりキ
ャリッジ７に圧縮応力として加わる。すなわち、エアベ
アリング８，９の与圧力による応力は全てキャリッジ７
と連結部材１５との固定箇所に圧縮応力として加わり、
曲げモーメントや回転モーメントがキャリッジ７に加わ
ることがない。
Ｙ軸ガイドレール６を跨ぐように配置され、連結部材１
５の一端部１５ａがボルト１６でキャリッジ７に固定さ
れ、キャリッジ７及び案内面６ａの間にエアベアリング
８を傾動自在に支持するボール１２が挟持され、連結部
材１５の他端部１５ｂのビス１４及び案内面６ｂの間に
エアベアリング９を傾動自在に支持するボール１３が挟
持され、しかも連結部材１５の一端部１５ａの固定箇所
が、図１に示すように、両ボール１２，１３の中心を通
る仮想直線Ｌ1 上に位置するので、エアベアリング８，
９に高い剛性を得るため大きな力で与圧力を加えたと
き、その応力がコの字状の連結部材１５の作用によりキ
ャリッジ７に圧縮応力として加わる。すなわち、エアベ
アリング８，９の与圧力による応力は全てキャリッジ７
と連結部材１５との固定箇所に圧縮応力として加わり、
曲げモーメントや回転モーメントがキャリッジ７に加わ
ることがない。
【００２７】また、キャリッジ７と連結部材１５との固
定部分は機械加工面であるが、そこの加わる応力は、上
述のように全て圧縮応力であるから、マイクロクラック
部の応力集中による破壊のおそれはない。
定部分は機械加工面であるが、そこの加わる応力は、上
述のように全て圧縮応力であるから、マイクロクラック
部の応力集中による破壊のおそれはない。
【００２８】したがって、圧縮応力に対しては強いとい
うセラミックス材の特性により、図４の従来例に較べ、
大きな力でＹ軸ガイドレール６を挟みつける力、すなわ
ち大きな与圧力を加えることができる。
うセラミックス材の特性により、図４の従来例に較べ、
大きな力でＹ軸ガイドレール６を挟みつける力、すなわ
ち大きな与圧力を加えることができる。
【００２９】その結果、エアベアリング８，９の高剛性
化、ひいては三次元測定機の高剛性化を実現することが
できる。
化、ひいては三次元測定機の高剛性化を実現することが
できる。
【００３０】図３はこの発明の他の実施例に係る直線案
内装置を備えた三次元測定機の一部を示す断面図であ
る。
内装置を備えた三次元測定機の一部を示す断面図であ
る。
【００３１】図１の実施例では、エアベアリング１０の
与圧力は、キャリッジ７の重量と、キャリッジ７に搭載
されるＸ軸ビーム５等の搭載構造物の重量によって与え
られるが、図３に示すように、定盤１１を挟んでエアベ
アリング１０，２０を互いに平行に配置し、キャリッジ
１７の底面１７ａ及び定盤１１の上面１１ａの間にエア
ベアリング１０を傾動自在に支持するボール１２を挟持
し、コの字状の連結部材２５をＹ軸ガイドレール１６及
び定盤１１を跨ぐように配置し、連結部材２５の一端部
２５ａをボルト２６でキャリッジ１７に固定し、連結部
材２５の他端部２５ｂのビス２４及び定盤１１の下面１
１ｂの間にエアベアリング２０を傾動自在に支持するボ
ール２３を挟持し、しかも連結部材２５の一端部２５ａ
の固定箇所が両ボール１２，２３の中心を通る仮想直線
（軸線）Ｌ2 上に位置するような構造を採用してもよ
い。
与圧力は、キャリッジ７の重量と、キャリッジ７に搭載
されるＸ軸ビーム５等の搭載構造物の重量によって与え
られるが、図３に示すように、定盤１１を挟んでエアベ
アリング１０，２０を互いに平行に配置し、キャリッジ
１７の底面１７ａ及び定盤１１の上面１１ａの間にエア
ベアリング１０を傾動自在に支持するボール１２を挟持
し、コの字状の連結部材２５をＹ軸ガイドレール１６及
び定盤１１を跨ぐように配置し、連結部材２５の一端部
２５ａをボルト２６でキャリッジ１７に固定し、連結部
材２５の他端部２５ｂのビス２４及び定盤１１の下面１
１ｂの間にエアベアリング２０を傾動自在に支持するボ
ール２３を挟持し、しかも連結部材２５の一端部２５ａ
の固定箇所が両ボール１２，２３の中心を通る仮想直線
（軸線）Ｌ2 上に位置するような構造を採用してもよ
い。
【００３２】この構造の直線案内装置によれば、キャリ
ッジ１７と、キャリッジ１７の搭載構造物の重量によら
ず、エアベアリング１０，２０に大きな与圧力を加える
ことができ、軽量構造でもエアベアリング１０，２０の
剛性を高めることができる。
ッジ１７と、キャリッジ１７の搭載構造物の重量によら
ず、エアベアリング１０，２０に大きな与圧力を加える
ことができ、軽量構造でもエアベアリング１０，２０の
剛性を高めることができる。
【００３３】なお、この実施例では、エアベアリング
８，９とキャリッジ１７との係合部分については図示し
ていないが、エアベアリング８，９とエアベアリング１
０，２０とを互いに干渉しないように配置すれば、この
実施例の直線案内装置と前述した図１の直線案内装置と
を同じキャリッジ１７に適用することができる。
８，９とキャリッジ１７との係合部分については図示し
ていないが、エアベアリング８，９とエアベアリング１
０，２０とを互いに干渉しないように配置すれば、この
実施例の直線案内装置と前述した図１の直線案内装置と
を同じキャリッジ１７に適用することができる。
【００３４】また、前述の実施例では、本願発明の直線
案内装置をＹ軸のキャリッジ７，１７に適用した場合に
ついて延べたが、互いに平行に配置されたエアベアリン
グをもつＸ軸キャリッジ３０等や、三次元座標測定機以
外のエアスライダ等に適用してもよい。
案内装置をＹ軸のキャリッジ７，１７に適用した場合に
ついて延べたが、互いに平行に配置されたエアベアリン
グをもつＸ軸キャリッジ３０等や、三次元座標測定機以
外のエアスライダ等に適用してもよい。
【００３５】更に、前述の実施例では、キャリッジ７，
１７の材質がセラミックスの場合について述べたが、キ
ャリッジの材質が他の脆性材料の場合も同様の効果を得
ることができる。
１７の材質がセラミックスの場合について述べたが、キ
ャリッジの材質が他の脆性材料の場合も同様の効果を得
ることができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の直線案内
装置によれば、第１及び第２のエアベアリングに大きな
力で与圧力を加えたとき、その応力は連結部材の作用に
より移動体本体に圧縮応力として加わることになるの
で、移動体本体の高速化を図るために移動体本体の材質
として例えばセラミックス材等の脆性材料を使用したと
しても、移動体本体を破壊するおそれがなく、エアベア
リングの高剛性化を図ることができる。
装置によれば、第１及び第２のエアベアリングに大きな
力で与圧力を加えたとき、その応力は連結部材の作用に
より移動体本体に圧縮応力として加わることになるの
で、移動体本体の高速化を図るために移動体本体の材質
として例えばセラミックス材等の脆性材料を使用したと
しても、移動体本体を破壊するおそれがなく、エアベア
リングの高剛性化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２】図２はこの発明の一実施例に係る直線案内装置
を備えた三次元座標測定機の斜視図である。
を備えた三次元座標測定機の斜視図である。
【図３】図３はこの発明の他の実施例に係る直線案内装
置を備えた三次元座標測定機の一部を示す断面図であ
る。
置を備えた三次元座標測定機の一部を示す断面図であ
る。
【図４】図４は三次元座標測定機の支柱のキャリッジが
Ｙ軸ガイドに取り付けられている状態を示す断面図であ
る。
Ｙ軸ガイドに取り付けられている状態を示す断面図であ
る。
６ Ｙ軸ガイドレール ６ａ，６ｂ 案内面 ７ キャリッジ ８，９ エアベアリング １２，１３ ボール １５ 連結部材 １６ ボルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 21/00 - 21/32 G01D 5/00 - 5/252 G01D 5/39 - 5/62
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに略平行な第１及び第２の案内面を
有する案内部材と、 前記第１及び第２の案内面にそれぞれ設けられた第１及
び第２のエアベアリングと、 前記第１及び第２エアベアリングを介して、前記案内部
材の第１及び第２の案内面に案内される移動体と、 前記移動体と前記第１の案内面との間及び前記移動体と
前記第２の案内面との間に設けられ、前記第１及び第２
の案内面と略直交する軸線上で前記第１及び第２のエア
ベアリングをそれぞれ傾動自在に支持する第１及び第２
の支持部材と、を備えた直線案内装置において、 前記移動体は、 前記第１の支持部材に係合する移動体本体と、 前記案内部材に跨がって配置され、一端部が前記第２の
支持部材に係合し、他端部が前記第１及び第２の支持部
材のそれぞれの略中心部を通る軸線上で前記移動体本体
に固定される連結部材と、から構成されることを特徴と
する直線案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34182993A JP3168497B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 直線案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34182993A JP3168497B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 直線案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167641A JPH07167641A (ja) | 1995-07-04 |
| JP3168497B2 true JP3168497B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=18349075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34182993A Expired - Lifetime JP3168497B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 直線案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3168497B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014062651A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Mitsubishi Jisho Sekkei Inc | 冷水による除湿再熱空調システム |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6168344B2 (ja) * | 2013-04-11 | 2017-07-26 | 株式会社東京精密 | 測定機、及び、測定機の移動ガイド機構 |
| EP3239649B1 (en) | 2015-01-30 | 2019-04-17 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| JP6646454B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-02-14 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP6857831B2 (ja) * | 2019-04-08 | 2021-04-14 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP7206577B2 (ja) * | 2021-03-16 | 2023-01-18 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
-
1993
- 1993-12-13 JP JP34182993A patent/JP3168497B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014062651A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Mitsubishi Jisho Sekkei Inc | 冷水による除湿再熱空調システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07167641A (ja) | 1995-07-04 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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