JPH07159151A - 三次元測定機 - Google Patents
三次元測定機Info
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- JPH07159151A JPH07159151A JP5340143A JP34014393A JPH07159151A JP H07159151 A JPH07159151 A JP H07159151A JP 5340143 A JP5340143 A JP 5340143A JP 34014393 A JP34014393 A JP 34014393A JP H07159151 A JPH07159151 A JP H07159151A
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- axis
- cable
- carriage
- axis direction
- spindle
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ケーブル・チューブ案内装置によるＸ軸方向
精度の悪化を防ぎ、カバーを不要にしてＸ軸ビームの変
形を防ぐとともに、作業性の向上とコストの低減とを図
ることができる三次元測定機を提供する。 【構成】 Ｚ軸スピンドル８が通る移動空間９にケーブ
ル・チューブ案内装置１１が配置されているので、Ｘ軸
ビーム５の前後方向重心と近い位置でＺ軸スピンドル８
とケーブル・チューブ案内装置１１とが動作することに
なるので、Ｘ軸キャリッジ７にこじれ（モーメント力）
が発生せず、Ｚ軸スピンドル８のＸ軸方向の動作が安定
する。また、ケーブル・チューブ案内装置１１は移動空
間９で変形動作が行われるので、安全面からケーブル・
チューブ案内装置１１をカバーで覆う必要がなく、コス
トを低減することができるとともに、三次元測定機の前
後いずれの側からも測定作業を容易に行うことができ
る。
精度の悪化を防ぎ、カバーを不要にしてＸ軸ビームの変
形を防ぐとともに、作業性の向上とコストの低減とを図
ることができる三次元測定機を提供する。 【構成】 Ｚ軸スピンドル８が通る移動空間９にケーブ
ル・チューブ案内装置１１が配置されているので、Ｘ軸
ビーム５の前後方向重心と近い位置でＺ軸スピンドル８
とケーブル・チューブ案内装置１１とが動作することに
なるので、Ｘ軸キャリッジ７にこじれ（モーメント力）
が発生せず、Ｚ軸スピンドル８のＸ軸方向の動作が安定
する。また、ケーブル・チューブ案内装置１１は移動空
間９で変形動作が行われるので、安全面からケーブル・
チューブ案内装置１１をカバーで覆う必要がなく、コス
トを低減することができるとともに、三次元測定機の前
後いずれの側からも測定作業を容易に行うことができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、三次元測定機に関
し、特に門型等の構造体を有する三次元測定機に関す
る。
し、特に門型等の構造体を有する三次元測定機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の三次元測定機の斜視図であ
る。測定対象物を載せる定盤１０１上には門型構造体１
０２が取り付けられる。門型構造体１０２は、支柱１０
３と支柱１０４と両支柱１０３，１０４の上部に架け渡
されたＸ軸ビーム１０５とで構成されている。定盤１０
１上の片側にはＹ軸ガイドレール１０６が敷設され、Ｙ
軸ガイドレール１０６には支柱１０３の下部が図示しな
いエアベアリングを介してスライド可能に嵌合され、支
柱１０３はＹ軸ガイドレール１０６に案内されてＹ軸方
向にスライドする。Ｙ軸ガイドレール１０６の反対側に
は支柱１０４がエアベアリング１２４を介してスライド
可能に配置されている。Ｘ軸ビーム１０５にはＸ軸キャ
リッジ１０７がエアベアリング１２５を介してスライド
可能に取り付けられ、Ｘ軸キャリッジ１０７はＺ軸スピ
ンドル１０８を図示しないエアベアリングを介してＺ軸
方向にスライド可能に支持している。Ｚ軸スピンドル１
０８の先端には測定子１１０が設けられている。
る。測定対象物を載せる定盤１０１上には門型構造体１
０２が取り付けられる。門型構造体１０２は、支柱１０
３と支柱１０４と両支柱１０３，１０４の上部に架け渡
されたＸ軸ビーム１０５とで構成されている。定盤１０
１上の片側にはＹ軸ガイドレール１０６が敷設され、Ｙ
軸ガイドレール１０６には支柱１０３の下部が図示しな
いエアベアリングを介してスライド可能に嵌合され、支
柱１０３はＹ軸ガイドレール１０６に案内されてＹ軸方
向にスライドする。Ｙ軸ガイドレール１０６の反対側に
は支柱１０４がエアベアリング１２４を介してスライド
可能に配置されている。Ｘ軸ビーム１０５にはＸ軸キャ
リッジ１０７がエアベアリング１２５を介してスライド
可能に取り付けられ、Ｘ軸キャリッジ１０７はＺ軸スピ
ンドル１０８を図示しないエアベアリングを介してＺ軸
方向にスライド可能に支持している。Ｚ軸スピンドル１
０８の先端には測定子１１０が設けられている。
【０００３】Ｘ軸ビーム１０５の背面１０５ｃ側には、
Ｘ軸キャリッジ１０７をＸ軸ビーム１０５に沿って駆動
させる駆動装置１１７と、Ｘ軸キャリッジ１０７の動き
に応じて弾性変形し、測定子１１０に電力を供給する電
力供給ケーブルや前記各エアベアリングに圧縮空気を供
給するチューブ（以下ケーブル等という）１１３を目的
の場所へ案内するケーブル・チューブ案内装置１１１，
１１５とが、配設されている。ケーブル・チューブ案内
装置１１１，１１５は帯状の薄いプラスチックやスチー
ルで形成され、Ｘ軸キャリッジ１０５及び支柱１０３，
１０４の動きに応じて弾性変形する。
Ｘ軸キャリッジ１０７をＸ軸ビーム１０５に沿って駆動
させる駆動装置１１７と、Ｘ軸キャリッジ１０７の動き
に応じて弾性変形し、測定子１１０に電力を供給する電
力供給ケーブルや前記各エアベアリングに圧縮空気を供
給するチューブ（以下ケーブル等という）１１３を目的
の場所へ案内するケーブル・チューブ案内装置１１１，
１１５とが、配設されている。ケーブル・チューブ案内
装置１１１，１１５は帯状の薄いプラスチックやスチー
ルで形成され、Ｘ軸キャリッジ１０５及び支柱１０３，
１０４の動きに応じて弾性変形する。
【０００４】ケーブル等１１３のうち、電力供給ケーブ
ルは、Ｚ軸スピンドル１０８の内部を通り、Ｘ軸キャリ
ッジ１０７の内部を経由して駆動装置１２０側へと抜
け、ケーブル・チューブ案内装置１１１によって支柱１
０３へと案内され、更にケーブル・チューブ案内装置１
１５によって図示しない電源へ案内されている。
ルは、Ｚ軸スピンドル１０８の内部を通り、Ｘ軸キャリ
ッジ１０７の内部を経由して駆動装置１２０側へと抜
け、ケーブル・チューブ案内装置１１１によって支柱１
０３へと案内され、更にケーブル・チューブ案内装置１
１５によって図示しない電源へ案内されている。
【０００５】同様に、チューブは、Ｘ軸キャリッジ１０
７の内部から駆動装置１２０側へと抜け、ケーブル・チ
ューブ案内装置１１１によって支柱１０３へと案内さ
れ、更にケーブル・チューブ案内装置１１１によって図
示しない圧縮空気供給源へ案内されている。
７の内部から駆動装置１２０側へと抜け、ケーブル・チ
ューブ案内装置１１１によって支柱１０３へと案内さ
れ、更にケーブル・チューブ案内装置１１１によって図
示しない圧縮空気供給源へ案内されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、ケーブ
ル・チューブ案内装置１１１はＸ軸ビーム１０５の背面
１０５ｃ側に配設され、図７に示すように、Ｘ軸ビーム
１０５、駆動装置１２０及びケーブル・チューブ案内装
置１１１の三者は、Ｙ軸方向に沿って並ぶ位置関係にあ
り、ケーブル・チューブ案内装置１１１とＸ軸ビーム１
０５とは駆動装置１２０を挟んで大きく離れている。し
たがって、ケーブル・チューブ案内装置１１１がＸ軸キ
ャリッジ１０７の移動に応じて変形するとき、ケーブル
・チューブ案内装置１１１の変形動作による抵抗がＸ軸
キャリッジ１０７の移動時に偏心荷重となり、Ｘ軸キャ
リッジ１０７にこじれ（モーメント）を与える。その結
果、Ｘ軸キャリッジ１０７の移動が安定せず、三次元測
定機のＸ軸方向精度が悪化するという問題があった。
ル・チューブ案内装置１１１はＸ軸ビーム１０５の背面
１０５ｃ側に配設され、図７に示すように、Ｘ軸ビーム
１０５、駆動装置１２０及びケーブル・チューブ案内装
置１１１の三者は、Ｙ軸方向に沿って並ぶ位置関係にあ
り、ケーブル・チューブ案内装置１１１とＸ軸ビーム１
０５とは駆動装置１２０を挟んで大きく離れている。し
たがって、ケーブル・チューブ案内装置１１１がＸ軸キ
ャリッジ１０７の移動に応じて変形するとき、ケーブル
・チューブ案内装置１１１の変形動作による抵抗がＸ軸
キャリッジ１０７の移動時に偏心荷重となり、Ｘ軸キャ
リッジ１０７にこじれ（モーメント）を与える。その結
果、Ｘ軸キャリッジ１０７の移動が安定せず、三次元測
定機のＸ軸方向精度が悪化するという問題があった。
【０００７】また、ケーブル・チューブ案内装置１１１
はＸ軸キャリッジ１０７の移動に応じて変形するので、
安全面からケーブル・チューブ案内装置１１１を図示し
ないカバーで覆う必要があり、コストが高くなるととも
に、三次元測定機の背面側（ケーブル・チューブ案内装
置１１１が位置する側）から使用する場合、カバーが作
業者の手前に位置することになるため、作業者から測定
子１１０までの距離が遠くなり、作業しずらいという問
題があった。
はＸ軸キャリッジ１０７の移動に応じて変形するので、
安全面からケーブル・チューブ案内装置１１１を図示し
ないカバーで覆う必要があり、コストが高くなるととも
に、三次元測定機の背面側（ケーブル・チューブ案内装
置１１１が位置する側）から使用する場合、カバーが作
業者の手前に位置することになるため、作業者から測定
子１１０までの距離が遠くなり、作業しずらいという問
題があった。
【０００８】更に、ケーブル・チューブ案内装置１１１
とカバーとはＸ軸ビーム１０５に取り付けられており、
温度が変化した場合、Ｘ軸ビーム１０５、ケーブル・チ
ューブ案内装置１１１及びカバーのそれぞれの温度膨脹
係数の差によるバイメタル作用でＸ軸ビーム１０５が変
形するという問題があった。
とカバーとはＸ軸ビーム１０５に取り付けられており、
温度が変化した場合、Ｘ軸ビーム１０５、ケーブル・チ
ューブ案内装置１１１及びカバーのそれぞれの温度膨脹
係数の差によるバイメタル作用でＸ軸ビーム１０５が変
形するという問題があった。
【０００９】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はケーブル・チューブ案内装置によ
るＸ軸方向精度の悪化を防ぎ、カバーを不要にしてＸ軸
ビームの変形を防ぐとともに、作業性の向上とコストの
低減とを図ることができる三次元測定機を提供すること
である。
たもので、その課題はケーブル・チューブ案内装置によ
るＸ軸方向精度の悪化を防ぎ、カバーを不要にしてＸ軸
ビームの変形を防ぐとともに、作業性の向上とコストの
低減とを図ることができる三次元測定機を提供すること
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の三次元測定機は、測定物を載置
する定盤と、前記定盤上に配置された一対の支持部材
と、前記支持部材間に架け渡され、Ｘ軸方向に延存する
とともに、Ｚ軸方向に開いた移動空間を有するＸ軸ビー
ムとで構成される構造体と、測定子を有し、前記Ｘ軸ビ
ームの移動空間に設けられるＺ軸スピンドルと、前記Ｚ
軸スピンドルをＺ軸方向に移動可能に支持するととも
に、前記Ｘ軸ビームに案内されて、Ｘ軸方向に移動可能
なＸ軸キャリッジと、前記測定子に電力を供給する電力
供給ケーブルと、前記Ｘ軸キャリッジに取り付けられ、
前記Ｘ軸キャリッジの動きに応じて変形し、前記電力供
給ケーブルを案内する案内手段とを備えている。
め請求項１記載の発明の三次元測定機は、測定物を載置
する定盤と、前記定盤上に配置された一対の支持部材
と、前記支持部材間に架け渡され、Ｘ軸方向に延存する
とともに、Ｚ軸方向に開いた移動空間を有するＸ軸ビー
ムとで構成される構造体と、測定子を有し、前記Ｘ軸ビ
ームの移動空間に設けられるＺ軸スピンドルと、前記Ｚ
軸スピンドルをＺ軸方向に移動可能に支持するととも
に、前記Ｘ軸ビームに案内されて、Ｘ軸方向に移動可能
なＸ軸キャリッジと、前記測定子に電力を供給する電力
供給ケーブルと、前記Ｘ軸キャリッジに取り付けられ、
前記Ｘ軸キャリッジの動きに応じて変形し、前記電力供
給ケーブルを案内する案内手段とを備えている。
【００１１】また、請求項２記載の発明の三次元測定機
は、測定物を載置する定盤と、前記定盤上に配置された
一対の支持部材と、前記支持部材間に架け渡され、Ｘ軸
方向に延存するとともに、Ｚ軸方向に開いた移動空間を
有するＸ軸ビームとで構成される構造体と、測定子を有
し、前記Ｘ軸ビームの移動空間に設けられるＺ軸スピン
ドルと、前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向に移動可能に支
持するとともに、前記Ｘ軸ビームに案内されて、Ｘ軸方
向に移動可能なＸ軸キャリッジと、前記Ｘ軸キャリッジ
と前記Ｘ軸ビームとの間にエアギャップを形成する第１
のエアベアリングと、前記Ｚ軸スピンドルと前記Ｘ軸キ
ャリッジとの間にエアギャップを形成する第２のエアベ
アリングと、前記各エアベアリングに圧縮空気を供給す
るチューブと、前記Ｘ軸キャリッジに取り付けられ、前
記Ｘ軸キャリッジの動きに応じて変形し、前記チューブ
を案内する案内手段とを備えている。
は、測定物を載置する定盤と、前記定盤上に配置された
一対の支持部材と、前記支持部材間に架け渡され、Ｘ軸
方向に延存するとともに、Ｚ軸方向に開いた移動空間を
有するＸ軸ビームとで構成される構造体と、測定子を有
し、前記Ｘ軸ビームの移動空間に設けられるＺ軸スピン
ドルと、前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向に移動可能に支
持するとともに、前記Ｘ軸ビームに案内されて、Ｘ軸方
向に移動可能なＸ軸キャリッジと、前記Ｘ軸キャリッジ
と前記Ｘ軸ビームとの間にエアギャップを形成する第１
のエアベアリングと、前記Ｚ軸スピンドルと前記Ｘ軸キ
ャリッジとの間にエアギャップを形成する第２のエアベ
アリングと、前記各エアベアリングに圧縮空気を供給す
るチューブと、前記Ｘ軸キャリッジに取り付けられ、前
記Ｘ軸キャリッジの動きに応じて変形し、前記チューブ
を案内する案内手段とを備えている。
【００１２】
【作用】上述のようにＺ軸スピンドルが通るＸ軸ビーム
の移動空間に案内手段が配置されているので、Ｘ軸ビー
ムの前後方向（Ｙ軸方向）重心と近い位置でＺ軸スピン
ドルと案内手段とが動作することになるので、Ｘ軸キャ
リッジにこじれ（モーメント力）が発生せず、Ｚ軸スピ
ンドルのＸ軸方向の動作が安定する。
の移動空間に案内手段が配置されているので、Ｘ軸ビー
ムの前後方向（Ｙ軸方向）重心と近い位置でＺ軸スピン
ドルと案内手段とが動作することになるので、Ｘ軸キャ
リッジにこじれ（モーメント力）が発生せず、Ｚ軸スピ
ンドルのＸ軸方向の動作が安定する。
【００１３】また、案内手段は移動空間で変形動作が行
われるので、安全面から案内手段を例えばカバー等で覆
う必要がなくなるとともに、三次元測定機の前後いずれ
の側からも測定作業を容易に行うことができ、更にはカ
バー等が不要になる結果、環境温度が変化した場合にお
いて、Ｘ軸ビームとカバーとの温度膨脹係数の差によっ
て生じるバイメタル作用でＸ軸ビームが変形することも
ない。
われるので、安全面から案内手段を例えばカバー等で覆
う必要がなくなるとともに、三次元測定機の前後いずれ
の側からも測定作業を容易に行うことができ、更にはカ
バー等が不要になる結果、環境温度が変化した場合にお
いて、Ｘ軸ビームとカバーとの温度膨脹係数の差によっ
て生じるバイメタル作用でＸ軸ビームが変形することも
ない。
【００１４】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１５】図１はこの発明の第１実施例に係る三次元
測定機の斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図で
ある。
測定機の斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図で
ある。
【００１６】図示しない測定対象物を載せる定盤１上に
は門型構造体２が取り付けられる。門型構造体（構造
体）２は、支柱（支持部材）３と支柱（支持部材）４と
両支柱３，４の上部に架け渡されたＸ軸ビーム５とで構
成されている。定盤１上の片側にはＹ軸ガイドレール６
が敷設されている。支柱３の下部は、Ｙ軸ガイド６の互
いに平行な案内面６ａ，６ｂに２組のエアパッド２１，
２２を有し、そのエアパッド２１，２２がＹ軸ガイド６
との間にエアギャップを形成してＹ軸方向に移動可能で
ある。定盤１上のＹ軸ガイドレール６の反対側には支柱
４がエアベアリング２４を介してスライド可能に配置さ
れている。Ｘ軸ビーム５にはＸ軸キャリッジ７がエアベ
アリング２５を介してスライド可能に取り付けられ、Ｘ
軸キャリッジ７はＺ軸スピンドル８をエアベアリング２
６を介してＺ軸方向にスライド可能に支持している。Ｚ
軸スピンドル８の先端には測定子１０が設けられてい
る。
は門型構造体２が取り付けられる。門型構造体（構造
体）２は、支柱（支持部材）３と支柱（支持部材）４と
両支柱３，４の上部に架け渡されたＸ軸ビーム５とで構
成されている。定盤１上の片側にはＹ軸ガイドレール６
が敷設されている。支柱３の下部は、Ｙ軸ガイド６の互
いに平行な案内面６ａ，６ｂに２組のエアパッド２１，
２２を有し、そのエアパッド２１，２２がＹ軸ガイド６
との間にエアギャップを形成してＹ軸方向に移動可能で
ある。定盤１上のＹ軸ガイドレール６の反対側には支柱
４がエアベアリング２４を介してスライド可能に配置さ
れている。Ｘ軸ビーム５にはＸ軸キャリッジ７がエアベ
アリング２５を介してスライド可能に取り付けられ、Ｘ
軸キャリッジ７はＺ軸スピンドル８をエアベアリング２
６を介してＺ軸方向にスライド可能に支持している。Ｚ
軸スピンドル８の先端には測定子１０が設けられてい
る。
【００１７】Ｘ軸ビーム５には、Ｘ軸方向に延存すると
ともに、Ｚ軸方向に開いた移動空間９が設けられてい
る。ここに延存とは延びて存在することをいう。移動空
間９には、Ｚ軸スピンドル８が通されているとともに、
図２に示すように、測定子１０に電力を供給する電力供
給ケーブルや前記各エアベアリングに圧縮空気を供給す
るチューブ（以下ケーブル等という）１３を支柱３側へ
案内するケーブル・チューブ案内装置１１が配置されて
いる。ケーブル・チューブ案内装置１１は帯状の薄いプ
ラスチックやスチール等で形成され、ケーブル・チュー
ブ案内装置１１の一端１１ａはＸ軸キャリッジ７に固着
され、他端１１ｂは移動空間９に架け渡された支持部材
１２に固着され、Ｘ軸キャリッジ７の動きに応じて弾性
変形する。
ともに、Ｚ軸方向に開いた移動空間９が設けられてい
る。ここに延存とは延びて存在することをいう。移動空
間９には、Ｚ軸スピンドル８が通されているとともに、
図２に示すように、測定子１０に電力を供給する電力供
給ケーブルや前記各エアベアリングに圧縮空気を供給す
るチューブ（以下ケーブル等という）１３を支柱３側へ
案内するケーブル・チューブ案内装置１１が配置されて
いる。ケーブル・チューブ案内装置１１は帯状の薄いプ
ラスチックやスチール等で形成され、ケーブル・チュー
ブ案内装置１１の一端１１ａはＸ軸キャリッジ７に固着
され、他端１１ｂは移動空間９に架け渡された支持部材
１２に固着され、Ｘ軸キャリッジ７の動きに応じて弾性
変形する。
【００１８】ケーブル・チューブ案内装置１１としては
帯状の薄いプラスチックやスチールの他にリンク機構の
直結によって移動するケーブルベア（一般に市販されて
いる）もある。
帯状の薄いプラスチックやスチールの他にリンク機構の
直結によって移動するケーブルベア（一般に市販されて
いる）もある。
【００１９】また、定盤１の一方の側面１ａにはＸ方向
へ突き出す支持部材１４が設けられ、この支持部材１４
によって、ケーブル等１３を支柱３側から図示しない電
源や圧縮空気供給源へ案内するケーブル・チューブ案内
装置１５が、支持されている。ケーブル・チューブ案内
装置１５は、ケーブル・チューブ案内装置１１と同様
に、帯状の薄いプラスチックやスチール等で形成されて
いる。ケーブル・チューブ案内装置１５の一端１５ａは
支柱３の下部に固着され、他端１１ｂは支持部材１４に
固着され、支柱３の動きに応じて弾性変形する。
へ突き出す支持部材１４が設けられ、この支持部材１４
によって、ケーブル等１３を支柱３側から図示しない電
源や圧縮空気供給源へ案内するケーブル・チューブ案内
装置１５が、支持されている。ケーブル・チューブ案内
装置１５は、ケーブル・チューブ案内装置１１と同様
に、帯状の薄いプラスチックやスチール等で形成されて
いる。ケーブル・チューブ案内装置１５の一端１５ａは
支柱３の下部に固着され、他端１１ｂは支持部材１４に
固着され、支柱３の動きに応じて弾性変形する。
【００２０】前記ケーブル等１３のうち、電力供給ケー
ブルは、Ｚ軸スピンドル８の内部を通り、Ｘ軸キャリッ
ジ７を経由してケーブル・チューブ案内装置１１の一端
１１ａ側へと抜け、ケーブル・チューブ案内装置１１に
よって保持されながら支柱３へと案内され、更にケーブ
ル・チューブ案内装置１５によって支柱３側から電源へ
と案内されている。
ブルは、Ｚ軸スピンドル８の内部を通り、Ｘ軸キャリッ
ジ７を経由してケーブル・チューブ案内装置１１の一端
１１ａ側へと抜け、ケーブル・チューブ案内装置１１に
よって保持されながら支柱３へと案内され、更にケーブ
ル・チューブ案内装置１５によって支柱３側から電源へ
と案内されている。
【００２１】一方、前記ケーブル等１３のうち、チュー
ブも同様に、Ｘ軸キャリッジ７の内部からケーブル・チ
ューブ案内装置１１の一端１１ａ側へと抜け、ケーブル
・チューブ案内装置１１によって保持されながら支柱３
へと案内され、更にケーブル・チューブ案内装置１５に
よって支柱３側から圧縮空気供給源へと案内される。
ブも同様に、Ｘ軸キャリッジ７の内部からケーブル・チ
ューブ案内装置１１の一端１１ａ側へと抜け、ケーブル
・チューブ案内装置１１によって保持されながら支柱３
へと案内され、更にケーブル・チューブ案内装置１５に
よって支柱３側から圧縮空気供給源へと案内される。
【００２２】上述のように、Ｚ軸スピンドル８が通る移
動空間９にケーブル・チューブ案内装置１１が配置され
ているので、Ｘ軸ビーム５の前後方向（Ｙ方向）重心と
近い位置でＺ軸スピンドル８とケーブル・チューブ案内
装置１１とが動作することになるので、Ｘ軸キャリッジ
７にこじれ（モーメント力）が発生せず、Ｚ軸スピンド
ル８のＸ軸方向の動作が安定する。
動空間９にケーブル・チューブ案内装置１１が配置され
ているので、Ｘ軸ビーム５の前後方向（Ｙ方向）重心と
近い位置でＺ軸スピンドル８とケーブル・チューブ案内
装置１１とが動作することになるので、Ｘ軸キャリッジ
７にこじれ（モーメント力）が発生せず、Ｚ軸スピンド
ル８のＸ軸方向の動作が安定する。
【００２３】また、ケーブル・チューブ案内装置１１は
移動空間９で変形動作が行われるので、安全面からケー
ブル・チューブ案内装置１１を図示しないカバーで覆う
必要がなく、コストを低減することができるとともに、
三次元測定機の前後いずれの側からも測定作業を容易に
行うことができ、更にはカバーが不要になる結果、環境
温度が変化した場合において、Ｘ軸ビーム５とカバーと
の温度膨脹係数の差によって生じるバイメタル作用でＸ
軸ビーム５が変形することもない。
移動空間９で変形動作が行われるので、安全面からケー
ブル・チューブ案内装置１１を図示しないカバーで覆う
必要がなく、コストを低減することができるとともに、
三次元測定機の前後いずれの側からも測定作業を容易に
行うことができ、更にはカバーが不要になる結果、環境
温度が変化した場合において、Ｘ軸ビーム５とカバーと
の温度膨脹係数の差によって生じるバイメタル作用でＸ
軸ビーム５が変形することもない。
【００２４】図３はこの発明の第２実施例に係る三次元
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
【００２５】第２実施例では、Ｘ軸ビーム３５の支柱３
側端部に凹部３５ａを設け、ケーブル・チューブ案内装
置１１がＸ軸ビーム３５の上面から突出しないようにし
た。
側端部に凹部３５ａを設け、ケーブル・チューブ案内装
置１１がＸ軸ビーム３５の上面から突出しないようにし
た。
【００２６】第２実施例によれば、ケーブル・チューブ
案内装置１１のほぼ全体を移動空間９内に収めることが
できる。
案内装置１１のほぼ全体を移動空間９内に収めることが
できる。
【００２７】図４はこの発明の第３実施例に係る三次元
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
【００２８】第３実施例では、図４に示すように、Ｘ軸
ビーム４５が、断面矩形の長いビーム構成部材４５ａの
一端部と断面矩形の長いビーム構成部材４５ｂの一端部
とを断面矩形の短いビーム構成部材４５ｃを介してＹ軸
方向に固着するとともに、断面矩形の長いビーム構成部
材４５ａの他端部と断面矩形の長いビーム構成部材４５
ｂの他端部とを断面矩形の短いビーム構成部材４５ｄを
介してＹ軸方向に固着してなる。移動空間９は、４個の
ビーム構成部材４５ａ〜４５ｄに囲まれて形成される。
ビーム４５が、断面矩形の長いビーム構成部材４５ａの
一端部と断面矩形の長いビーム構成部材４５ｂの一端部
とを断面矩形の短いビーム構成部材４５ｃを介してＹ軸
方向に固着するとともに、断面矩形の長いビーム構成部
材４５ａの他端部と断面矩形の長いビーム構成部材４５
ｂの他端部とを断面矩形の短いビーム構成部材４５ｄを
介してＹ軸方向に固着してなる。移動空間９は、４個の
ビーム構成部材４５ａ〜４５ｄに囲まれて形成される。
【００２９】第３実施例の場合、Ｘ軸ビーム４５を４個
のビーム構成部材４５ａ〜４５ｄで構成したので、Ｘ軸
ビーム４５の加工が容易である。
のビーム構成部材４５ａ〜４５ｄで構成したので、Ｘ軸
ビーム４５の加工が容易である。
【００３０】なお、断面矩形の短いビーム構成部材４５
ｄのＺ軸方向幅を、他のビーム構成部材４５ａ〜４５ｃ
のＺ軸方向幅よりも短くすれば、第２実施例と同様の効
果を得ることができる。
ｄのＺ軸方向幅を、他のビーム構成部材４５ａ〜４５ｃ
のＺ軸方向幅よりも短くすれば、第２実施例と同様の効
果を得ることができる。
【００３１】図５はこの発明の第４実施例に係る三次元
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
【００３２】第４実施例では、定盤１の両端には固定壁
（支持部材）５３，５４が配設され、固定壁５３，５４
の上面にＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂが設けられて
いる。Ｙ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂにはＹ軸キャリ
ッジ６６ａ，６６ｂが摺動可能に嵌合している。Ｘ軸ビ
ーム５の一端はＹ軸キャリッジに６６ａ、Ｘ軸ビームの
他端はＹ軸キャリッジ６６ｂにそれぞれ固定されてい
る。Ｙ軸キャリッジ６６ａ，６６ｂの有する図示しない
エアベアリングとＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂのガ
イド面との間にエアギャップが形成され、Ｘ軸ビーム５
はＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂに沿ってＹ軸方向へ
移動可能である。また、ケーブル・チューブ案内装置１
１はＸ軸ビーム５の移動空間９に配置され、ケーブル・
チューブ案内装置１５は固定壁５３の側面５３ａ側に配
置されている。
（支持部材）５３，５４が配設され、固定壁５３，５４
の上面にＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂが設けられて
いる。Ｙ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂにはＹ軸キャリ
ッジ６６ａ，６６ｂが摺動可能に嵌合している。Ｘ軸ビ
ーム５の一端はＹ軸キャリッジに６６ａ、Ｘ軸ビームの
他端はＹ軸キャリッジ６６ｂにそれぞれ固定されてい
る。Ｙ軸キャリッジ６６ａ，６６ｂの有する図示しない
エアベアリングとＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂのガ
イド面との間にエアギャップが形成され、Ｘ軸ビーム５
はＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂに沿ってＹ軸方向へ
移動可能である。また、ケーブル・チューブ案内装置１
１はＸ軸ビーム５の移動空間９に配置され、ケーブル・
チューブ案内装置１５は固定壁５３の側面５３ａ側に配
置されている。
【００３３】第４実施例の場合、上述のように定盤１上
に固定壁５３，５４を配設し、固定壁５３，５４の上面
にＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂを設け、Ｙ軸ガイド
レール５６ａ，５６ｂに嵌合するＹ軸キャリッジ６６
ａ，６６ｂを介してＸ軸ビーム５をＹ軸方向へ移動させ
るようにしたので、Ｙ軸方向の駆動重量を軽減すること
ができる。
に固定壁５３，５４を配設し、固定壁５３，５４の上面
にＹ軸ガイドレール５６ａ，５６ｂを設け、Ｙ軸ガイド
レール５６ａ，５６ｂに嵌合するＹ軸キャリッジ６６
ａ，６６ｂを介してＸ軸ビーム５をＹ軸方向へ移動させ
るようにしたので、Ｙ軸方向の駆動重量を軽減すること
ができる。
【００３４】図６はこの発明の第５実施例に係る三次元
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
測定機の斜視図である。第１実施例と共通する部分には
同一符号を付して説明を省略する。
【００３５】第５実施例では、定盤１上には固定壁（支
持部材）６３がＸ方向片側に配設され、もう一方の側に
は支柱４が配設されている。固定壁６の上面にはＹ軸ガ
イドレール６６ａが設けられている。Ｙ軸ガイドレール
６６ａにはＹ軸キャリッジ７６ａが摺動可能に嵌合して
いる。Ｘ軸ビーム５の一端はＹ軸キャリッジ７６ａに、
Ｘ軸ビーム５の他端は支柱４にそれぞれ固定されてい
る。Ｙ軸キャリッジ７６ａの有する図示しないエアベア
リングとＹ軸ガイドレール６６ａのガイド面との間にエ
アギャップが形成され、支柱４の有するエアベアリング
２４と定盤１の上面との間にエアギャップが形成され、
Ｘ軸ビーム５はＹ軸ガイドレール６６ａに沿ってＹ軸方
向へ移動可能である。
持部材）６３がＸ方向片側に配設され、もう一方の側に
は支柱４が配設されている。固定壁６の上面にはＹ軸ガ
イドレール６６ａが設けられている。Ｙ軸ガイドレール
６６ａにはＹ軸キャリッジ７６ａが摺動可能に嵌合して
いる。Ｘ軸ビーム５の一端はＹ軸キャリッジ７６ａに、
Ｘ軸ビーム５の他端は支柱４にそれぞれ固定されてい
る。Ｙ軸キャリッジ７６ａの有する図示しないエアベア
リングとＹ軸ガイドレール６６ａのガイド面との間にエ
アギャップが形成され、支柱４の有するエアベアリング
２４と定盤１の上面との間にエアギャップが形成され、
Ｘ軸ビーム５はＹ軸ガイドレール６６ａに沿ってＹ軸方
向へ移動可能である。
【００３６】第５実施例の三次元測定機によれば、第４
実施例と同様の効果を得ることができる。
実施例と同様の効果を得ることができる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の三次元測
定機によれば、Ｚ軸スピンドルが通るＸ軸ビームの移動
空間に案内手段が配置されているので、Ｘ軸ビームの前
後方向（Ｙ軸方向）重心と近い位置でＺ軸スピンドルと
案内手段とが動作することになるので、Ｘ軸キャリッジ
にこじれ（モーメント力）が発生せず、Ｚ軸スピンドル
のＸ軸方向の動作が安定する。
定機によれば、Ｚ軸スピンドルが通るＸ軸ビームの移動
空間に案内手段が配置されているので、Ｘ軸ビームの前
後方向（Ｙ軸方向）重心と近い位置でＺ軸スピンドルと
案内手段とが動作することになるので、Ｘ軸キャリッジ
にこじれ（モーメント力）が発生せず、Ｚ軸スピンドル
のＸ軸方向の動作が安定する。
【００３８】また、案内手段は移動空間で変形動作が行
われるので、安全面から案内手段を例えばカバー等で覆
う必要がなく、コストを低減することができるととも
に、三次元測定機の前後いずれの側からも測定作業を容
易に行うことができ、更にはカバー等が不要になる結
果、環境温度が変化した場合において、Ｘ軸ビームとカ
バーとの温度膨脹係数の差によって生じるバイメタル作
用でＸ軸ビームが変形することもない。
われるので、安全面から案内手段を例えばカバー等で覆
う必要がなく、コストを低減することができるととも
に、三次元測定機の前後いずれの側からも測定作業を容
易に行うことができ、更にはカバー等が不要になる結
果、環境温度が変化した場合において、Ｘ軸ビームとカ
バーとの温度膨脹係数の差によって生じるバイメタル作
用でＸ軸ビームが変形することもない。
【図１】図１はこの発明の第１実施例に係る三次元測定
機の斜視図である。
機の斜視図である。
【図２】図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図３はこの発明の第２実施例に係る三次元測定
機の斜視図である。
機の斜視図である。
【図４】図４はこの発明の第３実施例に係る三次元測定
機の斜視図である。
機の斜視図である。
【図５】図５はこの発明の第４実施例に係る三次元測定
機の斜視図である。
機の斜視図である。
【図６】図６はこの発明の第５実施例に係る三次元測定
機の斜視図である。
機の斜視図である。
【図７】図７は従来の三次元測定機の斜視図である。
１ 定盤 ２ 門型構造体 ３，４ 支柱 ５ Ｘ軸ビーム ７ Ｘ軸キャリッジ ９ 移動空間 １０ 測定子 １１ ケーブル・チューブ案内装置 １３ ケーブル等
Claims (2)
- 【請求項１】 測定物を載置する定盤と、 前記定盤上に配置された一対の支持部材と、前記支持部
材間に架け渡され、Ｘ軸方向に延存するとともに、Ｚ軸
方向に開いた移動空間を有するＸ軸ビームとで構成され
る構造体と、 測定子を有し、前記Ｘ軸ビームの移動空間に設けられる
Ｚ軸スピンドルと、 前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向に移動可能に支持すると
ともに、前記Ｘ軸ビームに案内されて、Ｘ軸方向に移動
可能なＸ軸キャリッジと、 前記測定子に電力を供給する電力供給ケーブルと、 前記Ｘ軸キャリッジに取り付けられ、前記Ｘ軸キャリッ
ジの動きに応じて変形し、前記電力供給ケーブルを案内
する案内手段とを備えた三次元測定機において、 前記案内手段が前記移動空間に配置されることを特徴と
する三次元測定機。 - 【請求項２】 測定物を載置する定盤と、 前記定盤上に配置された一対の支持部材と、前記支持部
材間に架け渡され、Ｘ軸方向に延存するとともに、Ｚ軸
方向に開いた移動空間を有するＸ軸ビームとで構成され
る構造体と、 測定子を有し、前記Ｘ軸ビームの移動空間に設けられる
Ｚ軸スピンドルと、 前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向に移動可能に支持すると
ともに、前記Ｘ軸ビームに案内されて、Ｘ軸方向に移動
可能なＸ軸キャリッジと、 前記Ｘ軸キャリッジと前記Ｘ軸ビームとの間にエアギャ
ップを形成する第１のエアベアリングと、 前記Ｚ軸スピンドルと前記Ｘ軸キャリッジとの間にエア
ギャップを形成する第２のエアベアリングと、 前記各エアベアリングに圧縮空気を供給するチューブ
と、 前記Ｘ軸キャリッジに取り付けられ、前記Ｘ軸キャリッ
ジの動きに応じて変形し、前記チューブを案内する案内
手段とを備えた三次元測定機において、 前記案内手段が前記移動空間に配置されることを特徴と
する三次元測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5340143A JPH07159151A (ja) | 1993-12-07 | 1993-12-07 | 三次元測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5340143A JPH07159151A (ja) | 1993-12-07 | 1993-12-07 | 三次元測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159151A true JPH07159151A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=18334143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5340143A Pending JPH07159151A (ja) | 1993-12-07 | 1993-12-07 | 三次元測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07159151A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006287098A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
| JP2008047147A (ja) * | 2001-06-12 | 2008-02-28 | Hexagon Metrology Ab | 制御装置と精密測定組立体の間の通信方法と、両者を互いに接続する共通制御バス |
| JP2014206416A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 株式会社東京精密 | 測定機、及び、測定機の移動ガイド機構 |
| JP2017167168A (ja) * | 2017-06-30 | 2017-09-21 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| JP2018197761A (ja) * | 2018-08-20 | 2018-12-13 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| CN109489595A (zh) * | 2018-09-18 | 2019-03-19 | 深圳市玉沣科技有限公司 | 一种新型xz导轨结构 |
| JP2020067316A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
-
1993
- 1993-12-07 JP JP5340143A patent/JPH07159151A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008047147A (ja) * | 2001-06-12 | 2008-02-28 | Hexagon Metrology Ab | 制御装置と精密測定組立体の間の通信方法と、両者を互いに接続する共通制御バス |
| JP2006287098A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
| JP2014206416A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 株式会社東京精密 | 測定機、及び、測定機の移動ガイド機構 |
| JP2017167168A (ja) * | 2017-06-30 | 2017-09-21 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| JP2018197761A (ja) * | 2018-08-20 | 2018-12-13 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| CN109489595A (zh) * | 2018-09-18 | 2019-03-19 | 深圳市玉沣科技有限公司 | 一种新型xz导轨结构 |
| JP2020067316A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030520 |