JPH07218247A - 座標測定機 - Google Patents
座標測定機Info
- Publication number
- JPH07218247A JPH07218247A JP2636694A JP2636694A JPH07218247A JP H07218247 A JPH07218247 A JP H07218247A JP 2636694 A JP2636694 A JP 2636694A JP 2636694 A JP2636694 A JP 2636694A JP H07218247 A JPH07218247 A JP H07218247A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis direction
- guide
- moving body
- drive arm
- carriage
- Prior art date
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高加速度で駆動しても測定精度が低下せず、
高測定速度で高精度の座標測定機を提供する。 【構成】 ブリッジ移動形でモータ駆動式の座標測定機
を、測定テーブル１２の両端部上面Ｙ軸方向に摺動面を
形成し、その上に一対のＹキャリッジ１３ａおよび１３
ｂの上部をＸガイド１３ｃで連結して門形に構成すると
ともに下面にエアベアリング設けたブリッジ１３を立設
し、Ｘガイド１３ｃの後面にＹ軸方向に延設した駆動ア
ーム１６を固着し、測定テーブル１２上に立設固着した
ガイド支柱２１に駆動アーム１６のＸ軸方向支持ガイド
と駆動アーム１６のＹ軸方向駆動手段を設け、Ｘガイド
１３ｃに沿ってＸ軸方向に移動自在にＸ移動体を設け、
駆動アーム１６のＸ軸方向の位置および幅を、Ｘ移動体
の移動によりＹ移動体のＸ軸方向重心位置が変動する幅
を包含するようにした。
高測定速度で高精度の座標測定機を提供する。 【構成】 ブリッジ移動形でモータ駆動式の座標測定機
を、測定テーブル１２の両端部上面Ｙ軸方向に摺動面を
形成し、その上に一対のＹキャリッジ１３ａおよび１３
ｂの上部をＸガイド１３ｃで連結して門形に構成すると
ともに下面にエアベアリング設けたブリッジ１３を立設
し、Ｘガイド１３ｃの後面にＹ軸方向に延設した駆動ア
ーム１６を固着し、測定テーブル１２上に立設固着した
ガイド支柱２１に駆動アーム１６のＸ軸方向支持ガイド
と駆動アーム１６のＹ軸方向駆動手段を設け、Ｘガイド
１３ｃに沿ってＸ軸方向に移動自在にＸ移動体を設け、
駆動アーム１６のＸ軸方向の位置および幅を、Ｘ移動体
の移動によりＹ移動体のＸ軸方向重心位置が変動する幅
を包含するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水平に直交するＸ・Ｙの
２軸方向、または水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向
と上下方向の３軸方向にプローブを移動自在に支持し、
ワークの寸法や形状を測定する座標測定機に係わり、特
にブリッジ移動形でモータ駆動式の座標測定機に関す
る。
２軸方向、または水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向
と上下方向の３軸方向にプローブを移動自在に支持し、
ワークの寸法や形状を測定する座標測定機に係わり、特
にブリッジ移動形でモータ駆動式の座標測定機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】座標測定機ではプローブを水平に直交す
るＸ・Ｙの２軸方向、または水平方向に直交するＸ・Ｙ
の２軸方向と上下方向の３軸方向に移動自在に支持する
とともに、プローブの座標位置を検出する位置検出手段
を各軸に備え、ワークの測定位置にプローブを当接した
ときのプローブの座標位置のデータを演算することによ
って、ワークの寸法や形状を測定する。図８に従来の座
標測定機の一例の斜視図を示す。図８に示す座標測定機
６０はブリッジ移動形の三次元座標測定機で、架台６１
の上にテーブル６２が載置されるとともに、テーブル６
２の両側に右Ｙキャリッジ６４ａと左Ｙキャリッジ６４
ｂが立設され、右Ｙキャリッジ６４ａと左Ｙキャリッジ
６４ｂの上部がＸガイド６４ｃで連結されてブリッジ６
４を構成している。テーブル６２の両側の上面には上下
方向（以下、「Ｚ軸方向」という）の摺動面が、Ｙ軸案
内駆動部６３にはＸ軸方向の摺動面がＹ軸方向に形成さ
れ、右Ｙキャリッジ６４ａと左Ｙキャリッジ６４ｂの下
部にはこれに対抗するエアベアリングが設けられてい
て、ブリッジ６４はＺ軸方向とＸ軸方向に支持されなが
らＹ軸方向に移動自在となっている。また、Ｘガイド６
４ｃにはＹ軸方向とＺ軸方向の摺動面がＸ軸方向に形成
され、エアベアリングが内蔵されたＸキャリッジ６５が
Ｙ軸方向とＺ軸方向に支持されながらＸ軸方向に移動自
在に設けられている。さらに、Ｘキャリッジ６５にはＺ
軸方向案内用のエアベアリングも内蔵されており、これ
に沿ってＺスピンドル６６がＺ軸方向に移動自在に設け
られている。Ｚスピンドル６６の下端にはプローブ６７
が取り付けられている。
るＸ・Ｙの２軸方向、または水平方向に直交するＸ・Ｙ
の２軸方向と上下方向の３軸方向に移動自在に支持する
とともに、プローブの座標位置を検出する位置検出手段
を各軸に備え、ワークの測定位置にプローブを当接した
ときのプローブの座標位置のデータを演算することによ
って、ワークの寸法や形状を測定する。図８に従来の座
標測定機の一例の斜視図を示す。図８に示す座標測定機
６０はブリッジ移動形の三次元座標測定機で、架台６１
の上にテーブル６２が載置されるとともに、テーブル６
２の両側に右Ｙキャリッジ６４ａと左Ｙキャリッジ６４
ｂが立設され、右Ｙキャリッジ６４ａと左Ｙキャリッジ
６４ｂの上部がＸガイド６４ｃで連結されてブリッジ６
４を構成している。テーブル６２の両側の上面には上下
方向（以下、「Ｚ軸方向」という）の摺動面が、Ｙ軸案
内駆動部６３にはＸ軸方向の摺動面がＹ軸方向に形成さ
れ、右Ｙキャリッジ６４ａと左Ｙキャリッジ６４ｂの下
部にはこれに対抗するエアベアリングが設けられてい
て、ブリッジ６４はＺ軸方向とＸ軸方向に支持されなが
らＹ軸方向に移動自在となっている。また、Ｘガイド６
４ｃにはＹ軸方向とＺ軸方向の摺動面がＸ軸方向に形成
され、エアベアリングが内蔵されたＸキャリッジ６５が
Ｙ軸方向とＺ軸方向に支持されながらＸ軸方向に移動自
在に設けられている。さらに、Ｘキャリッジ６５にはＺ
軸方向案内用のエアベアリングも内蔵されており、これ
に沿ってＺスピンドル６６がＺ軸方向に移動自在に設け
られている。Ｚスピンドル６６の下端にはプローブ６７
が取り付けられている。
【０００３】これによって、プローブ６７はＸ・Ｙ・Ｚ
の３軸方向に移動自在となり、各軸に設けられた駆動機
構によってモータ駆動（コンピュータによる自動制御駆
動やジョイスティック操作による駆動）がされる。この
場合、プローブ６７をＹ軸方向に駆動するにはブリッジ
６４を駆動し、Ｘ軸方向に駆動するにはＸキャリッジ６
５を駆動し、Ｚ軸方向に駆動するにはＺスピンドル６６
を駆動する。以下、Ｘ軸方向に移動する部分全体すなわ
ちＸキャリッジ６５、Ｚスピンドル６６、プローブ６７
等を「Ｘ移動体」、Ｙ軸方向に移動する部分全体すなわ
ちブリッジ６４とＸ移動体等を「Ｙ移動体」という。
の３軸方向に移動自在となり、各軸に設けられた駆動機
構によってモータ駆動（コンピュータによる自動制御駆
動やジョイスティック操作による駆動）がされる。この
場合、プローブ６７をＹ軸方向に駆動するにはブリッジ
６４を駆動し、Ｘ軸方向に駆動するにはＸキャリッジ６
５を駆動し、Ｚ軸方向に駆動するにはＺスピンドル６６
を駆動する。以下、Ｘ軸方向に移動する部分全体すなわ
ちＸキャリッジ６５、Ｚスピンドル６６、プローブ６７
等を「Ｘ移動体」、Ｙ軸方向に移動する部分全体すなわ
ちブリッジ６４とＸ移動体等を「Ｙ移動体」という。
【０００４】さらに、テーブル６２の右側のＹ軸方向、
Ｘガイド６４ｃ、Ｚスピンドル６６にはスケールが設け
られ、右Ｙキャリッジ６４ａにはＹ軸方向の検出ヘッ
ド、Ｘキャリッジ６５にはＸ軸方向およびＺ軸方向の検
出ヘッドが取り付けられていて、プローブ６７の三次元
座標位置を検出する（いずれも図示省略）。
Ｘガイド６４ｃ、Ｚスピンドル６６にはスケールが設け
られ、右Ｙキャリッジ６４ａにはＹ軸方向の検出ヘッ
ド、Ｘキャリッジ６５にはＸ軸方向およびＺ軸方向の検
出ヘッドが取り付けられていて、プローブ６７の三次元
座標位置を検出する（いずれも図示省略）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｙ移動
体をＹ軸方向に駆動する駆動機構は右Ｙキャリッジ６４
ａの下方にあるＹ軸案内駆動部６３に設けられていると
ともに、Ｘガイド６４ｃに設けられたＸ移動体がＸ軸方
向に移動することによってＹ移動体のＸ軸方向重心位置
が変動するために、プローブ６７がＹ軸方向に変動する
という問題がある。これを図７に示す模式図で詳説す
る。図７はＹ移動体の水平方向案内を表したもので、テ
ーブル６２の右側面に基準ガイド６２ａが設けられてい
るとともテーブル６２の右側面からブラケット等を介し
て基準ガイド６２ａと略平行にサブガイド６２ｂが設け
られている。基準ガイド６２ａとサブガイド６２ｂの間
に右Ｙキャリッジ６４ａの下部分が設けられるととも
に、右Ｙキャリッジ６４ａの基準ガイド６２ａ側には２
個の基準エアパッド６３ａ・６３ａが、サブガイド６２
ｂ側にはサブガイド６２ｂ方向に付勢力を有する予圧エ
アパッド６３ｂが備えられている。これによって、右Ｙ
キャリッジ６４ａのＸ軸方向が支持される。前述したよ
うに右Ｙキャリッジ６４ａの上部にはＸガイド６４ｃが
固着されており、Ｘガイド６４ｃにはＸ移動体がＸ軸方
向移動自在に設けられている。また、図示しないが、Ｙ
軸位置検出用のスケールがＹ軸案内駆動部６３内のテー
ブル６２の右側の上面または側面に設けられている。
体をＹ軸方向に駆動する駆動機構は右Ｙキャリッジ６４
ａの下方にあるＹ軸案内駆動部６３に設けられていると
ともに、Ｘガイド６４ｃに設けられたＸ移動体がＸ軸方
向に移動することによってＹ移動体のＸ軸方向重心位置
が変動するために、プローブ６７がＹ軸方向に変動する
という問題がある。これを図７に示す模式図で詳説す
る。図７はＹ移動体の水平方向案内を表したもので、テ
ーブル６２の右側面に基準ガイド６２ａが設けられてい
るとともテーブル６２の右側面からブラケット等を介し
て基準ガイド６２ａと略平行にサブガイド６２ｂが設け
られている。基準ガイド６２ａとサブガイド６２ｂの間
に右Ｙキャリッジ６４ａの下部分が設けられるととも
に、右Ｙキャリッジ６４ａの基準ガイド６２ａ側には２
個の基準エアパッド６３ａ・６３ａが、サブガイド６２
ｂ側にはサブガイド６２ｂ方向に付勢力を有する予圧エ
アパッド６３ｂが備えられている。これによって、右Ｙ
キャリッジ６４ａのＸ軸方向が支持される。前述したよ
うに右Ｙキャリッジ６４ａの上部にはＸガイド６４ｃが
固着されており、Ｘガイド６４ｃにはＸ移動体がＸ軸方
向移動自在に設けられている。また、図示しないが、Ｙ
軸位置検出用のスケールがＹ軸案内駆動部６３内のテー
ブル６２の右側の上面または側面に設けられている。
【０００６】図７において、Ｐ1 およびＰ2 はＸ移動体
のうちのプローブ６７の中心位置、Ｗ1 およびＷ2 はＸ
移動体がＰ1 からＰ2 へ移動したときのＹ移動体のＸ軸
方向重心位置、ＦはＹ軸方向の駆動位置であり、ＡはＦ
からＷ1 までの距離、ＢはＷ1 からＷ2 までの距離（Ｙ
移動体のＸ軸方向重心位置変動距離）、ＣはＸ移動体の
移動距離を表している。図７に示すように、Ｙ移動体の
Ｘ軸方向重心位置が駆動位置Ｆから離れているために、
Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに加速度αが発生す
ると、Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置に「Ｍα」の慣性力
（ＭはＹ移動体の質量）が発生し、Ｙ移動体のＸ軸方向
重心位置がＷ1 の場合は「ＭαＡ」の曲げモーメントが
生じる。この結果、右Ｙキャリッジ６４ａやＸガイド６
４ｃ等が捻れたり曲がったりしてプローブ６７の中心位
置がＹ軸方向に変化する。この場合、Ｙ移動体のＸ軸方
向重心位置の変動がなければ曲げモーメント「ＭαＡ」
は加速度αが変動しない限り一定であるので、プローブ
６７の中心位置のＹ軸方向の変化量は一定であり測定値
の補正が簡単にできるのであまり問題にはならないが、
Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置がＷ1 からＷ2 にＢだけ変
動するので曲げモーメントも「ＭαＡ」から「Ｍα（Ａ
＋Ｂ）」に変動する。前述したようにＹ軸位置検出用の
スケールはテーブル６２の右側に設けられているので、
曲げモーメントの変動によって、プローブ６７の中心位
置がＰ1 にあるときとＰ2 にあるときとでのＹ軸方向に
δの差となって現れるとともに、測定値のばらつき幅が
大きくなり（特にＰ2 側で）座標測定機の測定誤差とな
る。
のうちのプローブ６７の中心位置、Ｗ1 およびＷ2 はＸ
移動体がＰ1 からＰ2 へ移動したときのＹ移動体のＸ軸
方向重心位置、ＦはＹ軸方向の駆動位置であり、ＡはＦ
からＷ1 までの距離、ＢはＷ1 からＷ2 までの距離（Ｙ
移動体のＸ軸方向重心位置変動距離）、ＣはＸ移動体の
移動距離を表している。図７に示すように、Ｙ移動体の
Ｘ軸方向重心位置が駆動位置Ｆから離れているために、
Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに加速度αが発生す
ると、Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置に「Ｍα」の慣性力
（ＭはＹ移動体の質量）が発生し、Ｙ移動体のＸ軸方向
重心位置がＷ1 の場合は「ＭαＡ」の曲げモーメントが
生じる。この結果、右Ｙキャリッジ６４ａやＸガイド６
４ｃ等が捻れたり曲がったりしてプローブ６７の中心位
置がＹ軸方向に変化する。この場合、Ｙ移動体のＸ軸方
向重心位置の変動がなければ曲げモーメント「ＭαＡ」
は加速度αが変動しない限り一定であるので、プローブ
６７の中心位置のＹ軸方向の変化量は一定であり測定値
の補正が簡単にできるのであまり問題にはならないが、
Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置がＷ1 からＷ2 にＢだけ変
動するので曲げモーメントも「ＭαＡ」から「Ｍα（Ａ
＋Ｂ）」に変動する。前述したようにＹ軸位置検出用の
スケールはテーブル６２の右側に設けられているので、
曲げモーメントの変動によって、プローブ６７の中心位
置がＰ1 にあるときとＰ2 にあるときとでのＹ軸方向に
δの差となって現れるとともに、測定値のばらつき幅が
大きくなり（特にＰ2 側で）座標測定機の測定誤差とな
る。
【０００７】これを避けるために、Ｙ移動体をＹ軸方向
に駆動するときに発生する加速度が小さくなるようにゆ
っくりと起動したり、滑らかな駆動制御方法を追求した
り、また、右Ｙキャリッジ６４ａやＸガイド６４ｃを太
くしたりアルミナセラミックス等「剛性／質量」の大き
い材料を用いて剛性を高くする等の検討がされ、あるい
は採用されている。しかしながら、ゆっくりと起動する
と移動時間が長くなって測定に時間がかかり、滑らかな
駆動制御方法は前述した問題点を十分に解決することが
できていないのが現状である。また、右Ｙキャリッジ６
４ａやＸガイド６４ｃを太くすると座標測定機が大きく
なるとともにＹ移動体の質量が増加して高加速度駆動が
困難になって測定時間が長くなり、アルミナセラミック
ス等「剛性／質量」の大きい材料を用いると価格が非常
に高くなるという問題がある。
に駆動するときに発生する加速度が小さくなるようにゆ
っくりと起動したり、滑らかな駆動制御方法を追求した
り、また、右Ｙキャリッジ６４ａやＸガイド６４ｃを太
くしたりアルミナセラミックス等「剛性／質量」の大き
い材料を用いて剛性を高くする等の検討がされ、あるい
は採用されている。しかしながら、ゆっくりと起動する
と移動時間が長くなって測定に時間がかかり、滑らかな
駆動制御方法は前述した問題点を十分に解決することが
できていないのが現状である。また、右Ｙキャリッジ６
４ａやＸガイド６４ｃを太くすると座標測定機が大きく
なるとともにＹ移動体の質量が増加して高加速度駆動が
困難になって測定時間が長くなり、アルミナセラミック
ス等「剛性／質量」の大きい材料を用いると価格が非常
に高くなるという問題がある。
【０００８】また、前述した問題点を解決する方法の一
つが、「特告昭５８ー５３８４６号」にて開示されてい
る。この方法はＹ軸駆動位置をＸ移動体の移動範囲の略
中央に配設したものである（ただし、Ｙ移動体の案内は
前述した座標測定機６０と同様に一対のＹキャリッジの
下方に形成されている。）。しかしながら、この方法で
はＸ移動体の移動によるＹ移動体のＸ軸方向重心位置変
動については考慮されていないため、Ｙ移動体をＹ軸方
向に駆動するときに加速度が発生すると、Ｘ移動体の位
置によって、Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置に発生する曲
げモーメントが変化しプローブがＹ軸方向に変動すると
いう前述した問題は十分に解決されていない。
つが、「特告昭５８ー５３８４６号」にて開示されてい
る。この方法はＹ軸駆動位置をＸ移動体の移動範囲の略
中央に配設したものである（ただし、Ｙ移動体の案内は
前述した座標測定機６０と同様に一対のＹキャリッジの
下方に形成されている。）。しかしながら、この方法で
はＸ移動体の移動によるＹ移動体のＸ軸方向重心位置変
動については考慮されていないため、Ｙ移動体をＹ軸方
向に駆動するときに加速度が発生すると、Ｘ移動体の位
置によって、Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置に発生する曲
げモーメントが変化しプローブがＹ軸方向に変動すると
いう前述した問題は十分に解決されていない。
【０００９】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに大きな加
速度が発生しても、右ＹキャリッジやＸガイド等が捻れ
たり曲がったりしてＺスピンドルに取り付けられたプロ
ーブの中心位置がＹ軸方向に変化する量が非常に小さ
く、高測定速度で高精度の座標測定機を提供することを
目的とする。
もので、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに大きな加
速度が発生しても、右ＹキャリッジやＸガイド等が捻れ
たり曲がったりしてＺスピンドルに取り付けられたプロ
ーブの中心位置がＹ軸方向に変化する量が非常に小さ
く、高測定速度で高精度の座標測定機を提供することを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向、
または水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向とＺ軸方向
を加えた３軸方向にプローブを移動自在に支持し、ワー
クの寸法や形状を測定するブリッジ移動形でモータ駆動
式の座標測定機を、 （ア）測定テーブルの両端部の上面Ｙ軸方向に摺動面を
形成する。 （イ）前記測定テーブルの両端部に一対のＹキャリッジ
を立設するとともにその一対のＹキャリッジの上部をＸ
ガイドでＸ軸方向に連結してブリッジを構成する。 （ウ）前記一対のＹキャリッジの下面に前記ブリッジの
Ｚ軸方向を支持するエアベアリングを設ける。 （エ）前記Ｘガイドの後面にＹ軸方向に延設した駆動ア
ームを固着する。 （オ）前記ブリッジの後方で前記測定テーブル上にガイ
ド支柱を立設固着する。 （カ）前記ガイド支柱に前記駆動アームのＸ軸方向を支
持するガイドを設ける。 （キ）前記ガイド支柱に前記駆動アームをＹ軸方向に駆
動する駆動手段を設ける。 （ク）前記Ｘガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在にＸ移
動体を設ける。 （ケ）前記駆動アームのＸ軸方向の位置および幅を、前
記Ｘ移動体の移動により前記ブリッジおよび前記Ｘ移動
体で構成するＹ移動体のＸ軸方向重心位置変動範囲を包
含する位置および幅とする。 以上のように構成した。
成するために、水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向、
または水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向とＺ軸方向
を加えた３軸方向にプローブを移動自在に支持し、ワー
クの寸法や形状を測定するブリッジ移動形でモータ駆動
式の座標測定機を、 （ア）測定テーブルの両端部の上面Ｙ軸方向に摺動面を
形成する。 （イ）前記測定テーブルの両端部に一対のＹキャリッジ
を立設するとともにその一対のＹキャリッジの上部をＸ
ガイドでＸ軸方向に連結してブリッジを構成する。 （ウ）前記一対のＹキャリッジの下面に前記ブリッジの
Ｚ軸方向を支持するエアベアリングを設ける。 （エ）前記Ｘガイドの後面にＹ軸方向に延設した駆動ア
ームを固着する。 （オ）前記ブリッジの後方で前記測定テーブル上にガイ
ド支柱を立設固着する。 （カ）前記ガイド支柱に前記駆動アームのＸ軸方向を支
持するガイドを設ける。 （キ）前記ガイド支柱に前記駆動アームをＹ軸方向に駆
動する駆動手段を設ける。 （ク）前記Ｘガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在にＸ移
動体を設ける。 （ケ）前記駆動アームのＸ軸方向の位置および幅を、前
記Ｘ移動体の移動により前記ブリッジおよび前記Ｘ移動
体で構成するＹ移動体のＸ軸方向重心位置変動範囲を包
含する位置および幅とする。 以上のように構成した。
【００１１】
【作用】本発明によれば、Ｙ移動体のＺ軸方向支持手段
が一対のＹキャリッジの下部にあり、Ｘ軸方向支持手段
が一対のＹキャリッジの上部を連結したＸガイドに固着
された駆動アームにあるとともに、駆動アームのＸ軸方
向位置がＹ移動体のＸ軸方向重心位置変動範囲の略中央
にあってＹ移動体の駆動位置の中心はＸ軸方向重心位置
変動範囲の略中央になるので、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆
動するときに大きな加速度が発生しＹ移動体のＸ軸方向
重心位置に慣性力が発生しても、Ｙ移動体のＸ軸方向重
心位置には大きな曲げモーメントが発生しない。また、
Ｘガイドには駆動アームが固着されており駆動アームの
Ｘ軸方向の幅はＹ移動体のＸ軸方向重心位置変動範囲を
包含しているので、Ｘガイドのその部分の剛性は非常に
高く変形は無視できる。これによって、Ｙ移動体をＹ軸
方向に駆動するときに大きな加速度が発生しても右Ｙキ
ャリッジやＸガイド等が捻れたり曲がったりしてＺスピ
ンドルに取り付けられたプローブの中心位置がＹ軸方向
に変化する量は非常に小さくなる。
が一対のＹキャリッジの下部にあり、Ｘ軸方向支持手段
が一対のＹキャリッジの上部を連結したＸガイドに固着
された駆動アームにあるとともに、駆動アームのＸ軸方
向位置がＹ移動体のＸ軸方向重心位置変動範囲の略中央
にあってＹ移動体の駆動位置の中心はＸ軸方向重心位置
変動範囲の略中央になるので、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆
動するときに大きな加速度が発生しＹ移動体のＸ軸方向
重心位置に慣性力が発生しても、Ｙ移動体のＸ軸方向重
心位置には大きな曲げモーメントが発生しない。また、
Ｘガイドには駆動アームが固着されており駆動アームの
Ｘ軸方向の幅はＹ移動体のＸ軸方向重心位置変動範囲を
包含しているので、Ｘガイドのその部分の剛性は非常に
高く変形は無視できる。これによって、Ｙ移動体をＹ軸
方向に駆動するときに大きな加速度が発生しても右Ｙキ
ャリッジやＸガイド等が捻れたり曲がったりしてＺスピ
ンドルに取り付けられたプローブの中心位置がＹ軸方向
に変化する量は非常に小さくなる。
【００１２】
【実施例】図１に本発明に係る実施例の三次元座標測定
機の平面図を、図２に右側面図を、図３に背面図を示
す。図１・図２・図３において、架台１１の上にテーブ
ル１２が載置されるとともに、テーブル１２の両端に右
Ｙキャリッジ１３ａと左Ｙキャリッジ１３ｂが立設さ
れ、右Ｙキャリッジ１３ａと左Ｙキャリッジ１３ｂの上
部がＸガイド１３ｃで連結されてブリッジ１３を構成し
ている。テーブル１２の両端の上面１２ａおよび１２ｂ
にはＹ軸方向に摺動面が形成され、これに対抗して右Ｙ
キャリッジ１３ａの下部にはエアベアリング１４・１４
が、左Ｙキャリッジ１３ｂの下部にはエアベアリング１
５が設けられている。Ｘガイド１３ｃの後面にはＹ軸方
向に延設された駆動アーム１６が固着されており、駆動
アーム１６はブリッジ１３の後方で測定テーブル１２上
に立設されたガイド支柱２１に内蔵されたエアベアリン
グ２２・２２および２４によってＸ軸方向に支持されて
いる。駆動アーム１６の中央位置はＸ移動体がＰ1 から
Ｐ2 に移動したときにＹ移動体のＸ軸方向重心位置がＷ
1 からＷ2 に変動する範囲（Ｘ軸方向重心位置変動範囲
Ｂ）の略中央にあり、駆動アーム１６の幅はＸ軸方向重
心位置変動範囲Ｂを包含している。これによって、Ｙ移
動体はＺ軸方向がエアベアリング１４・１４および１５
で支持され（エアベアリング１４・１４および１５によ
る上方向の反力はＹ移動体の質量によって対抗してい
る。）、Ｘ軸方向がエアベアリング２２・２２および２
４で支持されて、Ｙ軸方向に移動自在となる。なお、従
来例の場合と同様に、Ｘ軸方向に移動する部分全体すな
わちＸキャリッジ５１、Ｚスピンドル５５、プローブ５
６等を「Ｘ移動体」、Ｙ軸方向に移動する部分全体すな
わちブリッジ１３、駆動アーム１６等を「Ｙ移動体」と
いう。
機の平面図を、図２に右側面図を、図３に背面図を示
す。図１・図２・図３において、架台１１の上にテーブ
ル１２が載置されるとともに、テーブル１２の両端に右
Ｙキャリッジ１３ａと左Ｙキャリッジ１３ｂが立設さ
れ、右Ｙキャリッジ１３ａと左Ｙキャリッジ１３ｂの上
部がＸガイド１３ｃで連結されてブリッジ１３を構成し
ている。テーブル１２の両端の上面１２ａおよび１２ｂ
にはＹ軸方向に摺動面が形成され、これに対抗して右Ｙ
キャリッジ１３ａの下部にはエアベアリング１４・１４
が、左Ｙキャリッジ１３ｂの下部にはエアベアリング１
５が設けられている。Ｘガイド１３ｃの後面にはＹ軸方
向に延設された駆動アーム１６が固着されており、駆動
アーム１６はブリッジ１３の後方で測定テーブル１２上
に立設されたガイド支柱２１に内蔵されたエアベアリン
グ２２・２２および２４によってＸ軸方向に支持されて
いる。駆動アーム１６の中央位置はＸ移動体がＰ1 から
Ｐ2 に移動したときにＹ移動体のＸ軸方向重心位置がＷ
1 からＷ2 に変動する範囲（Ｘ軸方向重心位置変動範囲
Ｂ）の略中央にあり、駆動アーム１６の幅はＸ軸方向重
心位置変動範囲Ｂを包含している。これによって、Ｙ移
動体はＺ軸方向がエアベアリング１４・１４および１５
で支持され（エアベアリング１４・１４および１５によ
る上方向の反力はＹ移動体の質量によって対抗してい
る。）、Ｘ軸方向がエアベアリング２２・２２および２
４で支持されて、Ｙ軸方向に移動自在となる。なお、従
来例の場合と同様に、Ｘ軸方向に移動する部分全体すな
わちＸキャリッジ５１、Ｚスピンドル５５、プローブ５
６等を「Ｘ移動体」、Ｙ軸方向に移動する部分全体すな
わちブリッジ１３、駆動アーム１６等を「Ｙ移動体」と
いう。
【００１３】さらに、Ｘガイド１３ｃにはＹ軸方向とＺ
軸方向の摺動面がＸ軸方向に形成されていてそれに対抗
するエアベアリング５２（上側のエアベアリングのみに
符号を付け、他は符号を省略している。）が内蔵された
Ｘキャリッジ５１がＸ軸方向に移動自在に設けられてい
る。Ｘキャリッジ５１は後部略中央が切り欠かれたコの
字形状になっていて、Ｘ軸方向移動時に駆動アーム１６
と干渉しないようになっている。また、Ｘキャリッジ５
１にはＺ軸方向案内用のエアベアリング（図示省略）も
内蔵されており、これに沿ってＺスピンドル５５がＺ軸
方向に移動自在に設けられている。Ｚスピンドル５５の
下端にはプローブ５６が取り付けられている。これによ
って、従来の場合と同様にプローブ５６はＸ・Ｙ・Ｚの
３軸方向に移動自在となり、各軸に設けられた駆動機構
によってモータ駆動される。
軸方向の摺動面がＸ軸方向に形成されていてそれに対抗
するエアベアリング５２（上側のエアベアリングのみに
符号を付け、他は符号を省略している。）が内蔵された
Ｘキャリッジ５１がＸ軸方向に移動自在に設けられてい
る。Ｘキャリッジ５１は後部略中央が切り欠かれたコの
字形状になっていて、Ｘ軸方向移動時に駆動アーム１６
と干渉しないようになっている。また、Ｘキャリッジ５
１にはＺ軸方向案内用のエアベアリング（図示省略）も
内蔵されており、これに沿ってＺスピンドル５５がＺ軸
方向に移動自在に設けられている。Ｚスピンドル５５の
下端にはプローブ５６が取り付けられている。これによ
って、従来の場合と同様にプローブ５６はＸ・Ｙ・Ｚの
３軸方向に移動自在となり、各軸に設けられた駆動機構
によってモータ駆動される。
【００１４】図４にガイド支柱２１の周辺および内部の
詳細平面図を、図５に図４のＥ−Ｅ断面図を、図６に図
５のＦ−Ｆ断面図を示す。図４・図５・図６および図１
において、駆動アーム１６のＸ軸方向に前述した２個の
エアベアリング２２・２２が支持軸２３・２３によって
支持され、前述したエアベアリング２４が皿バネ等によ
る付勢力を有する支持軸２５によってエアベアリング２
２・２２方向に支持されて、駆動アーム１６のＸ軸方向
がエアベアリング２２・２２を基準として支持されてい
る。また、駆動アーム１６の下面には２個のエアベアリ
ング２６・２６が、駆動アーム１６の上面にはエアベア
リング２８が皿バネ等による付勢力を有する支持軸２７
・２７および２９によって駆動アーム１６方向に支持さ
れている。この場合、Ｙ移動体のＺ軸方向の案内基準は
前述したテーブル１２の両端の上面１２ａおよび１２ｂ
の摺動面と右Ｙキャリッジ１３ａの下部のエアベアリン
グ１４・１４と左Ｙキャリッジ１３ｂの下部のエアベア
リング１５であり、エアベアリング２６・２６および２
８は駆動アーム１６の質量によってＹ移動体が傾斜しよ
うとするのを防止するためのものである。
詳細平面図を、図５に図４のＥ−Ｅ断面図を、図６に図
５のＦ−Ｆ断面図を示す。図４・図５・図６および図１
において、駆動アーム１６のＸ軸方向に前述した２個の
エアベアリング２２・２２が支持軸２３・２３によって
支持され、前述したエアベアリング２４が皿バネ等によ
る付勢力を有する支持軸２５によってエアベアリング２
２・２２方向に支持されて、駆動アーム１６のＸ軸方向
がエアベアリング２２・２２を基準として支持されてい
る。また、駆動アーム１６の下面には２個のエアベアリ
ング２６・２６が、駆動アーム１６の上面にはエアベア
リング２８が皿バネ等による付勢力を有する支持軸２７
・２７および２９によって駆動アーム１６方向に支持さ
れている。この場合、Ｙ移動体のＺ軸方向の案内基準は
前述したテーブル１２の両端の上面１２ａおよび１２ｂ
の摺動面と右Ｙキャリッジ１３ａの下部のエアベアリン
グ１４・１４と左Ｙキャリッジ１３ｂの下部のエアベア
リング１５であり、エアベアリング２６・２６および２
８は駆動アーム１６の質量によってＹ移動体が傾斜しよ
うとするのを防止するためのものである。
【００１５】また、ガイド支柱２１の内部には駆動手段
が設けられており、駆動手段はガイド支柱２１に固着さ
れたブラケット３１、ブラケット３１の両端に設けられ
た軸３２および３６、一方の軸３２に回動自在に支持さ
れたアーム３３、アーム３３の先端に回動自在に支持さ
れたローラ３４、アーム３３の先端に取り付けられロー
ラ３４を駆動するモータ３５、他方の軸３６に回動自在
に支持されたアーム３７、アーム３７の先端に回動自在
に支持されたローラ３８、アーム３３と３７を互いに引
き寄せる引っ張りバネ３９から構成されている。これに
よって、モータ３５が回動すると駆動アーム１６がＹ軸
方向に駆動される。この場合、アーム３３と３７は互い
に引き寄せられているだけなので駆動手段によって駆動
アーム１６をＸ軸方向に押圧する力は発生せず、駆動ア
ーム１６はエアベアリング２２・２２を基準として案内
される。
が設けられており、駆動手段はガイド支柱２１に固着さ
れたブラケット３１、ブラケット３１の両端に設けられ
た軸３２および３６、一方の軸３２に回動自在に支持さ
れたアーム３３、アーム３３の先端に回動自在に支持さ
れたローラ３４、アーム３３の先端に取り付けられロー
ラ３４を駆動するモータ３５、他方の軸３６に回動自在
に支持されたアーム３７、アーム３７の先端に回動自在
に支持されたローラ３８、アーム３３と３７を互いに引
き寄せる引っ張りバネ３９から構成されている。これに
よって、モータ３５が回動すると駆動アーム１６がＹ軸
方向に駆動される。この場合、アーム３３と３７は互い
に引き寄せられているだけなので駆動手段によって駆動
アーム１６をＸ軸方向に押圧する力は発生せず、駆動ア
ーム１６はエアベアリング２２・２２を基準として案内
される。
【００１６】さらに、駆動アーム１６の下面にはＹ軸方
向にスケール４１が設けられ、これに対応する検出ヘッ
ド４３がホルダ４２によってガイド支柱２１に取り付け
られていて、Ｙ移動体のＹ軸位置が検出される。また、
図２に示すように、Ｘガイド１３ｃの下面にはＸ軸方向
にスケール５３が設けられ、これに対応する検出ヘッド
５４がＸキャリッジ５１に取り付けられていて、Ｘキャ
リッジ５１のＸ軸位置が検出される。同様に、Ｚスピン
ドル５５に図示しないスケールが、Ｘキャリッジ５１に
は図示しない検出ヘッドが設けられていてＺスピンドル
５５のＺ軸位置が検出される。
向にスケール４１が設けられ、これに対応する検出ヘッ
ド４３がホルダ４２によってガイド支柱２１に取り付け
られていて、Ｙ移動体のＹ軸位置が検出される。また、
図２に示すように、Ｘガイド１３ｃの下面にはＸ軸方向
にスケール５３が設けられ、これに対応する検出ヘッド
５４がＸキャリッジ５１に取り付けられていて、Ｘキャ
リッジ５１のＸ軸位置が検出される。同様に、Ｚスピン
ドル５５に図示しないスケールが、Ｘキャリッジ５１に
は図示しない検出ヘッドが設けられていてＺスピンドル
５５のＺ軸位置が検出される。
【００１７】このように構成された三次元座標測定機の
Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動する場合、モータ３５を回動
するとローラ３４が回動して駆動アーム１６が駆動され
Ｙ移動体がＹ軸方向に駆動されるとともに、Ｙ移動体の
Ｙ軸位置が検出される。同様に、図示しない駆動手段に
よってＸ移動体およびＺスピンドル５５が駆動されると
ともに、Ｘ移動体のＸ軸位置およびＺスピンドル５５の
Ｚ軸位置が検出される。これによって、プローブ５６は
Ｘ・Ｙ・Ｚの３軸方向に駆動されとともに、プローブ５
６をワークの測定位置に当接したときのプローブ５６の
Ｘ・Ｙ・Ｚの３軸位置（座標位置）が検出され、そのデ
ータが演算されてワークの寸法や形状の測定値が算出さ
れる。
Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動する場合、モータ３５を回動
するとローラ３４が回動して駆動アーム１６が駆動され
Ｙ移動体がＹ軸方向に駆動されるとともに、Ｙ移動体の
Ｙ軸位置が検出される。同様に、図示しない駆動手段に
よってＸ移動体およびＺスピンドル５５が駆動されると
ともに、Ｘ移動体のＸ軸位置およびＺスピンドル５５の
Ｚ軸位置が検出される。これによって、プローブ５６は
Ｘ・Ｙ・Ｚの３軸方向に駆動されとともに、プローブ５
６をワークの測定位置に当接したときのプローブ５６の
Ｘ・Ｙ・Ｚの３軸位置（座標位置）が検出され、そのデ
ータが演算されてワークの寸法や形状の測定値が算出さ
れる。
【００１８】なお、実施例では、駆動アーム１６のＸ軸
方向の支持にエアベアリング２２・２２および２４を設
けたが、転動体を内蔵したリニアガイド等を用いてもよ
い。また、駆動アーム１６の上下にエアベアリング２６
・２６および２８を設けたが、駆動アーム１６の質量が
小さくＹ移動体が傾斜するおそれがなければ設けなくて
もよい。さらに、Ｙ移動体の駆動をローラ駆動機構で行
ったが、これに限らず、ベルト駆動、ボールネジ駆動、
ラックピニオン駆動等他の駆動機構を用いる場合にも本
発明は適用できる。また、実施例では、Ｙ移動体のＹ軸
位置を検出するスケール４１を駆動アーム１６に検出ヘ
ッド４３をガイド支柱２１に設けたが、右Ｙキャリッジ
１３ａの捻れ剛性を高くすれば、従来のようにスケール
をテーブル１２の右側に、検出ヘッドを右Ｙキャリッジ
１３ａの下部に設けてもよい。同様に、Ｘ移動体のＸ軸
位置を検出するスケール５３をＸガイド１３ｃの下面に
設けたが、Ｘガイド１３ｃの他の面に設けてもよい
方向の支持にエアベアリング２２・２２および２４を設
けたが、転動体を内蔵したリニアガイド等を用いてもよ
い。また、駆動アーム１６の上下にエアベアリング２６
・２６および２８を設けたが、駆動アーム１６の質量が
小さくＹ移動体が傾斜するおそれがなければ設けなくて
もよい。さらに、Ｙ移動体の駆動をローラ駆動機構で行
ったが、これに限らず、ベルト駆動、ボールネジ駆動、
ラックピニオン駆動等他の駆動機構を用いる場合にも本
発明は適用できる。また、実施例では、Ｙ移動体のＹ軸
位置を検出するスケール４１を駆動アーム１６に検出ヘ
ッド４３をガイド支柱２１に設けたが、右Ｙキャリッジ
１３ａの捻れ剛性を高くすれば、従来のようにスケール
をテーブル１２の右側に、検出ヘッドを右Ｙキャリッジ
１３ａの下部に設けてもよい。同様に、Ｘ移動体のＸ軸
位置を検出するスケール５３をＸガイド１３ｃの下面に
設けたが、Ｘガイド１３ｃの他の面に設けてもよい
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る座標測
定機によれば、Ｙ移動体のＺ軸方向支持手段が一対のＹ
キャリッジ１３ａおよび１３ｂの下部にあり、Ｘ軸方向
支持手段が一対のＹキャリッジ１３ａおよび１３ｂの上
部を連結したＸガイド１３ｃに固着された駆動アーム１
６にあるとともに、駆動アーム１６の位置はＸ軸方向重
心位置変動範囲Ｂの略中央にあり、Ｙ移動体の駆動位置
の中心はＸ軸方向重心位置変動範囲Ｂの略中央になるの
で、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに大きな加速度
が発生しＹ移動体のＸ軸方向重心位置に慣性力が発生し
ても、Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置には大きな曲げモー
メントが発生しない。また、Ｘガイド１３ｃには駆動ア
ーム１６が固着されており駆動アーム１６の幅はＸ軸方
向重心位置変動範囲Ｂを包含しているので、Ｘガイド１
３ｃのこの部分の剛性は非常に高く変形は無視できる。
これによって、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに大
きな加速度が発生しても右Ｙキャリッジ１３ａやＸガイ
ド１３ｃ等が捻れたり曲がったりしてＺスピンドル５５
に取り付けられたプローブ５６の中心位置がＹ軸方向に
変化する量は非常に小さくなる。従って、高加速度で駆
動しても測定精度が低下せず、高測定速度で高精度の座
標測定機を提供することができる。また、実施例のよう
に、Ｙ移動体のＹ軸位置を検出するスケール４１を駆動
アーム１６に設けると、右Ｙキャリッジ１３ａの捻れ剛
性を低くすることができるので、右Ｙキャリッジ１３ａ
の質量を軽くすることができ、高加速度駆動が容易にな
る。
定機によれば、Ｙ移動体のＺ軸方向支持手段が一対のＹ
キャリッジ１３ａおよび１３ｂの下部にあり、Ｘ軸方向
支持手段が一対のＹキャリッジ１３ａおよび１３ｂの上
部を連結したＸガイド１３ｃに固着された駆動アーム１
６にあるとともに、駆動アーム１６の位置はＸ軸方向重
心位置変動範囲Ｂの略中央にあり、Ｙ移動体の駆動位置
の中心はＸ軸方向重心位置変動範囲Ｂの略中央になるの
で、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに大きな加速度
が発生しＹ移動体のＸ軸方向重心位置に慣性力が発生し
ても、Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置には大きな曲げモー
メントが発生しない。また、Ｘガイド１３ｃには駆動ア
ーム１６が固着されており駆動アーム１６の幅はＸ軸方
向重心位置変動範囲Ｂを包含しているので、Ｘガイド１
３ｃのこの部分の剛性は非常に高く変形は無視できる。
これによって、Ｙ移動体をＹ軸方向に駆動するときに大
きな加速度が発生しても右Ｙキャリッジ１３ａやＸガイ
ド１３ｃ等が捻れたり曲がったりしてＺスピンドル５５
に取り付けられたプローブ５６の中心位置がＹ軸方向に
変化する量は非常に小さくなる。従って、高加速度で駆
動しても測定精度が低下せず、高測定速度で高精度の座
標測定機を提供することができる。また、実施例のよう
に、Ｙ移動体のＹ軸位置を検出するスケール４１を駆動
アーム１６に設けると、右Ｙキャリッジ１３ａの捻れ剛
性を低くすることができるので、右Ｙキャリッジ１３ａ
の質量を軽くすることができ、高加速度駆動が容易にな
る。
【図１】本発明に係る実施例の三次元座標測定機の平面
図
図
【図２】本発明に係る実施例の三次元座標測定機の右側
図
図
【図３】本発明に係る実施例の三次元座標測定機の背面
図
図
【図４】図１のガイド支柱の周辺および内部の詳細平面
図
図
【図５】図４のＥ−Ｅ断面図
【図６】図５のＦ−Ｆ断面図
【図７】従来の座標測定機のＹ移動体の水平方向案内を
表した模式図
表した模式図
【図８】従来の三次元座標測定機の斜視図
１０………三次元座標測定機 １２………テーブル １３ａ……右Ｙキャリッジ １３ｂ……左Ｙキャリッジ １３ｃ……Ｘガイド １４、１５…エアパッド １６………駆動アーム ２１………ガイド支柱 ２２、２４…エアパッド ５１………Ｘキャリッジ ５５………Ｚスピンドル Ｐ1、Ｐ2 …プローブ位置 Ｗ1、Ｗ2 …Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置 Ｂ…………Ｙ移動体のＸ軸方向重心位置の変動距離 Ｃ…………Ｘ移動体の移動距離
Claims (4)
- 【請求項１】 水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向、
または水平方向に直交するＸ・Ｙの２軸方向と上下方向
の３軸方向にプローブを移動自在に支持し、ワークの寸
法や形状を測定するブリッジ移動形でモータ駆動式の座
標測定機において、 両端部の上面Ｙ軸方向に摺動面が形成された測定テーブ
ルと、 その測定テーブルの両端部に立設された一対のＹキャリ
ッジの上部をＸガイドで連結して構成したブリッジと、 前記一対のＹキャリッジの下面に設けられ、前記ブリッ
ジの上下方向を支持するエアベアリングと、 前記Ｘガイドの後面に固着されＹ軸方向に延設された駆
動アームと、 前記ブリッジの後方で前記測定テーブル上面に立設固着
されたガイド支柱と、 前記ガイド支柱に設けられ、前記駆動アームのＸ軸方向
を支持するガイドと、 前記ガイド支柱に設けられ、前記駆動アームをＹ軸方向
に駆動する駆動手段と、 前記Ｘガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在に設けられた
Ｘ移動体と、 から構成し、 前記駆動アームのＸ軸方向の位置および幅を、前記Ｘ移
動体の移動により前記ブリッジと前記Ｘ移動体で構成す
るＹ移動体のＸ軸方向重心位置変動範囲を包含する位置
および幅としたことを特徴とする座標測定機。 - 【請求項２】 前記駆動アームのＸ軸方向を支持するガ
イドをエアベアリングとしたことを特徴とする請求項１
に記載の座標測定機。 - 【請求項３】 前記ガイド支柱に前記駆動アームの上下
方向を支持するエアベアリングを設けたことを特徴とす
る請求項１および請求項２に記載の座標測定機。 - 【請求項４】 前記駆動アームをＹ軸方向に駆動する駆
動手段がローラ駆動機構であることを特徴とする請求項
１ならびに請求項２および請求項３に記載の座標測定
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2636694A JPH07218247A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2636694A JPH07218247A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 座標測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218247A true JPH07218247A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=12191507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2636694A Pending JPH07218247A (ja) | 1994-01-28 | 1994-01-28 | 座標測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218247A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015200561A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | 株式会社ミツトヨ | 並進機構及び三次元測定機 |
| JP2016145823A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-12 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2017075962A (ja) * | 2015-01-30 | 2017-04-20 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019105660A (ja) * | 2019-04-08 | 2019-06-27 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
-
1994
- 1994-01-28 JP JP2636694A patent/JPH07218247A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015200561A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | 株式会社ミツトヨ | 並進機構及び三次元測定機 |
| JP2016145823A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-12 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2017075962A (ja) * | 2015-01-30 | 2017-04-20 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2017207500A (ja) * | 2015-01-30 | 2017-11-24 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| US9921049B2 (en) | 2015-01-30 | 2018-03-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| EP3527931A1 (en) | 2015-01-30 | 2019-08-21 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| US10663283B2 (en) | 2015-01-30 | 2020-05-26 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| US11067382B2 (en) | 2015-01-30 | 2021-07-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| JP2019105660A (ja) * | 2019-04-08 | 2019-06-27 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
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