JP2015200561A - 並進機構及び三次元測定機 - Google Patents
並進機構及び三次元測定機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015200561A JP2015200561A JP2014079161A JP2014079161A JP2015200561A JP 2015200561 A JP2015200561 A JP 2015200561A JP 2014079161 A JP2014079161 A JP 2014079161A JP 2014079161 A JP2014079161 A JP 2014079161A JP 2015200561 A JP2015200561 A JP 2015200561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball screw
- air bearing
- slider
- guide
- translation mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 19
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
Description
先ず、本実施の形態の三次元測定機の基本構成を簡単に説明する。ここで、図1は、三次元測定機を概略的に示す斜視図である。図2は、三次元測定機の制御系ブロック図である。
実施の形態1の並進機構は、第1のエアーベアリング13に作用するボールねじ11の振れまわりの力と第2のエアーベアリング14に作用するボールねじ11の振れまわりの力とが略等しい状態で、スライダ12のボールねじ11まわりの回転が抑制されるように、ボールねじの配置を工夫したが、この限りでない。
2 基台
3 テーブル
4 門型フレーム
5 プローブ
6 X方向駆動機構
7 Y方向駆動機構
8 Z方向駆動機構
9 ホストコンピュータ
10 ガイド
11 ボールねじ
12 スライダ、12a〜12d 側部
13 第1のエアーベアリング
14 第2のエアーベアリング
15 第3のエアーベアリング
16 第4のエアーベアリング
17 固定冶具
18 サーボモータ
19 パルスジェネレータ
20 ガイドブロック
21 エアーベアリング
Claims (6)
- ガイドと、
前記ガイドと略平行に配置され、駆動源によって回転駆動するボールねじと、
前記ボールねじからの回転駆動力が伝達され、前記ガイドに沿って移動するスライダと、
前記ガイドと前記スライダとの間に配置され、前記ボールねじに対して一方の領域に設けられた第1のエアーベアリングと、
前記ガイドと前記スライダとの間に配置され、前記ボールねじに対して他方の領域に設けられた第2のエアーベアリングと、
を備え、
前記第1のエアーベアリングに作用する前記ボールねじの振れまわりの力と前記第2のエアーベアリングに作用する前記ボールねじの振れまわりの力とが略等しい状態で、前記スライダの前記ボールねじまわりの回転が抑制される並進機構。 - 前記第1のエアーベアリングに作用する前記ボールねじの振れまわりの力と前記第2のエアーベアリングに作用する前記ボールねじの振れまわりの力とが略等しく、且つ前記スライダの前記ボールねじまわりの回転が抑制される位置に、前記ボールねじが配置されている請求項1に記載の並進機構。
- 前記第1のエアーベアリングに作用する前記ボールねじの振れまわりの力と前記第2のエアーベアリングに作用する前記ボールねじの振れまわりの力とが略等しく、且つ前記スライダの前記ボールねじまわりの回転が抑制される位置に、バランサーが配置されている請求項1に記載の並進機構。
- 前記第1のエアーベアリング及び前記第2のエアーベアリングは、前記ガイドを挟んで対向するように配置されている請求項1乃至3のいずれか1項に記載の並進機構。
- 前記第1のエアーベアリング及び前記第2のエアーベアリングは、前記スライダの重心を通る、前記ボールねじの回転軸に対する垂線を中心とする線対称に配置されている請求項1乃至4のいずれか1項に記載の並進機構。
- 被測定対象物が載置されるテーブルと、
前記被測定対象物に接触するプローブと、
前記プローブと前記テーブルとをX方向に相対的に移動させるX方向駆動機構と、
前記プローブと前記テーブルとをY方向に相対的に移動させるY方向駆動機構と、
前記プローブと前記テーブルとをZ方向に相対的に移動させるZ方向駆動機構と、
を備え、
前記X方向駆動機構は、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の並進機構を有する三次元測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014079161A JP6283249B2 (ja) | 2014-04-08 | 2014-04-08 | 並進機構及び三次元測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014079161A JP6283249B2 (ja) | 2014-04-08 | 2014-04-08 | 並進機構及び三次元測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015200561A true JP2015200561A (ja) | 2015-11-12 |
JP6283249B2 JP6283249B2 (ja) | 2018-02-21 |
Family
ID=54551940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014079161A Active JP6283249B2 (ja) | 2014-04-08 | 2014-04-08 | 並進機構及び三次元測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6283249B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190036111A (ko) * | 2017-09-27 | 2019-04-04 | 신치성 | 볼스크류의 피치 측정장치 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62197709A (ja) * | 1986-02-25 | 1987-09-01 | Mitsutoyo Mfg Corp | 測定機の送り装置 |
JPH03214009A (ja) * | 1990-01-17 | 1991-09-19 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
JPH06186024A (ja) * | 1992-10-22 | 1994-07-08 | Nikon Corp | 三次元測定機 |
JPH07218247A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 座標測定機 |
US6009189A (en) * | 1996-08-16 | 1999-12-28 | Schaack; David F. | Apparatus and method for making accurate three-dimensional size measurements of inaccessible objects |
JP2000298186A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Hitachi Denshi Ltd | 位置決めステージ |
JP2002174317A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Smc Corp | アクチュエータ |
JP2003148581A (ja) * | 2001-11-14 | 2003-05-21 | Mitsutoyo Corp | 摩擦駆動装置およびこれを用いた測定機 |
JP2006194909A (ja) * | 2000-06-13 | 2006-07-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2006242863A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Mitsutoyo Corp | 駆動装置 |
JP2010025224A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Nsk Ltd | 案内装置 |
JP2010066058A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Mitsutoyo Corp | 同期移動装置および画像測定装置 |
-
2014
- 2014-04-08 JP JP2014079161A patent/JP6283249B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62197709A (ja) * | 1986-02-25 | 1987-09-01 | Mitsutoyo Mfg Corp | 測定機の送り装置 |
JPH03214009A (ja) * | 1990-01-17 | 1991-09-19 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
JPH06186024A (ja) * | 1992-10-22 | 1994-07-08 | Nikon Corp | 三次元測定機 |
JPH07218247A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 座標測定機 |
US6009189A (en) * | 1996-08-16 | 1999-12-28 | Schaack; David F. | Apparatus and method for making accurate three-dimensional size measurements of inaccessible objects |
JP2000298186A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Hitachi Denshi Ltd | 位置決めステージ |
JP2006194909A (ja) * | 2000-06-13 | 2006-07-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2002174317A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Smc Corp | アクチュエータ |
JP2003148581A (ja) * | 2001-11-14 | 2003-05-21 | Mitsutoyo Corp | 摩擦駆動装置およびこれを用いた測定機 |
JP2006242863A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Mitsutoyo Corp | 駆動装置 |
JP2010025224A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Nsk Ltd | 案内装置 |
JP2010066058A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Mitsutoyo Corp | 同期移動装置および画像測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190036111A (ko) * | 2017-09-27 | 2019-04-04 | 신치성 | 볼스크류의 피치 측정장치 |
KR102034928B1 (ko) | 2017-09-27 | 2019-11-08 | 신치성 | 볼스크류의 피치 측정장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6283249B2 (ja) | 2018-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101281088B (zh) | 三轴六自由度振动试验装置 | |
JP5843531B2 (ja) | 座標測定用ヘッドユニット及び座標測定機 | |
US7810248B2 (en) | Coordinate positioning machine | |
TW201446365A (zh) | 具有用於增強定位的去耦力框架與度量衡框架的鑽孔裝置 | |
JP2005043177A (ja) | 倣いプローブ | |
US20170059296A1 (en) | Rotary probe head | |
JP2019041105A (ja) | 門形構造の位置決め装置 | |
JP6283249B2 (ja) | 並進機構及び三次元測定機 | |
JP4570437B2 (ja) | 表面粗さ/輪郭形状測定装置 | |
JP5479569B1 (ja) | 移動装置 | |
JP4964124B2 (ja) | 検査対象物における座標の計量測定用座標測定装置 | |
TW201404522A (zh) | 車床 | |
KR20120133656A (ko) | 다축 진동 시험기 | |
CN201193977Y (zh) | 三轴六自由度振动试验装置 | |
CN107152988A (zh) | 一种基于rcm柔性铰链的静平衡测量仪 | |
KR102047098B1 (ko) | 이동형 가공기의 기하학적 에러 보상 방법 및 이를 수행하는 이동형 가공기 | |
CN104070518B (zh) | 一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置 | |
JP5218264B2 (ja) | 揺動装置 | |
JP5639815B2 (ja) | 産業機械 | |
JP4806236B2 (ja) | ステージ駆動装置 | |
KR102060760B1 (ko) | 압전소자 방식 공작기계 가진 시스템 및 이를 이용한 공작기계 가진 방법 | |
KR101299729B1 (ko) | 센서 | |
TWI495839B (zh) | 具五軸量測功能之掃描探頭 | |
JP5923156B2 (ja) | 振動試験装置の供試体取付装置 | |
JP5407277B2 (ja) | Xyステージ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170310 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180123 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6283249 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |