JP5479569B1 - 移動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベッド10と、ベッド上の移動体11と、ベッドと移動体の一方に二次側固定子32と他方に一次側可動子31とを含んで移動体を移動させるリニア駆動機構30と、ベッド上で移動体を、第1軸12aとそれに交わる第2軸12bでなる2次元平面12に対して水平方向に移動可能に支持する移動体支持機構20と、を含み、移動体支持機構が、ベッド上部に第1軸に沿って敷設される複数の第1案内軸21aと、移動体下部に第2軸に沿って敷設される複数の第2案内軸21bと、第1案内軸の軸方向に案内される第1軸受22aと、第2案内軸の軸方向に案内される第2軸受22bと、を含んで、第1と第2案内軸を両方軸受する複数の軸受ブロック22と、を含む移動装置である。
【選択図】図1
Description
しかしながら、その移動装置では、例えば、Y軸方向の直線駆動機構とY軸方向のリニアガイド部によって、Y軸方向に駆動する可動体と、その可動体とテーブルの間に設けられるX軸方向テーブル支持機構とを備えて、そのX軸方向テーブル支持機構が、X軸方向に移動自在にテーブルを支持するとともに、Y軸方向に移動不能にテーブルを支持することを利用して、Y軸方向の可動体と一緒に、X軸方向テーブル支持機構を介してテーブルをY軸方向に移動させている。そのX軸方向テーブル支持機構や同様に方向のみが違うだけのY軸方向テーブル機構は、移動を規制する方向(非案内方向)であったとしても、テーブルに比べればその剛性が小さい。そのため、その移動装置では、テーブルの移動を高速化や高応答化させると、ベースとテーブルの間に設けられたX軸方向テーブル支持機構やY軸方向テーブル支持機構の介在によって、移動する物体全体の揺れが大きくなる傾向にあり、テーブルの移動の高速化や高応答化と、物品の位置決めの高精度化の両立が難しい。
10 ベッド
10a ベッドの上部
11 移動体(テーブル)
11a 移動体の上部
11b 移動体の下部
12 第1軸と第2軸からなる2次元平面
12a 第1軸
12b 第2軸
12c 第3軸
20 移動体支持機構
21 案内軸(ガイドレール)
21a 第1案内軸(第1ガイドレール)
21b 第2案内軸(第2ガイドレール)
22 ガイドブロック
22a ガイドブロックに形成される第1軸受
22b ガイドブロックに形成される第2軸受
30 リニア駆動機構
30a 第1リニア駆動部
30b 第2リニア駆動部
31 一次側の可動子
31a 一次側の第1可動子
31b 一次側の第2可動子
32 二次側の固定子
32a 二次側の第1固定子
32b 二次側の第2固定子
40 テーブルの位置検出手段
40a 位置検出ヘッド
40b 平面スケール
g 一次側の可動子と二次側の固定子との間の隙間の寸法
w1 二次側の第1固定子の第2軸の軸方向の幅寸法
w2 二次側の第2固定子の第1軸の軸方向の幅寸法
Claims (7)
- ベッドと、
前記ベッドの上に対向配置される移動体と、
前記ベッドの上部に設けられる二次側の固定子と前記移動体の下部に設けられる一次側の可動子とを含んで、前記ベッドに対して前記移動体を移動させるリニア駆動機構と、
前記ベッドと前記移動体の間に配置されて、前記ベッドに対して前記移動体を、第1軸とその第1軸に交わる第2軸とで形成される2次元平面に対して水平方向に移動可能に支持する移動体支持機構と、
を備えた移動装置であって、
前記移動体支持機構が、
前記ベッドの上部に前記第1軸の軸方向に沿って敷設される複数の第1案内軸と、
前記移動体の下部に前記第2軸の軸方向に沿って敷設される複数の第2案内軸と、
前記第1案内軸によって前記第1軸の軸方向に移動が案内される第1軸受と前記第2案内軸によって前記第2軸の軸方向に移動が案内される第2軸受とを含んで、前記第1案内軸と前記第2案内軸の両方を軸受けする複数の軸受ブロックと、
を有し、
前記リニア駆動機構が、
電機子から成る前記一次側の可動子のうちの一次側の第1可動子と、少なくとも前記一次側の第1可動子が前記第2軸の軸方向に移動する距離に相当する幅に形成される永久磁石を前記第1軸の軸方向に沿って所定間隔で配列されて成る前記二次側の固定子のうちの二次側の第1固定子と、を含んでなり、前記一次側の第1可動子と前記二次側の第1固定子を常に所定のギャップを維持するように対向させて配置し前記移動体に前記第1軸の軸方向の推力を付与する第1リニア駆動部と、
電機子から成る前記一次側の可動子のうちの一次側の第2可動子と、少なくとも前記一次側の第2可動子が前記第1軸の軸方向に移動する距離に相当する幅に形成される永久磁石を前記第2軸の軸方向に沿って所定間隔で配列されて成る前記二次側の固定子のうちの二次側の第2固定子と、を含んでなり、前記一次側の第2可動子と前記二次側の第2固定子を常に所定のギャップを維持するように対向させて配置し前記移動体に前記第2軸の軸方向の推力を付与する第2リニア駆動部と、
でなり、
前記移動体が初期状態の位置にあるときに、前記複数の第1案内軸が前記移動体の重心位置を通って前記2次元平面に垂直な軸を中心にして両側に配置され、
前記二次側の第2固定子が前記ベッドの上部の前記垂直な軸に交わる前記第2軸の軸方向の軸線上であって前記第1案内軸の外側に前記垂直な軸を挟んで対になるように複数設けられることを特徴とする移動装置。 - 前記第1軸の軸方向に向かって左右対称に、かつ、前記第2軸の軸方向に向かって左右対称に形成される前記移動体と、
前記移動体の重心位置に対して対称な位置に敷設される前記第2案内軸と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の移動装置。 - 前記移動体の少なくとも一部に炭素繊維強化プラスチックを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の移動装置。
- 前記移動体の所定の位置を通るとともに前記2次元平面に垂直な軸が、前記移動体の移動にともない前記第1軸の軸方向と前記第2軸の軸方向に移動する位置を検出するための位置検出手段を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の移動装置。
- 前記所定の位置が、前記移動体の重心位置であることを特徴とする請求項4に記載の移動装置。
- 前記請求項4または5に記載の前記移動装置を含み、前記移動体が移動していない初期状態のときに、その移動体の前記所定の位置を通るとともに前記2次元平面に垂直な前記軸の軸上に、工具類を設けることを特徴とする加工装置。
- 前記請求項1ないし5のいずれか一項に記載の前記移動装置を含むことを特徴とする加工装置。
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- 2012-12-26 JP JP2012282821A patent/JP5479569B1/ja active Active
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