JPH07276166A

JPH07276166A - Ｘｙテーブル

Info

Publication number: JPH07276166A
Application number: JP8911394A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Miyoshi; 秀明三好
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1994-04-04
Filing date: 1994-04-04
Publication date: 1995-10-24
Anticipated expiration: 2017-07-08
Also published as: JP3299629B2

Abstract

(57)【要約】【目的】極めて高い精度を実現でき、しかも応答性良
好にして作業環境を清浄に保ち得るＸＹテーブルを提供
すること。【構成】移動テーブル２を加圧気体の膜を以て支持す
ると共に、駆動手段としてリニア電磁アクチュエータを
使用することにより上記の効果を得ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被加工物等の物品を担
持してこれを二次元的に移動させるＸＹテーブルに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図１６に従来のＸＹテーブルを示す。な
お、このＸＹテーブルは、特開平２−１１６４４２号公
報において開示されている。

【０００３】図示のように、当該ＸＹテーブルは、固定
側としてのベッド１５１と、可動側として作動する移動
テーブル１５２とを有している。移動テーブル１５２
は、下記の構成の支持案内手段によって支持、案内さ
れ、ベッド１５１に対して二次元的に移動自在となって
いる。

【０００４】すなわち、ベッド１５１の上面側に２本の
トラックレール１５４が平行に固設されており、移動テ
ーブル１５２の下面側に該トラックレール１５４と直交
するように他の２本のトラックレール１５５が平行に取
り付けられている。そして、これら上下のトラックレー
ル１５４及び１５５の相互交差部間に各々摺動台１５７
が配設されており、該各摺動台１５７は各トラックレー
ル１５４，１５５の両者に対して相対運動自在に係合し
ている。かかる構成の故、移動テーブル１５２がＸ方向
及びＹ方向に二次的に移動自在となっている。なお、摺
動台１５７には転動体循環路（図示せず）が形成されて
おり、例えばボール等の転動体がこの転動体循環路内に
配列収容され、上記トラックレール１５４，１５５に対
する該摺動台１５７の相対運動に伴って該各トラックレ
ールに沿って転動しつつ循環する。

【０００５】次に、上記移動テーブル１５２を駆動する
駆動手段について説明する。

【０００６】図示のように、ベッド１５１及び移動テー
ブル１５２には、各々の回転中心軸が上記Ｙ方向及びＸ
方向と一致するようにモータ（回転形）１６１及び１６
２がブラケット１６１ａ，１６２ａを介して取り付けら
れている。該各モータには、そのロータコア（図示せ
ず）と一体に回転するようにボールナット（図示せず）
が内装されており、これらのボールナットに螺合するね
じ軸１６４及び１６５が設けられている。そして、該各
ねじ軸１６４，１６５の一端が、連結プレート１６７，
１６８を介して上記摺動台１５７に連結されている。駆
動手段はこのように構成されており、この構成において
各モータ１６１，１６２が適宜回転することによって移
動テーブル１５２が作動する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記した構成のＸＹテ
ーブルにおいては、摺動台１５７内に循環可能に設けら
れた転動体が各トラックレール１５４，１５５に形成さ
れた軌道に対して転がり接触することによって移動テー
ブル１５２の支持、案内がなされる。また、移動テーブ
ル１５２に対する駆動力の付与は、上記ボールナット内
に転動体として循環可能に収容されたボールの各ねじ軸
１６４及び１６５に対する転がり接触を以て行われる。

【０００８】近時、半導体部品等を製造する分野におい
てサブミクロンあるいはナノメータの精度を必要とする
ＸＹテーブルが要望されているが、かかる接触形式のＸ
Ｙテーブルにおいては次の理由によりこの要望に未だ充
分には応えられないのが実情である。

【０００９】すなわち、転動体の転がり接触によって軌
道の不整や誤差の影響を受けると共に、スティックスリ
ップが起こり得、転がり摩擦も比較的大であるからであ
る。また、他方、上記のようにボールねじを使用した場
合はモータ１６１，１６２の回転数を高めようとも移動
テーブル１５２の作動速度はそれ程上がらないから作動
指令に対する応答性を高めることはできず、更に、潤滑
油を用いることからこれによる汚染の恐れもある。

【００１０】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、極めて高
い精度を実現でき、しかも、応答性良好にして作業環境
を清浄に保ち得るＸＹテーブルを提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明によるＸＹテーブ
ルは、移動テーブルと、該移動テーブルを支持し且つ二
次元的に移動自在に案内する支持案内手段と、該移動テ
ーブルを駆動する駆動手段とを備え、前記支持案内手段
は前記移動テーブルとの間に加圧気体の膜を形成するこ
とによって支持し、前記駆動手段はリニア電磁アクチュ
エータからなるように構成したものである。

【００１２】

【作用】かかる構成のＸＹテーブルにおいては、移動テ
ーブルは加圧気体の膜の作用により非接触にて支持さ
れ、且つ非接触にて駆動力を付与され、作動する。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例について、添付図面を
参照しつつ説明する。

【００１４】まず、本発明の第１実施例としてのＸＹテ
ーブルを、図１乃至図５に基づいて説明する。

【００１５】図１乃至図３に示すように、当該ＸＹテー
ブルは、固定側としてのベッド１と、可動側として作動
する移動テーブル２とを有している。当該ＸＹテーブル
は、これが組み込まれるべき工作機械等（図示せず）が
具備する架台上に取り付けられるのであるが、具体的に
はベッド１が該架台に対してボルト等を使用して締結さ
れる。但し、このベッド１は必ずしも必要とするもので
はなく、本実施例において該ベッド１上に搭載されてい
る後述の各機構を該架台に対して直接固定してもよい。

【００１６】なお、当該ＸＹテーブルが装備されるべき
工作機械等としては、例えば、半導体部品であるＩＣチ
ップをリードフレームのアイランド上に順次自動的に装
着するダイボンディング装置や、該ＩＣチップ上のパッ
ド（電極）と該ＩＣチップを囲むようにリードフレーム
に形成されたリードとを導電性のワイヤを用いて接続す
ることを行なうワイヤボンディング装置が挙げられる。

【００１７】上記移動テーブル２は、下記の構成の支持
案内手段によって支持、案内され、ベッド１に対して二
次元的、この場合水平面内において移動自在となってい
る。

【００１８】すなわち、該支持案内手段は、略矩形板状
に形成されて上記移動テーブル２を支持し且つこれを第
１の方向としてのＸ方向（図参照）において案内する第
１の可動案内部材５と、上記ベッド１上に固設されて該
第１の可動案内部材５を支持し且つこれを該第１の方向
に対して垂直な第２の方向たるＹ方向（図参照）におい
て案内する略直方体状の第１の固定案内部材６と、略矩
形板上に形成されて移動テーブル２を支持し且つこれを
上記Ｙ方向において案内する第２の可動案内部材７と、
上記ベッド１上に固定されて該第２の可動案内部材７を
支持し且つこれを上記Ｘ方向において案内する略直方体
状の第２の固定案内部材８とを有している。これら移動
テーブル２、第１の可動案内部材５、第１の固定案内部
材６、第２の可動案内部材７及び第２の固定案内部材８
の各部材に関して、支持、案内をする側の部材とされる
側の部材との相互組付の構成について次に詳述する。ま
ず、移動テーブル２と第１の可動案内部材５との関係に
ついて説明する。

【００１９】上記第１の可動案内部材５については、そ
の上面中央部に案内突部としての矩形状の案内プレート
５ａが固着されており、該案内プレート５ａは長手状に
して上記Ｘ方向において延在するようになされている。
また、上記移動テーブル２の下面側であって該案内プレ
ート５ａと対応する部位には、該案内プレート５ａより
も所定分だけ長くＸ方向において伸長するように矩形状
にして長手状の案内溝２ａが形成されており、該案内プ
レート５ａはこの案内溝２ａに相対運動自在に挿入され
ている。

【００２０】上記案内プレート５ａ及び案内溝２ａの間
には加圧気体の膜、この場合、圧搾空気の膜が形成さ
れ、これによって移動テーブル２の支持、案内がなされ
る。詳しくは、図１乃至図３に示すように、移動テーブ
ル２の側部にニップル１１が取り付けられており、該ニ
ップル１１にはホース（図示せず）が接続され、図示し
ないコンプレッサ等から供給される圧搾空気が該ホース
を通じて該ニップル１１に達する。図４にも示すよう
に、移動テーブル２の内部にはこのニップル１１に一端
にて連通する主通路２ｂが上記Ｙ方向において伸長する
ように形成されている。そして、該主通路２ｂから上記
Ｘ方向に向かって分岐する複数の分岐通路２ｃ及び２ｄ
が形成されており、該各分岐通路２ｃ，２ｄはその先端
部が直角の屈曲させられ、上記案内プレート５ａの上面
及び両側面に対応する給気出口２ｅ及び２ｆとして上記
案内溝２ａにて開口している。

【００２１】上記のように供給される圧搾空気は該各給
気出口２ｅ，２ｆから噴射されて上記案内プレート５ａ
及び案内溝２ａの間に膜として形成され、その静圧に基
づく軸受作用によって移動テーブル２が浮揚し、且つ、
Ｘ方向において円滑に案内される。なお、このように形
成される圧搾空気の膜の厚さは、図４において参照符号
ｅ₁ 及びｅ₂ にて示す値、すなわち、案内プレート５ａ
の上面及び両側面とこれらに対向する案内溝２ａの各面
との間の隙間の大きさとなり、夫々例えば１０μｍ以下
に設定される。また、移動テーブル２の浮揚時の剛性及
び負荷能力を与えるために、上記各給気出口２ｅ，２ｆ
には絞りが設けられ、本実施例の場合、図４から明らか
なように表面溝絞りとなっている。但し、絞りの形式と
してはこれに限らず、自成絞り、オリフィス絞り、多孔
質絞り及びスロット絞り等、種々のものを採用し得、上
記の膜厚などの条件に最も適した絞りが選定される。こ
れら各種の絞りの選定は、後述する他の給気出口に関し
ても同様であり、条件に適合した絞りが採用される。

【００２２】次に、上記した第１の可動案内部材５と該
第１の可動案内部材５の支持、案内をなす第１の固定案
内部材６との相互組付の構成を説明する。

【００２３】図３から特に明らかなように、上記第１の
固定案内部材６の上部には、断面略矩形状の案内溝６ａ
が上記Ｙ方向において伸長するように形成されている。
上記第１の可動案内部材５はこの案内溝６ａに相対運動
自在に挿入されている。そして、該第１の可動案内部材
５及び案内溝６ａの間に、下記の構成によって圧搾空気
の膜が形成され、これにより該第１の可動案内部材５の
支持、案内がなされる。

【００２４】図１乃至図３に示すように、上記第１の固
定案内部材６の上記Ｙ方向における両端部に、夫々２つ
ずつ、合計４つのニップル１５が取り付けられている。
該各ニップル１５にはホース（図示せず）が接続され、
前述したコンプレッサ等より供給される圧搾空気が該ホ
ースを通じて該各ニップル１５に達する。図５にも示す
ように、第１の固定案内部材６の内部にはこれらのニッ
プル１５に一端にて連通する主通路６ｂが上記Ｙ方向に
おいて伸長するように形成されている。該主通路６ｂの
他端は上記Ｘ方向に向って屈曲し、上記第１の可動案内
部材５の両側面に対応する給気出口６ｃとして上記案内
溝６ａにて開口している。また、該主通路６ｂから分岐
する分岐通路６ｄが形成されており、該分岐通路６ｄは
主通路６ｂから下方及びＸ方向に向って屈曲した後、上
方に向って屈曲し、第１の可動案内部材５の下面に対応
する給気出口６ｅとして上記案内溝６ａにて開口してい
る。

【００２５】上記各給気出口６ｃ，６ｅから圧搾空気が
噴射され、上記第１の可動案内部材５と案内溝６ａとの
間に膜として形成され、その静圧に基づく軸受作用によ
って第１の可動案内部材５が浮揚し、且つ、Ｙ方向にお
いて円滑に案内される。なお、このように形成される圧
搾空気の膜の厚さは、図５において参照符号ｅ₃ 及びｅ
₄ にて示す値、すなわち、第１の可動案内部材５の下面
及び両側面とこれらに対向する案内溝６ａの各面との隙
間の大きさとなり、夫々例えば１０μｍ以下に設定され
る。また、該第１の可動案内部材５の浮揚時の剛性及び
負荷能力を与えるために、上記各給気出口６ｃ，６ｅに
は絞りが設けられている。図５から明らかなように、本
実施例の場合、表面溝絞りが採用されている。

【００２６】続いて、前述した移動テーブル２と第２の
可動案内部材７との相互組付の構成について詳述する。

【００２７】まず、上記第２の可動案内部材７について
は、その上面中央部に案内突部としての矩形状の案内プ
レート７ａが固着されており、該案内プレート７ａは長
手状にして上記Ｙ方向において延在するようになされて
いる。また、上記移動テーブル２の下面側であって該案
内プレート７ａと対応する部位には、該案内プレート７
ａよりも所定分だけ長くＹ方向において伸長するように
矩形状にして長手状の案内溝２ｈが形成されており、該
案内プレート７ａはこの案内溝２ｈに相対運動自在に挿
入されている。

【００２８】上記案内プレート７ａ及び案内溝２ｈの間
には圧搾空気の膜が形成され、これによって移動テーブ
ル２の支持、案内がなされる。詳しくは、図１乃至図３
に示すように、移動テーブル２の端部にニップル１７が
取り付けられており、該ニップル１７にはホース（図示
せず）が接続され、図示しないコンプレッサ等から供給
される圧搾空気が該ホースを通じて該ニップル１７に達
する。移動テーブル２の内部にはこのニップル１７に一
端にて連通する主通路２ｉが上記Ｘ方向において伸長す
るように形成されている。そして、該主通路２ｉから上
記Ｙ方向に向って分岐する複数の分岐通路２ｊ及び２ｋ
が形成されており、該各分岐通路２ｊ，２ｋはその先端
部が直角に屈曲させられ、上記案内プレート７ａの上面
及び両側面に対応する給気出口２ｍ及び２ｎとして上記
案内溝２ｈにて開口している。

【００２９】上記のように供給される圧搾空気は該各給
気出口２ｍ，２ｎから噴射されて上記案内プレート７ａ
及び案内溝２ｈの間に膜として形成され、その静圧に基
づく軸受作用によって移動テーブル２が浮揚し、且つ、
Ｙ方向において円滑に案内される。なお、このように形
成される圧搾空気の膜の厚さは、前述した案内プレート
５ａの上面及び両側面とこれらに対向する案内溝２ａの
各面との間の隙間の大きさと同等（図示せず）であり、
夫々例えば１０μｍ以下に設定される。また、移動テー
ブル２の浮揚時の剛性及び負荷能力を与えるために、上
記各給気出口２ｍ，２ｎには絞りが設けられ、本実施例
の場合、表面溝絞り（図示せず）となっている。

【００３０】次に、上述した第２の可動案内部材７と第
２の可動案内部材７の支持、案内をなす第２の固定案内
部材８との相互組付の構成を説明する。

【００３１】図３から特に明らかなように、上記第２の
固定案内部材８の上部には、断面略矩形状の案内溝８ａ
がＸ方向において伸長するように形成されている。上記
第２の可動案内部材７はこの案内溝８ａに相対運動自在
に挿入されている。そして、該第２の可動案内部材７及
び案内溝８ａの間に、下記の構成によって圧搾空気の膜
が形成され、これにより該第２可動案内部材７の支持、
案内がなされる。

【００３２】図１乃至図３に示すように、上記第２の固
定案内部材８の上記Ｘ方向における両端部に、夫々２つ
ずつ、合計４つのニップル１９が取り付けられている。
該各ニップル１９にはホース（図示せず）が接続され、
前述したコンプレッサ等より供給される圧搾空気が該ホ
ースを通じて該各ニップル１９に達する。第２の固定案
内部材８の内部にはこれらのニップル１９に一端にて連
通する主通路８ｂが上記Ｘ方向において伸長するように
形成されている。該主通路８ｂの他端は上記Ｙ方向に向
って屈曲し、上記第２の可動案内部材７の両側面に対応
する給気出口８ｃとして上記案内溝８ａにて開口してい
る。また、該主通路８ｂから分岐する分岐通路８ｄが形
成されており、該分岐通路８ｄは主通路８ｂから下方及
びＹ方向に向って屈曲した後、上方に向って屈曲し、第
２の可動案内部材７の下面に対応する給気出口８ｅとし
て上記案内溝８ａにて開口している。

【００３３】上記各給気出口８ｃ，８ｅから圧搾空気が
噴射され、上記第２の可動案内部材７と案内溝８ａとの
間に膜として形成され、その静圧に基づく軸受作用によ
って第２の可動案内部材７が浮揚し、且つ、Ｘ方向にお
いて円滑に案内される。なお、このように形成される圧
搾空気の膜の厚さは、前述した第１の可動案内部材５の
下面及び両側面とこれらに対向する案内溝６ａの各面と
の間の隙間の大きさと同等（図示せず）であり、夫々例
えば１０μｍ以下に設定される。また、該第２の可動案
内部材７の浮揚時の剛性及び負荷能力を与えるために、
上記各給気出口８ｃ，８ｅには絞りが設けられている。
本実施例の場合、表面溝絞り（図示せず）が採用されて
いる。

【００３４】移動テーブル２を支持し且つ二次元的に移
動自在に案内する支持案内手段は上記のように構成され
ている。なお、本実施例においては、移動テーブル２、
第１の可動案内部材５及び第２の可動案内部材７の浮揚
支持状態を得るために圧搾空気の膜を形成（図４、図５
における隙間ｅ₁ 及びｅ₃ に形成）すると共に、該浮揚
支持の方向すなわち重力方向に対して垂直な水平方向に
おいても圧搾空気の膜を形成（図４，図５における隙間
ｅ₂ ，ｅ₄ に形成）することにより該各部材を高精度に
案内する作用を得ているが、圧搾空気の膜は重力方向に
おける浮揚支持状態を得るためのみに用いて、水平方向
における案内の作用については次に示す接触方式の案内
手段を用いていることとしてもよい。

【００３５】すなわち、図６及び図７に示すように、例
えば第１の可動案内部材５について、これに固設された
案内プレート５ａの両側面に対応して３つの軸受、この
場合ラジアルボールベアリング５１を配置する。そし
て、ボルト５２を用いて、該各ラジアルボールベアリン
グ５１をその内輪にて移動テーブル２の下面側に対して
締結する。詳しくは、移動テーブル２の下面側に座ぐり
部２ｓを形成し、ラジアルボールベアリング５１をこの
座ぐり部２ｓ内に挿入する。また、図６に示すように、
該座ぐり部２ｓの天井面とラジアルボールベアリング５
１の内輪との間にはカラー５３を介装する。

【００３６】ここで、上記各ラジアルボールベアリング
５１は、上記案内プレート５ａに対する移動テーブル２
の浮揚作動を可能とするため、下記のように構成する。

【００３７】図８に示すように、ボール５１ａを挟んで
位置する内輪５１ｂ及び外輪５１ｃのうち少なくともい
ずれか一方、この場合外輪５１ｃに関し、その軌道が、
重力方向に平行な短い平面５１ｄを有するように形成し
ている。

【００３８】かかる構成においては、移動テーブル２が
Ｘ方向（図３等を参照）において移動するに際して、上
記各ラジアルボールベアリング５１が案内プレート５ａ
の両側面に沿って転動する状態となるが、このとき、各
ラジアルボールベアリング５１の内輪５１ｂ及びボール
５１ａが外輪５１ｃに対して該外輪５１ｃの平面５１ｄ
の範囲内で上下動可能であるため、移動テーブル２が圧
搾空気の作用により浮揚し得る訳である。

【００３９】なお、本例においては、ボールベアリング
５１の外輪５１ｃの軌道に平面５１ｄを含ませて上記の
動作を可能としているが、この他、外輪の軌道全面がボ
ールの半径よりもかなり大きな曲率半径を以て形成され
た調心型のベアリングを用いても、ほぼ同様の作動状態
が得られる。

【００４０】図９及び図１０は、上述したボールベアリ
ング形式に代えて、直動型式の接触式案内手段を採用し
た例を示すものである。

【００４１】図示のように、本例においては、上記案内
プレート５ａの両側部に移動テーブル２が移動すべき方
向、この場合Ｘ方向（図３等を参照：図９及び図１０に
おいては紙面に垂直な方向）に沿ってＶ字状の軌道溝５
ｇを形成する。そして、移動テーブル２について、該軌
道溝５ｇに対応する部位に、該Ｘ方向において延在すべ
く長尺の軌道駒５５を配設する。該軌道駒５５にも案内
プレート５ａの軌道溝５ｇと同様のＶ字状軌道溝５５ａ
を対向して形成し、該両軌道溝５ｇ、５５ａ間に転動体
としての複数のローラ５６を配列する。なお、これらの
ローラ５６は、隣り合うもの同士の回転中心軸が互いに
直交するように交互に配列される。また、リテーナ５７
が設けられ、各ローラ５６はこのリテーナ５７によって
互いに分離しないように保持される。但し、ローラ５６
に代えてボールを用いた構成としてもよい。

【００４２】本例においては、上記案内プレート５ａに
対する移動テーブル２の浮揚作動を可能とするため、下
記の構成が付加される。

【００４３】すなわち、上記軌道駒５５を取り付けるべ
く移動プレート２に形成された凹部２ｔが、該軌道駒５
５の高さ寸法よりも大なる寸法にて形成されている。こ
の構成においては、移動テーブル２が上記Ｘ方向におい
て移動するに際して、上記各ローラが転動するのである
が、このとき、移動テーブル２が上記軌道駒５５に対す
る凹部２ｔの寸法差の範囲内で可動であるため、圧搾空
気の作用によって浮揚し得るのである。

【００４４】なお、上述した各例においては第１の可動
案内部材５（の案内プレート５ａ）に対する移動テーブ
ル２の案内の構成に関して説明しているが、第２の可動
案内部材７（の案内プレート７ａ）に対する移動テーブ
ル２の案内（Ｙ方向）の構成についても同様である故、
その説明は省略する。

【００４５】また、圧搾空気の膜により浮揚支持するの
は移動テーブル２のみとし、第１の可動案内部材５及び
第２の可動案内部材７の支持に関しては上記のような接
触方式の案内手段の他、図１１に示した装置が装備して
いる案内手段（トラックレール及び摺動台からなる）を
代用してもよい。また、これらのことは、後述する第２
実施例としてのＸＹテーブルに関しても同様である。

【００４６】次に、移動テーブル２に対し、上述した支
持案内手段によって案内される方向への駆動力を付与す
る駆動手段について説明する。

【００４７】この駆動手段としてはリニア電磁アクチュ
エータが採用されており、本実施例の場合リニア直流モ
ータが使用されている。なお当該リニア直流モータは可
動コイル型のものであるが、他に可動マグネット型のリ
ニア直流モータや、リニアパルスモータ等、種々のリニ
ア電磁アクチュエータが適用可能である。

【００４８】図２及び図３に示すように、前述した第１
の固定案内部材６にはこれを上記Ｘ方向において貫通す
る貫通孔６ｇが形成されており、第２の固定案内部材８
にもこれを上記Ｙ方向において貫通する貫通孔８ｇが形
成されている。そして、図１からも明らかなように、こ
れらの貫通穴６ｇ，８ｇ内に、リニア直流モータ２１及
び２２が各々組み込まれている。すなわち、前述した第
１の可動案内部材５及び第２の可動案内部材７に夫々個
別に対応するように２つのリニア直流モータ２１及び２
２が設けられ、これらリニア直流モータ２１，２２によ
って該第１の可動案内部材５及び第２の可動案内部材７
に推力が付与され、移動するものである。該各リニア直
流モータ２１及び２２は次のように構成されている。な
お、該両リニア直流モータ２１，２２は互いに同様に構
成されている故、一方のリニア直流モータ２１について
のみ詳しい説明を行い、他方のリニア直流モータ２２に
関しては説明を省略する。但し、各図において、この説
明を省くリニア直流モータ２２が具備する各構成部材に
つき、説明を行うリニア直流モータ２１が具備する各構
成部材と対応するものに、同じアルファベットａ，ｂ，
ｃ，・・・を付して２２ａ，２２ｂ，２２ｃ、・・・と
して示している。

【００４９】図１１及び図１２から特に明らかなよう
に、このリニア直流モータ２１は、夫々矩形板状にして
同形状、同寸法にて形成された４枚の界磁マグネット２
１ａ乃至２１ｄを有している。図１２に示すように、２
枚の界磁マグネット２１ａ及び２１ｂが水平に並べて上
側に配置され、他の２枚の界磁マグネット２１ｃ及び２
１ｄがこれらと対向するように下側に並べて配設されて
おり、夫々上記貫通孔６ｇの天井面及び底面に固着さ
れ、両者間に磁気ギャップｅが形成されている。図１２
に示すように、該各界磁マグネット２１ａ乃至２１ｄ
は、隣接するもの同士及び対向するもの同士の磁極
（Ｎ，Ｓ）が互いに相違するようになされている。な
お、界磁マグネット２１ａ及び２１ｂ、並びに界磁マグ
ネット２１ｃ及び２１ｄは、これら２枚ずつを一体化し
て１枚ものとして、着磁形式のみをこのようにしてもよ
い。また、各界磁マグネットが装着される上記第１の固
定案内部材６（他方のリニア直流モータ２２については
第２の固定案内部材８）は好ましくは磁性体からなり、
ヨークとして作用し、強力な磁気回路が形成される。

【００５０】上記磁気ギャップｅ内に電機子コイル２１
ｅが配設されている。該電機子コイル２１ｅは矩形板状
のコイル巻装材２１ｆの外周に巻回され、矩形環状とな
っている。そして、図１１から明らかなように、該電機
子コイル２１ｅは、その２辺の長辺部、すなわち推力に
寄与する導体部２１ｈ，２１ｉのみが上記界磁マグネッ
トに対向し、推力に寄与しない短辺部については磁気ギ
ャップ外に位置するように寸法設定されている。また、
図１１及び図１２において、電機子コイル２１ｅがその
往復動の移動限界位置にある状態を夫々一点鎖線及び二
点鎖線にて示しているが、該電機子コイル２１ｅがいか
なる位置にあるときでも、上記導体部２１ｈが界磁マグ
ネット２１ａ及び２１ｃの間に位置し、他方の導体部２
１ｉは界磁マグネット２１ｂ及び２１ｄの間に位置する
ようになされている。

【００５１】かかる構成のリニア直流モータ２１におい
ては、電機子コイル２１ｅに所定の電流を供給すること
により、該電機子コイル２１ｅと界磁マグネットとの間
にフレミングの左手の法則に基づく推力が生じ、この推
力によって電機子コイル２１ｅが移動する。具体的に
は、図１２において、電機子コイル２１ｅの左側の導体
部２１ｈで手前に、右側の導体部２１ｉで向うに流れる
向きに電流を流せば電機子コイル２１ｅを左方向に移動
させる推力が生じ、反対の向きに電流を流せば右方向へ
の推力が生じる。

【００５２】前述した第１の可動案内部材５及び第２の
可動案内部材７は、上記両リニア直流モータ２１，２２
が夫々具備する電機子コイル２１ｅ及び２２ｅと一体に
結合され、連動する。すなわち、図１乃至図３並びに図
５に示すように、該第１の可動案内部材５及び第２の可
動案内部材７に案内突部として各々固設された案内プレ
ート５ａ及び７ａの両端部下面に、直方体状に形成され
た結合部材５ｂ，７ｂがその上端にて固着されている。
そして、該各結合部材５ｂ，７ｂの下端が、上記各電機
子コイル２１ｅ，２２ｅが夫々巻装されているコイル巻
装材２１ｆ，２２ｆに対して図示しないボルトにより締
結されている。なお、図１１において、該ボルトが挿通
されるべくコイル巻装材２１ｆに形成された挿通孔を、
参照符号２１ｋにて示している。

【００５３】ところで、当該ＸＹテーブルにおいては、
前述のＸ方向及びＹ方向夫々における移動テーブル２の
位置を検知するための位置検知手段として、下記の構成
のものが設けられている。

【００５４】すなわち、該位置検知手段は、図１及び図
２に示すように、上記各結合部材５ｂ及び７ｂの外側面
に各々取り付けられたリニア磁気スケール２５ａ及び２
６ａと、該各リニア磁気スケール２５ａ，２６ａに対応
すべくベッド１上に固設された磁気センサ部２５ｂ，２
６ｂとからなる。一方の組のリニア磁気スケール２５ａ
及び磁気センサ部２５ｂはＹ方向における位置検知を行
うためのものであり、他方の組のリニア磁気スケール２
６ａ及び磁気センサ部２６ｂはＸ方向における位置検知
をなすためのものである。

【００５５】上記両リニア磁気スケール２５ａ，２６ａ
は、夫々上記Ｙ方向及びＸ方向において延在するように
配設され、その長手方向に沿ってＮ，Ｓの磁極（図示せ
ず）が交互に微細ピッチで多極着磁されると共に、一端
に原点信号着磁部が形成されている。そして、対する両
磁気センサ部２５ｂ及び２６ｂには、原点検出用のホー
ル効果素子（図示せず）を設けると共に、Ａ相及びＢ相
の他の２つのホール効果素子（図示せず）を互いに上記
ピッチの２分の１だけずらせて配置している。かかる構
成により、Ａ相、Ｂ相の信号が得られ、位置の検知と共
に移動方向の判別ができる。

【００５６】次に上記した構成のＸＹテーブルの動作に
ついて簡単に説明する。

【００５７】移動テーブル２をＹ方向において移動させ
る場合、リニア直流モータ２１が具備する電機子コイル
２１ｅに対する給電が行われる。これによりＹ方向の推
力が生じ、該電機子コイル２１ｅ及びこれと一体的に結
合されている第１の可動案内部材５が該Ｙ方向に移動す
る。よって、該第１の可動案内部材５に固設された案内
プレート５ａに対して案内溝２ａにて係合している移動
テーブル２が同方向に移動する。但し、このＹ方向の移
動のストロークは、該移動テーブル２に該Ｙ方向におい
て伸長すべく形成された他の案内溝２ｈ内を案内プレー
ト７ａが移動し得る範囲である。

【００５８】移動テーブル２をＸ方向に移動させる場合
も同様であり、他方のリニア直流モータ２２が備える電
機子コイル２２ｅに所定の電流が供給される。すると、
Ｘ方向の推力が生じ、該電機子コイル２２ｅ及びこれと
結合されている第２の可動案内部材７が該Ｘ方向に移動
し、該第２の可動案内部材７に固設された案内プレート
７ａに対して案内溝２ｈにて係合している移動テーブル
２は該Ｘ方向に移動する。なお、このＸ方向の移動スト
ロークは、移動テーブル２に該Ｘ方向において伸長すべ
く形成された上記案内溝２ａ内を案内プレート５ａが移
動し得る範囲である。

【００５９】上述したＹ方向とＸ方向の移動が選択的及
び複合して行われることにより、移動テーブル２は二次
元的な座標を与えられるべく移動させられ、位置決めさ
れる。

【００６０】次に、本発明の第２実施例としてのＸＹテ
ーブルについて、図１３乃至図１５に基づいて説明す
る。なお、当該ＸＹテーブルは、以下に説明する部分以
外は図１乃至図１２に示した第１実施例としてのＸＹテ
ーブルと同様に構成されている故、全体としての説明は
省略して要部のみの説明に留める。また、以下の説明に
おいて、該第１実施例としてのＸＹテーブルの構成部分
と同一又は対応する構成部分については同じ参照符号を
用いている。

【００６１】当該ＸＹテーブルにおいては、第１の可動
案内部材５及び第２の可動案内部材７による移動テーブ
ル２の支持、案内の構成と、第１の固定案内部材６及び
第２の固定案内部材８による該両可動案内部材５，７の
支持、案内の構成が、上記第１実施例としてのＸＹテー
ブルの構成と相違する。まず、移動テーブル２と第１の
可動案内部材５との関係について説明する。

【００６２】図１３に示すように、上記第１の可動案内
部材５については、その上面中央部に、断面矩形状にし
て長手状の案内溝５ｄがＸ方向において伸長するように
形成されている。また、該移動テーブル２の下面側であ
って該案内溝５ｄと対応する部位には、該案内溝５ｄよ
りも所定分だけ短い案内突部としての矩形板状の案内プ
レート２８が上記Ｘ方向において延在するように固着さ
れており、且つ、上記案内溝５ｄに相対運動自在に挿入
されている。

【００６３】上記案内プレート２８及び案内溝５ａの間
には圧搾空気の膜が形成され、これによって移動テーブ
ル２の支持、案内がなされる。詳しくは、図１３に示す
ように、移動テーブル２の一端にニップル３１が取り付
けられており、該ニップル３１にはホース（図示せず）
が接続され、図示しないコンプレッサ等から供給される
圧搾空気が該ホースを通じて該ニップル３１に達する。
図１４にも示すように、移動テーブル２の内部にはこの
ニップル３１に一端にて連通する主通路２ｐが上記Ｘ方
向において伸長するように形成されている。該主通路２
ｐの他端は下方に向けて屈曲し、案内プレート２８の内
部にＸ方向に伸長して形成された副主通路２８ａの中央
部に連通している。該副主通路２８ａの両端部から両側
方すなわちＹ方向と下方向に向けて３本ずつ分岐する合
計６本の分岐通路２８ｂ及び２８ｃが形成されており、
上記案内溝５ｄの両内側面及び底面に対応する給気出口
２８ｄ及び２８ｅとして開口している。

【００６４】上記のように供給される圧搾空気は該各給
気出口２８ｄ，２８ｅから噴射されて上記案内プレート
２８及び案内溝５ｄの間に膜として形成され、その静圧
に基づく軸受作用によって移動テーブル２が浮揚し、Ｘ
方向において円滑に案内される。なお、この圧搾空気の
膜の厚さは、図１４において参照符号ｅ₅ 及びｅ₆ にて
示す値、すなわち、案内プレート２８の下面及び両側面
とこれらに対向する案内溝５ｄの各面との間の隙間の大
きさとなり、夫々例えば１０μｍ以下に設定される。ま
た、移動テーブル２の浮揚時の剛性及び負荷能力を与え
るために、上記各給気出口２８ｄ，２８ｅには絞りが設
けられ、本実施例の場合、図１４から明らかなように表
面溝絞りとなっている。

【００６５】次に、上記した第１の可動案内部材５と該
第１の可動案内部材５の支持、案内をなす第１の固定案
内部材６との相互組付の構成を説明する。

【００６６】図１３から明らかなように、上記第１の固
定案内部材６の上部には、断面矩形状の案内突部６ｉが
上記Ｙ方向において延在するように形成されている。ま
た、上記第１の可動案内部材５の下部に断面矩形状の案
内溝５ｅが同じくＹ方向において伸長するように形成さ
れており、上記案内突部６ｉに対して該案内溝５ｅにて
相対運動自在に係合している。そして、該案内突部に６
ｉ及び案内溝５ｅの間に、下記の構成によって圧搾空気
の膜が形成され、これによって該第１の可動案内部材５
の支持、案内が行われる。

【００６７】図１３において、上記第１の固定案内部材
６の上記Ｙ方向における両端部に、夫々１つずつ、合計
２つのニップル３３が取り付けられている。但し、図１
３には該第１の固定案内部材６の一端部のみが示されて
おり、他端部は示されてはいないが、両者は対称に構成
されている。

【００６８】上記ニップル３３にはホース（図示せず）
が接続され、前述したコンプレッサ等より供給される圧
搾空気が該ホースを通じて該ニップル３３に達する。図
１５にも示すように、該第１の固定案内部材６の内部に
は該ニップル３３に一端にて連通する主通路６ｊが上記
Ｙ方向において伸長するように形成されている。該主通
路６ｊの該一端近傍及び他端から両側方すなわちＸ方向
と、上方向に向けて３本ずつ分岐する合計６本の分岐通
路６ｋ及び６ｍが形成されており、上記案内溝５ｅの両
内側面及び天井面に対応する給気出口６ｎ及び６ｏとし
て開口している。

【００６９】上記各給気出口６ｎ，６ｏから圧搾空気が
噴射され、上記第１の可動案内部材５の案内溝５ｅと第
１の固定案内部材６の案内突部６ｉとの間に膜として形
成され、その静圧に基づく軸受作用によって第１の可動
案内部材５が浮揚し、且つＹ方向において円滑に案内さ
れる。なお、このように形成される圧搾空気の膜の厚さ
は、図１５において参照符号ｅ₇ 及びｅ₈ にて示す値、
すなわち、上記案内突部６ｉの上面及び両側面とこれら
に対向する案内溝５ｅの各面との隙間の大きさとなり、
夫々例えば１０μｍ以下に設定される。また該第１の可
動案内部材５の浮揚時の剛性及び負荷能力を与えるた
め、上記各給気出口６ｎ，６ｏには絞りが形成されてい
る。図１５から明らかなように、本実施例の場合、表面
溝絞りとなっている。

【００７０】続いて、前述した移動テーブル２と第２の
可動案内部材７との相互組付の構成について詳述する。

【００７１】まず、第２の可動案内部材７については、
その上面中央部に、断面矩形状にして長手状の案内溝７
ｄがＹ方向において伸長するように形成されている。ま
た、該移動テーブル２の下面側であって該案内溝７ｄと
対応する部位には、該案内溝７ｄよりも所定分だけ短い
案内突部としての矩形板状の案内プレート３８が上記Ｙ
方向において延在するように固着されており、且つ、上
記案内溝７ｄに相対運動自在に挿入されている。

【００７２】上記案内プレート３８及び案内溝７ｄの間
には圧搾空気の膜が形成され、これによって移動テーブ
ル２の支持、案内がなされる。詳しくは、図１３に示す
ように、移動テーブル２の端部にニップル３９が取り付
けられており、該ニップル３９にはホース（図示せず）
が接続され、図示しないコンプレッサ等から供給される
圧搾空気が該ホースを通じて該ニップル３９に達する。
移動テーブル２の内部にはこのニップル３９に一端にて
連通する主通路２ｑが上記Ｘ方向において伸長するよう
に形成されている。該主通路２ｑの他端は下方に向けて
屈曲し、案内プレート３８の内部にＹ方向に伸長して形
成された副主通路３８ａの中央部に連通している。該副
主通路３８ａの両端部から両側方すなわちＸ方向と、下
方に向けて３本づつ分岐する合計６本の分岐通路３８ｂ
及び３８ｃが形成されており、上記案内溝７ｄの両内側
面及び底面に対応する給気出口３８ｄ及び３８ｅとして
開口している。

【００７３】上記のように供給される圧搾空気は該各給
気出口３８ｄ，３８ｅから噴射されて上記案内プレート
３８及び案内溝７ｄの間に膜として形成され、その静圧
に基づく軸受作用によって移動テーブル２が浮揚し、Ｙ
方向において円滑に案内される。なお、この圧搾空気の
膜の厚さは、前述した案内プレート２８の下面及び両側
面とこれらに対向する案内溝５ｄの各面との隙間の大き
さと同等であり、夫々例えば１０μｍ以下に設定され
る。また、移動テーブル２の浮揚時の剛性及び負荷能力
を与えるために、上記各給気出口３８ｄ，３８ｅには絞
りが設けられ、本実施例の場合、表面溝絞り（図示せ
ず）となっている。

【００７４】次に、上述した第２の可動案内部材７と該
第２の可動案内部材７の支持、案内をなす第２の固定案
内部材８との相互組付の構成を説明する。

【００７５】図１３から明らかなように、上記第２の固
定案内部材８の上部には、断面矩形状の案内突部８ｉが
上記Ｘ方向において延在するように形成されている。ま
た、上記第２の可動案内部材７の下部に断面矩形状の案
内溝７ｅが同じくＸ方向において伸長するように形成さ
れており、上記案内突部８ｉに対して該案内溝７ｅにて
相対運動自在に係合している。そして、該案内突部８ｉ
及び案内溝７ｅの間に、下記の構成によって圧搾空気の
膜が形成され、これによって該案内部材７の支持、案内
が行われる。

【００７６】図１３において、上記第２の固定案内部材
８の上記Ｘ方向における両端部に、夫々１つずつ、合計
２つのニップル４０が取り付けられている。但し、図１
３には該第２の固定案内部材８の一端部のみが示されて
おり、他端部は示されてはいないが、両者は対称に構成
されている。

【００７７】上記ニップル４０にはホース（図示せず）
が接続され、前述したコンプレッサ等より供給される圧
搾空気が該ホースを通じて該ニップル４０に達する。該
第２の固定案内部材８の内部には該ニップル４０に一端
にて連通する主通路８ｊが上記Ｘ方向において伸長する
ように形成されている。該主通路８ｊの該一端近傍及び
他端から両側方すなわちＹ方向と、上方に向けて３本ず
つ分岐する合計６本の分岐通路８ｋ及び８ｍが形成され
ており、上記案内溝７ｅの両内側面及び天井面に対応す
る給気出口８ｎ及び８ｏとして開口している。

【００７８】上記各給気出口８ｎ，８ｏから圧搾空気が
噴射され、上記第２の可動案内部材７の案内溝７ｅと第
２の固定案内部材８の案内突部８ｉとの間に膜として形
成され、その静圧に基づく軸受作用によって第２の可動
案内部材７が浮揚し、且つ、Ｘ方向において円滑に案内
される。なお、このように形成される圧搾空気の膜の厚
さは、前述した第１の可動案内部材６の案内突部６ｉの
上面及び両側面とこれらに対向する案内溝５ｅの各面と
の間の隙間の大きさと同等であり、夫々例えば１０μｍ
以下に設定される。また、該第２の可動案内部材７の浮
揚時の剛性及び負荷能力を与えるため、上記各給気出口
８ｎ，８ｏには絞りが形成されている。本実施例の場
合、表面溝絞りとなっている。

【００７９】上記した構成の第２実施例としてのＸＹテ
ーブルの動作に関しては、前述した第１実施例としての
ＸＹテーブルと同様である故、その説明は省略する。

【００８０】以上から明らかなように、本発明に係るＸ
Ｙテーブルにおいては、移動テーブル２を二次元的に移
動自在に支持するために圧搾空気等の加圧気体を用い、
リニア直流モータなどのリニア電磁アクチュエータによ
って駆動力を付与している。すなわち、移動テーブル２
は非接触にて支持され且つ駆動力を付与されて作動する
ものであり、それ故にある程度の軌道の不整及び誤差は
ならされ、スティックスリップは起こり得ず、作動に伴
う摩擦もほとんど零に等しく、非常に高い精度を以て作
動、位置決めを行うことが出来るという効果が得られ
る。

【００８１】また、リニア電磁アクチュエータを用いた
ことによって、該リニア電磁アクチュエータ自体の作動
速度が即ち上記移動テーブル２の作動速度となり、作動
指令に対する応答性が高まっている。

【００８２】更に、潤滑油等を使用する必要性が低いか
ら、作業環境が清浄に保たれるという効果が奏される。

【００８３】加えて、本発明に係るＸＹテーブルにおい
ては、上記移動テーブル２を支える方向に対して垂直な
方向においても該移動テーブル２に対して加圧気体の膜
を介在させ、以て、該移動テーブル２の移動の案内が行
われる。かかる構成の故、移動テーブル２は完全に非接
触の状態となり、上述した各効果が確実に発揮される。

【００８４】また、本発明に係るＸＹテーブルにおいて
は、上記移動テーブル２の支持、案内をなす支持案内手
段と、該移動テーブルを駆動する駆動手段とが具体的に
は次のように構成されている。

【００８５】すなわち、該支持案内手段は、上記移動テ
ーブル２を支持し且つ第１の方向（Ｘ方向）において案
内する第１の可動案内部材５と、該第１の可動案内部材
５を支持し且つ該第１の方向に対して垂直な第２の方向
（Ｙ方向）において案内する第１の固定案内部材６と、
上記移動テーブル２を支持し且つ該第２の方向において
案内する第２の可動案内部材７と、該第２の可動案内部
材７を支持し且つ上記第１の方向において案内する第２
の固定案内部材８とを有し、少なくとも上記第１の可動
案内部材５及び第２の可動案内部材７と上記移動テーブ
ル２との間に加圧気体の膜が形成され、前述のリニア電
磁アクチュエータは該第１の可動案内部材５及び第２の
可動案内部材７に夫々個別に対応して複数設けられて該
第１の可動案内部材５及び第２の可動案内部材７に推力
を付与してこれらを移動させる。

【００８６】この表現は要するに、上記第１の可動案内
部材５と第１の固定案内部材６とが互いに上下に重なっ
た状態で移動テーブル２の下方の所定位置に配設される
一方、上記第２の可動案内部材７及び第２の固定案内部
材８については移動テーブル２の下方の他の所定位置、
すなわち、移動テーブル２が作動を行う二次元座標内で
上記第１の可動案内部材５及び第１の固定案内部材６か
ら離間した位置に配設され、しかもリニア電磁アクチュ
エータが該第１の可動案内部材５及び第２の可動案内部
材７の夫々に対応して配置されることを示すものであ
る。これを更に要約するならば、上記支持案内手段及び
駆動手段の各々を夫々２つの部分に分け、これらを平面
的に分散させて配置しているのである。かかる構成の
故、ＸＹテーブル全体の薄型化が達成されている。

【００８７】また、本発明に係るＸＹテーブルにおいて
は、上記移動テーブル２、第１の可動案内部材５、第１
の固定案内部材６、第２の可動案内部材７及び第２の固
定案内部材８の各部材に関し、支持案内をする側の部材
とされる側のいずれか一方に案内溝が形成され、他方に
は該案内溝に相対運動自在に挿入される案内突部が設け
られ、上記加圧気体の膜は該案内溝及び案内突部の間に
形成される。この構成によれば、移動テーブル２の支
持、案内のための構造が簡略化されると共に、加圧気体
の圧力が有効に作用してその消費量も低く抑えることが
出来る故、コストの低減が達成されるものである。

【００８８】そして、本発明に係るＸＹテーブルにおい
ては、上記リニア電磁アクチュエータとしてリニア直流
モータを採用することにより、下記の効果が奏される。

【００８９】すなわち、大推力が得られ、また効率良好
である。また、非常に小形かつ軽量のものが得られる。

【００９０】なお、前述した各実施例のＸＹテーブルに
おいては加圧気体として圧搾空気が使用されているが、
許容され、あるいは必要とされるならば他の種々の気体
を使用可能であることは勿論である。

【００９１】また、本発明は、前述した第１実施例及び
第２実施例のＸＹテーブルの構成に限らず、これら両実
施例の構成を互いに少なくともその一部ずつでも応用さ
せ合うことなどによって、多岐に亘る構成を実現し得る
ものある。

【００９２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるＸＹ
テーブルにおいては、移動テーブルを二次元的に移動自
在に支持するために加圧気体を用い、リニア電磁アクチ
ュエータによって駆動力を付与している。すなわち、移
動テーブルは非接触にて支持され且つ駆動力を付与され
て作動するのであり、それ故にある程度の軌道の不整及
び誤差はならされ、スティックスリップは起こり得ず、
作動に伴う摩擦もほとんど零に等しく、非常に高い精度
を以て作動、位置決めを行うことが出来るという効果が
得られる。またリニア電磁アクチュエータを用いたこと
によって、該リニア電磁アクチュエータ自体の作動速度
が即ち上記移動テーブルの作動速度となり、作動指令に
対する応答性が高まっている。更に、潤滑油等を使用す
る必要性が低いから、作業環境が清浄に保たれるという
効果が奏される。加えて、本発明によるＸＹテーブルに
おいては、上記移動テーブルを支える方向に対して垂直
な方向においても該移動テーブルに対して加圧気体の膜
を介在させ、以て、該移動テーブルの移動の案内が行わ
れる。かかる構成の故、移動テーブルは完全に非接触の
状態となり、上述した各効果が確実に発揮される。ま
た、本発明によるＸＹテーブルにおいては、上記移動テ
ーブルの支持、案内をなす支持案内手段と、該移動テー
ブルを駆動する駆動手段とが具体的には次のように構成
されている。すなわち、該支持案内手段は、上記移動テ
ーブルを支持し且つ第１の方向において案内する第１の
可動案内部材と、該第１の可動案内部材を支持し且つ該
第１の方向に対して垂直な第２の方向において案内する
第１の固定案内部材と、上記移動テーブルを支持し且つ
該第２の方向において案内する第２の可動案内部材と、
該第２の可動案内部材を支持し且つ上記第１の方向にお
いて案内する第２の固定案内部材とを有し、少なくとも
上記第１の可動案内部材及び第２の可動案内部材と上記
移動テーブルとの間に加圧気体の膜が形成され、前述の
リニア電磁アクチュエータは該第１の可動案内部材及び
第２の可動案内部材に夫々個別に対応して複数設けられ
て該第１の可動案内部材及び第２の可動案内部材に推力
を付与してこれらを移動させる。この表現は要するに、
上記第１の可動案内部材と第１の固定案内部材とが互い
に重なった状態で移動テーブルの下方の所定位置に配設
される一方、上記第２の可動案内部材及び第２の固定案
内部材にについては移動テーブルの下方の他の所定位
置、すなわち、移動テーブルが作動を行う二次元座標内
で上記第１の可動案内部材及び第１の固定案内部材から
離間した位置に配設され、しかも、リニア電磁アクチュ
エータが該第１の可動案内部材及び第２の可動案内部材
の夫々に対応して配置されることを示すものである。こ
れを更に要約するならば、上記支持案内手段及び駆動手
段の各々を夫々２つの部分に分け、これらを平面的に分
散させて配置しているのである。かかる構成の故、ＸＹ
テーブル全体の薄型化が達成されている。また、本発明
によるＸＹテーブルにおいては、上記移動テーブル、第
１の可動案内部材、第１の固定案内部材、第２の可動案
内部材及び第２の固定案内部材の各部材に関し、支持案
内をする側の部材とされる側の部材のいずれか一方に案
内溝が形成され、他方には該案内溝に相対運動自在に挿
入される案内突部が設けられ、上記加圧気体の膜は該案
内溝及び案内突部の間に形成される。この構成によれ
ば、移動テーブルの支持、案内のための構造が簡略化さ
れると共に加圧気体の圧力が有効に作用してその消費量
も低く抑えることが出来る故、コストの低減が達成され
るものである。そして、本発明によるＸＹテーブルにお
いては、上記リニア電磁アクチュエータとしてリニア直
流モータを採用することにより、下記の効果が奏され
る。すなわち、大推力が得られ、また効率良好である。
また、非常に小形かつ軽量のものが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第１実施例としてのＸＹテー
ブルの、断面を含む平面図である。

【図２】図２は、図１に関するＡ−Ａ矢視にして、断面
を含む正面図である。

【図３】図３は、図１及び図２に示したＸＹテーブルの
拡散分解斜視図である。

【図４】図４は、図１乃至図３に示したＸＹテーブルの
要部の縦断面図である。

【図５】図５は、図１乃至図３に示したＸＹテーブルの
要部の縦断面図である。

【図６】図６は、図１乃至図３に示したＸＹテーブルの
一部の変形例を示す縦断面図である。

【図７】図７は、図６に関するＡ−Ａ矢視図である。

【図８】図８は、図６及び図７に示した構成の一部の拡
大図である。

【図９】図９は、図１乃至図３に示したＸＹテーブルの
一部の他の変形例を示す縦断面図である。

【図１０】図１０は、図９に示した構成の一部の拡大図
である。

【図１１】図１１は、図１乃至図３に示したＸＹテーブ
ルが具備するリニア直流モータの平面図である。

【図１２】図１２は、図１１に示したリニア直流モータ
の縦断面図である。

【図１３】図１３は、本発明の第２実施例としてのＸＹ
テーブルの、断面を含む拡散分解斜視図である。

【図１４】図１４は、図１３に示したＸＹテーブルの要
部の縦断面図である。

【図１５】図１５は、図１３に示したＸＹテーブルの要
部の縦断面図である。

【図１６】図１６は、従来のＸＹテーブルの一部断面を
含む斜視図である。

【符号の説明】

１ベッド２移動テーブル５第１の可動案内部材６第１の固定案内部材７第２の可動案内部材８第２の固定案内部材２１，２２リニア直流モータ２５ａ，２６ａリニア磁気スケール２５ｂ，２６ｂ磁気センサ部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｆ１６Ｃ 32/06 ＡＨ０２Ｋ 33/18 Ａ 41/02 Ｃ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移動テーブルと、該移動テーブルを支持
し且つ二次元的に移動自在に案内する支持案内手段と、
該移動テーブルを駆動する駆動手段とを備え、前記支持案内手段は前記移動テーブルとの間に加圧気体
の膜を形成することによって支持し、前記駆動手段はリニア電磁アクチュエータからなること
を特徴とするＸＹテーブル。
【請求項２】前記支持案内手段は、前記移動テーブル
を支える方向に対して垂直な方向においても前記移動テ
ーブルに対して加圧気体の膜を介在させ、案内をなすこ
とを特徴とする請求項１記載のＸＹテーブル。
【請求項３】前記支持案内手段は、前記移動テーブル
を支持し且つ第１の方向において案内する第１の可動案
内部材と、該第１の可動案内部材を支持し且つ該第１の
方向に対して垂直な第２の方向において案内する第１の
固定案内部材と、前記移動テーブルを支持し且つ前記第
２の方向において案内する第２の可動案内部材と、該第
２の可動案内部材を支持し且つ前記第１の方向において
案内する第２の固定案内部材とを有し、少なくとも前記第１の可動案内部材及び第２の可動案内
部材と前記移動テーブルとの間に加圧気体の膜が形成さ
れ、前記リニア電磁アクチュエータは前記第１の可動案内部
材及び第２の可動案内部材に夫々個別に対応して複数設
けられて前記第１の可動案内部材及び第２の可動案内部
材に推力を付与してこれらを移動させることを特徴とす
る請求項１又は請求項２記載のＸＹテーブル。
【請求項４】前記移動テーブル、第１の可動案内部
材、第１の固定案内部材、第２の可動案内部材及び第２
の固定案内部材の各部材に関し、支持、案内をする側の
部材とされる側の部材のいずれか一方に案内溝が形成さ
れ、他方には該案内溝に相対運動自在に挿入される案内
突部が設けられ、前記加圧気体の膜は該案内溝及び案内
突部の間に形成されることを特徴とする請求項３記載の
ＸＹテーブル。
【請求項５】前記リニア電磁アクチュエータはリニア
直流モータからなることを特徴とする請求項１乃至請求
項４のうちいずれか１記載のＸＹテーブル。