KR100570445B1

KR100570445B1 - 엑스-와이 스테이지 장치

Info

Publication number: KR100570445B1
Application number: KR1020040015404A
Authority: KR
Inventors: 우치미가즈하루; 고하라다츠야
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2003-03-28
Filing date: 2004-03-08
Publication date: 2006-04-12
Also published as: CN1534688A; TWI260646B; TW200425164A; CN100515659C; KR20040086560A

Abstract

정압베어링과 같은 고가의 부품을 가능한 한 줄이면서 높은 정지 정밀도를 얻을 수 있는 X-Y 스테이지 장치를 제공한다.

베이스(100)상에 일축방향으로 뻗도록 고정 된 2개의 가이드 레일(110, 120)과, 이들 가이드 레일에 상기 일축방향과 직각방향으로 뻗도록 조합되고, 또한 이들 가이드 레일을 따라서 상기 일축방향으로 주행가능하게 이루어진 Y슬라이더(130)와, Y슬라이더를 따라서 상기 일축방향에 직각방향으로 주행 가능하게 Y슬라이더에 조합된 X슬라이더(140)를 구비한다. Y슬라이더는, 2개의 가이드 레일에 각각 구름베어링(111, 121)을 통하여 지지되어서 베이스 표면으로부터 떨어져서 주행 가능하게 구성되어 있고, X슬라이더는, Y슬라이더와의 사이에 구름베어링이 개재되어서 주행 가능하게 구성되어 있음과 동시에, 베이스 표면에 대향하는 하면에 복수의 정압(靜壓)베어링(141 ~143)이 구비되어 있음으로써 베이스 표면으로부터 부상(浮上)한 상태로 주행 가능하게 되어 있다. 또한, 브레이크기구(190)에 의하여 정지 정밀도를 향상시키고 있다.

엑스-와이, 스테이지, 베이스, 슬라이더, 정압베어링, 브레이크기구

Description

엑스-와이 스테이지 장치{X-Y stage apparatus}

도 1은, 본 발명에 의한 X-Y 스테이지 장치의 실시형태를 나타낸 평면도이다.

도 2는, 도 1의 X-Y 스테이지 장치를 도 1의 하측에서 본 정면도이다.

도 3은, 도 1에 나타낸 브레이크기구의 구성을 설명하기 위한 도면이다.

도 4는, 종래의 X-Y 스테이지 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 베이스

110, 120, 131 : 가이드레일

111, 121 : 구름베어링

130 : Y슬라이더

140 : X슬라이더

141 ~ 143 : 정압 베어링 패드

150, 160 : 리니어모터

152, 153 : 영구자석

200 : 가설 프레임

본 발명은 스테이지 장치에 관한 것으로서, 특히 테이블 등의 피구동 물체를 X축방향, Y축방향으로 움직일 수 있도록 한 X-Y 스테이지 장치에 관한 것이다.

X-Y 스테이지 장치의 일례로서, 본 발명자들에 의해 제안되어 있는 X-Y 스테이지 장치에 대해서 설명한다. 이 X-Y 스테이지 장치는, 특허문헌 1에 개시되어 있다.

도 4를 참조하여, X-Y 스테이지 장치의 고정부는, 상면을 표면마무리 가공하여 안내면으로 한 베이스(20)와, 베이스(20)상에 소정 간격을 두고 고정배치된 가이드 레일(21 및 22)이다. 도 4에는, 상호 직교하여 만나는 X축, Y축, Z축의 3방향이 표시되어 있다. 가이드 레일(21, 22)은 각각 Y축방향으로 뻗어, 상호 대향하여 만나는 안내면(21a, 22a)을 가진다. X-Y 스테이지 장치에 있어서, 안내면(21a, 22a)을 따라서 Y축방향으로 직선 안내되는 가동부분은, Y슬라이더(23)와, 정압(靜壓)베어링 패드(25-1, 25-2, 25-3, 25-4)와, 정압베어링 패드(27-1, 27-2, 27-3)이다. Y슬라이더(23)는, 가이드 레일(21)과 (22)의 사이에 걸쳐져 배치되고, X축방향으로 뻗는 빔(23-1)과 빔(23-1)의 양단에 T형부(23-2)를 가진다.

정압베어링 패드(25-1 ~ 25-4)는 각각, Y축 및 Z축에 대한 회전 2 자유도를 가지는 커플링(도시 생략)을 통하여 Y슬라이더(23)의 2개의 T형부(23-2)의 측면에 설치되어 있다. 정압베어링 패드(25-1, 25-2)는 각각, 안내면(21a)에 압축공기를 분출하기 위한 것이고, 정압베어링 패드(25-3, 25-4)는 각각, 안내면(22a)에 압축 공기를 분출하기 위한 것이다. 정압베어링 패드(27-1, 27-2)는 빔(23-1)의 일방의 T형부(23-2)의 하면에 설치되고, 정압베어링 패드(27-3)는 빔(23-1)의 하면에 있어서 타방의 T형부(23-2)에 가까운 장소에 설치되어 있다. 정압베어링 패드(27-1 ~27-3)는 각각, 베이스(20)의 상면에 압축공기를 분출하기 위한 것이다.

또한, 정압베어링 패드(27-1, 27-2)는 Y슬라이더(23)의 중심축, 즉 빔(23-1)의 중심축에 관하여 거의 대칭 위치로 구비된다. 한편, 정압베어링 패드(27-3)는, Y슬라이더(23)의 중심축에 대응하는 장소에 구비된다. 즉, 정압베어링 패드(27-1 ~ 27-3)는, 각각의 중심을 연결하는 선분(線分)이 이등변 삼각형을 형성하도록 배치된다.

또한, 도 4에서, Y축방향으로 직선 안내되면서 X축방향으로도 직선 안내되는 가동부분은, X슬라이더(24)와, 정압베어링 패드(25-5, 25-6, 25-7, 25-8)와, 정압베어링 패드(27-4, 27-5, 27-6)이다. X슬라이더(24)는 빔(23-1)을 따라서 이동 가능하도록 Y슬라이더(23)에 조합되어 있다. 빔(23-1)은 X축방향으로 뻗는 2개의 측면을 가지는 사각형의 단면형상을 가진다. X슬라이더(24)는, Y슬라이더(23)의 빔(23-1)의 2개의 측면에 대향하는 2개의 내면을 가지는 대략 역U 형상의 단면형상을 가진다.

정압베어링 패드(25-5 ~ 25-8)는 각각, X축 및 Z축에 대한 회전 2 자유도를 가지는 커플링(도시 생략)을 통하여 X슬라이더(24)의 2개의 내면에 설치되어 있다. 정압베어링 패드(27-4 ~ 27-6)는 각각, X슬라이더(24)의 하면에 설치되어 있다. Y슬라이더(23)에 있어서는, 빔(23-1)의 X축방향으로 뻗는 2개의 측면이 X슬라이더(24)를 안내하기 위한 기준면으로서 형성되어 있다. 정압베어링 패드(25-5 ~ 25-8)는 빔(23-1)의 측면에 압축공기를 분출하기 위한 것이다. 정압베어링 패드(27-4 ~ 27-6)는, 베이스(20)의 상면에 압축공기를 분출하기 위한 것이다.

이 X-Y 스테이지 장치에서는, Y슬라이더(23)의 구동원으로서, 가이드 레일(21)과 Y슬라이더(23)의 사이, 가이드레일(22)과 Y슬라이더(23)의 사이에 각각 구성된 1쌍의 리니어모터(31)를 사용하고 있다. 한편, X슬라이더(24)의 구동원으로서 Y슬라이더(23)와 X슬라이더(24)와의 사이에 구성된 리니어모터(32)를 사용하고 있다. 리니어모터(31, 33)는 동일한 구조이며, 주지(周知)이므로 리니어모터(31)에 대해서 간단하게 설명한다. 리니어모터(31)는, Y축 방향으로 배열한 다수의 상측 영구자석과 Y축 방향으로 배열한 다수의 하측 영구자석의 사이에 만들어지는 갭(gap)에, Y슬라이더(23)의 T형부(23-2)로부터 뻗은 가동코일(도시 생략)을 배치하여 이루어진다.

X-Y 스테이지 장치에서는, 상기의 구성요소 외에, 각 리니어모터에는 위치제어를 위한 위치검출센서로서 리니어 스케일과 리니어 센서와의 조합이 필요하다. 또한, 1쌍의 리니어모터(31)를 동기(同期)하여 구동하기 위한 동기제어계가 필요하다. 또한, 이동하는 Y슬라이더(23), X슬라이더(24)의 리니어모터에의 전력공급선 및 센서의 검출신호선, 정압베어링용의 공기배관이 필요하다. 이들은 모두 가요성(可撓性)을 가지도록 만들어져서, 가요성 배관에 수용된다. 그리고, X슬라이더(24)와 Y슬라이더(23)와의 사이가 X슬라이더용의 가요성 배관으로 접속되고, Y슬라이더(23)와 베이스(20)과의 사이가, X슬라이더 및 Y슬라이더용의 가요성 배관 으로 접속된다.

상기 설명과 같이, 종래의 X-Y 스테이지 장치에서는, Y슬라이더(하축)(23)의 상하방향 및 수평방향의 안내에 복수의 정압베어링 패드를 이용하고, 또한 X슬라이더(상축)(24)의 상하방향 및 수평방향의 안내에도 복수의 정압베어링 패드를 이용하여, X슬라이더(23)에 탑재되는 워크테이블의 높은 주행 정밀도를 얻고 있다.

정압 베어링은, 일반적으로 높은 주행 정밀도(수평방향 직진도와 이동 평면도)를 얻을 수가 있지만, 정지마찰이 거의 없기 때문에, 그 정지 정밀도는 제어성능에 의존하여, 고가이면서 고분해능의 리니어 스케일을 필요로 하고 있었다. 이로 인하여, 오히려 접촉마찰을 얻기 위하여 정압안내를 사용하지 않고 볼 나사를 사용하는 경우도 있었다.

고분해능의 리니어 스케일에서는, 그 출력신호 주파수의 제약때문에 동시에 고속도를 얻는 것은 곤란하다. 또한, 볼 나사에서는, 장(長)스트로크화 한 경우에 위험속도의 제약때문에 고속도를 얻는 것은 곤란하다.

한편, 정압안내를 사용하지 않는 스택(stack)형 스테이지 장치의 경우, 워크테이블의 높은 이동 평면도를 얻으려면 Y슬라이더(하축)의 주행 정밀도를 기계가공에서 추가해 넣고, 또한 X슬라이더의 이동에 따라서 변형하지 않도록 높은 강성을 필요로 하므로 필연적으로 질량이 커져버린다.

< 특허문헌 1 >

일본국 특허공개 2000-155186호 공보

그래서, 본 발명의 과제는, 정압베어링과 같은 고가의 부품을 가능한 한 줄이면서 높은 정지 정밀도를 얻을 수 있는 X-Y 스테이지 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 다른 과제는, 이동 평면도의 분산을 최소로 억제하고, 또한 높은 정지 정밀도를 얻을 수 있는 X-Y 스테이지 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 과제는, 이동체의 총질량을 작게 하여, 고속/고가속을 얻을 수 있는 X-Y 스테이지 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 의하면, 표면가공 된 베이스와, 이 베이스 상에 일축방향으로 뻗도록 고정된 가이드부재와, 이 가이드부재에 상기 일축방향과 직각방향으로 뻗도록 조합되며, 또한 이 가이드부재를 따라서 상기 일축방향으로 주행 가능하게 이루어진 제1 슬라이더와, 이 제1 슬라이더를 따라서 상기 일축방향에 직각방향으로 주행 가능하게 이 제1 슬라이더에 조합된 제2 슬라이더를 구비하며, 상기 제1 슬라이더는, 상기 가이드부재에 구름베어링을 통하여 지지되어 상기 베이스표면으로부터 떨어져서 주행 가능하게 구성되어 있고, 상기 제2 슬라이더는, 상기 제1 슬라이더와의 사이에 구름베어링을 개재시켜서 주행 가능토록 구성되어 있음과 동시에, 상기 베이스 표면에 대향하는 하면에 적어도 하나의 정압베어링이 구비되어 있음으로써 상기 베이스 표면상을 거기에서 부상한 상태로 주행 가능하게 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 X-Y 스테이지 장치가 제공된다.

본 X-Y 스테이지장치에 있어서는, 상기 제2 슬라이더의 하측에, 상기 베이스 표면에 흡착 가능한 감압식의 흡착패드에 의한 적어도 한개의 브레이크기구가 구비된다.

이 브레이크기구에 있어서는, 상기 제2 슬라이더에 장착되어서 상기 베이스표면에 접근, 이격되는 방향으로 변형가능한 판 스프링에 상기 흡착패드가 장착된다.

본 X-Y 스테이지 장치에 있어서의 상기 제1, 제2 슬라이더는, 각각 리니어모터를 구동원으로 하여 주행하는 것이다.

본 X-Y 스테이지 장치에 있어서 또한, 상기 가이드부재는, 소정간격을 두고 상호 평행하게 상기 일축방향으로 뻗는 제1, 제2 가이드부재로 이루어지고, 상기 제1 슬라이더는 상기 제1, 제2 가이드부재의 사이에 걸쳐져서, 그 양단부에 있어서 각각 상기 구름베어링을 통하여 지지된다.

<실시예>

도 1, 도 2를 참조하여, 본 발명에 의한 X-Y 스테이지 장치의 바람직한 실시형태에 대해서 설명한다.

도 1, 도 2에 있어서, 본 X-Y 스테이지 장치는, 상면을 표면마무리 가공하여 안내면으로 한 베이스(100)가 가설 프레임(200)에 고정되어 있다. 베이스(100)는, 통상, 석정반(石定盤)이 이용된다. 본 X-Y 스테이지 장치의 고정부는, 베이스(100)와, 베이스(100)상에 소정간격을 두고 고정배치된 가이드 레일(110 및 120)(제1, 제2 가이드부재)이다. 도 1에는, 상호 직교하여 만나는 X축, Y축의 두방향이 표시되어 있다. 가이드 레일(110, 120)은 각각 Y축 방향으로 뻗어 있다. 이 X-Y 스테이 지 장치에 있어서, 가이드레일(110, 120)을 따라서 Y축방향으로 직선 안내되는 가동부분은, Y슬라이더(130)이다. Y슬라이더(130)는, 가이드 레일(110 과 120)의 사이에 걸쳐져 배치되고, Y슬라이더(130)의 양단부와 가이드 레일(110, 120)의 사이에 각각 개재하도록 구비된 구름베어링(111, 121)에 의하여 Y축방향으로 주행가능하게 지지되어 있다. Y슬라이더(130)는, 베이스(100)의 상면으로부터 떨어져 주행한다.

또한, 도 1에서, Y축 방향으로 직선 안내되면서 X축방향으로도 직선 안내되는 가동부분은, X슬라이더(140)와, 정압베어링패드(141, 142, 143)이다. X슬라이더(140)는 Y슬라이더(130)를 따라서 이동 가능하도록 Y슬라이더(130)에 조합되어 있다. 즉, Y슬라이더(130)는, X축방향으로 뻗는 가이드 레일(131)을 가진다. 이 가이드 레일(131)과 X슬라이더(140)와의 사이에, 상술한 구름베어링(111, 121)과 마찬가지의 구름베어링(미도시)이 개재하도록 되어 있으므로, X슬라이더(140)는 Y슬라이더(130)를 따라서 이동가능하게 되어 있다.

정압베어링 패드(141 ~ 143)는, 각각 X슬라이더(140)의 하면에 설치되어, 베이스(100)의 상면에 압축공기를 분출함으로써, X슬라이더(140)를 베이스(100)의 상면으로부터 부상시켜서 이동 가능하게 하기 위한 것이다. 이 부상량은, 수십㎛ 이하이다. 환언하면, 정압베어링 패드(141 ~ 143)는, X슬라이더(140) 및 이 위에 탑재되는 워크테이블 및 워크(모두 도시생략)의 전 하중을 지지하면서 이들을 이동 가능하게 하는 것이다. 정압베어링 패드(141 ~143)는 삼각형의 정점에 대응하는 위치에 배치되는데, 삼각형의 형상은 정압베어링 패드(141 ~143)가 지지하는 가동부 분의 중심위치에 따라서 결정된다. 여기에서는 정압베어링 패드(141 ~ 143)는 이등변삼각형의 정점에 대응하는 위치에 배치되어 있다.

도 4에서 설명한 X-Y 스테이지 장치와 마찬가지로, 이 X-Y 스테이지 장치에 있어서도, Y슬라이더(130)의 구동원으로서, 가이드레일(110)에 인접하여 Y축 방향으로 뻗는 고정부(151)와 Y슬라이더(130)의 일단부의 사이, 가이드레일(120)에 인접하여 Y축방향으로 뻗는 고정부(161)와 Y슬라이더(130)의 타단부의 사이에 각각 구성된 한쌍의 리니어 모터(150, 160)를 사용하고 있다. 한편, X슬라이더(140)의 구동원으로서 Y슬라이더(130)와 X슬라이더(140)와의 사이에 구성된 리니어모터(170)를 사용하고 있다.

리니어모터(150, 160, 170)는 동일한 구조로서, 주지이므로 리니어모터(150)에 대해서 간단하게 설명한다. 리니어모터(150)는, Y축 방향으로 뻗는 고정부(151)에 상호 대향하여 만나도록 2열로 배열된 다수의 영구자석 (152와 153)의 사이에 만들어지는 갭(gap)에, Y슬라이더(130)의 일단부로부터 역L형상으로 하여 개재시킨 가동코일(도시 생략)을 배치하여 이루어진다. 또한, 리니어모터(170)에 있어서는, 다수의 영구자석이 상하 2열이 되도록 배치되어, 이들 사이에 수평으로 가동코일이 개재하고 있다.

본 X-Y 스테이지 장치에서는, 상기의 구성요소 외에, 각 리니어 모터에는 위치제어를 위한 위치검출센서로서 리니어 스케일과 리니어 센서와의 조합이 설치되는데, 도 4에서 설명한 위치검출센서의 분해능보다 낮은 분해능으로도 좋다. 물론, 리니어 스케일과 리니어 센서와의 조합에 의한 것에 한정하지 않고, 다른 주지의 위치 센서가 이용되어도 좋다. 또한, 한쌍의 리니어모터(150, 160)를 동기(同期)하여 구동하기 위한 동기제어계가 구비된다.

또한, 이동하는 X슬라이더(140)의 리니어모터에의 전력공급선이나 정압베어링용의 공기배관, Y슬라이더(130), X슬라이더(140)의 센서의 검출신호선이 필요하다. 이들은 모두 가용성을 가지도록 만들어져서, 가요성배관에 수용된다. 그리고, X슬라이더(140)와 Y슬라이더(130)와의 사이가 X슬라이더용의 가요성배관으로 접속되고, Y슬라이더(130)와 베이스(100)와의 사이가, X슬라이더 및 Y슬라이더용의 가요성배관으로 접속된다. 도 1, 도 2에는, 가이드레일(110, 120)을 따라서 뻗는 X슬라이더 및 Y슬라이더용의 가요성배관의 수용부(181, 182)를 나타내고 있다.

본 형태에서는 또한, 도 2에 나타나는 바와 같이, X슬라이더(140)에는, 그 위에 탑재되는 테이블(이점쇄선으로 표시)을 Z축방향으로 구동하거나, 틸트(tilt)(경사)기능을 갖게 하기 위한 복수의, 이른바 슬라이드 웨지(slide wedge)기구(300)가 조립되어 있다.

도 3도 참조하여, 본 형태에 의한 X-Y 스테이지 장치에서는 또한, X슬라이더(140)의 하측에, 베이스(100)의 상면에 흡착 가능한 감압식의 흡착패드(191)에 의한 한개 이상(여기에서는 2개)의 브레이크기구(190)가 구비된다. 이 브레이크기구(190)는, X슬라이더(140)에 설치된 구멍(여기에서는 사각형의 구멍)의 둘레부에 이 구멍을 걸치도록 장착되어 베이스(100)의 표면에 접근, 이격되는 방향으로 변형 가능한 십자형상의 판 스프링(192)에 흡착패드(191)가 장착되어 구성되어 있다. 흡착패드(191)에는, 정압(正壓)용 및 감압(減壓)용의 공기배관( 도시생략)이 접속되어 있다. 흡착패드(191)는, 통상은 베이스(100)에 압축공기를 분출하여 그 상면 수십㎛ 위를 이동하고 있다. 한편, X슬라이더(140)의 정지시에는, 흡착패드(191)의 하면측을 감압상태로 하여 흡착패드(191)를 베이스(100)의 상면에 흡착시킨다. 이것에 의해, 브레이크기구(190)는 브레이크로서 작용한다.

이상과 같은 X-Y 스테이지 장치에 의하면, X슬라이더(140)의 베이스(100)상의 상하방향(Z축방향)의 주행안내는 3개의 정압베어링에 의하여 유연하게 실행된다. 한편, 베이스(100)와 Y슬라이더(130)의 사이 및 Y슬라이더(130)와 X슬라이더(140)의 사이에는 구름베어링이 개재하고 있으므로 X축 및 Y축방향으로는 적절한 정도의 마찰력이 작용한다. 이에 더하여, 베이스(100)면에의 흡착패드에 의한 브레이크기구를 구비함으로써, 이동체의 정지 정밀도는 제어계의 제어성능에 의존하지 않아서, 고가이면서 고분해능의 위치센서를 필요로 하지 않는다. 또한, 고분해능의 리니어 스케일을 이용한 경우에는 출력신호 주파수의 제약때문에 고속도를 얻는 것이 곤란하였지만, 본 X-Y 스테이지 장치에서는 그와 같은 제약은 생기지 않는다.

또한, 상기의 형태에서는, Y슬라이더(130)는, 그 양단부를 가이드부재(110, 120)에 조합시켜서 주행 가능하게 이루어져 있지만, Y슬라이더(130)를 일방의 가이드부재만으로 캔틸레버(편측지지; cantilever)식으로 주행 가능하게 하는 것도 가능하다. 이 경우, Y슬라이더(130)의 자유단부의 하면에 정압베어링을 구비하여 주행안내를 행하도록 하면 좋다. 이와 같은 캔틸레버식의 Y슬라이더는, 상술한 특허문헌 1에 나타나 있다. 또한, 상기의 형태에서는, 2개의 가이드 레일간에 걸쳐진 슬라이더를 Y슬라이더, 여기에 조합된 슬라이더를 X슬라이더로 부르고 있지만, 이들 X, Y의 관계가 역이 되어도 좋음은 말할 필요도 없다. 또한, 상기 형태에서는 X슬라이더(140)의 하면측에 3개의 정압베어링 패드를 구비하고 있지만, 하나 이상 있으면 좋다.

본 발명에 의한 X-Y 스테이지 장치는 이하와 같은 효과를 가진다.

(1) 표면 마무리 가공된 베이스 상면을 상하방향의 정압베어링의 안내면으로서 사용 가능하므로 높은 이동 평면도를 얻을 수 있다.

(2) X슬라이더의 X축방향, Y축방향의 정지시에, 구름안내의 마찰력에 의하여 높은 정지 정밀도를 얻을 수 있다.

(3) 마찰력으로 X슬라이더 정지시의 정정성(整定性; stabilization)을 얻을 수 있으므로, 고분해능의 위치센서를 필요로 하지 않게 되어, 높은 이동속도를 얻을 수 있다.

(4) 도 4에서 설명한 X-Y 스테이지 장치에 비하여 다수의 정압베어링 패드를 생략함으로써 이동체의 질량을 가볍게 할 수 있으므로, 리니어 모터의 추력(推力)에 대하여 높은 가속도를 얻을 수 있다.

(5) 안내계에 정압안내와 구름안내를 복합시키고 있으므로, 모두 정압안내로 하는 경우보다 저코스트를 달성할 수 있다.

Claims

표면가공된 베이스와,

상기 베이스상에 일축방향으로 뻗도록 고정된 가이드부재와,

상기 가이드부재에 상기 일축방향과 직각방향으로 뻗도록 조합되며, 또한 상기 가이드부재를 따라서 상기 일축방향으로 주행 가능하게 이루어진 제1 슬라이더와,

상기 제1 슬라이더를 따라서 상기 일축방향에 직각방향으로 주행가능하게 상기 제1 슬라이더에 조합된 제2 슬라이더를 구비하며,

상기 제1 슬라이더는, 상기 가이드부재에 구름베어링을 통하여 지지되어 상기 베이스 표면으로부터 떨어져서 주행 가능하게 구성되어 있고,

상기 제2 슬라이더는, 상기 제1 슬라이더와의 사이에 구름베어링을 개재시켜서 주행 가능하게 구성되어 있음과 동시에, 상기 베이스 표면에 대향하는 하면에 적어도 하나의 정압베어링이 구비되어 있음으로써 상기 베이스 표면상을 거기에서 부상한 상태로 주행 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 X-Y 스테이지 장치.
제1항에 있어서,

상기 제2 슬라이더의 하측에는 또한, 상기 베이스표면에 흡착 가능한 감압식의 흡착패드에 의한 적어도 한개의 브레이크 기구가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 X-Y 스테이지 장치.
제2항에 있어서,

상기 브레이크 기구에 있어서는, 상기 제2 슬라이더에 장착되어 상기 베이스 표면에 접근, 이격하는 방향으로 변형 가능한 판 스프링에 상기 흡착패드가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 X-Y 스테이지 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제1, 제2 슬라이더는, 각각 리니어모터를 구동원으로 하여 주행하는 것을 특징으로 하는 X-Y 스테이지 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 가이드부재는, 소정간격을 두고 상호 평행하게 상기 일축방향으로 뻗는 제1, 제2 가이드부재로 이루어지고, 상기 제1 슬라이더는 상기 제1, 제2의 가이드부재의 사이에 걸쳐져서, 그 양단부에 있어서 각각 상기 구름베어링을 통하여 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 X-Y 스테이지 장치.
제4항에 있어서,

상기 가이드부재는, 소정간격을 두고 상호 평행하게 상기 일축방향으로 뻗는 제1, 제2 가이드부재로 이루어지고, 상기 제1 슬라이더는 상기 제1, 제2의 가이드부재의 사이에 걸쳐져서, 그 양단부에 있어서 각각 상기 구름베어링을 통하여 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 X-Y 스테이지 장치.