JP4270192B2 - 静圧空気軸受直線案内装置 - Google Patents
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Description
即ち、基台50の上面に対し、幅方向(案内方向に直交する水平方向)に所定距離を開けて一対のガイドレール51を設け、その各ガイドレール51の外側面及び下面に対向する対向部52をステージ55下部の幅方向両端部にそれぞれ設けて、そのガイドレール51の外側面と対向部52との間に水平方向を支持する静圧空気軸受53をそれぞれ配置すると共に、その水平方向の空気軸受53よりも幅方向内側位置である上記各ガイドレール51の上面位置及び下面位置に上下方向を支持する静圧空気軸受54を配置している。
さらに、上記のようにステージ55が大型化した湯合、可動体の軽量化を図るためにステージ55の板厚を薄くすることが一般に行われるが、上記従来の装置構成では各ガイドレール51の側面位置と上面及び下面位置に水平方向及び上下方向を支持する両方の空気軸受53,54を集中して設ける必要があり、加工精度を向上させることが極めて困難でコスト高となるばかりか、所望の軸受すきまが得られなくなるおそれがあり軸受性能上,不利な装置構成となっている。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、ステージが大型化しても温度変化に対する軸受性能の低下を抑え且つ低コストな静圧空気軸受直線案内装置を提供することを課題としている。
上記ガイド部材の両側面に所定間隙を置いて対向する一対の対向部を上記可動体に設けて、そのガイド部材の側面と対向部との間に案内方向に直交する水平方向を支持する水平方向空気軸受をそれぞれ配置し、その各水平方向空気軸受位置よりも外側にそれぞれ上下方向を支持する上下方向空気軸受を配置すると共に、その各上下用空気軸受の近傍にそれぞれ、非接触状態で可動体を基台に向けて吸引する吸引力発生手段を備え、
上記水平方向空気軸受を、上記ガイド部材の側面に向けて水平に空気を吹き出す空気穴を上記一対の対向部のガイド部材の側面と対向する面に設けて形成し、
上記上下方向空気軸受を、下方に向けて空気を吹き出す空気穴を上記一対の対向部のうち幅方向外側にある対向部の下面に設けて形成し、
上記吸引力発生手段を、上記基台の上面に設けられて上記ガイド部材と平行に延びる強磁性体からなる吸引レールと、上記可動体の上面を構成するステージの下面に支持されて上記吸引レールの上面と所定間隙を開けて対向した永久磁石と、から構成し、
上記ガイド部材を、上記ステージの幅方向略中央部に配置することを特徴とするものである。
また、上記一対の水平方向空気軸受の間の距離が小さいことからモーメント剛性も大きいものとなる。
ここで、上記ガイド部材は、ステージの幅方向略中央部に配置することが好ましい。このように配置すると水平方向空気軸受はステージの幅方向略中央部で水平方向を支持することになり、水平方向空気軸受から可動体に作用する反力がより小さくなる。
また、一対の上下方向空気軸受については、好ましくは幅方向対称にできるだけ相互の距離を大きく取ることが好ましい。
また、上下、水平とも真直度精度が人の手に依存せず機械加工精度で決まることから、精度の安定した生産と組立時間短縮となり、低コスト化を図れるという効果を有する。
さらに、ステージに空気軸受の反力がほとんど伝わらなくなることからステージ単体の剛性があまり必要なくなり、板厚を薄くでき軽量化に繋がり、制御性も向上するという効果もある。
図1は、本実施形態の静圧空気軸受直線案内装置を案内方向からみた構成図を、また、図2は、吸着力発生手段を省略した装置の側面図を表す。
まず装置構成について説明すると、上面に水平な基準面1aを備えて案内方向に延びる基台1を有し、その基台1上面の幅方向略中央部にガイド部材2が突設されている。ガイド部材2は、断面角形状のレール部材であって、上記基準面1aに沿って案内方向に延びている。ガイド部材2は、底面と左右側面の計3面が真直、平面で、平行、直角精度が良好に設定されている。
そのステージ3の下面から、上記ガイド部材2を挟むように、当該ガイド部材2の各側面に所定隙間を開けて対向する対向面を持った対向部4,5がそれぞれ突設している。その各対向部4,5の上記側面に対向する面には当該側面に向けて水平に空気を吹き出す空気穴が設けられることで、ガイド部材2の各側面と各対向部4,5との間にそれぞれ水平方向を支持する水平方向空気軸受6が形成されている。
また、その対向部5と幅方向で対称な位置には、上記可動体下面から下方に第2対向部8が突設し、その第2対向部8の下面と基準面1aとの間に他の上下方向空気軸受7が形成されている。これによって各上下方向空気軸受7は、各水平方向空気軸受6よりも幅方向外方に配置された状態となる。
さらに、各上下方向空気軸受7の幅方向外側に吸引力発生手段9がそれぞれ設けられている。
また、図1中、符号10は駆動装置の例としてのリニアモータを表す。
上記構成の装置にあっては、一対の上下方向空気軸受7及び吸引力発生手段9によって、ステージ3は、基準面1aに対し上下方向に浮上支持されて水平となり、一対の水平方向空気軸受6によって幅方向の位置決めがなされる。そして、ステージ3下部のリニアモータ10によって駆動されてガイド部材2に沿って直線移動する。
しかも、一対の水平方向空気軸受6間の距離がステージ3の大きさに関係なく小さく設定できるため、ステージ3と基台1及びガイド部材2との間に温度差が生じても、各水平方空気軸受6の軸受隙間への影響は最小限に抑えられて、温度変化に対して安定した軸受性能を保持できる。
このとき、浮上させる各上下方向空気軸受7と吸引する吸引力発生手段9とを近接して配置することで、吸引力と浮上力によるせん断応力が殆どステージ3に作用しないようにしている。
なお、永久磁石9bの代わりに電磁石などの他の磁気手段を採用しても構わない。また、吸引力発生手段9としては、真空吸引その他の非接触の吸引手段を採用しても構わない。
さらに、上記の構造により、ステージ3に対して空気軸受6,7の反力や吸引力などによる応力がほとんど発生しないことから、ステージ3の単体精度が確保できる極限まで板厚を薄くすることが可能となり、例えば,アルミ合金などの縦弾性係数の低い材料でステージ3を製作することも可能となる。
なお、上記実施形態では、リニアモータ10の配置との関係から一対の水平方向空気軸受6の位置が幅方向で左右対称な位置に無いが、一対の水平方向空気軸受6はできるだけ幅方向で左右対称な位置にあることが好ましい。
また、吸引力発生手段9を上下方向空気軸受7よりも内側に配置してもよいし、また、吸引力発生手段9と上下方向空気軸受7とは幅方向で並ぶ必要もない。つまり、案内方向に平行な方向で吸引力発生手段9と上下方向空気軸受7とを並べて配置してもよい。この場合には、吸引レール9aの上面位置に上下方向空気軸受7が形成されることになる。
1a 基準面
2 ガイド部材
3 ステージ(可動体)
4,5 対向部
6 水平方向空気軸受
7 上下方向空気軸受
8 第2対向部
9 吸引力発生手段
10 リニアモータ
Claims (1)
- 基台の基準面から上方に突設し且つ案内方向に延びるガイド部材と、そのガイド部材に沿って案内方向に移動可能な可動体と、上記可動体を空気によって支持案内する空気軸受部とを有する静圧空気軸受直線案内装置において、
上記ガイド部材の両側面に所定間隙を置いて対向する一対の対向部を上記可動体に設けて、そのガイド部材の側面と対向部との間に案内方向に直交する水平方向を支持する水平方向空気軸受をそれぞれ配置し、その各水平方向空気軸受位置よりも外側にそれぞれ上下方向に浮上支持する上下方向空気軸受を配置すると共に、その各上下用空気軸受の近傍にそれぞれ、非接触状態で可動体を基台に向けて吸引する吸引力発生手段を備え、
上記水平方向空気軸受を、上記ガイド部材の側面に向けて水平に空気を吹き出す空気穴を上記一対の対向部のガイド部材の側面と対向する面に設けて形成し、
上記上下方向空気軸受を、下方に向けて空気を吹き出す空気穴を上記一対の対向部のうち幅方向外側にある対向部の下面に設けて形成し、
上記吸引力発生手段を、上記基台の上面に設けられて上記ガイド部材と平行に延びる強磁性体からなる吸引レールと、上記可動体の上面を構成するステージの下面に支持されて上記吸引レールの上面と所定間隙を開けて対向した永久磁石と、から構成し、
上記ガイド部材を、上記ステージの幅方向略中央部に配置することを特徴とする静圧空気軸受直線案内装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005317093A JP4270192B2 (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9771598A Division JP3832084B2 (ja) | 1998-04-09 | 1998-04-09 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006084034A JP2006084034A (ja) | 2006-03-30 |
JP4270192B2 true JP4270192B2 (ja) | 2009-05-27 |
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ID=36162683
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005317093A Expired - Fee Related JP4270192B2 (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 静圧空気軸受直線案内装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4270192B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230095825A (ko) | 2021-12-22 | 2023-06-29 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007057833A1 (de) * | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Etel S.A. | Linearführung mit integriertem Linearmotor |
CN111572361B (zh) * | 2020-04-27 | 2021-10-22 | 库卡机器人制造(上海)有限公司 | 气磁耦合悬浮装置 |
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---|---|---|---|---|
KR20230095825A (ko) | 2021-12-22 | 2023-06-29 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치 |
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JP2006084034A (ja) | 2006-03-30 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |