KR20230095825A - 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치 - Google Patents

Abstract

안내 장치는, 기대와, 기대 상에 배치된 제1, 제2 가이드 부재와, 제1, 제2 가이드 부재를 따라 이동하는 가동부와, 가동부를 이동 가능하게 지지하는 공기 베어링부를 구비하고, 가동부는, 가동체와, 가동체로부터 하방으로 연신하며 제1 가이드 부재를 당해 제1 가이드 부재의 폭방향으로 사이에 끼우는 제1, 제2 베어링 지지 부재를 구비하고, 공기 베어링부는, 가동부를 제1 가이드 부재에 대해 폭방향으로 지지하며 제1, 제2 베어링 지지 부재에 배치된 제1, 제2 폭방향 공기 베어링부와, 가동부를 제1 가이드 부재에 대해 상하 방향으로 지지하며 가동체에 배치된 제1 부상 공기 베어링부를 포함하고, 가동체는, 제1, 제2 베어링 지지 부재 및 제1 부상 공기 베어링부의 배치 위치를 포함하는 육후부의 두께가, 다른 부위보다 두꺼워지도록 형성되어 있다.

Description

안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치{GUIDING APPARATUS, WORK　CONVEYING　STAGE AND INKJET PRINTING APPARATUS}

본 개시는, 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치에 관한 것이다.

최근, 잉크젯 인쇄 장치를 이용하여 디바이스를 제조하는 방법이 주목받고 있다. 잉크젯 인쇄 장치는, 액적 토출을 행하는 복수의 노즐을 갖고, 노즐과 인쇄 대상물의 위치 관계를 제어하면서 노즐로부터 액적을 토출함으로써, 인쇄 대상물에 액적을 도포한다.

이런 종류의 잉크젯 인쇄 장치의 하나로서, 복수의 라인 헤드를 구비하는 인쇄 장치가 알려져 있다. 각 라인 헤드는, 인쇄 대상물의 폭방향으로 병설된 복수의 잉크젯 헤드를 구비한다. 각 잉크젯 헤드는, 복수의 토출구를 갖는 액적 토출 헤드이다. 이러한 복수의 라인 헤드를, 주(主)주사 방향과 동일 수평면 내에서 직교하는 방향인 부(副)주사 방향으로 늘어놓아 배치함으로써, 폭이 큰 인쇄 대상물에 대해, 한번의 반송 공정으로, 잉크를 일괄적으로 도포할 수 있다. 또한, 부주사 방향으로 복수의 잉크젯 헤드가 병설된 복수의 라인 헤드를, 주주사 방향으로도 늘어놓아 배치함으로써, 예를 들면 색이 상이한 등의 복수 종류의 잉크를, 한번의 반송 공정 동안에 일괄적으로 인쇄 대상물에 도포할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 예를 들면, G4 사이즈(680mm×880mm) 이상의 대형 인쇄 대상물에 대해서도, 한번의 반송 공정으로 복수 종류의 잉크를 일괄적으로 도포할 수 있으므로, 인쇄 대상물에 잉크를 도포하는 택트의 저감이 가능해진다. 또한, 잉크 도포 후의 건조 조건 등을 균일하게 하기 쉽기 때문에, 예를 들면 잉크 막두께를 균일하게 제어할 수 있는 등의 인쇄 프로세스상의 이점이 있다.

그러나, 최근, 생산성의 향상을 위해, 인쇄 대상물에 있어서 더욱 대형화가 요구되고 있다. 한편, 디스플레이 패널의 고정세화(高精細化)의 요구도 강해지고 있으며, 그 결과, 요구되는 인쇄 위치의 정밀도는 점점 높아지고 있다. 그 때문에, 대형이면서, 주행 정밀도가 높은 워크 반송 스테이지가 필요해지고 있다. 그 요구에 응하는 하나의 구성으로서, 공기 베어링을 갖는 안내 장치를 사용한 워크 반송 스테이지가 있다. 도 17에 나타나는 바와 같이, 안내 장치(900)는, 기대(基臺)(901)와, 가이드 부재(902)와, 가동부(903)를 구비한다. 기대(901)의 좌우 방향(도 17에 있어서의 좌우 방향) 양측에는, 각각 가동부(903)의 안내 방향(도 17에 있어서의 전후 방향)으로 연장되는 가이드 부재(902)가 고정되어 있다. 가동부(903)를 구성하는 가동체(904)의 좌우 방향 양측에는, 각각 베어링 지지 부재(905)가 고정되어 있다. 각 베어링 지지 부재(905)는, 각 가이드 부재(902)의 외측(우측 가이드 부재(902)의 우측, 좌측 가이드 부재(902)의 좌측)에 위치하는 수평 방향 정압 공기 베어링(906)과, 각 가이드 부재(902)의 하측에 위치하는 하측 정압 공기 베어링(907)을 지지하도록 구성되어 있다. 가동부(903)에 있어서의 각 하측 정압 공기 베어링(907)에 대응하는 위치에는, 각각 상측 정압 공기 베어링(908)이 배치되어 있다.

그러나, 도 17에 나타나는 바와 같은 안내 장치(900)에 있어서, 가동부(903)의 주행 재현성을 높이기 위해서는, 각 정압 공기 베어링(906, 907, 908)의 베어링 강성을 높일 필요가 있다. 이러한 베어링 강성을 높이려면, 정압 공기 베어링의 베어링 간극(각 정압 공기 베어링(906, 907, 908)과, 가이드 부재(902)에 있어서의 각 정압 공기 베어링(906, 907, 908)과 대향하는 부위의 간극)을 수μm~수십μm 정도로 유지할 필요가 있다. 한편, 가동부(903)가 커져 2개의 가이드 부재(902)의 거리가 멀어지면, 가이드 부재(902)의 열팽창 등의 영향에 의해, 각 가이드 부재(902)의 측면에 대향하여 배치된 수평 방향 정압 공기 베어링(906)의 베어링 간극을, 정밀하게 유지하는 것이 곤란해질 우려가 있다. 예를 들면, 베어링 간극이 없어져 버려, 수평 방향 정압 공기 베어링(906)이 파손될 우려가 있다. 그래서, 이러한 문제를 해결하는 방법이 검토되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1).

특허문헌 1에 기재된 안내 장치에 있어서, 기대 상의 기준면에는, 가동부의 안내 방향으로 연장되는 1개의 가이드 부재가 고정되어 있다. 가동부의 가동체의 하측에는, 가이드 부재의 양측면에 각각 대향하는 2개의 대향부가 고정되어 있다. 2개의 대향부에 있어서의 가이드 부재의 각 측면에 대향하는 위치에는, 수평 방향 정압 공기 베어링이 배치되어 있다. 또한, 가동체의 하측에는, 2개의 대향부와 나란하게, 제2 대향부가 고정되어 있다. 2개의 대향부 중 외측 대향부(제2 대향부에서 먼 측의 대향부)의 하면과, 제2 대향부의 하면에는, 각각 상하 방향 정압 공기 베어링이 배치되어 있다. 또한, 외측 대향부의 외측(다른 하나의 대향부(내측 대향부)가 존재하지 않는 측)과, 제2 대향부의 외측(내측 대향부가 존재하지 않는 측)에는, 각각 비접촉 상태로 가동체를 기대를 향해 흡인하는 흡인력 발생 수단이 배치되어 있다. 이러한 구성에 의해, 가이드 부재의 양측면에 각각 대향하는 수평 방향 정압 공기 베어링의 거리를 작게 유지할 수 있으므로, 가이드 부재의 열팽창의 영향을 받기 어려워져, 워크 반송 스테이지가 대형화해도 베어링 간극을 정밀하게 유지할 수 있다.

일본국 특허 제4270192호 공보

본 개시의 일 양태에 따른 안내 장치는, 기대와, 상기 기대 상에 있어서 안내 방향으로 연장되는 제1 가이드 부재 및 제2 가이드 부재와, 상기 제1 가이드 부재 및 상기 제2 가이드 부재를 따라 이동하는 가동부와, 상기 가동부를 이동 가능하게 지지하는 공기 베어링부를 구비하고, 상기 가동부는, 상기 제1 가이드 부재 및 제2 가이드 부재 상에 위치하는 판 형상의 가동체와, 상기 가동체로부터 하방으로 연신하며, 상기 제1 가이드 부재를 폭방향으로 사이에 끼우는 제1 베어링 지지 부재 및 제2 베어링 지지 부재를 구비하고, 상기 공기 베어링부는, 상기 가동부를 상기 제1 가이드 부재에 대해 상기 폭방향으로 지지하며, 상기 제1 베어링 지지 부재 및 상기 제2 베어링 지지 부재에 각각 배치된 제1 폭방향 공기 베어링부 및 제2 폭방향 공기 베어링부와, 상기 가동부를 상기 제1 가이드 부재에 대해 상하 방향으로 지지하며, 상기 가동체에 배치된 제1 부상 공기 베어링부를 포함하고, 상기 가동체는, 상기 제1 베어링 지지 부재, 상기 제2 베어링 지지 부재 및 상기 제1 부상 공기 베어링부의 배치 위치를 포함하는 육후부(肉厚部)의 두께가, 다른 부위의 두께보다 두꺼워지도록 형성되어 있다.

도 1은, 제1 실시 형태에 따른 안내 장치의 정면도이다.
도 2는, 도 1의 A-A선을 따르는 단면도이다.
도 3은, 제1 실시 형태에 따른 안내 장치를 구성하는 가동부의 측면도이다.
도 4는, 제1 실시 형태에 따른 가동부를 비스듬히 밑에서 보았을 때의 사시도이다.
도 5는, 제1 실시 형태에 따른 안내 장치의 측면도이다.
도 6은, 제1 실시 형태에 따른 안내 장치의 평면도이다.
도 7은, 제1 실시 형태에 따른 가동부를 구성하는 가동체를 비스듬히 밑에서 보았을 때의 사시도이다.
도 8은, 비교예의 가동부에 있어서의 가동체의 두께가 균일하고 얇은 경우의 변형 상태를 설명하는 도면이다.
도 9는, 제2 실시 형태에 따른 잉크젯 인쇄 장치의 측면도이다.
도 10은, 제2 실시 형태에 따른 잉크젯 인쇄 장치의 정면도이다.
도 11은, 제2 실시 형태에 따른 잉크젯 인쇄 장치의 평면도이다.
도 12는, 도 9의 B-B선을 따르는 단면도이다.
도 13은, 제2 실시 형태에 따른 디스플레이 패널의 평면도이다.
도 14는, 제2 실시 형태에 따른 잉크젯 인쇄 장치와 잉크젯 인쇄 장치를 온도 제어하기 위한 온도 조절 부스를 나타내는 평면도이다.
도 15는, 제2 실시 형태에 따른 잉크젯 인쇄 장치와 잉크젯 인쇄 장치를 온도 제어하기 위한 온도 조절 부스를 나타내는 측면도이다.
도 16은, 변형예에 따른 안내 장치의 정면도이다.
도 17은, 종래의 안내 장치의 설명도이다.

특허문헌 1에 기재된 바와 같은 구성에 의하면, 기대의 기준면에 있어서의 가이드 부재를 장착하는 부위 이외에, 상하 방향 정압 공기 베어링과 대향하는 부위에 대해서도, 당해 부위 위를 상하 방향 정압 공기 베어링이 통과하기 때문에 고정밀도의 평면이 필요하고, 기대에 경량화용 관통 구멍을 형성할 수 없다. 또한, 기대의 양측에 흡인력 발생 수단을 설치할 공간이 필요해지므로, 평면으로 보았을 때의 기대의 면적이 커진다.

또, 가동체가 얇으면, 가동체에 수직선 둘레의 모멘트가 가해졌을 때에, 가동체에 있어서의 대향부가 고정된 부위가 변형되어, 가동부의 주행 정밀도가 낮아질 우려가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 가동체를 두껍게 하여, 당해 가동체의 모멘트 강성을 높게 하는 것을 생각할 수 있지만, 가동부가 무거워져, 그 중량을 떠받치기 위해 기대도 두껍게 할 필요가 있다.

특허문헌 1에 기재된 바와 같은 구성에서는, 상술된 바와 같이, 기대에 관통 구멍을 형성하기 어려운 것과, 기대의 면적이 커지는 것과 함께, 안내 장치 전체가 무거워짐에 따라 설치 장소의 내하중을 높게 할 필요가 있어, 건물의 비용 상승으로 이어진다는 문제가 있었다.

본 개시는, 가동부의 주행 정밀도를 높일 수 있으며, 또한, 장치 전체의 경량화를 도모할 수 있는 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

[실시 형태]

이하, 본 개시의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.

＜제1 실시 형태＞

우선, 제1 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 1은, 안내 장치의 정면도이다. 도 2는, 도 1의 A-A선을 따르는 단면도이다. 도 3은, 안내 장치를 구성하는 가동부의 측면도이다. 도 4는, 가동부를 비스듬히 밑에서 보았을 때의 사시도이다. 도 5는, 안내 장치의 측면도이다. 도 6은, 안내 장치의 평면도이다. 도 7은, 가동부를 구성하는 가동체를 비스듬히 밑에서 보았을 때의 사시도이다. 도 8은, 비교예의 가동부에 있어서의 가동체의 두께가 균일하고 얇은 경우의 변형 상태를 설명하는 도면이다.

도 1에 나타나는 바와 같이, 안내 장치(100)는, 기대(3)와, 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R)와, 가동부(20)와, 공기 베어링부(24)를 구비한다. 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R)는, 각각 본 개시의 제1 가이드 부재 및 제2 가이드 부재의 일례이다. 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R)는, 기대(3) 상에 안내 방향으로 연장되도록 배치되어 있다. 가동부(20)는, 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R)를 따라 이동한다. 공기 베어링부(24)는, 가동부(20)를 이동 가능하게 지지한다. 또한, 상술된 안내 방향은, 가동부(20)가 이동하는 방향으로서, 도 1~도 8에 나타나는 X축의 정부 방향이다. 이하에 설명되는 폭방향은, 안내 방향에 대해 직교하며, 또한, 수평면에 평행한 방향으로서, 도 1~도 8에 나타나는 Y축의 정부 방향이다. 상측 방향은, 연직 상측 방향으로서, 도 1~도 8에 나타나는 Z축의 정방향이다. 하측 방향은, 상측 방향의 반대 방향으로서, Z축의 부방향이다. 좌측 방향은, 안내 방향의 일방향 측(X축의 부방향 측)에서 안내 장치(100)를 보았을 때의 좌측 방향이며, Y축의 정방향이다. 우측 방향은, 좌측 방향의 반대 방향으로서, Y축의 부방향이다. 이하, 안내 장치(100)의 각 구성의 상세에 대해서 설명한다.

기대(3)는, 장변을 따르는 방향이 안내 방향과 평행한 장방형 판 형상(도 5 참조)으로 형성되어 있다. 기대(3)의 상면에는, 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R)가 고정되어 있다. 좌측 가이드 부재(6L)는, 기대(3) 상면의 좌측 단부에 고정되고, 우측 가이드 부재(6R)는, 기대(3) 상면의 우측 단부에 고정되어 있다. 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R)는, 폭방향의 외측을 향해 서로 떨어지도록 연신하는 좌측 가이드 돌출부(6LP) 및 우측 가이드 돌출부(6RP)를 각각 포함한다. 좌측 가이드 돌출부(6LP) 및 우측 가이드 돌출부(6RP)는, 각각 본 개시의 제1 돌출부 및 제2 돌출부의 일례이다. 좌측 가이드 돌출부(6LP)는, 좌측 가이드 부재(6L)의 좌측면의 상부에 형성되어 있다. 우측 가이드 돌출부(6RP)는, 우측 가이드 부재(6R)의 우측면의 상부에 형성되어 있다.

도 1~도 4에 나타나는 바와 같이, 가동부(20)는, 사각 판 형상의 가동체(21)를 구비한다. 가동체(21)의 하면(하측의 주면)에는, 각각 2개씩의 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L)와, 내측 공기 베어링 지지 부재(23)와, 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)가 고정되어 있다. 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L), 내측 공기 베어링 지지 부재(23) 및 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)는, 각각 본 개시의 제1 베어링 지지 부재, 제2 베어링 지지 부재 및 제3 베어링 지지 부재의 일례이다. 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L), 내측 공기 베어링 지지 부재(23) 및 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)는, 각각 1개씩의 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L), 내측 공기 베어링 지지 부재(23) 및 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)를 한 조로 한 경우, 두 조가 안내 방향으로 늘어서도록 고정되어 있다. 당해 두 조는, 각각 가동체(21)에 있어서의 안내 방향의 양단부에 1조씩 위치하도록 고정되어 있다. 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L)는, 좌측 가이드 부재(6L)의 좌측에 위치하고 있다. 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L)는, 가동체(21)의 좌측 단부로부터 하방으로 연신하는 좌측 수직부(221L)와, 좌측 수직부(221L)의 하단으로부터 우측으로 연신하는 좌측 수평부(222L)를 구비한다. 내측 공기 베어링 지지 부재(23)는, 좌측 가이드 부재(6L)의 우측에 위치하고 있다. 내측 공기 베어링 지지 부재(23)는, 하방으로 연신하도록 형성되어 있다. 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)는, 우측 가이드 부재(6R)의 우측에 위치하고 있다. 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)는, 가동체(21)의 우측 단부로부터 하방으로 연신하는 우측 수직부(221R)와, 우측 수직부(221R)의 하단으로부터 좌방으로 연신하는 우측 수평부(222R)를 구비한다.

공기 베어링부(24)는, 가동부(20)를 이동 가능하게 지지한다. 공기 베어링부(24)는, 각각 2개씩의 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L)와, 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)와, 좌측 부상 공기 베어링부(26L)와, 우측 부상 공기 베어링부(26R)를 구비한다. 공기 베어링부(24)는, 각각 2조씩의 한 쌍의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)와, 한 쌍의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)를 더 구비한다. 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L), 우측 폭방향 공기 베어링부(25R), 좌측 부상 공기 베어링부(26L), 우측 부상 공기 베어링부(26R), 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 각각 정압 공기 베어링에 의해 구성되어 있다. 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)는, 각각 본 개시의 제1 폭방향 공기 베어링부 및 제2 폭방향 공기 베어링부의 일례이다. 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 우측 부상 공기 베어링부(26R)는, 각각 본 개시의 제1 부상 공기 베어링부 및 제2 부상 공기 베어링부의 일례이다. 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 각각 본 개시의 제1 상하 방향 공기 베어링부 및 제2 상하 방향 공기 베어링부의 일례이다. 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L), 우측 폭방향 공기 베어링부(25R), 좌측 부상 공기 베어링부(26L), 우측 부상 공기 베어링부(26R), 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 각각 1개씩의 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L), 우측 폭방향 공기 베어링부(25R), 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 우측 부상 공기 베어링부(26R)와, 각각 한 쌍씩의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)를 한 조로 한 경우, 두 조가 안내 방향으로 늘어서도록 배치되어 있다.

좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)는, 각각 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L) 및 내측 공기 베어링 지지 부재(23)에 있어서의, 좌측 가이드 부재(6L)의 양측면에 각각 대향하는 부위에 배치되어 있다. 구체적으로, 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L)는, 좌측 가이드 돌출부(6LP)의 좌측면에 대향하도록, 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L)의 좌측 수직부(221L)에 배치되어 있다. 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)는, 좌측 가이드 부재(6L)의 우측면에 대향하도록, 내측 공기 베어링 지지 부재(23)에 배치되어 있다. 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)는, 좌측 가이드 부재(6L)의 좌우 양측면과의 간극(베어링 간극)이 수μm~수십μm가 되도록 배치되어 있다. 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)는, 가동부(20)의 중량을 받지 않고, 가동부(20)를 좌측 가이드 부재(6L)에 대해 비접촉으로 폭방향으로 지지한다. 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)는, 좌측 가이드 부재(6L)에 대한 가동부(20)의 폭방향의 위치를 맞춘다.

좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 우측 부상 공기 베어링부(26R)는, 가동체(21)의 하면에 배치되어 있다. 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 우측 부상 공기 베어링부(26R)는, 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R) 각각의 상면에 대향하는 부위에 배치되어 있다. 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 우측 부상 공기 베어링부(26R)는, 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R) 각각의 상면과의 간극(베어링 간극)이 수μm~수십μm가 되도록 배치되며, 가동체(21)를 좌측 가이드 부재(6L) 및 우측 가이드 부재(6R) 각각에 대해 상하 방향으로 지지한다. 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 우측 부상 공기 베어링부(26R)는, 가동체(21)의 중량을 받고 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 각각 2개씩의 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 우측 부상 공기 베어링부(26R)를, 합쳐서 부상 공기 베어링부(26)라고 하는 경우가 있다.

한 쌍의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 중 한쪽의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)는, 가동체(21)의 하면에 배치되며, 다른 쪽 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)는, 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L)의 좌측 수평부(222L)의 상면에 배치되어 있다. 한 쌍의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)는, 각각 좌측 가이드 돌출부(6LP)의 상면 및 하면과의 간극(베어링 간극)이 수μm~수십μm가 되도록 배치되어 있다. 한 쌍의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)는, 가동부(20)의 중량을 받지 않고, 가동부(20)를 좌측 가이드 돌출부(6LP)에 대해 비접촉으로 상하 방향으로 지지한다. 한 쌍의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)는, 좌측 가이드 돌출부(6LP)에 대한 가동부(20)의 상하 방향의 위치를 맞춘다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 좌측 가이드 돌출부(6LP)의 상측에 위치하는 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)를 상측의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27La)라고 하고, 좌측 가이드 돌출부(6LP)의 하측에 위치하는 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)를 하측의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27Lb)라고 하는 경우가 있다.

한 쌍의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R) 중 한쪽의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 가동체(21)의 하면에 배치되며, 다른 쪽 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)의 우측 수평부(222R)의 상면에 배치되어 있다. 한 쌍의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 각각 우측 가이드 돌출부(6RP)의 상면 및 하면과의 간극(베어링 간극)이 수μm~수십μm가 되도록 배치되어 있다. 한 쌍의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 가동부(20)의 중량을 받지 않고, 가동부(20)를 우측 가이드 돌출부(6RP)에 대해 비접촉으로 상하 방향으로 지지한다. 한 쌍의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 우측 가이드 돌출부(6RP)에 대한 가동부(20)의 상하 방향의 위치를 맞춘다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 우측 가이드 돌출부(6RP)의 상측에 위치하는 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)를 상측의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27Ra)라고 하고, 우측 가이드 돌출부(6RP)의 하측에 위치하는 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)를 하측의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27Rb)라고 하는 경우가 있다.

또한, 가동체(21)의 재료로서, 가공 시의 정밀도의 내기 쉬움과 경량화를 위해 화강암(그라나이트)이 사용되고, 상술된 정압 공기 베어링으로서, 스테인리스제 다공질 타입의 정압 공기 베어링이 사용되는 것이 바람직하다.

도 2~도 4에 나타나는 바와 같이, 가동체(21)의 하면에 있어서의 사각 판 형상의 네 귀퉁이에, 공기 베어링부(24)를 구성하는 정압 공기 베어링이 배치되어 있다. 안내 방향으로 늘어선 좌측 부상 공기 베어링부(26L), 우측 부상 공기 베어링부(26R), 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)는, 가동부(20)의 안내 방향의 피칭 강성을 높게 하는 기능을 갖는다. 안내 방향으로 늘어선 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)는, 가동부(20)의 안내 방향의 요잉 강성을 높게 하는 기능을 갖는다.

가동체(21)는, 각 정압 공기 베어링이 배치된 네 귀퉁이에 대응하는 부위의 판두께가, 네 귀퉁이 이외의 대략 십자형 부위의 판두께보다 두꺼워지도록 형성되어 있다. 가동체(21)는, 정압 공기 베어링이 배치된 육후부(21A)와, 육후부(21A)보다 얇은 육박부(肉薄部)(21B)를 구비한다고 할 수도 있다. 이하의 설명에 있어서, 네 귀퉁이의 육후부(21A) 중, 좌측에 위치하는 2개의 육후부(21A)를 좌측 육후부(21Aa)라고 하고, 우측에 위치하는 2개의 육후부(21A)를 우측 육후부(21Ab)라고 하는 경우가 있다. 좌측 육후부(21Aa) 및 우측 육후부(21Ab)는, 각각 본 개시의 제1 육후부 및 제2 육후부의 일례이다. 2개의 좌측 육후부(21Aa)에는, 각각 1개씩의 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L), 내측 공기 베어링 지지 부재(23), 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 상측의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27La)가 배치되어 있다. 2개의 우측 육후부(21Ab)에는, 각각 1개씩의 우측 공기 베어링 지지 부재(22R), 우측 부상 공기 베어링부(26R) 및 상측의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27Ra)가 배치되어 있다. 이와 같이, 가동체(21)에 육후부(21A)보다 얇은 육박부(21B)를 형성함에 따라, 가동체(21)의 경량화를 도모할 수 있다.

가동체(21)에 있어서의 사각 판 형상의 네 변에 각각 대응하는 부위에는, 가동체(21)의 XY 평면 상에서 중심을 향해 움푹 패인 오목부(21C)가 형성되어 있다. 오목부(21C)는, 각 변에 대응하는 부위의 중앙에 형성되어 있다. 이와 같이, 가동체(21)에 오목부(21C)를 형성함으로써, 가동체(21)의 추가적인 경량화를 도모할 수 있다. 즉, 가동체(21)에 있어서, 육후부가 배치되어 있는 X축 및 Y축 상의 길이는, 육박부만이 배치되어 있는 X축 및 Y축 상의 길이보다 길다.

육박부(21B)에 있어서의 2개의 좌측 육후부(21Aa) 사이의 부위 및 2개의 우측 육후부(21Ab) 사이의 부위에는, 각각 가동체(21)를 관통하는 가동체 관통 구멍(21D)이 형성되어 있다. 이와 같이, 가동체(21)에 가동체 관통 구멍(21D)을 형성함으로써, 가동체(21)의 추가적인 경량화를 도모할 수 있다. 또한, 가동체 관통 구멍(21D)의 형상 및 개수는, 도 2에 나타내는 형상 및 개수에 한정하지 않고, 임의로 설계하면 된다.

다음에, 안내 장치(100) 전체의 구성을 설명한다. 도 5 및 도 6에 나타나는 바와 같이, 가이드 부재(6)는, 그 전체 길이에 걸쳐 기대(3)에 지지되어 있다. 본 개시의 안내 장치(100)에 있어서, 모든 정압 공기 베어링의 안내면으로서, 가이드 부재(6)의 표면을 사용하고, 기대(3)의 표면을 사용하지 않는다. 따라서, 기대(3)에 있어서 평면성을 필요로 하는 부위는, 가이드 부재(6)를 지지하는 부위만이 된다. 그 때문에, 기대(3)의 가이드 부재(6)를 지지하는 부위 이외의 부위에, 안내 장치(100)의 경량화를 위한 기대 관통 구멍(3A)을 형성할 수 있다. 또한, 기대 관통 구멍(3A)의 형상 및 개수는, 도 6에 나타내는 형상 및 개수에 한정하지 않고, 임의로 설계하면 된다.

이상의 구성에 의해, 가동부(20)를 가이드 부재(6)에 대해 공기 베어링부(24)로 지지함으로써, 가동부(20)를 비접촉으로 슬라이딩할 수 있다. 또한, 가이드 부재(6), 기대(3)의 재료로서, 가공 정밀도의 내기 쉬움과 경량화를 위해 화강암이 사용되는 것이 바람직하다.

다음에, 가동체(21)의 구성의 일례에 대해서 설명한다. 도 7에 나타나는 바와 같이, 가동체(21)는, 정압 공기 베어링이 배치된 육후부(21A)와, 정압 공기 베어링이 배치되지 않은 얇은 육박부(21B)를 구비한다. 가동체(21)는, 4개의 오목부(21C)를 더 구비한다. 가동체(21)의 주면의 최대 사이즈를 2200mm(좌우 방향)×2140mm(안내 방향), 육후부(21A)의 판두께를 185mm, 육박부(21B)의 판두께를 150mm로 했다. 좌우 방향으로 늘어선 2개의 오목부(21C)의 저부 간의 길이를 2000mm, 안내 방향으로 늘어선 2개의 오목부(21C)의 저부 간의 길이를 1940mm로 함으로써, 가동체(21)의 경량화가 도모되고 있다. 또한, φ310mm의 가동체 관통 구멍(21D)이 2개소에 형성됨으로써, 가동체(21)의 추가적인 경량화가 도모되고 있다. 이들 경량화 대책에 의해, 주면의 사이즈가 2200mm×2140mm이며, 전체면이 균일한 판두께 150mm의 가동체보다, 가동체(21)의 경량화가 도모되고 있다.

다음에, 가동체(21)에 있어서의 정압 공기 베어링이 배치되는 부위에만, 육후부(21A)를 형성하는 이유에 대해서 설명한다. 도 8에는, 비교예의 가동부(90)가 나타나 있다. 비교예의 가동부(90)는, 가동체(91)의 형상만이 제1 실시 형태의 가동부(20)와 상이하다. 구체적으로, 가동체(91)는, 전체가 균일한 판두께의 사각 판 형상으로 형성되어 있다. 가동체(91)의 주면의 사이즈는, 제1 실시 형태의 가동체(21)와 같은 2200mm×2140mm이다. 가동체(91)의 판두께는, 제1 실시 형태의 가동체(21)의 육박부(21B)와 같은 150mm이다. 즉, 가동체(91)는, 육후부(21A), 오목부(21C) 및 가동체 관통 구멍(21D)이 형성되지 않은 점에서, 제1 실시 형태의 가동체(21)의 형상과 상이하다.

한편, 가동체(91)에 배치되는 구성 요소는, 제1 실시 형태의 가동체(21)와 같다. 가동체(91)의 하면에는, 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L)와, 내측 공기 베어링 지지 부재(23)와, 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)가 고정되어 있다. 가동체(91)의 하면, 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L), 내측 공기 베어링 지지 부재(23) 및 우측 공기 베어링 지지 부재(22R)에는, 상술된 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L)와, 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)와, 좌측 부상 공기 베어링부(26L)와, 우측 부상 공기 베어링부(26R)와, 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L)와, 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)가, 제1 실시 형태와 같은 위치에 배치되어 있다.

이상의 구성을 갖는 제1 실시 형태 및 비교예의 가동부(90)에 있어서, 각 정압 공기 베어링에 있어서의 대향하는 평면과의 간극(베어링 간극)이 수μm~수십μm로 조정되어 있으며, 베어링에 의해 발생하는 정압력은, 예를 들면, 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)에서는, 1개당 약 8000N이 된다. 그 때문에, 도 8에 나타나는 비교예의 가동체(91)와 같이, 정압 공기 베어링의 배치 부위가 얇게 되어 있으면(정압 공기 베어링이 배치되지 않은 부위와 같은 두께로 되어 있으면), 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)의 정압력에 의해, 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L) 및 내측 공기 베어링 지지 부재(23)의 하단이 서로 멀어지도록, 가동체(91)가 변형될 우려가 있다. 이 변형에 의해, 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)와 좌측 가이드 부재(6L) 사이의 베어링 간극이, 변형되지 않은 경우의 베어링 간극의 약 2배의 크기로 넓어져, 당해 베어링 간극의 확대에 의해 베어링 강성이 저하되어 버린다.

베어링 간극의 확대를 막는 방법으로서, 정압 공기 베어링에 정압을 가하기 전의 상태에서, 베어링 간극을 보다 작게 조정해 두는 방법을 생각할 수 있다. 그러나, 이러한 방법으로도, 가동체(91)에 요잉 방향의 부하가 가해졌을 때에는, 가동체(91)의 강성의 낮음에 의한 변형에 따라, 가동체(91)는, 요잉 방향으로 미소량 회전해 버린다. 즉, 가동체(91)에 가해지는 요잉 방향의 모멘트에 의해 생기는 요잉 방향의 회전량은, 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)의 강성으로 정해지는 회전량과, 가동체(91)의 강성으로 정해지는 회전량 양쪽에 의해 정해지게 된다.

상술된 회전량을 작게 억제하여 가동체의 주행 재현성을 높이기 위해, 가동체의 판두께를 두껍게 하여, 가동체의 변형량을 작게 하는 방법을 생각할 수 있다. 그러나, 이러한 방법으로는, 가동체 자체의 중량이 증가한다. 또, 가동체의 중량을 떠받치기 위한 가이드 부재(6)를 굵게 하여 강성을 높일 필요가 있기 때문에, 가이드 부재(6)의 중량이 증가한다. 또한, 중량이 증가한 가동체 및 가이드 부재(6) 양쪽을 떠받치기 위해, 기대(3)도 두껍게 하여 강성을 높일 필요가 있다. 그 결과, 안내 장치 전체의 중량이 증가해 버려, 안내 장치를 설치하는 바닥의 내하중도 늘릴 필요가 생겨, 건물의 건설 비용이 증가해 버린다.

이러한 과제에 대해, 제1 실시 형태의 가동체(21)는, 정압 공기 베어링이 배치된 육후부(21A)가 두껍고, 그 이외의 육박부(21B)가 얇게 되어 있기 때문에, 가동체(21) 자체의 경량화를 도모할 수 있다. 게다가, 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)가 각각 배치된 좌측 공기 베어링 지지 부재(22L) 및 내측 공기 베어링 지지 부재(23)가 좌측 육후부(21Aa)에 고정되어 있기 때문에, 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L) 및 우측 폭방향 공기 베어링부(25R)의 지지 구조의 강성이 높아져, 가동체(21)의 요잉 방향의 모멘트에 대한 요잉 강성을 높일 수 있다. 따라서, 가동부(20)의 주행 정밀도를 높일 수 있고 또, 가동체(21)를 경량화할 수 있기 때문에, 가이드 부재(6) 및 기대(3)의 중량을 늘릴 필요가 없어져, 안내 장치(100) 전체의 중량의 증가를 억제할 수 있고, 안내 장치(100)를 설치하는 바닥의 내하중도 낮게 억제할 수 있다.

또, 가동체(21)의 정압 공기 베어링의 배치 부위 이외의 부위를 육박부(21B)로 하는 것에는, 또 다른 효과가 있다. 가이드 부재(6)의 평평한 상면에 의해 구성되는 궤도면에는, 각 부재의 정밀한 가공과 조정을 행해도 약간의 평면 어긋남이 남아 버린다. 그 평면 어긋남이 남은 궤도면에 대해, 가동체(21)의 하면에 배치된 좌측 폭방향 공기 베어링부(25L), 우측 폭방향 공기 베어링부(25R), 좌측 부상 공기 베어링부(26L), 우측 부상 공기 베어링부(26R), 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)를, 설계대로 수μm~수십μm의 베어링 간극을 형성하여 가이드 부재(6)에 대향시키기 위해서는, 가동체(21)의 정압 공기 베어링의 배치 부위 이외의 부위가 유연하게 변형되는 것이 바람직하다. 가동체 전체의 판두께를 두껍게 하여 가동체의 강성을 높이면, 가동체의 하면이 궤도면의 평면 어긋남에 추종할 수 없게 된다. 이 경우, 일부의 정압 공기 베어링과 가이드 부재(6)의 베어링 간극이 설계 치수를 유지할 수 없게 되어 버려, 설계대로의 베어링 성능을 낼 수 없게 되어 버린다. 제1 실시 형태의 가동체(21)에 육후부(21A)에 비해 변형되기 쉬운 육박부(21B)를 형성하고 있기 때문에, 상술된 평면 어긋남이 발생해도, 육박부(21B)의 변형에 의해 가동체(21)의 하면을 궤도면의 평면 어긋남에 추종시킬 수 있어, 어느 정압 공기 베어링에 있어서도, 설계대로의 성능을 이끌어 낼 수 있다.

＜제2 실시 형태＞

다음에, 제2 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 9는, 잉크젯 인쇄 장치의 측면도이다. 도 10은, 잉크젯 인쇄 장치의 정면도이다. 도 11은, 잉크젯 인쇄 장치의 평면도이다. 도 12는, 도 9의 B-B선을 따르는 단면도이다. 도 13은, 디스플레이 패널의 평면도이다. 도 14는, 잉크젯 인쇄 장치와 잉크젯 인쇄 장치를 온도 제어하기 위한 온도 조절 부스를 나타내는 평면도이다. 도 15는, 잉크젯 인쇄 장치와 잉크젯 인쇄 장치를 온도 제어하기 위한 온도 조절 부스를 나타내는 측면도이다.

우선, 본 개시의 안내 장치(100)를 구비한 잉크젯 인쇄 장치(1)의 구성에 대해서 설명한다. 도 9~도 11에 나타나는 바와 같이, 잉크젯 인쇄 장치(1)에 설치된 안내 장치(100)는, 제1 실시 형태의 안내 장치(100)와 동일한 구성을 갖고, 기대(3)와, 가이드 부재(6)와, 가동부(20)를 구비한다.

잉크젯 인쇄 장치(1)는, 기대(3)를 밑에서 떠받치는 가대(架臺)(2)를 구비한다. 가동체(21)의 상면에는, 2대의 제1 미동 기구(12)와, 2대의 제2 미동 기구(13)와, 1대의 제3 미동 기구(14)가 탑재되어 있다. 2대의 제1 미동 기구(12)는, 평면으로 보았을 때의 가동체(21)에 있어서의 2개의 대각선 중 한쪽의 대각선 상에 탑재되어 있다. 2대의 제2 미동 기구(13)는, 상기 2개의 대각선 중 다른 쪽 대각선 상에 탑재되어 있다. 각 제1 미동 기구(12) 및 각 제2 미동 기구(13)는, 가이드 부재(6)와, 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 또는 우측 부상 공기 베어링부(26R)의 바로 위에 각각 탑재되어 있다. 제3 미동 기구(14)는, 가동체(21)의 상면 중앙에 탑재되어 있다. 제1, 제2, 제3 미동 기구(12, 13, 14) 상에는, 워크 유지 테이블(15)이 탑재되어 있다. 워크 유지 테이블(15)은, 그 상면에 있어서, 인쇄 대상물의 디스플레이 패널(7)을 흡착 유지할 수 있도록 구성되어 있다.

각 제1 미동 기구(12)는, Y축 방향(좌우 방향)으로 구동하는 도시하지 않은 구동 기구를 구비한다. 이 구동 기구는, 도시하지 않은 기판 얼라이먼트 제어부에 의해 위치 결정 제어되도록 되어 있다. 또한, 제1 미동 기구(12)는, X축 방향(안내 방향)으로 이동 가능한 도시하지 않은 슬라이딩 기구와, Z축 주위로 회전 가능한 도시하지 않은 회전 슬라이딩 기구를 구비한다. 각 제2 미동 기구(13)는, X축 방향 및 Y축 방향으로 자유롭게 이동 가능한 도시하지 않은 슬라이딩 기구와, Z축 주위로 회전 가능한 도시하지 않은 회전 슬라이딩 기구를 구비한다. 제3 미동 기구(14)는, Y축 방향으로만 이동 가능한 슬라이딩 기구와, Z축 주위로 회전 가능한 도시하지 않은 회전 슬라이딩 기구를 구비한다.

제1 미동 기구(12)와, 기판 얼라이먼트 제어부와, 제2 미동 기구(13)와, 제3 미동 기구(14)와, 워크 유지 테이블(15)은, 기판 얼라이먼트 기구(10)를 구성한다. 기판 얼라이먼트 기구(10)는, 워크 유지 테이블(15)을 Y축 방향 및 Z축 주위의 회전 방향으로 위치 결정한다. 가동부(20)와, 기판 얼라이먼트 기구(10)는, 워크 반송 스테이지(30)를 구성한다.

가동체(21)의 하면에는, 리니어 모터 가동자(52)가 고정되어 있다. 기대(3)의 상면에는, 안내 방향으로 연장되는 리니어 모터 고정 바(4)가 고정되어 있다. 리니어 모터 고정 바(4)는, 가이드 부재(6)와 평행해지도록 형성되어 있다. 리니어 모터 고정 바(4) 상에는, 안내 방향으로 연장되는 리니어 모터 고정자(51)가 고정되어 있다. 리니어 모터 고정자(51)와, 리니어 모터 가동자(52)는, 리니어 모터(50)를 구성한다. 리니어 모터(50)는, 기대(3)에 대해 가동부(20)를 안내 방향으로 이동시킨다.

리니어 모터 고정 바(4)의 측면에는, 리니어 스케일 본체(61)가 고정되어 있다. 가동체(21)의 하면에는, 판독 헤드 브래킷(63)을 개재하여 리니어 스케일 판독 헤드(62)가 고정되어 있다. 리니어 스케일 본체(61)와, 리니어 스케일 판독 헤드(62)는, 리니어 스케일(60)을 구성한다. 리니어 스케일(60)은, 기대(3) 상에 있어서의 가동부(20)의 위치를 검출한다.

리니어 모터(50)와 리니어 스케일(60)은, 도시하지 않은 스테이지 제어부에 의해서 피드백 제어된다.

또한, 리니어 모터(50)의 Y축 방향의 고정 위치는, 워크 반송 스테이지(30)의 무게 중심과 리니어 모터 가동자(52)의 구동점을 일치시키는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의해, 워크 반송 스테이지(30)의 가감속 시에, 당해 워크 반송 스테이지(30)에 가해지는 Z축 주위의 모멘트를 없앨 수 있다. 리니어 모터(50)의 Z축 방향의 고정 위치는, 워크 반송 스테이지(30)의 무게 중심과 리니어 모터 가동자(52)의 구동점을 가능한 한 가깝게 하는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의해, 워크 반송 스테이지(30)의 가감속 시에, 당해 워크 반송 스테이지(30)에 가해지는 Y축 주위의 모멘트를 억제할 수 있다.

도 10~도 12에 나타나는 바와 같이, 기대(3)에 있어서의 안내 방향의 중앙에는, 2개의 갠트리 베이스(42)가 설치되어 있다. 각 갠트리 베이스(42)는, 안내 방향과 평행한 양측부에 설치되어 있다. 2개의 갠트리 베이스(42) 상에는, 당해 갠트리 베이스(42)를 연결하도록, 제1 갠트리(41a)와, 제2 갠트리(41b)가 탑재되어 있다.

제1 갠트리(41a)에 있어서의 안내 방향의 한쪽 측의 측면에는, 액적 위치 계측 카메라(43)가 탑재되고, 반대 측의 측면에는, 적색 잉크를 토출하는 제1 헤드 유닛(40R)이 탑재되어 있다. 제2 갠트리에 있어서의 상기 한쪽 측의 측면에는, 녹색 잉크를 토출하는 제2 헤드 유닛(40G)이 탑재되고, 반대 측의 측면에는, 청색 잉크를 토출하는 제3 헤드 유닛(40B)이 탑재되어 있다. 제1, 제2, 제3 헤드 유닛(40R, 40G, 40B)에는, 각각 복수 개의 도시하지 않은 잉크젯 헤드가 탑재되어 있다. 각 잉크젯 헤드는, 도시하지 않은 토출 제어부에 의해, 리니어 스케일(60)의 위치에 따라 액적의 토출이 제어된다. 토출 제어부는, 각 잉크젯 헤드의 1 노즐마다 토출 타이밍을 조정할 수 있도록 구성되어 있다. 이러한 구성에 의해, 디스플레이 패널(7) 상으로의 액적의 적하 위치를, 1 노즐마다 조정할 수 있다.

또한, 제1 갠트리(41a) 또는 제2 갠트리(41b)에 탑재되는, 제1, 제2, 제3 헤드 유닛(40R, 40G, 40B) 및 액적 위치 계측 카메라(43)는, 각각 수100kg~1000kg 정도로 무겁다. 이 때문에, 워크 반송 스테이지(30)가 가감속할 때에는, 가감속 시의 반력이 잉크젯 인쇄 장치(1) 전체에 가해져, 잉크젯 인쇄 장치(1) 전체가 X축 방향으로 미소하게 진동한다. 이 미소한 진동에 의해, 제1 갠트리(41a) 및 제2 갠트리(41b)가 X축 방향으로 수μm 요동되어, 인쇄 위치 정밀도가 저하되는 것이 판명되었다. 그래서, 제2 실시 형태의 잉크젯 인쇄 장치(1)에서는, 제1 갠트리(41a) 및 제2 갠트리(41b)의 다리부를, 하방을 향함에 따라 X축 방향의 폭이 커지도록 형성함으로써, 상기 문제를 해결했다.

다음에, 인쇄 대상물의 디스플레이 패널(7)에 대해서 설명한다. 도 13에 나타나는 바와 같이, 디스플레이 패널(7)의 기판(7P) 상의 네 귀퉁이에는, 도포 위치를 위치 결정하기 위한 얼라이먼트 마크(7m)가 형성되어 있다. 기판(7P) 상의 중앙에는, 화소를 구분하는 격벽인 뱅크(7L)가 형성되어 있다. 얼라이먼트 마크(7m) 및 뱅크(7L)는, 발수성의 격벽을 형성하는 재료에 의해 형성되어 있다. 뱅크(7L)는, 적색 화소(7R)와, 녹색 화소(7G)와, 청색 화소(7B)를 형성한다. 기판(7P)으로서는, 주면의 사이즈가 2200mm×2300mm, 두께가 0.5mm인 유리판을 예시할 수 있다.

다음에, 이상과 같이 구성된 잉크젯 인쇄 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 우선, 스테이지 제어부는, 워크 반송 스테이지(30)를 도 9에 실선으로 표시되는 워크 반입 위치(30a)에 위치 결정한다. 이 후, 도시하지 않은 워크 반송 기구를 이용하여, 디스플레이 패널(7)을 워크 유지 테이블(15) 상에 재치(載置)하고, 워크 유지 테이블(15)로 디스플레이 패널(7)을 흡착하여 고정한다.

다음에, 고정된 디스플레이 패널(7)의 네 귀퉁이의 얼라이먼트 마크(7m)를 도시하지 않은 얼라이먼트 카메라로 관찰하여, 미리 정해진 목표 위치로부터의 어긋남량을 계측한다. 이 계측 결과에 의거하여, 기판 얼라이먼트 제어부는, 기판 얼라이먼트 기구(10)를 동작시켜, 디스플레이 패널(7)을 목표 위치에 위치 결정한다. 디스플레이 패널(7)의 위치 결정이 완료되면, 스테이지 제어부는, 워크 반송 스테이지(30)를 도 9에 이점 쇄선으로 표시되는 인쇄 대기 위치(30b)로 이동시켜 위치 결정한다.

그 후, 스테이지 제어부는, 워크 반송 스테이지(30)를 일정 속도(제2 실시 형태에서는, 300mm/초)로 워크 반입 위치(30a)로 이동시킨다. 일정 속도로 이동 중인 리니어 스케일(60)의 계측 결과는, 도시하지 않은 토출 제어부로 보내진다. 토출 제어부는, 제1, 제2, 제3 헤드 유닛(40R, 40G, 40B)에 각각에 탑재된 도시하지 않은 잉크젯 헤드에 토출 신호를 출력하고, 목표한 위치에 액적을 적하한다. 그 결과, 디스플레이 패널(7)의 적색 화소(7R)에는 적색 잉크가, 녹색 화소(7G)에는 녹색 잉크가, 청색 화소(7B)에는 청색 잉크가 각각 적하된다.

또한, 잉크젯 헤드의 각 노즐의 토출 각도 습성 등에 따라, 목표한 위치에 액적을 적하할 수 없는 경우가 있다. 이 경우, 디스플레이 패널(7) 대신에, 도시하지 않은 적하 위치 계측용 유리 기판에 대해 적하 위치 계측 패턴을 인쇄하고, 액적 위치 계측 카메라(43)로 적하 위치의 목표 위치로부터의 어긋남량을 계측한다. 그 계측 결과를 토출 제어부에 보내고, 노즐마다 토출 타이밍을 보정함으로써, 인쇄 방향(X방향)의 위치 어긋남을 보정한다. 이와 같이 하여, 디스플레이 패널(7)의 각 화소에 대해 정확하게 액적을 적하할 수 있다.

또한, 가동체(21) 상에는, 5대의 미동 기구(2대의 제1 미동 기구(12), 2대의 제2 미동 기구(13) 및 1대의 제3 미동 기구(14))의 중량과, 워크 유지 테이블(15)의 중량이 가해진다. 이 가해지는 중량은, 제2 실시 형태의 경우, 약 1300kg에 상당한다. 가동체(21)에 가해지는 약 1300kg의 중량 중, 네 귀퉁이의 미동 기구(2대의 제1 미동 기구(12) 및 2대의 제2 미동 기구(13))의 위치에 가해지는 중량은, 약 1100kg이 되고, 가해지는 전체 중량의 약 85퍼센트에 상당한다. 나머지 15퍼센트의 중량은, 가동체(21)의 중앙의 제3 미동 기구의 위치에 가해진다.

상술된 바와 같이, 제1 미동 기구(12) 및 제2 미동 기구(13)는, 가이드 부재(6)와, 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 또는 우측 부상 공기 베어링부(26R)의 바로 위에 위치하고 있다. 이 때문에, 워크 반송 스테이지(30)는, 가동체(21)에 탑재되는 부재의 전체 중량의 85퍼센트가 부상 공기 베어링부(26)에 직접적으로 가해지고, 나머지 15퍼센트가 가동체(21)를 통해 간접적으로 부상 공기 베어링부(26)에 가해지도록 구성되어 있다.

또, 가동체(21)는, 네 귀퉁이의 정압 공기 베어링의 배치 부위 근방만의 판두께가 두껍고, 그 이외의 판두께가 얇게 되어 있기 때문에, 네 귀퉁이의 부상 공기 베어링부(26)가 2개의 가이드 부재(6)의 상면이 형성하는 평면에 추종하기 쉽게 되어 있다.

또한, 가동체(21) 상의 부재의 대부분의 중량이 4개소의 부상 공기 베어링부(26)의 바로 위에 가해지고 있기 때문에, 부상 공기 베어링부(26)가 가이드 부재(6)의 상면에 평행하게 대향하기 쉬워져, 부상 공기 베어링부(26)가 갖는 최대한의 성능을 이끌어 낼 수 있다.

또, 부상 공기 베어링부(26)는, 가이드 부재(6)에 의해 지지되어 있다. 가이드 부재(6)는, 기대(3)를 개재하여, 각각 당해 가이드 부재(6)의 바로 밑에 배치된 레벨링 블록(5), 가대(2) 및 어저스터 풋(8)에 의해 지지되고, 당해 가이드 부재(6)의 바로 밑에 있어서, 가이드 부재(6)의 레벨 조정을 행할 수 있도록 구성되어 있다. 이러한 구성에 의해, 가이드 부재(6)의 상면의 평면화가 용이해지는 것과 동시에, 기대(3)에 있어서의 가이드 부재(6)의 바로 밑 이외의 부위에, 다수의 기대 관통 구멍(3A)을 형성할 수 있다. 또한, 가대(2)에 있어서의 가이드 부재(6)의 바로 밑 이외의 부위에, 강관을 뚫지 않고 공간을 형성할 수 있다. 이와 같이, 기대 관통 구멍(3A) 및 공간을 형성함으로써, 잉크젯 인쇄 장치(1) 전체의 경량화를 도모할 수 있다. 또, 가이드 부재(6)의 주변 부분에, 기대 관통 구멍(3A)을 위에서 밑으로 통과하는 청정화된 공기의 흐름(다운 플로)을 형성함으로써, 잉크젯 인쇄 장치(1) 전체의 청정도를 높일 수 있어, 파티클에 의한 인쇄 불량의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 기대 관통 구멍(3A)을 위에서 밑으로 통과하는 온도 제어된 공기의 흐름을 형성함으로써, 잉크젯 인쇄 장치(1) 전체의 온도를 일정하게 유지할 수 있어, 열팽창에 의한 인쇄 위치의 어긋남을 억제할 수 있다.

상술된 열팽창에 의한 인쇄 위치의 어긋남을 억제할 수 있는 구체적인 잉크젯 인쇄 장치(1)의 구성에 대해서 설명한다. 도 14 및 도 15에 나타나는 바와 같이, 잉크젯 인쇄 장치(1)는, 그 주위가 부스(71)에 의해 둘러싸여 있다. 부스(71)의 천장에는, 제1 공조기(73a)와, 제2 공조기(73b)와, 제3 공조기(73c)가 고정되어 있다. 제1 공조기(73a)는, 워크 반입 위치(30a)의 상방에 배치되어 있다. 제3 공조기(73c)는, 인쇄 대기 위치(30b)의 상방에 배치되어 있다. 제2 공조기(73b)는, 제1 공조기(73a) 및 제3 공조기(73c) 사이의 위치이며, 제1 갠트리(41a) 및 제2 갠트리(41b)의 상방에 배치되어 있다.

부스(71)에 3대의 공조기(73a, 73b, 73c)를 배치함으로써, 부스(71) 내를 제1 온도 조절 영역(72a), 제2 온도 조절 영역(72b), 제3 온도 조절 영역(72c)의 3개 영역으로 나누고, 각각의 온도 조절 영역(72a, 72b, 72c)에 독립적으로 온도 설정된 공기를 불어넣을 수 있다. 불어넣어진 공기는, 잉크젯 인쇄 장치(1)의 주위 및 기대(3)의 기대 관통 구멍(3A)과 가대(2)의 간극을 통과하여, 도시하지 않은 리턴 덕트에서 회수되어 다시 각 공조기(73a, 73b, 73c)로 되돌려진다. 리턴 덕트는, 본 개시의 회수부의 일례이다. 또한, 가대(2)의 프레임에 흡입구를 형성하여, 리턴 덕트로서 이용할 수도 있다.

다음에, 부스(71) 내를 3개의 온도 조절 영역(72a, 72b, 72c)으로 나눈 이유에 대해서 설명한다. 잉크젯 인쇄 장치(1)에는, 복수의 발열 개소가 존재한다. 복수의 발열 개소 중 가장 발열량이 큰 개소는, 헤드 유닛이다. 헤드 유닛 내의 잉크젯 헤드 제어 부재가 발열한다. 이 때문에, 잉크젯 인쇄 장치(1)의 제1, 제2 갠트리(41a, 41b) 주위는, 다른 개소에 비해 온도가 오르기 쉽다. 따라서, 잉크젯 인쇄 장치(1)로 불어넣는 공기의 온도를 전체 영역에서 일률적으로 같게 하면, 발열량이 큰 제1, 제2 갠트리(41a, 41b) 주변의 온도가, 다른 개소에 비해 높아져버린다. 그 결과, 제1, 제2 갠트리(41a, 41b) 밑을 통과하는 워크 유지 테이블(15)의 온도도, 통과하는 빈도에 따라 변화해 버린다. 예를 들면, 워크 유지 테이블(15)이 워크 반입 위치(30a)에 계속 정지해 있던 직후의 워크 유지 테이블(15)의 온도에 비해, 정상적으로 제1, 제2 갠트리(41a, 41b) 밑을 통과하여 인쇄를 반복하고 있을 때의 워크 유지 테이블(15)의 온도는 높아진다. 워크 유지 테이블(15)의 온도가 상승하면, 그 위에 흡착되어 있는 디스플레이 패널(7)의 온도도 상승하고, 디스플레이 패널(7)이 열팽창에 의해 신장되어 버린다. 디스플레이 패널(7)이 신장되면, 목적하는 화소의 위치에 인쇄할 수 없게 된다.

제2 실시 형태에서는, 제2 공조기(73b)의 온도 설정을 제1 공조기(73a), 제3 공조기(73c)에 비해 낮게 함으로써, 잉크젯 인쇄 장치(1)의 제1 갠트리(41a)와 제2 갠트리(41b) 주변의 온도를, 워크 반입 위치(30a), 인쇄 대기 위치(30b)의 온도와 동일한 정도로 조정한다. 이러한 구성에 의해, 인쇄 빈도의 많고 적음에 관계없이, 워크 유지 테이블(15)의 온도를 일정 온도로 유지할 수 있다. 따라서, 인쇄 빈도에 영향을 받지 않고, 언제라도 디스플레이 패널(7)의 목적하는 화소의 위치에 인쇄할 수 있다.

또, 제2 실시 형태에서는, 워크 반입 위치(30a)와 인쇄 대기 위치(30b) 각각의 상방에, 제1 공조기(73a)와 제3 공조기(73c)가 배치되어 있다. 잉크젯 인쇄 장치(1) 주변의 기기 배치 등에 의해, 제1 공조기(73a)와 제3 공조기(73c)를 동일 온도로 설정한 경우라도 부스(71) 안에 온도 불균일이 생기는 경우가 있다. 그러한 경우에, 제1 공조기(73a)와 제3 공조기(73c)를 상이한 온도 설정으로 함으로써, 그 온도 불균일을 해소할 수 있다.

이상과 같이, 가동체(21)의 정압 공기 베어링 근방의 판두께를 두껍게 하고, 그 이외의 부위의 판두께를 얇게 함으로써, 가동체(21) 상에 탑재하는 부재의 중량 대부분이, 가이드 부재(6)의 바로 위에 배치된 4개의 부상 공기 베어링부(26)에 가해지도록 함으로써, 각 정압 공기 베어링의 최대한의 성능을 발휘시킬 수 있다. 또한, 이러한 구성에 의해, 기대(3)에 광범위하게 기대 관통 구멍(3A)을 형성할 수 있어, 잉크젯 인쇄 장치(1)를 경량화할 수 있는 것에 더하여, 기대(3)를 떠받치는 가대(2)에 있어서도 가이드 부재(6)의 바로 밑 이외의 부위에 큰 공간을 형성할 수 있어, 잉크젯 인쇄 장치(1)의 주변뿐만 아니라 내부의 공기의 흐름도 양호하게 할 수 있다. 그 결과, 잉크젯 인쇄 장치(1)의 청정도와, 온도 조정의 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 요잉 강성을 높이는 것에 의한 주행 정밀도의 고정세화를 도모할 수 있음과 더불어, 경량이면서 인쇄 대상물의 디스플레이 패널(7)에 대해 언제라도 위치 정밀도가 높은 인쇄를 할 수 있는 잉크젯 인쇄 장치(1)를 제공할 수 있다.

[실시 형태의 변형예]

본 개시는, 지금까지 설명한 실시 형태에 나타난 것으로 한정되지 않음은 말할 필요도 없고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서, 여러 가지 변형을 가할 수 있다. 또, 상기 실시 형태 및 이하에 나타나는 변형예는, 정상적으로 기능하는 한, 어떻게 조합해도 된다.

예를 들면, 제1 실시 형태에 있어서, 가동체(21)에, 각각 한 쌍씩의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)가 배치되어 있는데, 가동체(21) 자체가 대형이며 자체 중량이 무거운 경우, 그 자체 중량과 부상 공기 베어링부(26)의 밸런스만으로 정압 공기 베어링의 강성을 확보할 수 있기 때문에, 도 16에 나타나는 바와 같이, 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)를 배치하지 않아도 된다. 마찬가지로, 제2 실시 형태에 있어서도, 워크 반송 스테이지(30) 자체가 대형이며 자체 중량이 무거운 경우에는, 그 자체 중량과 부상 공기 베어링부(26)의 밸런스만으로 정압 공기 베어링의 강성을 확보할 수 있기 때문에, 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27L) 및 우측 상하 방향 공기 베어링부(27R)를 배치하지 않아도 된다.

또, 우측 육후부(21Ab)에 대해서는 좌측 육후부(21Aa)와 동일한 두께로 하지 않아도 되고, 예를 들면 육박부(21B)와 같아도 상관없다. 제1, 제2 실시 형태와 같이 우측 육후부(21Ab)를 좌측 육후부(21Aa)와 같은 두께로 하는 메리트는, 좌측 부상 공기 베어링부(26L)의 설치면과, 우측 부상 공기 베어링부(26R)의 설치면을 동시 연삭 가공함으로써 정확하게 동일 평면으로 맞출 수 있고, 그 결과, 대향하는 좌측 가이드 부재(6L)와 우측 가이드 부재(6R)도 동일 높이로 하면 되고, 좌측 가이드 부재(6L)와 우측 가이드 부재(6R)에 대해서도 동시 연삭 가공함으로써 정확하게 동일 높이로 가공할 수 있는 점에 있다.

제1, 제2 실시 형태에 있어서, 가동체(21)의 하면에, 각각 독립적으로 구성된 좌측 부상 공기 베어링부(26L), 우측 부상 공기 베어링부(26R), 상측의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27La) 및 상측의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27Ra)가 배치되어 있는데, 좌측 부상 공기 베어링부(26L) 및 상측의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(27La)의 베어링 성능을 갖는 1개의 정압 공기 베어링과, 우측 부상 공기 베어링부(26R) 및 상측의 우측 상하 방향 공기 베어링부(27Ra)의 베어링 성능을 갖는 1개의 정압 공기 베어링을 배치해도 된다. 또, 각 정압 공기 베어링을, 각각 복수 개씩의 정압 공기 베어링에 의해 구성해도 된다.

제2 실시 형태에 있어서, 제1 미동 기구(12) 및 제2 미동 기구(13)를 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 주위의 회전 방향으로 이동 가능한 기구로 함과 더불어, 제3 미동 기구(14)를 Y축 방향 및 Z축 주위의 회전 방향으로 이동 가능한 기구로 했는데, 제1, 제2, 제3 미동 기구(12, 13, 14)를 각각 Z축 주위로 45° 회전시킨 상태로 배치해도 된다.

제2 실시 형태에 있어서, 예를 들면 2대의 제1 미동 기구(12) 중, 1대의 제1 미동 기구(12)의 X축 방향의 슬라이딩 기구를 없앰으로써, 워크 유지 테이블(15)을 Y축 방향 및 Z축 주위로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 가동체(21)의 중앙에 제3 미동 기구(14)를 배치하지 않아도 된다.

제2 실시 형태에 있어서, 1회의 주사로 인쇄하도록 하고 있는데, 필요에 따라 복수 주사의 반복으로 인쇄해도 된다.

본 개시의 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치에 의하면, 가동부의 주행 정밀도를 높일 수 있으며, 또한, 장치 전체의 경량화를 도모할 수 있다.

본 개시의 안내 장치, 워크 반송 스테이지 및 잉크젯 인쇄 장치는, 대형 인쇄 대상물에 잉크 등을 도포하는 장치에 유효하고, 유기 EL의 발광체, 홀 수송층, 또는 전자 수송층의 인쇄, 혹은, 컬러 필터의 인쇄 등에 있어서의 대형 인쇄 대상물에, 효율적으로 잉크 등의 재료를 도포하는 장치에 적용할 수 있다.

1: 잉크젯 인쇄 장치
2: 가대
3, 901: 기대
3A: 기대 관통 구멍
4: 리니어 모터 고정 바
5: 레벨링 블록
6, 902: 가이드 부재
6L: 좌측 가이드 부재(제1 가이드 부재)
6R: 우측 가이드 부재(제2 가이드 부재)
6LP: 좌측 가이드 돌출부(제1 돌출부)
6RP: 우측 가이드 돌출부(제2 돌출부)
7: 디스플레이 패널
7B: 청색 화소
7P: 기판
7G: 녹색 화소
7L: 뱅크
7m: 얼라이먼트 마크
7R: 적색 화소
8: 어저스터 풋
10: 기판 얼라이먼트 기구
12: 제1 미동 기구
13: 제2 미동 기구
14: 제3 미동 기구
15: 워크 유지 테이블
20, 90, 903: 가동부
21, 91, 904: 가동체
21A: 육후부
21Aa: 좌측 육후부(제1 육후부)
21Ab: 우측 육후부(제2 육후부)
21B: 육박부
21C: 오목부
21D: 가동체 관통 구멍
22L: 좌측 공기 베어링 지지 부재(제1 베어링 지지 부재)
22R: 우측 공기 베어링 지지 부재(제3 베어링 지지 부재)
23: 내측 공기 베어링 지지 부재(제2 베어링 지지 부재)
24: 공기 베어링부
25L: 좌측 폭방향 공기 베어링부(제1 폭방향 공기 베어링부)
25R: 우측 폭방향 공기 베어링부(제2 폭방향 공기 베어링부)
26: 부상 공기 베어링부
26L: 좌측 부상 공기 베어링부(제1 부상 공기 베어링부)
26R: 우측 부상 공기 베어링부(제2 부상 공기 베어링부)
27L: 좌측 상하 방향 공기 베어링부(제1 상하 방향 공기 베어링부)
27La: 상측의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(제1 상하 방향 공기 베어링부)
27Lb: 하측의 좌측 상하 방향 공기 베어링부(제1 상하 방향 공기 베어링부)
27R: 우측 상하 방향 공기 베어링부(제2 상하 방향 공기 베어링부)
27Ra: 상측의 우측 상하 방향 공기 베어링부(제2 상하 방향 공기 베어링부)
27Rb: 하측의 우측 상하 방향 공기 베어링부(제2 상하 방향 공기 베어링부)
30: 워크 반송 스테이지
30a: 워크 반입 위치
30b: 인쇄 대기 위치
40B: 제3 헤드 유닛
40G: 제2 헤드 유닛
40R: 제1 헤드 유닛
41a: 제1 갠트리
41b: 제2 갠트리
42: 갠트리 베이스
43: 액적 위치 계측 카메라
50: 리니어 모터
51: 리니어 모터 고정자
52: 리니어 모터 가동자
60: 리니어 스케일
61: 리니어 스케일 본체
62: 리니어 스케일 판독 헤드
63: 판독 헤드 브래킷
71: 부스
72a: 제1 온도 조절 영역
72b: 제2 온도 조절 영역
72c: 제3 온도 조절 영역
73a: 제1 공조기
73b: 제2 공조기
73c: 제3 공조기
100, 900: 안내 장치
221L: 좌측 수직부
222L: 좌측 수평부
221R: 우측 수직부
222R: 우측 수평부
905: 베어링 지지 부재
906: 수평 방향 정압 공기 베어링
907: 하측 정압 공기 베어링
908: 상측 정압 공기 베어링

Claims (9)

1. 기대(基臺)와,
   상기 기대 상에 있어서 안내 방향으로 연장되는 제1 가이드 부재 및 제2 가이드 부재와,
   상기 제1 가이드 부재 및 상기 제2 가이드 부재를 따라 이동하는 가동부와,
   상기 가동부를 이동 가능하게 지지하는 공기 베어링부를 구비하고,
   상기 가동부는,
   상기 제1 가이드 부재 및 제2 가이드 부재 상에 위치하는 판 형상의 가동체와,
   상기 가동체로부터 하방으로 연신하며, 상기 제1 가이드 부재를 폭방향으로 사이에 끼우는 제1 베어링 지지 부재 및 제2 베어링 지지 부재를 구비하고,
   상기 공기 베어링부는,
   상기 가동부를 상기 제1 가이드 부재에 대해 상기 폭방향으로 지지하며, 상기 제1 베어링 지지 부재 및 상기 제2 베어링 지지 부재에 각각 배치된 제1 폭방향 공기 베어링부 및 제2 폭방향 공기 베어링부와,
   상기 가동부를 상기 제1 가이드 부재에 대해 상하 방향으로 지지하며, 상기 가동체에 배치된 제1 부상 공기 베어링부를 포함하고,
   상기 가동체는, 상기 제1 베어링 지지 부재, 상기 제2 베어링 지지 부재 및 상기 제1 부상 공기 베어링부의 배치 위치를 포함하는 육후부(肉厚部)의 두께가, 다른 부위의 두께보다 두꺼워지도록 형성되어 있는,
   안내 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 가동부는,
   상기 가동체로부터 하방으로 연신하며, 상기 제2 가이드 부재에 대해 상기 제1 가이드 부재의 반대 측에 위치하도록 배치된 제3 베어링 지지 부재를 구비하고,
   상기 제1 베어링 지지 부재는, 상기 제1 가이드 부재에 대해 상기 제2 가이드 부재의 반대 측에 위치하도록 배치되고,
   상기 제1 가이드 부재 및 상기 제2 가이드 부재는, 상기 폭방향의 외측을 향해 서로 떨어지도록 연신하는 제1 돌출부 및 제2 돌출부를 각각 포함하고,
   상기 공기 베어링부는,
   상기 가동부를 상기 제2 가이드 부재에 대해 상하 방향으로 지지하며, 상기 가동체에 배치된 제2 부상 공기 베어링부와,
   상기 가동부를 상기 제1 돌출부에 대해 상하 방향으로 지지하며, 상기 가동체 및 상기 제1 베어링 지지 부재에 각각 1개씩 배치된 한 쌍의 제1 상하 방향 공기 베어링부와,
   상기 가동부를 상기 제2 돌출부에 대해 상하 방향으로 지지하며, 상기 가동체 및 상기 제3 베어링 지지 부재에 각각 1개씩 배치된 한 쌍의 제2 상하 방향 공기 베어링부를 구비하고,
   상기 육후부는,
   상기 제1 베어링 지지 부재, 상기 제2 베어링 지지 부재, 상기 제1 부상 공기 베어링부 및 한쪽의 상기 제1 상하 방향 공기 베어링부의 배치 위치를 포함하는 제1 육후부와,
   상기 제3 베어링 지지 부재, 상기 제2 부상 공기 베어링부 및 한쪽의 상기 제2 상하 방향 공기 베어링부의 배치 위치를 포함하는 제2 육후부를 포함하는, 안내 장치.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 가동체에 있어서의 상기 다른 부위에는, 상기 가동체를 관통하는 가동체 관통 구멍이 형성되어 있는, 안내 장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 기대에 있어서의 상기 제1 가이드 부재 및 상기 제2 가이드 부재가 배치되지 않은 부위에는, 상기 기대를 관통하는 기대 관통 구멍이 형성되어 있는, 안내 장치.
5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 안내 장치와,
   상기 가동체의 상기 육후부 상에 배치된 미동 기구와,
   상기 미동 기구 상에 배치된 워크 유지 테이블을 구비하는,
   워크 반송 스테이지.
6. 청구항 4에 기재된 안내 장치와,
   상기 가동체의 상기 육후부 상에 배치된 미동 기구와,
   상기 미동 기구 상에 배치된 워크 유지 테이블을 구비하는,
   워크 반송 스테이지.
7. 청구항 5에 기재된 워크 반송 스테이지와,
   상기 기대 상에 배치된 갠트리와,
   상기 갠트리에 배치되며, 상기 워크 유지 테이블에 유지된 인쇄 대상물에 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드를 구비하는,
   잉크젯 인쇄 장치.
8. 청구항 6에 기재된 워크 반송 스테이지와,
   상기 기대 상에 배치된 갠트리와,
   상기 갠트리에 배치되며, 상기 워크 유지 테이블에 유지된 인쇄 대상물에 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드를 구비하는 잉크젯 인쇄 장치로서,
   상기 잉크젯 인쇄 장치 전체를 둘러싸는 부스와,
   온도 조절된 기체를 상기 부스로 둘러싸인 영역 내의 상방으로부터 하방으로 흐르게 하는 공조기와,
   상기 공조기에 의해 흐르게 된 기체를 상기 기대 관통 구멍을 통해 회수하는 회수부를 더 구비하는,
   잉크젯 인쇄 장치.
9. 청구항 8에 있어서,
   서로 독립적으로 상기 기체의 온도를 설정 가능한 복수의 상기 공조기가, 상기 안내 방향으로 늘어서도록 배치되어 있는, 잉크젯 인쇄 장치.

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