KR101245873B1

KR101245873B1 - 스테이지

Info

Publication number: KR101245873B1
Application number: KR1020107023620A
Authority: KR
Inventors: 유야 이노우에; 다모츠 다니후지; 히사토 다나카; 마코토 다카하시; 구니요시 세키네
Original assignee: 가부시키가이샤 알박
Priority date: 2008-05-19
Filing date: 2009-05-13
Publication date: 2013-03-20
Also published as: JPWO2009142133A1; CN102037552A; US8783674B2; TWI430383B; CN102037552B; KR20100125439A; WO2009142133A1; US20110042876A1; JP5186560B2; TW201007871A

Abstract

기판을 고속 반송할 수 있는 기판 스테이지를 제공한다. 본 발명의 기판 스테이지 (10) 에서는, 주 재치대 (11) 에 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 를 장착하고, 하부 레일 (13₁, 13₂) 을 주 재치대 (11) 상에서 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 상에 걸쳐 배치한다. 상하 방향 조정 장치 (6) 에 의해 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 양 단을 상방으로 만곡시켜 두면, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 의 단부가 하방으로 만곡되었을 때에, 하부 레일 (13₁, 13₂) 은 곧아진다. 하부 레일 (13₁, 13₂) 이 분할되어 있지 않기 때문에, 직선성이 확보되고, 이동판 (16) 의 흔들림이 발생하지 않기 때문에 기판 (5) 의 고속 이동이 가능하다.

Description

스테이지{STAGE}

본 발명은, XY 스테이지나 대형 인쇄 장치에 사용되는 기판 스테이지에 관한 것으로, 특히, 레일을 연결하는 대형 스테이지에 관한 것이다.

그라나이트는 평면 정밀도를 확보하는 가공이 용이하고, 열적인 변형도 작으며, 큰 원석이 얻어지는 점에서, XY 스테이지, 대형 인쇄 장치, 3 차원 검사 장치등의 기판 스테이지에 사용되고 있다.

최근에는 기판의 대형화가 점점 진행되고 있어, 대형 기판에 적합하도록 기판 스테이지를 대형화시킨 경우에는, 도로를 반송 (搬送) 할 수 없는 크기로 되어 버린다.

그 때문에, 그라나이트의 원석으로부터 소면적의 받침대나 짧은 레일을 성형하고, 설치 장소까지 반송하여 조립함으로써, 실제로 사용하는 장소에 대형 기판 스테이지를 설치하는 시도가 이루어지고 있다.

그러나, 보조 재치대 (載置臺) 를 주 재치대에 장착하고, 별도로 제조한 레일끼리를 연결하면, 레일의 이음매에 단차가 발생하거나, 레일의 수평성을 확보할 수 없어, 기판을 고속으로 반송할 수 없다는 문제가 발생하였다.

대형 기판 스테이지가 기재된 기술 문헌은, 예를 들어 하기 공보가 있다.

특허문헌 1 : 일본 공개특허공보 평7-311375호 특허문헌 2 : 일본 공개특허공보 2005-114882호

본 발명은, 레일의 수평성과 직선성을 확보하며, 기판을 고속으로 반송할 수 있는 분할형 기판 스테이지를 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 주 재치대와, 상기 주 재치대보다 소면적이며 상기 주 재치대로부터 분리 가능한 보조 재치대와, 상기 주 재치대 상과 상기 보조 재치대 상에 걸쳐 배치되고, 상기 보조 재치대 상에는 단부 (端部) 가 위치하는 복수의 하부 레일을 갖고, 이동판이 상기 각 하부 레일 상에 위치하고, 상기 이동판은 상기 하부 레일 상을 주행 가능하게 된 스테이지로서, 복수의 상기 하부 레일은, 1 개가 1 장의 원판으로 각각 형성되어, 상기 주 재치대와 상기 보조 재치대에 착탈 가능하게 구성되고, 상기 보조 재치대에는, 상기 하부 레일의 높이를 복수 위치에서 조절 가능한 상하 방향 조정 장치가 설치된 스테이지이다.

또, 본 발명은, 상기 이동판에는, 승강 핀이 삽입 통과되는 복수의 관통 구멍이 형성되고, 상기 이동판이 상기 보조 재치대의 소정 장소에 위치하는 상태에서는, 상기 이동판의 이면측으로부터 상기 이동판의 관통 구멍에 상기 승강 핀을 삽입할 수 있도록 구성된 스테이지이다.

또, 본 발명은, 상기 주 재치대에는, 상기 하부 레일의 상방에 위치하는 상부 레일이 착탈 가능하게 장착된 스테이지이다.

또, 본 발명은, 상기 상부 레일에는 잉크젯 헤드가 이동 가능하게 장착된 스테이지이다.

또, 본 발명은, 주 재치대와, 상기 주 재치대보다 소면적이며 상기 주 재치대로부터 분리 가능한 보조 재치대와, 상기 주 재치대 상과 상기 보조 재치대 상에 걸쳐 배치되고, 상기 보조 재치대 상에는 단부가 위치하는 복수의 하부 레일과, 상기 하부 레일이 연장되는 방향을 따른 이동이 가능하도록 장착된 상부 레일을 갖는 스테이지로서, 각 상기 하부 레일은 1 장의 원판으로 형성되어, 상기 주 재치대와 상기 보조 재치대에 착탈 가능하게 구성되고, 상기 보조 재치대에는, 상기 하부 레일의 높이를 복수 위치에서 조절 가능한 상하 방향 조정 장치가 설치되고, 상기 상부 레일과 상기 하부 레일은 착탈 가능하게 구성된 스테이지이다.

이 경우에도, 본 발명은, 상기 상부 레일에는 잉크젯 헤드가 이동 가능하게 장착된 스테이지이다.

또, 본 발명은, 상기 하부 레일은 그라나이트로 구성된 스테이지이다.

본 발명의 스테이지 상에는, 이동판이 주행하는 2 개 이상 개수의 하부 레일이 배치되어 있다. 이동판이 주행하는 복수의 하부 레일 중에서, 각 하부 레일은, 각각 1 장의 원판으로 형성되어 있다. 본 발명에는, 이동판이 주행하는 복수의 하부 레일이 동일한 원판으로 형성되는 경우와, 상이한 원판으로 형성되는 경우와, 그들의 경우가 혼재하는 경우 어느 경우도 포함된다.

본 발명에 의한 스테이지는, 1 개의 하부 레일이 길이 방향에 있어서 분할되지 않고, 1 개의 하부 레일은 1 장의 원판으로 형성되어 있다. 따라서 직선성이 확보되어 있으므로, 기판을 재치하는 이동판에 흔들림이 발생하지 않아, 고속 이동시킬 수 있다. 또, 토출액의 착탄 위치 정밀도도 향상된다.

하부 레일의 단부에는, 상하 방향 조정 장치가 설치되어 있으므로, 보조 재치대가 아래로 늘어져도 직선성을 유지할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 평면도 (1) 이다.
도 2 는 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 측면도 (1) 이다.
도 3 은 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 평면도 (2) 이다.
도 4 는 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 측면도 (2) 이다.
도 5 는 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 평면도 (3) 이다.
도 6 은 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 측면도 (3) 이다.
도 7 은 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 평면도 (4) 이다.
도 8 은 본 발명의 기판 스테이지의 동작을 설명하기 위한 측면도 (4) 이다.
도 9 는 본 발명의 기판 스테이지를 설명하기 위한 평면도이다.
도 10 은 본 발명의 기판 스테이지를 설명하기 위한 측면도이다.
도 11 은 본 발명의 기판 스테이지 분해 후의 보조 재치대와 주 재치대와 하부 레일을 나타내는 평면도이다.
부호의 설명
6 …… 상하 방향 조정 장치
8₁, 8₂ …… 승강 핀
10 …… 기판 스테이지
11 …… 주 재치대
12a ∼ 12d …… 보조 재치대
13₁, 13₂ …… 하부 레일
14a ∼ 14d, 19 …… 관통 구멍
15₁, 15₂ …… 상부 레일
16 …… 이동판
17 …… 잉크젯 헤드

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

도 9, 도 10 을 참조하여, 본 발명의 기판 스테이지 (10) 는, 1 대의 주 재치대 (11) 와, 평면 형상이 주 재치대 (11) 보다 소형·소면적인 복수 (여기서는 4 대) 의 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 와, 2 개의 하부 레일 (13₁, 13₂) 을 가지고 있다.

도 9, 도 10 은 본 발명의 기판 스테이지 (10) 를 제조 장소에 있어서 임시로 조립한 상태의 평면도와 측면도이다.

주 재치대 (11) 와 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 의 평면 형상은 사각형으로, 표면은 평탄하다.

주 재치대 (11) 와 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 는 착탈 가능하게 구성되어 있고, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 는, 주 재치대 (11) 의 서로 평행한 2 변에 2 개씩 고정되어 있다.

하부 레일 (13₁, 13₂) 은 주 재치대 (11) 의 길이보다 길고, 중앙 부분이 주 재치대 (11) 상에 배치되고, 일단이 주 재치대 (11) 의 일변측의 보조 재치대 (12a, 12c) 상에 배치되고, 타단이 타변측의 보조 재치대 (12b, 12d) 상에 배치되어 있다. 2 개의 하부 레일 (13₁, 13₂) 은 서로 평행하게 되어 있다.

주 재치대 (11) 는 표면이 수평이 되도록 배치되어 있고, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 는, 표면이 주 재치대 (11) 보다 낮게 된 상태에서 주 재치대 (11) 에 고정되어 있다.

보조 재치대 (12a ∼ 12d) 에는, 복수의 상하 방향 조정 장치 (6) 가 설치되어 있다. 여기서는 상하 방향 조정 장치 (6) 는 나사로 구성되어 있고, 각 상하 방향 조정 장치 (6) 는 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 의 저면측으로부터 표면측을 향하여 각각 상방으로 삽입 통과되어 있다.

하부 레일 (13₁, 13₂) 의 주 재치대 (11) 상에 탑재된 부분은 주 재치대 (11) 의 표면과 밀착되고, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 상의 부분은 상하 방향 조정 장치 (6) 의 상단에 탑재되어 있다.

하부 레일 (13₁, 13₂) 은 그라나이트제이다. 하부 레일 (13₁, 13₂) 상에 리니어 이동 수단의 가이드가 설치된다. 그라나이트는 강성을 가지고 있지만, 미소량의 변형은 가능하고, 상하 방향 조정 장치 (6) 를 회전시켜, 그 선단을 상하로 이동시키면, 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 단부는 구부러지고, 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 주 재치대 (11) 상의 부분이 주 재치대 (11) 표면과 밀착된 상태를 유지하면서, 양 단(端) 부분의 높이를, 주 재치대 (11) 상에 위치하는 부분의 높이보다 높게, 또는 낮게 할 수 있다.

하부 레일 (13₁, 13₂) 은, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 상에서는, 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 길이 방향을 따른 복수 위치에서 상하 방향 조정 장치 (6) 의 선단에 맞닿아져 있고, 1 개의 하부 레일 (13₁, 13₂) 에 맞닿아진 복수 개의 상하 방향 조정 장치 (6) 의 선단의 높이를 바꿈으로써, 직선 형상으로 연장되도록, 상하 방향으로도 만곡되도록 할 수 있다. 상하 방향 조정 장치 (6) 의 상단을, 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 단부에 가까운 위치만큼 상방으로 이동시키면, 하부 레일 (13₁, 13₂) 을 상방으로 만곡시킬 수 있다.

또, 하부 레일 (13₁, 13₂) 에는, 수평면 내 조정 장치가 설치되어 있고, 수평면 내 조정 장치에 의해, 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 수평면 내에서의 방향을 조정할 수 있다.

하부 레일 (13₁, 13₂) 상에는, 에어 베어링 등의 마찰 저감 장치 (21) 를 개재하여 그라나이트제 이동판 (16) 이 탑재되어 있고, 도시하지 않은 기판 이동 기구를 동작시키면 이동판 (16) 은 하부 레일 (13₁, 13₂) 상을 주행하고, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 상에도 주 재치대 (11) 상에도 위치할 수 있도록 되어 있다.

여기서는, 이동판 (16) 에 마찰 저감 장치 (21) 를 설치하고, 마찰 저감 장치 (21) 의 평탄한 면과 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 표면 사이에 공기층을 형성하고, 하부 레일 (13₁, 13₂) 과 마찰 저감 장치 (21) 및 이동판 (16) 을 비접촉 상태로 하여 이동판 (16) 을 하부 레일 (13₁, 13₂) 상에 탑재하여 주행할 수 있도록 하였다.

또, 여기서는 서로 평행하게 배치된 2 개의 하부 레일 (13₁, 13₂) 상에 걸쳐 1 대의 이동판 (16) 을 탑재하여 주행시키도록 했지만, 서로 평행하게 배치된 3 개의 하부 레일 상에 걸쳐 1 대의 이동판을 탑재하여 주행시키도록 해도 된다.

주 재치대 (11) 상의 2 개의 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 외측에는 지주 (支柱, 22) 가 세워져 형성되어 있고, 지주 (22) 상에는 2 개의 상부 레일 (15₁, 15₂) 이 서로 평행하게, 그리고 하부 레일 (13₁, 13₂) 이 연장되는 방향과는 수직으로 배치되어 있다.

상부 레일 (15₁, 15₂) 에는, 잉크젯 헤드 (17) 가 이동 가능하게 장착되어 있다. 상부 레일 (15₁, 15₂) 은 주 재치대 (11) 의 폭보다 길고, 양 단부가 주 재치대 (11) 의 외측으로 돌출되어 있고, 도시하지 않은 헤드 이동 기구를 동작시켜 잉크젯 헤드 (17) 를 상부 레일 (15₁, 15₂) 을 따라 주행시키면, 잉크젯 헤드 (17) 는 주 재치대 (11) 상에도, 주 재치대 (11) 의 외측에도 위치할 수 있도록 되어 있다. 상부 레일 (15₁, 15₂) 은 수평으로 배치되어 있고, 잉크젯 헤드 (17) 는 수평면 내를 이동한다.

상부 레일 (15₁, 15₂) 과 잉크젯 헤드 (17) 는, 하부 레일 (13₁, 13₂) 보다 상방에 위치하고 있고, 하부 레일 (13₁, 13₂) 과 상부 레일 (15₁, 15₂) 사이에는 간극이 형성된다.

잉크젯 헤드 (17) 를 주 재치대 (11) 상에 위치시켜, 이동판 (16) 상에 기판을 탑재하여 이동시키면, 이동판 (16) 은, 하부 레일 (13₁, 13₂) 과 상부 레일 (15₁, 15₂) 사이의 간극을 통과하여, 잉크젯 헤드 (17) 의 바로 아래 위치를 통과할 수 있다.

보조 재치대 (12a ∼ 12d) 의 하방에는 승강 핀 (8₁, 8₂) 이 연직으로 배치되어 있다. 승강 핀 (8₁, 8₂) 은 승강 장치에 장착되어 있고, 상하 방향으로 승강 이동할 수 있도록 되어 있다.

보조 재치대 (12a ∼ 12d) 와 이동판 (16) 에는, 각각 관통 구멍 (14a ∼ 14d, 19) 이 형성되어 있다.

이동판 (16) 의 관통 구멍 (19) 은, 이동판 (16) 을 보조 재치대 (12a, 12c 또는 12b, 12d) 상에 위치시켰을 때에, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 의 관통 구멍 (14a, 14c 또는 14b, 14d) 의 바로 위에 위치하도록 형성되어 있고, 그 상태에서 승강 핀 (8₁, 8₂) 을 상승시키면, 승강 핀 (8₁, 8₂) 은 관통 구멍 (14a, 14c 또는 14b, 14d, 19) 을 통과하여, 상단이 이동판 (16) 의 표면 상으로 돌출된다.

이 기판 스테이지 (10) 는, 제조 장소에 있어서 상기와 같이 일단 이동판 (16) 이나 잉크젯 헤드 (17) 를 주행할 수 있도록 임시 조립을 행하고, 하부 레일 (13₁, 13₂) 등의 제조 정밀도를 확인한 후, 분해하여, 주 재치대 (11) 로부터 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 나 하부 레일 (13₁, 13₂) 을 분리한다. 도 11 은, 주 재치대 (11) 로부터 분리된 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 와 하부 레일 (13₁, 13₂) 을 나타내고 있다.

이 상태에서는, 기판 스테이지 (10) 는 운반 가능한 크기로 되어 있어, 주 재치대 (11) 나 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 등의 분해된 부재를 차량에 탑재하여 실제로 사용하는 장소까지 반송한다.

사용 장소에서는, 먼저, 주 재치대 (11) 를 표면이 수평해지도록 설치하고, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 를 주 재치대 (11) 의 측면에 장착하여, 반송 전과 동일한 상태로 조립한다.

보조 재치대 (12a ∼ 12d) 는, 일측면이 주 재치대 (11) 의 측면에 고정되어 있고, 주 재치대 (11) 에 고정된 부분은 주 재치대 (11) 에 의해 지지되어 있는 반면에, 그것과 반대측의 부분은 지지되어 있지 않아, 자중 (自重) 에 의해 하방으로 만곡된다.

본 발명에서는, 상하 방향 조정 장치 (6) 에 의해, 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 상에 위치하는 부분을 상방향으로 보정하였으므로, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 가 하방으로 만곡된 경우에, 하부 레일 (13₁, 13₂) 의 표면을 수평면으로 할 수 있다.

하부 레일 (13₁, 13₂) 의 수평면 내의 각도를 수평면 내 조정 장치에 의해 조정하면, 하부 레일 (13₁, 13₂) 은, 수평면 내에서 일직선으로 연장되고, 2 개의 하부 레일 (13₁, 13₂) 은 수평면 내에서 평행해진다.

도 1, 도 2 는, 사용 장소에서 조립한 기판 스테이지 (10) 의 잉크젯 헤드 (17) 를 주 재치대 (11) 의 외측에 위치시키고, 이동판 (16) 을 보조 재치대 (12b, 12d) 상에 위치시키고, 기판 (5) 을 이동판 (16) 상에 배치한 상태를 나타내고 있다.

인쇄액이 배치된 토출액 공급계 (23) 에 잉크젯 헤드 (17) 를 접속하고, 도 3, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 잉크젯 헤드 (17) 를 주 재치대 (11) 상에 이동시키고, 주 재치대 (11) 상에서 정지시키고, 도 5, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 잉크젯 헤드 (17) 의 하방을 향하여 기판 (5) 을 이동시킨다.

잉크젯 헤드 (17) 의 하방을 향하게 된 면에는 복수의 토출 구멍이 형성되어 있어, 토출액 공급계 (23) 로부터 잉크젯 헤드 (17) 에 인쇄액을 공급하면서 잉크젯 헤드 (17) 에 설치된 토출 기구를 동작시키면, 각 토출 구멍으로부터 인쇄액의 액적을 토출시킬 수 있다.

토출 구멍은, 기판의 폭 방향 (기판 (5) 의 이동 방향과는 수직인 방향) 을 따라 배치되어 있다. 토출 구멍이 배치된 영역의 길이는, 기판 (5) 의 폭보다 짧아져 있고, 잉크젯 헤드 (17) 와 기판 (5) 의 상대 위치를 제어하면서, 잉크젯 헤드 (17) 로부터 인쇄액을 토출시키면, 기판 (5) 표면의 (기판 길이) × (기판 폭) 의 영역 중에서, (기판 길이) × (토출 구멍이 배치된 영역) 내의 원하는 위치에 토출액을 착탄시킬 수 있다.

그 영역 내에 토출액을 착탄시킨 후, 잉크젯 헤드 (17) 를 이동시키고, 잉크젯 헤드 (17) 를 정지시킨 상태에서 기판 (5) 을 이동시키고, 기판 (5) 표면의 토출액이 착탄되어 있지 않은 영역을 향하여 토출액을 토출시키면, 기판 (5) 표면의 원하는 위치에 토출액을 착탄시킬 수 있다.

하부 레일 (13₁, 13₂) 은, 상하 방향 조정 장치 (6) 와 수평 방향 조정 장치 에 의해 일직선으로 되어 있으므로, 이동판 (16) 이 주행할 때에 흔들림이 발생하지 않아, 기판 (5) 을 고속으로 이동시킬 수 있다. 또, 토출액의 착탄 위치 정밀도도 향상된다.

주 재치대 (11) 상에서 기판 (5) 표면의 소정 위치에 인쇄액이 착탄된 후, 기판 (5) 을 보조 재치대 (12a, 12c) 상으로 이동시키고, 승강 핀 (8₁) 을 상승시키면 기판 (5) 은 이동판 (16) 상으로부터 승강 핀 (8₁) 으로 이동 재치된다. 기판 (5) 과 이동판 (16) 사이에 기판 반송 로봇의 핸드를 삽입하여 기판 (5) 을 핸드 상에 이동 재치시키면, 기판 스테이지 (10) 의 외부로 이동시킬 수 있다.

도 7, 도 8 은, 기판 (5) 을 기판 스테이지 (10) 의 외부로 이동한 후의 상태를 나타내고 있다.

상기 예에서는, 토출액의 토출시에는, 잉크젯 헤드 (17) 를 정지시키고, 기판 (5) 을 이동시켜 토출액을 토출시켰는데, 기판 (5) 을 정지시키고 잉크젯 헤드 (17) 를 이동시켜 토출액을 토출시켜도 된다. 요컨대, 기판 (5) 과 잉크젯 헤드 (17) 를 상대적으로 이동시킬 수 있으면 되고, 일방이 정지되어 있어도 되고, 양방이 이동해도 된다.

잉크젯 헤드 (17) 대신에, 측정 장치 등의 다른 장치를 상부 레일 (15₁, 15₂) 에 장착해도 된다.

또, 상기 예에서는 상부 레일 (15₁, 15₂) 은 주 재치대 (11) 에 고정시켰는데, 상부 레일 (15₁, 15₂) 을 하부 레일 (13₁, 13₂) 에 이동 가능하게 장착하고, 상부 레일 (15₁, 15₂) 이 하부 레일 (13₁, 13₂) 이 연장되는 방향으로 이동할 수 있도록 해 두면, 잉크젯 헤드 (17) 는, 수평면 내에서 서로 직각인 2 방향 (X-Y) 으로 이동할 수 있게 되기 때문에, 기판 (5) 을 정지시켜 두어도 기판 (5) 의 전체 표면에 토출액을 착탄시킬 수 있게 된다.

이 경우, 잉크젯 헤드 (17) 대신에, 각종 장치를 장착할 수 있는 장착 기구를 상부 레일 (15₁, 15₂) 상에 설치해 두면, 범용적인 X-Y 스테이지로서 사용할 수도 있다.

또, 상기 예에서는 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 에 관통 구멍 (14a ∼ 14d) 을 형성하고, 승강 핀 (8₁, 8₂) 을 관통 구멍 (14a ∼ 14d) 에 삽입 통과시키고, 승강 핀 (8₁, 8₂) 을 관통 구멍 (14a ∼ 14d) 내에서 상하 이동시킴으로써, 승강 핀 (8₁, 8₂) 의 상단을, 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 의 표면보다도 상방인 위치와 하방인 위치 사이에서 상하 이동시킬 수 있었는데, 승강 핀 (8₁, 8₂) 을, 주 재치대 (11) 의 동일한 하나의 변에 배치된 보조 재치대 (12a, 12c) 의 사이 또는 반대측의 변에 배치된 보조 재치대 (12b, 12d) 의 사이에 배치하고 상하 이동시킴으로써, 승강 핀 (8₁, 8₂) 의 상단을 보조 재치대 (12a ∼ 12d) 표면보다 상방인 위치와 하방인 위치 사이에서 상하 이동시켜도 된다.

Claims

주 재치대 (載置臺) 와,
상기 주 재치대보다 소면적이며 상기 주 재치대로부터 분리 가능한 보조 재치대와,
상기 주 재치대 상과 상기 보조 재치대 상에 걸쳐 배치되고, 상기 보조 재치대 상에는 단부 (端部) 가 위치하는 복수의 하부 레일을 갖고,
이동판이 상기 각 하부 레일 상에 위치하고, 상기 이동판은 상기 하부 레일 상을 주행 가능하게 된 스테이지로서,
복수의 상기 하부 레일은, 1 개가 1 장의 원판으로 각각 형성되어, 상기 주 재치대와 상기 보조 재치대에 착탈 가능하게 구성되고,
상기 보조 재치대는, 일측면이 상기 주 재치대에 고정되며, 상기 주 재치대에 고정된 부분은 상기 주 재치대에 의해 지지되어 있는 반면에, 상기 보조 재치대의, 상기 주 재치대에 고정된 부분과 반대측의 부분은 지지되어 있지 않고,
상기 보조 재치대에는, 상기 하부 레일의 높이를 복수 위치에서 조절 가능한 상하 방향 조정 장치가 설치되고,
상기 하부 레일의 상기 보조 재치대 상의 부분은, 상기 상하 방향 조정 장치의 상단에 탑재되고,
상기 상하 방향 조정 장치는, 상기 보조 재치대가 하방으로 만곡되어도, 상기 하부 레일을 상방향으로 보정하여 상기 하부 레일의 표면을 수평하게 하는, 스테이지.
제 1 항에 있어서,
상기 이동판에는, 승강 핀이 삽입 통과되는 복수의 관통 구멍이 형성되고,
상기 이동판이 상기 보조 재치대의 소정 장소에 위치하는 상태에서는, 상기 이동판의 이면측으로부터 상기 이동판의 관통 구멍에 상기 승강 핀을 삽입할 수 있도록 구성된, 스테이지.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 주 재치대에는, 상기 하부 레일의 상방에 위치하는 상부 레일이 착탈 가능하게 장착된, 스테이지.
제 3 항에 있어서,
상기 상부 레일에는 잉크젯 헤드가 이동 가능하게 장착된, 스테이지.
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