JPH09192567A - 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ステージ上から破損を招くことなく、塗膜が
形成されたガラス基板を容易に取り外し可能な塗布装置
および塗布方法並びにこれら装置および方法を用いたカ
ラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタの製造に用いられる塗布
方法を実施する塗布装置は、ステージ６上面に分布され
た多数の吸引孔６６と、ステージ６内に形成され、吸引
孔６６が連通するチャンバ６８と、チャンバ６８に負圧
および正圧を選択的に供給する負圧源７４および正圧源
８０と、ステージ６の上面から突出可能な複数のリフト
ピン８４とを備えており、これらリフトピン８４は左右
に振り分けて配置され、左右のリフトピン毎に独立して
突出可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、平坦な被塗布部
材の表面に塗布液を塗布し、その塗膜を形成する塗布装
置および塗布方法、並びに、これら塗布装置および塗布
方法を用いたカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ
の製造装置および製造方法に関する。

【０００２】

【関連する背景技術】カラー液晶ディスプレイ用のカラ
ーフィルタは、ガラス基板上に３原色の細かな格子模様
を有しており、このような格子模様はガラス基板上に黒
色の塗膜を形成した後に、赤、青、緑の塗膜を順次形成
していき、これにより、ガラス基板上を３原色に塗り分
けて得られる。

【０００３】それゆえ、カラーフィルタの製造には、ガ
ラス基板上に黒、赤、青、緑の塗布液を順次塗布して、
その塗膜を形成していく形成工程が必要不可欠となる。
この種の形成工程には、従来塗布装置としてスピナー、
バーコータあるいはロールコータなどが使用されていた
が、塗布液の消費を削減し、また、塗膜の物性を向上す
る上で、近年に至ってはダイコータの使用が検討されて
いる。

【０００４】この種のダイコータはその一例がたとえば
特開平6-339830号公報に開示されている。この公知のダ
イコータは往復動可能なステージすなわちテーブル盤
と、下向きの吐出口を有した塗布ヘッドとを備え、テー
ブル盤の上面はサクション面として構成されている。し
たがって、塗膜を形成すべきガラス基板はテーブル盤の
サクション面に載置され、そしてサクションにより吸着
保持されるようになっている。

【０００５】テーブル盤に関して詳述すると、このテー
ブル盤はその上面に分布された多数の吸引孔と、これら
吸引孔が連通する内部のバキュームチャンバとを有して
おり、このバキュームチャンバに負圧が供給されること
で、テーブル盤上のガラス基板が吸着されることにな
る。また、テーブル盤には４本のエジェクタピンが備え
られており、これらエジェクタピンをテーブル盤の上面
から突出させることで、ガラス基板をテーブル盤から強
制的に剥離可能となっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述した公知のテーブ
ル盤にあっては、そのバキュームチャンバ内の圧力が大
気圧に戻された後に、エジェクタピンが突出されること
になっているものの、バキュームチャンバ内を大気圧に
単に戻しただけでは各吸引孔内にはまだ負圧が残ってお
り、ガラス基板はテーブル盤の上面に強力に密着した状
態にある。

【０００７】このため、テーブル盤からガラス基板を強
制的に剥離しようとする場合、エジェクタピンに大きな
力を与えてテーブル盤の上面から突出させなければなら
ないし、しかも、各エジェクタピンはテーブル盤の上面
から同時に突出されるために、ガラス基板には無理な力
が加わり、ガラス基板の破損を招くことがある。この発
明は上述の事情に基づいてなされたもので、その目的と
するところは被塗布部材がたとえばガラス基板のような
枚葉部材であっても、その枚葉部材を破損することなく
ステージ表面から簡単に解放することができる塗布装置
および塗布方法並びにこれら装置および方法を用いたカ
ラーフィルタの製造装置および製造方法を提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的はこの発明によ
って達成され、請求項１の塗布装置は、塗布液を供給す
る供給手段と、この供給手段から塗布液の供給を受け、
一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器
と、被塗布部材を載置可能なステージと、ステージの表
面に載置された被塗布部材をステージに吸着させる吸着
手段と、塗布器およびステージの少なくとも一方を相対
的に移動させ、被塗布部材の表面に塗布液の塗膜を形成
させる移動手段と、ステージに対する被塗布部材の吸着
を解放する解放手段とを備えており、そして、吸着手段
は、ステージの表面に分布された多数の吸引孔と、吸引
孔に連通する少なくとも１個のチャンバと、このチャン
バに負圧を選択的に供給する負圧源とから構成されてお
り、そして、解放手段はチャンバに正圧を選択的に供給
する正圧源と、ステージの表面に出没可能に設けられ、
ステージの表面から突出したときには被塗布部材をステ
ージの表面から離間させるリフトピンとから構成されて
いる。

【０００９】上述した請求項１の塗布装置によれば、ス
テージの表面に吸着保持された被塗布部材に塗膜が形成
されると、先ず、チャンバへの負圧の供給が停止され
る。この後、そのチャンバには正圧が供給され、各吸引
孔内の圧力は大気圧以上に加圧される。この状態で、リ
フトピンがステージの表面から突出されると、リフトピ
ンはステージ表面の被塗布部材を引き離し、被塗布部材
はステージから離間した状態に保持される。

【００１０】請求項２の塗布装置は、リフトピンがステ
ージの相対的な進行方向でみて左右に振り分けて配置さ
れており、そして、この場合、解放手段はステージの表
面から左右のリフトピンを所定の時間差で独立して突出
させる別々の駆動源を備えている。請求項２の塗布装置
によれば、ステージ表面の被塗布部材をリフトピンで持
ち上げようとするとき、左右のリフトピンのうちで、先
ず一方の側のリフトピンがステージの表面から突出さ
れ、この後、所定の時間をおいて、他方のリフトピンが
ステージの表面から突出される。したがって、ステージ
表面の被塗布部材はその一方の側の側縁から剥離され、
そして、その全面がステージから離間される。

【００１１】請求項３のカラーフィルタの製造装置は、
請求項１または２の塗布装置を有しており、この場合、
製造装置は、塗布装置により被塗布部材に塗膜を形成し
てカラーフィルタを製造する。請求項３の製造装置によ
れば、塗膜が形成された被塗布部材を塗布装置のステー
ジから容易に取り外すことができるので、カラーフィル
タの生産性が向上する。

【００１２】請求項４の塗布方法は、多数の吸引孔が分
布されたステージの表面に被塗布部材を吸着する吸着工
程と、塗布器の吐出口から塗布液を吐出しながら、塗布
器および被塗布部材を保持したステージの少なくとも一
方を相対的に移動させ、被塗布部材の表面に塗布液の塗
膜を形成していく形成工程と、ステージに対する被塗布
部材の吸着を解放する解放工程とを備えており、そし
て、解放工程は、吸着工程による被塗布部材の吸着が停
止された後、吸引孔に正圧を供給する供給工程と、ステ
ージの表面からリフトピンを突出させ、ステージのj表
面から被塗布部材を離間させるリフト工程とを含んでい
る。請求項４の塗布方法でも、請求項１の塗布装置と同
様な作用が発揮される。

【００１３】請求項５の塗布方法では、リフト工程がス
テージの相対的な進行方向でみて左右に振り分けて配置
した左右のリフトピンが所定の時間差で独立して突出さ
れ、この場合、請求項２の塗布装置と同様な作用が発揮
される。請求項６のカラーフィルタの製造方法は、請求
項４または５に記載の塗布方法を用いてカラーフィルタ
が製造され、この場合、請求項３と同様な作用が発揮さ
れる

【００１４】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、カラー液晶デ
ィスプレイ用カラーフィルタの製造に適用される塗布装
置いわゆるダイコータが示されており、このダイコータ
は基台２を備えている。基台２上には一対のガイド溝レ
ール４が設けられており、これらガイド溝レール４には
ステージ６が配置され、このステージ６の上面はサクシ
ョン面として構成されている。なお、ステージ６におけ
るサクション面の詳細に関しては後述する。ステージ６
は一対のスライド脚８を介してガイド溝レール４上を水
平方向に往復動自在となっている。

【００１５】一対のガイド溝レール４間には、送り機構
を内蔵したケーシング１２が配置されており、ケーシン
グ１２はガイド溝レール４に沿って延びている。送り機
構は、図２に示されているようにボールねじからなるフ
ィードスクリュー１４を有しており、フィードスクリュ
ー１４はステージ６の下面に固定されたナット状のコネ
クタ１６にねじ込まれ、このコネクタ１６を貫通して延
びている。フィードスクリュー１４の両端部は図示しな
い軸受に回転自在に支持されており、その一端にはＡＣ
サーボモータ１８が連結されている。なお、ケーシング
１２の側面にはコネクタ１６の移動を許容する開口が形
成されているが、図１にはその開口が省略されている。

【００１６】基台２の上面にはその一端側に位置してセ
ンサ柱２０が配置されている。センサ支柱２０は逆Ｌ字
形をなし、その先端は一方のガイド溝レール４の上方ま
で延びている。センサ支柱２０の先端には電動型の昇降
アクチュエータ２１が取り付けられており、この昇降ア
クチュエータ２１に厚みセンサ２２が下向きして取り付
けられている。厚みセンサ２２は測定光を測定対象に向
けて出射する光源と、測定光からの反射光を受光する受
光部と、受光部への反射光の入射位置に基づき、測定対
象の厚みを演算する演算回路部とから構成されている。
具体的には、ステージ６上に枚葉部材としてのガラス基
板Ａが載置されたとき、厚みセンサ２２はガラス基板Ａ
から所定の高さレベルまで降下され、この状態で、その
光源から測定光がガラス基板Ａに向けて出射され、ガラ
ス基板Ａの上面および下面でそれぞれ反射される。これ
ら反射光は厚みセンサ２２の受光部に入射し、演算回路
は受光部への反射光の入射位置の差に基づき、ガラス基
板Ａの厚みに対応した検出信号を出力する。なお、厚み
センサ２２としては上述のタイプに限らず、レーザ変位
計、電子マイクロ変位計、超音波厚さ計などを使用する
ことができる。

【００１７】図１を再度参照すると、基台２の上面には
センサ支柱２０よりも基台２の中央側に位置してダイ支
柱２４が配置されており、このダイ支柱２４もまた逆Ｌ
字形をなしている。ダイ支柱２４の先端には昇降機構２
６が取り付けられており、昇降機構２６は昇降可能な昇
降ブラケット（図示しない）を備えており、この昇降ブ
ラケットはケーシング２８内の一対のガイドロッドに昇
降自在に取り付けられている。また、ケーシング内には
ガイドロッド間に位置してボールねじからなるフィード
スクリュー（図示しない）もまた回転自在に配置されて
おり、このフィードスクリューに対してナット型のコネ
クタを介して昇降ブラケットが連結されている。フィー
ドスクリューの上端にはＡＣサーボモータ３０が接続さ
れており、このＡＣサーボモータ３０はケーシング２８
の上面に取り付けられている。

【００１８】昇降ブラケットには支持軸（図示しない）
を介してダイホルダ３２が取り付けられており、このダ
イホルダ３２はコ字形をなしかつ一対のガイド溝レール
４の上方をこれらレール４間に亘って水平に延びてい
る。ダイホルダ３２の支持軸は昇降ブラケット内にて回
転自在に支持されており、これにより、ダイホルダ３２
は支持軸とともに垂直面内で回転することができる。

【００１９】昇降ブラケットには、ダイホルダ３２の上
方に位置して水平バー３６が固定されており、この水平
バー３６はダイホルダ３２に沿って延びている。水平バ
ー３６の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエー
タ３８がそれぞれ取り付けられている。これらリニアア
クチュエータ３８は水平バー３６の下面から突出する伸
縮ロッドを有しており、これら伸縮ロッドがダイホルダ
３２の両端にそれぞれ当接されている。

【００２０】ダイホルダ３２内には塗布器としてのスリ
ットダイ４０が取り付けられている。このスリットダイ
４０からは、図２に示されているように塗布液の供給ホ
ース４２が延びており、この供給ホース４２の先端はシ
リンジポンプ４４、つまり、その電磁切換え弁４６の供
給ポートに接続されている。電磁切換え弁４６の吸引ポ
ートからは吸引ホース４８が延びており、この吸引ホー
ス４８の先端部はタンク５０内に挿入されている。な
お、タンク５０には塗布液が蓄えられている。

【００２１】シリンジポンプ４４のポンプ本体５２は、
電磁切換え弁４６の切換え作動により、供給ホース４２
および吸引ホース４８の一方に選択的に接続可能となっ
ている。そして、これら電磁切換え弁４８およびポンプ
本体５２はコンピュータ５４に電気的に接続されてお
り、このコンピュータ５４からの制御信号を受けて、そ
れらの作動が制御されるようになっている。また、コン
ピュータ５４は前述した昇降アクチュエータ２２および
厚みセンサ２２もまた電気的に接続されている。

【００２２】さらに、シリンジポンプ４４の作動を制御
するため、コンピュータ５４にはシーケンサ５６もまた
電気的に接続されている。このシーケンサ５４は、ステ
ージ６側のフィードスクリュー１４のＡＣサーボモータ
１８や、昇降機構２６側のＡＣサーボモータ３０やリニ
アアクチュエータ３８の作動をシーケンス制御するもの
であり、そのシーケンス制御のために、シーケンサ５６
にはＡＣサーボモータ１８，３０の作動状態を示す信
号、ステージ６の移動位置を検出する位置センサ５８か
らの信号、スリットダイ４０の作動状態を検出するセン
サ（図示しない）からの信号などが入力され、一方、シ
ーケンサ５６からはシーケンス動作を示す信号がコンピ
ュータ５４に出力されるようになっている。なお、位置
センサ５８を使用する代わりに、ＡＣサーボモータ１８
にエンコーダを組み込み、このエンコーダから出力され
るパルス信号に基づき、シーケンサ５６にてステージ６
の位置を検出することも可能である。さらに、シーケン
サ５６にコンピュータ５４により制御を組み込むことも
可能である。

【００２３】図示されていないけれども、ダイコータに
はステージ６上にガラス基板Ａを供給するためのローダ
や、ステージ６からガラス基板Ａを取り外すためのアン
ローダが備えられており、これらローダおよびアンロー
ダにはその主要構成部分にたとえば円筒座標系産業用ロ
ボットを使用することができる。図１から明らかなよう
にスリットダイ４０はステージ６の往復動方向と直交す
る方向、つまり、ダイホルダ３２の長手方向に水平に延
びており、そして、その両端にてダイホルダ３２に支持
されている。

【００２４】図２に概略的に示されているようにスリッ
トダイ４０は長尺なブロック形状のフロントリップ５９
およびリアリップ６０を有しており、これらリップはス
テージ６の往復動方向に向かい合って配置され、そし
て、図示しない複数の連結ボルトにより相互に一体的に
結合されている。両リップ５９，６０の結合により、ス
リットダイ４０の下面にはノズル部が形成される。

【００２５】スリットダイ４０内にはその中央部分に位
置してマニホールド６２が形成されており、このマニホ
ールド６２はスリットダイ４０の幅方向、すなわち、ス
テージ６の往復動方向と直交する方向に水平に延びてい
る。マニホールド６２は前述した塗布液の供給ホース４
２に内部通路（図示しない）を介して常時接続されてお
り、これにより、マニホールド６２は塗布液の供給を受
けることができる。

【００２６】スリットダイ４０の内部には上端がマニホ
ールド６２に連通し、下端がノズル部の下面に開口した
スリット６４が形成されており、このスリット６４の下
端開口は吐出口として規定されている。具体的には、ス
リット６４はフロントリップ５９とリアリップ６０との
間に挟み込まれたシム（図示しない）によって確保され
ており、これにより、前記吐出口もまたスリットダイ４
０の幅方向に延びている。

【００２７】次に、前述したステージ６に関し、図３〜
図５を参照しながら説明する。ステージ６の上面には多
数の吸引孔６６が形成されており、これら吸引孔６６は
一様に分布して配置されている。ステージ６内にはチャ
ンバ６８が形成されており、このチャンバ６８に吸引孔
６６は常時連通されている。また、ステージ６の外壁に
はチャンバ６８にチャンバ６８に連通する給排口７０が
形成されており、この給排口７０にはフレキシブルな給
排ホース７２の一端が接続されている。給排ホース７２
はステージ６の往復動を許容する長さを有しており、そ
の他端は真空ポンプ、排気ブロアなどの排気装置つまり
負圧源７４に接続されている。給排ホース７２には負圧
源７２の近傍に位置して電磁排気弁７６が介挿されてお
り、この電磁排気弁７６は給排ホース７２を開閉可能と
なっている。

【００２８】給排ホース７２において、電磁排気弁７６
と給排口７０との間からは分岐ホース７８が延びてお
り、この分岐ホース７８はエアコンプレッサなどの正圧
源８０に接続されている。また、分岐ホース７８には電
磁加圧弁８２が介挿されており、この電磁加圧弁８２は
分岐ホース７８を開閉可能となっている。図２に示され
ているように負圧源７４、電磁排気弁７６、正圧源８０
および電磁加圧弁８２は前述したシーケンサ５６に電気
的に接続され、このシーケンサ５６によりそれらの作動
が制御される。

【００２９】さらに、ステージ６内には４本のリフトピ
ン８４が備えられている。これらリフトピン８４は図３
中の矢印Ｂで示すステージ６の往復動方向でみて左右に
２個ずつ振り分けて配置され、そして、片側に位置する
２個のリフトピン８４はステージ６の往復動方向に沿う
同一のライン上に位置付けられている。また、ステージ
６の上面には各リフトピン８４に対応して突没孔８６が
形成されており、これら突没孔８６は吸引孔６６の間に
位置付けられている。

【００３０】図４から明らかなようにステージ６のチャ
ンバ６８内には、リフトピン８４を摺動案内するガイド
突起８８が設けられており、これらガイド突起８８は突
没孔８６と同一の軸線上に位置し、かつ、チャンバ６８
の底面から上方に向けて突出されている。各リフトピン
８４はステージ６の下面から突出しており、そして、左
右に振り分けられた２個ずつのリフトピン８４はそれら
の下端が対応するリフトプレート９０に連結されてい
る。すなわち、リフトプレート９０は左右に１個ずつ配
置され、ステージ６の往復動方向に延びている。ステー
ジ６の下面中央には左右に位置して一対のエアシリンダ
９２が下向きにして取り付けられており、そのピストン
ロッドがリフトプレート９０に連結されている。なお、
一対のエアシリンダ９２の作動、つまり、これらエアシ
リンダ９２への圧縮空気の給排もまた前述したシーケン
サ５６により制御されるようになっている。

【００３１】次に、カラーフィルタの製造に係わる一工
程、つまり、上述したダイコータを使用して行われる塗
布方法を説明する。まず、ダイコータにおける各作動部
の原点復帰が行われると、ステージ６は厚みセンサ２２
の下方に位置付けられ、また、タンク５０から吸引ホー
ス４８および供給ホース４２を経て、スリットダイ４０
内のマニホールド６２およびスリット６４に至る経路内
は塗布液で満たされている。このとき、各エアシリンダ
９２はそのピストンロッドが伸張した状態にある。これ
により、図４に示されているようにステージ６の左右２
個ずつのリフトピン８４はそのリフトプレート９０を介
して下降しており、それらの上端はステージ６内に完全
に没入した状態にある。

【００３２】この状態で、ローダ（図示されていない）
からステージ６上にガラス基板Ａが供給されると、この
ガラス基板Ａはステージ６上に位置決めされた状態で載
置される。この場合、ガラス基板Ａはステージ６の吸引
孔６６および突没孔８６の全てを覆っている。この後、
負圧源７４が作動されるととともに電磁排気弁７６が開
かれて、給排ホース７２を通じてステージ６のチャンバ
６８に負圧が供給され、チャンバ６８内の負圧はたとえ
ば−６００mmHgに設定される。したがって、ステージ６
上のガラス基板Ａは吸引孔６６からのサクション圧を受
け、ステージ６に吸着される（吸着工程）。このとき、
正圧源８０はその作動が停止され、電磁加圧弁８２は閉
じた状態にある。

【００３３】このようにしてガラス基板Ａのローディン
グ完了すると、厚みセンサ２２はステージ６上のガラス
基板Ａに向けて所定の位置まで下降されて、ガラス基板
Ａの厚みを検出し、その検出信号をコンピュータ５４に
供給する。この後、厚みセンサ２２は元の位置まで上昇
して待機する。上述したガラス基板Ａのローディングの
開始と同時に、シリンジポンプ４４の電磁切換え弁４６
がポンプ本体５２と吸引ホース４８とを接続すべく切換
え作動され、そして、ポンプ本体５２にタンク５０内の
塗布液を吸引ホース４８を通じて吸引する吸引動作を行
わせる。シリンジポンプ４４内に所定量の塗布液が吸引
されると、シリンジポンプ４４の電磁切換弁４６はポン
プ本体５２と供給ホース４２とを接続すべく切換え作動
される。そして、ステージ６はスリットダイ４０に向け
て往動され、スリットダイ４０の直前で停止される。

【００３４】一方、スリットダイ４０は厚みセンサ２２
にて検出したガラス基板Ａの厚みを考慮して下降され、
スリットダイ４０の吐出口とガラス基板Ａとの間に所定
のクリアランスが確保される。この後、ステージ６をさ
らに往動させ、ガラス基板Ａの上面において、塗膜が形
成されるべきスタートラインをスリットダイ４０におけ
る吐出口の直下に位置付け、ステージ６を一旦停止させ
る。

【００３５】ステージ６の一旦停止と実質的に同時に、
シリンジポンプ４４に塗布液の吐出動作を開始させ、塗
布液をスリットダイ４０に向けて供給する。したがっ
て、スリットダイ４０の吐出口からガラス基板Ａ上に塗
布液が吐出される。ここで、吐出口の間隙幅はスリット
ダイ４０の幅方向、つまり、ステージ６の往復動方向に
沿って一定であり、それゆえ、その吐出口からはガラス
基板Ａのスタートラインに沿って一様に塗布液が吐出さ
れ、この結果、スリットダイ４０とガラス基板Ａとの間
にはビードと称される液溜まりＣ（図２参照）がスター
トラインに沿って形成される。

【００３６】このような液溜まりＣの形成と同時に、ス
リットダイ４０、つまり、その吐出口からの塗布液の吐
出を継続しながら、ステージ６を一定の速度で往動方向
に進行させると、図２に示されているようにガイド基板
Ａの上面に塗布液の塗膜Ｄが連続して形成される（形成
工程）。なお、塗膜Ｄの形成にあたっては、ステージ６
の往動を一旦停止することなく、ガラス基板Ａのスター
トラインがスリットダイ４０の吐出口を通過するタイミ
ングにて、その吐出口から塗布液を吐出するようにして
もよい。

【００３７】ステージ６の進行に伴い、ガラス基板Ａ上
にて塗膜Ｄの形成を終了すべきフィニッシュラインがス
リットダイ４０の吐出口の直前位置に到達すると、この
時点で、シリンジポンプ４４の吐出動作が停止される。
このようにしてスリットダイ４０からの塗布液の吐出が
停止されても、ガラス基板Ａ上においてはその液溜まり
Ｃの塗布液を消費（スキージ）しながら、塗膜Ｄの形成
がフィニッシュラインまで継続される。なお、ガラス基
板Ａ上のフィニッシュラインがスリットダイ４０の吐出
口を通過した時点で、スリットダイ４０を上昇させても
よいし、シリンジポンプ４４の吐出動作を停止するよう
にしてもよい。

【００３８】この後、スリットダイ４０は元の位置まで
上昇され、スリットダイ４０からの塗布液の吐出工程が
終了する。なお、スリットダイ４０の上昇位置にて、そ
の下端面に付着している塗布液はクリーナ（図示しな
い）により拭き取られる。一方、ステージ６の往動は、
塗布液の吐出工程が終了しても継続されており、ステー
ジ６がガイド溝レール４の終端に到達した時点で、その
往動が停止される。この状態で、負圧源７４の作動が停
止されると同時に電磁排気弁７６が閉じられる。この
後、正圧源８０が作動されるとともに電磁加圧弁８２が
開かれることにおり、ステージ６のチャンバ６８には分
岐ホース７８および給排ホース７２を通じて正圧が供給
され、チャンバ６８内の圧力が加圧される。この場合、
チャンバ６８内の圧力はゲージ圧で０．０１〜０．５Ｍ
Ｐａの範囲好ましくは０．１〜０．２ＭＰａの範囲で加
圧される。この圧力が好ましい理由は、圧力が小さすぎ
ると、ガラス基板Ａとステージ６との離間が不十分でリ
フトピン８４に大きな押し上げ力が必要となり、最悪の
場合は、ガラス基板Ａを破損することもあることと、逆
に圧力が大きすぎると、ガラス基板Ａがステージ６から
完全に離間し、エアー上を浮遊してステージ６上を移動
し、適切な位置でガラス基板Ａを上昇させることができ
なくなることによる。上記の範囲であるならば、ガラス
基板Ａとステージ６との間の一部が離間することにな
り、ステージ６上のガラス基板Ａの位置を変えることな
く、小さな圧力でガラス基板Ａを上昇させることができ
る。なお、正圧の供給は、負圧源、正圧源を作動させた
まま、電磁弁７６を開位置から閉位置に切り替えるとと
もに、電磁加圧弁８２を閉位置から開位置に切り替えた
状態で行ってもよい。

【００３９】このようにしてチャンバ６８内が正圧状態
に加圧された後、左右のエアシリンダ９２のうちの一方
が先ず作動され、そのピストンロッドが収縮される。し
たがって、そのエアシリンダ９２の作動に伴い、対応す
るリフトプレート９０を介して一方の側の２個のリフト
ピン８４は突没孔８６を通じてステージ６の上面から突
出し、この結果、図５および図６を比較すれば明らかな
ようにステージ６上ガラス基板Ａはその一方の側縁から
剥離されていく。

【００４０】そして、一方のエアシリンダ９２が作動し
てから０．１〜２sec、たとえば０．５sec経過した時点
で他方のエアシリンダ９２もまた作動され、そのピスト
ンロッドが収縮される。したがって、他方の側の２個の
リフトピン８４もまた対応するリフトプレート９０を介
してステージ６の上面から突出し、これにより、図７に
示されているようにガラス基板Ａは４本のリフトピン８
４によりステージ６から持ち上げられて状態に保持され
る（解放工程）。

【００４１】一方の側の２個のリフトピン８４がステー
ジ６の上面から突出されるときには、ステージ６におけ
るチャンバ６８の圧力は既に正圧となっているので、ガ
ラス基板Ａはチャンバ６８内の圧力により吸引孔６６を
通じ上方に向けて押圧された状態にある。それゆえ、リ
フトピン８４はわずかな押し上げ力で、ステージ６上か
らガラス基板Ａを持ち上げることができ、リフトピン８
４に大きな押し上げ力を付与する必要がない。

【００４２】しかも、リフトピン８４はその全てが同時
にステージ６の上面から突出するのではなく、左右でみ
て一方の側の２個のリフトピン８４が先ずステージ６上
から突出されるので、ガラス基板Ａはその一方の側縁か
ら剥離されていくことになり、この剥離に伴い、ガラス
基板Ａとステージ６の上面との間に大気圧が良好に導か
れ、ステージ６上からのガラス基板Ａの持ち上げを容易
に行うことができる。

【００４３】一方の側のリフトピン８４の突出と他方の
側のリフトピン８４の突出との間の時間差が０．１sec
よりも短いと、一方の側縁からのガラス基板Ａの剥離が
実際上不能になり、これに対し、その時間差が２secを
越えてしまうと、ガラス基板Ａの傾きが大きくなり過ぎ
てしまって、ガラス基板Ａの安定した持ち上げが不能と
なる虞がある。

【００４４】ステージ６からリフトされた状態にあるガ
ラス基板Ａはアンローダにより下面を保持されて、ステ
ージ６から取り外された後、ステージ６は復動され、図
１に示す初期位置に戻されて、これにより、一連の塗布
工程が終了する。なお、初期位置にて、ステージ６は新
たなガラス基板Ａがローディングされるまで待機する。

【００４５】上述したステージ６上からのガラス基板Ａ
の解放に関し、ガラス基板Ａを容易にステージ６から持
ち上げることができるので、ガラス基板Ａに無理な力が
加わるようなことはなく、ガラス基板Ａの破損を確実に
防止することができる。したがって、塗膜Ｄが形成され
たガラス基板Ａの歩留まりが向上し、カラーフィルタの
生産性を高めることができる。

【００４６】上述の実施例では、フィードスクリュー１
４とコネクタ１６とによりステージ６を往復動可能とし
たが、ステージ６を固定しスリットダイ４０を往復動可
能としてもよいし、これらを同時に往復動させてもよ
い。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１，４の塗布装置および塗布方法によれば、ステージ表
面から被塗布部材を取り出すときには、ステージのチャ
ンバに正圧を供給するようにしたから、リフトピンにわ
ずかな押し上げ力を付与するだけで、ステージの表面か
ら被塗布部材を容易に離間することができ、被塗布部材
の破損を防止することができる。請求項２，５の塗布装
置および塗布方法によれば、左右のリフトピンのうち、
一方のリフトピンを先ずステージの表面から突出させる
ようにしたので、ステージ表面の被塗布部材はその一方
の側縁から剥離されながら離間し、ステージの表面から
の被塗布部材の離間をさらに容易に行え、その破損を確
実に防止することができる。

【００４８】請求項３，６のカラーフィルタの製造装置
および製造方法によれば、カラーフィルタの生産性を向
上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例のダイコータを概略的に示した斜視図
である。

【図２】図１のダイコータを塗布液の供給系を含めて示
した概略構成図である。

【図３】図１のステージを示した平面図である。

【図４】負圧および正圧の供給系を示すための図３中、
IV−IV線に沿うステージの断面図である。

【図５】ガラス基板が吸着された状態にあるステージの
背面図である。

【図６】ステージの上面からガラス基板の一方の側縁が
剥離された状態を示す図である。

【図７】ステージからガラス基板が持ち上げられた状態
を示す図である。

【符号の説明】

６ ステージ １４ フィードスクリュー ４０ スリットダイ（塗布器） ４４ シリンジポンプ（供給手段） ５０ タンク ６２ マニホールド ６４ スリット ６６ 吸着孔 ６８ チャンバ ７２ 給排ホース ７６ 電磁排気弁 ７８ 分岐ホース ８０ 正圧源 ８２ 電磁加圧弁 ８４ リフトピン ９０ リフトプレート ９２ エアシリンダ Ａ ガラス基板

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布液を供給する供給手段と、 前記供給手段から塗布液の供給を受け、一方向に延びる
   吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器と、 被塗布部材を載置可能なステージと、 前記ステージの表面に載置された被塗布部材を前記ステ
   ージに吸着させる吸着手段と、 前記塗布器および前記ステージの少なくとも一方を相対
   的に移動させ、前記被塗布部材の表面に塗布液の塗膜を
   形成させる移動手段と、 前記ステージに対する前記被塗布部材の吸着を解放する
   解放手段とを具備する塗布装置において、 前記吸着手段は、前記ステージの表面に分布された多数
   の吸引孔と、前記吸引孔に連通する少なくとも１個のチ
   ャンバと、前記チャンバに負圧を選択的に供給する負圧
   源とを備えており、 前記解放手段は、前記チャンバに正圧を選択的に供給す
   る正圧源と、前記ステージの表面に出没可能に設けら
   れ、前記ステージの表面から突出したときには前記被塗
   布部材を前記ステージの表面から離間させるリフトピン
   とを備えていることを特徴とする塗布装置。
2. 【請求項２】 前記リフトピンは、前記ステージの相対
   的な進行方向でみて左右に振り分けて配置されており、
   前記解放手段は前記ステージの表面から前記左右のリフ
   トピンを所定の時間差で独立して突出させる別々の駆動
   源を備えていることを特徴とする、請求項１に記載の塗
   布装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の塗布装置を有
   することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
4. 【請求項４】 多数の吸引孔が分布されたステージの表
   面に被塗布部材を吸着する吸着工程と、 前記塗布器の吐出口から塗布液を吐出しながら、前記塗
   布器および被塗布部材を保持したステージの少なくとも
   一方を相対的に移動させ、前記被塗布部材の表面に塗布
   液の塗膜を形成していく形成工程と、 前記ステージに対する前記被塗布部材の吸着を解放する
   解放工程とを備える塗布方法において、 前記解放工程は、前記吸着工程による前記被塗布部材の
   吸着が停止された後、前記吸引孔に正圧を供給する供給
   工程と、前記ステージの表面からリフトピンを突出さ
   せ、前記ステージから前記被塗布部材を離間させるリフ
   ト工程とを含むことを特徴とする塗布方法。
5. 【請求項５】 前記リフト工程では、前記ステージの相
   対的な進行方向でみて左右に振り分けて配置した左右の
   リフトピンを所定の時間差で独立して突出させることを
   特徴とする、請求項４に記載の塗布方法。
6. 【請求項６】 請求項４または５に記載の塗布方法を用
   いることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。