TWI430383B - 平台 - Google Patents

Description

平台

本發明，係有關於在XY平台或是大型印刷裝置中所使用之基板平台，特別是，係有關於將軌道作連結之大型平台。

花崗石，在對平面精確度作確保之加工上係為容易，熱性變形亦為小，且能夠得到大型的原石，因此，係被使用在XY平台、大型印刷裝置、三維檢查裝置等之基板平台中。

近年來，基板之大型化係日益進行，而當以適合於大型基板的方式而將基板平台大型化的情況時，會成為無法在道路上進行搬運的大小。

因此，係從花崗石之原石來形成小面積之台或是短的軌道，並搬運至設置場所處，而後再進行組裝，藉由此，而嘗試了在實際所使用之場所處來設置大型的基板平台。

但是，若是將輔助載置台安裝在主載置台上，並將分別作成之軌道彼此作連結，在軌道之接軌處會產生階段差，而無法確保軌道之水平性，並產生無法將基板高速地作搬運的問題。

記載有大型之基板平台的技術文獻，例如係有下述之各公報。

[專利文獻1]日本特開平7-311375號公報

[專利文獻2]日本特開2005-114882號公報

本發明，係以提供一種能夠確保軌道之水平性與直線性，並能夠將基板高速搬運的分割型之基板平台為課題。

為了解決上述課題，本發明，係為一種平台，係具備有主載置臺、和較前述主載置台更為小面積且能夠從前述主載置台而分離之輔助載置臺、和涵蓋前述主載置台上與前述輔助載置台上地被配置，且端部係位置在前述輔助載置台上之複數的下部軌道，其中，移動板係位置在前述各下部軌道上，而前述移動板係設為能夠在前述下部軌道上行走，該平台，其特徵為：複數之前述下部軌道的各個，係分別將一根由一枚的原板而形成，且被構成為能夠在前述主載置台與前述輔助載置台處作裝卸，在前述輔助載置台處，係被設置有能夠將前述下部軌道之高度在複數位置處作調節的上下方向調整裝置。

又，本發明，係為一種平台，其中，於前述移動板處，係被形成有將升降銷作插通的複數之貫通孔，並構成為當前述移動板為位置在前述輔助載置台之特定場所處的情況時，能夠將前述升降銷插入至前述移動板之貫通孔中。

又，本發明，係為一種平台，其中，在前述主載置台處，係可裝卸地被安裝有位置在前述下部軌道之上方處的上部軌道。

又，本發明，係為一種平台，其中，在前述上部軌道處，係可移動地被安裝有噴墨頭。

又，本發明，係為一種平台，係具備有主載置臺、和較前述主載置台更為小面積且能夠從前述主載置台而分離之輔助載置臺、和涵蓋前述主載置台上與前述輔助載置台上地被配置，且端部係位置在前述輔助載置台上之複數的下部軌道、和以能夠沿著前述下部軌道之延伸方向來移動的方式而被安裝之上部軌道，該平台，其特徵為：各前述下部軌道，係由一枚的原板而形成，且被構成為能夠在前述主載置台與前述輔助載置台處作裝卸，在前述輔助載置台處，係被設置有能夠將前述下部軌道之高度在複數位置處作調節的上下方向調整裝置，前述上部軌道與前述下部軌道，係被構成為可裝卸。

於此情況，亦同樣的，本發明，係為一種平台，其中，在前述上部軌道處，係可移動地被安裝有噴墨頭。

又，本發明，係為一種平台，其中，前述下部軌道，係為由花崗石所構成。

在本發明之平台上，係被配置有移動板所行走的2根以上之根數的下部軌道。在移動板所行走的複數之下部軌道中，各下部軌道，係分別由一枚的原板所形成。在本發明中，係包含有移動板所行走的複數之下部軌道為藉由相同之原板所形成的情況、和藉由相異之原板所形成的情況、以及該些之情況混合存在的情況中之任一者。

本發明所致之平台中，一根的下部軌道，在長度方向上係並未被分割，而一根的下部軌道，係由一枚的原板所形成。故而，由於直線性係被確保，因此，將基板作載置之移動板係不會產生搖動，而能夠使其作高速移動。又，吐出液之命中位置的精確度亦提昇。

在下部軌道之端部處，由於係被設置有上下方向調整裝置，因此，就算是輔助載置台下垂，亦能夠維持直線性。

參考圖9、圖10，本發明之基板平台10，係具備有：一台之主載置台11；和平面形狀為較主載置台11更小型、小面積的複數(於此係為4台)之輔助載置台12a～12d；和2根的下部軌道13₁ 、13₂ 。

圖9、圖10，係為將本發明之基板平台10在製造場所處而作了假想組裝之狀態的平面圖與側面圖。

主載置台11與輔助載置台12a～12d之平面形狀，係為四角形，而表面係為平坦。

主載置台11與輔助載置台12a～12d，係被構成為可裝卸，輔助載置台12a～12d，係在主載置台11之相互平行的二邊上，各被固定有2個。

下部軌道13₁ 、13₂ ，係較主載置台11之長度為更長，其中央部分係被配置在主載置台11之上，而其中一端係被配置在主載置台11之其中一邊側的輔助載置台12a、12c上，另外一端係被配置在另外一邊側之輔助載置台12b、12d上。2根的下部軌道13₁ 、13₂ ，係被設為相互平行。

主載置台11，係以使表面成為水平的方式而被配置，輔助載置台12a～12d，係以表面被設為較主載置台11更低的狀態下，而被固定在主載置台11處。

在輔助載置台12a～12d處，係被設置有複數之上下方向調整裝置6。於此，上下方向調整裝置6係藉由螺絲所構成，各上下方向調整裝置6，係從輔助載置台12a～12d之底面側起而朝向表面側地分別朝向上方而插通。

下部軌道13₁ 、13₂ 之被承載於主載置台11上的部分，係與主載置台11之表面相密著，而輔助載置台12a～12d上之部分，係被承載於上下方向調整裝置6之上端。

下部軌道13₁ 、13₂ ，係為花崗石製。在下部軌道13₁ 、13₂ 上，係被設置有線性移動手段之導引部。花崗石雖係具備有剛性，但是，係有可能產生微少量之變形，若是使上下方向調整裝置6旋轉，並使其之前端作上下移動，則下部軌道13₁ 、13₂ 之端部係彎曲，而能夠在使下部軌道13₁ 、13₂ 之在主載置台11上的部分維持在與主載置台11表面相密著之狀態的同時，而將兩端部分之高度設為較位置在主載置台11上之部分的高度為更高或是更低。

下部軌道13₁ 、13₂ ，在輔助載置台12a～12d上，係於沿著下部軌道13₁ 、13₂ 之長度方向的複數之位置上而與上下方向調整裝置6之前端相抵接，藉由使與1根之下部軌道13₁ 、13₂ 相抵接的複數根之上下方向調整裝置6的前端之高度改變，能夠使軌道直線狀地延伸，亦可使其在上下方向上作彎曲。若是使上下方向調整裝置6之上端向上移動至接近於下部軌道13₁ 、13₂ 之端部的位置，則能夠使下部軌道13₁ 、13₂ 朝向上方彎曲。

又，在下部軌道13₁ 、13₂ 處，係被設置有水平面內調整裝置，經由水平面內調整裝置，能夠對下部軌道13₁ 、13₂ 之在水平面內的方向作調整。

在下部軌道13₁ 、13₂ 上，係隔著空氣軸承等之摩擦降低裝置21而被承載有花崗石製之移動板16，若是使未圖示之基板移動機構動作，則移動板16係在下部軌道13₁ 、13₂ 上行走，並成為能夠位置在輔助載置台12a～12d上且亦可位置在主載置台11上。

於此，係在移動板16處設置摩擦降低裝置21，而在摩擦降低裝置21之平坦面與下部軌道13₁ 、13₂ 之表面間設置空氣層，並將下部軌道13₁ 、13₂ 與摩擦降低裝置21以及移動板16設為非接觸之狀態，而設為能夠將移動板16承載於下部軌道13₁ 、13₂ 上並行走。

又，於此，雖係設為涵蓋被相互平行配置之2根的下部軌道13₁ 、13₂ 上而承載1台之移動板16並使其行走，但是，亦可設為涵蓋被相互平行配置之3根的下部軌道上而承載1台之移動板16並使其行走。

在主載置台11上之2根的下部軌道13₁ 、13₂ 之外側處，係被立起設置有支柱22，在支柱22上，2根的上部軌道15₁ 、15₂ 係以相互平行且與下部軌道13₁ 、13₂ 之延伸方向相垂直的方式而被配置。

在上部軌道15₁ 、15₂ 處，係可移動地被安裝有噴墨頭17。上部軌道15₁ 、15₂ ，係較主載置台11之長度為更長，其兩端部係突出於主載置台11之外側，若是使未圖示之頭移動機構動作並使噴墨頭17沿著上部軌道15₁ 、15₂ 而行走，則噴墨頭17係成為能夠位置在主載置台11上且亦可位置在主載置台11之外側。上部軌道15₁ 、15₂ 係被作水平配置，噴墨頭17係在水平面內移動。

上部軌道15₁ 、15₂ 與噴墨頭17，係位置在較下部軌道13₁ 、13₂ 而更上方處，在下部軌道13₁ 、13₂ 與上部軌道15₁ 、15₂ 之間，係被形成有空隙。

若是使噴墨頭17位置在主載置台11上，並在移動板16上承載基板而使其移動，則移動板16係通過下部軌道13₁ 、13₂ 與上部軌道15₁ 、15₂ 之間的空隙，而能夠通過噴墨頭17之正下方的位置。

在輔助載置台12a~12d之下方，係被鉛直地配置有升降銷8₁ 、8₂ 。升降銷8₁ 、8₂ ，係被安裝在升降裝置上， 並被設為能夠在上下方向上作升降移動。

在輔助載置台12a~12d與移動板16處，係分別被形成有貫通孔14a~14d、19。

移動板16之貫通孔19，係以當使移動板16位置在輔助載置台12a、12c或是12b、12d之上時而位置在輔助載置台12a~12d之貫通孔14a、14c或是14b、14d之正上方的方式而被形成，若是在此狀態下而使升降銷8₁ 、8₂ 上升，則升降銷8₁ 、8₂ 係通過貫通孔14a、14c或是14b、14d，而其之上端係在移動板16之表面上突出。

此基板平台10，係在製造場所處，而如同上述一般地以使移動板16或噴墨頭17能夠作行走的方式來進行暫時組裝，並在對於下部軌道13₁ 、13₂ 等之製造精確度作了確認後，將其作分解，並從主載置台11來將輔助載置台12a~12d或是下部軌道13₁ 、13₂ 卸下。圖11，係展示從主載置台11而卸下了的輔助載置台12a~12d與下部軌道13₁ 、13₂ 。

在此狀態下，基板平台10係成為可進行搬運之大小，將主載置台11或是輔助載置台12a~12d等之分解後的構件裝載於車輛上，並搬運至實際作使用的場所處。

在使用場所處，首先，係將主載置台11以使表面成為水平的方式來作設置，並將輔助載置台12a~12d安裝在主載置台11之側面處，而組裝成與搬運前相同的狀態。

輔助載置台12a~12d，其中一側面係被固定在主載 置台11之側面處，被固定在主載置台11之部分，係經由主載置台11而被作支持，相對於此，與該部分相反側之部分，係並未被作支持，並由於自身之重量而朝下彎曲。

在本發明中，由於係藉由上下方向調整裝置6，而將下部軌道13₁ 、13₂ 之位置在輔助載置台12a~12d上之部分朝向上方來作修正，因此，當輔助載置台12a~12d朝向下方而彎曲的情況時，能夠使下部軌道13₁ 、13₂ 之表面成為水平面。

若是經由水平面內調整裝置來對下部軌道13₁ 、13₂ 之水平面內的角度作調整，則下部軌道13₁ 、13₂ ，係在水平面內而伸長為一直線，2根的下部軌道13₁ 、13₂ ，係在水平面內成為平行。

圖1、2，係展示：使在使用場所而作了組裝之基板平台10的噴墨頭17位置在主載置台11之外側，並使移動板16位置在輔助載置台12b、12d上，而將基板5配置在移動板16之上的狀態。

將噴墨頭17連接在被配置有印刷液之吐出液供給系23處，並如圖3、4中所示一般，將噴墨頭17移動至主載置台11之上，並使其在主載置台11上靜止，而後，如圖5、6中所示一般，使基板5朝向噴墨頭17之下方而移動。

在噴墨頭17之朝向下方的面處，係被設置有複數之吐出孔，若是一面將印刷液從吐出液供給系23而供給至噴墨頭17處，一面使被設置在噴墨頭17處之吐出機構動 作，則能夠從各吐出孔而將印刷液之液滴吐出。

吐出孔，係沿著基板之寬幅方向(與基板5之移動方向相垂直的方向)而被配置。被配置有吐出孔之區域的長度，係成為較基板5之寬幅為更短，若是一面對於噴墨頭17與基板5之間的相對位置作控制，一面從噴墨頭17而吐出印刷液，則在基板5表面之(基板長度)×(基板寬幅)之區域中，能夠在(基板長度)×(被配置有吐出空之區域)內的所期望位置處而使吐出液命中。

在使吐出液命中於該區域內後，若是使噴墨頭17移動，並在使噴墨頭17靜止了的狀態下而使基板5移動，而朝向基板5表面之吐出液未命中的區域來吐出吐出液，則能夠在基板5表面之所期望位置處而使吐出液命中。

下部軌道13₁ 、13₂ ，由於係經由上下方向調整裝置6與水平方向調整裝置而被設為一直線，因此，在移動板16行走時，係不會產生搖動，而能夠使基板5作高速移動。又，吐出液之命中位置的精確度亦提昇。

當在主載置台11上而使印刷液命中基板5表面之特定位置後，若是將基板5移動至輔助載置台12a、12c上，並使升降銷8₁ 上升，則基板5係從移動板16上而被移載至升降銷8₁ 上。若是將基板搬送機器人之手插入至基板5與移動板16之間並將基板5移載至手之上，則能夠將其移動至基板平台10之外部。

圖7、8，係為展示將基板5移動至基板平台10之外部後的狀態。

於上述例中，在吐出液之吐出時，係使噴墨頭17靜止，並使基板5移動，而吐出吐出液，但是，亦可使基板5靜止，並使噴墨頭17移動，而吐出吐出液。也就是說，只要能夠使基板5與噴墨頭17相對性的移動即可，可使其中一方靜止，亦可使雙方作移動。

代替噴墨頭17，亦可將測定裝置等之其他的裝置安裝在上部軌道15₁ 、15₂ 處。

又，於上述例中，上部軌道15₁ 、15₂ 雖係被固定在主載置台11處，但是，若是將上部軌道15₁ 、15₂ 可移動地安裝在下部軌道13₁ 、13₂ 處，並設為使上部軌道15₁ 、15₂ 能夠沿著下部軌道13₁ 、13₂ 之延伸方向而作移動，則噴墨頭17，係成為能夠在水平面內而於互為直角之2方向(X-Y)上作移動，因此，就算是使基板5靜止，亦成為能夠使吐出液命中於基板5之全表面上。

於此情況，若是代替噴墨頭17，而將可安裝各種裝置之安裝器具設置在上部軌道15₁ 、15₂ 處，則亦能夠作為汎用性之X-Y平台來使用。

又，在上述例中，雖係在輔助載置台12a~12d處設置貫通孔14a~14d，並使升降銷8₁ 、8₂ 插通於貫通孔14a~14d中，而藉由使升降銷8₁ 、8₂ 在貫通孔14a~14d中作上下移動，來使升降銷8₁ 、8₂ 之上端成為能夠在較輔助載置台12~12d之表面更上方的位置以及更下方的位置之間作上下移動，但是，亦可藉由將升降銷8₁ 、8₂ 配置在被設置於主載置台11之相同的一邊側處之輔助載置 台12a、12c之間，或者是配置在被設置於主載置台11之相反側之邊處的輔助載置台12b、12d之間，並使其作上下移動，來使升降銷8₁ 、8₂ 之上端成為能夠在較輔助載置台12~12d之表面更上方的位置以及更下方的位置之間作上下移動。

6‧‧‧上下方向調整裝置

8₁ 、8₂ ‧‧‧升降銷

10‧‧‧基板平台

11‧‧‧主載置台

12a~12d‧‧‧輔助載置台

13₁ 、13₂ ‧‧‧下部軌道

14a~14d、19‧‧‧貫通孔

15₁ 、15₂ ‧‧‧上部軌道

16‧‧‧移動板

17‧‧‧噴墨頭

[圖1]用以說明本發明之基板平台的動作之平面圖(1)。

[圖2]用以說明本發明之基板平台的動作之側面圖(1)。

[圖3]用以說明本發明之基板平台的動作之平面圖(2)。

[圖4]用以說明本發明之基板平台的動作之側面圖(2)。

[圖5]用以說明本發明之基板平台的動作之平面圖(3)。

[圖6]用以說明本發明之基板平台的動作之側面圖(3)。

[圖7]用以說明本發明之基板平台的動作之平面圖(4)。

[圖8]用以說明本發明之基板平台的動作之側面圖(4)。

[圖9]用以說明本發明之基板平台的平面圖。

[圖10]用以說明本發明之基板平台的側面圖。

[圖11]用以展示本發明之基板平台的分解後之輔助載置台與主載置台以及下部軌道的平面圖。

5．．．基板

6．．．上下方向調整裝置

8₁ 、8₂ ．．．升降銷

10．．．基板平台

11．．．主載置台

12c、12d．．．輔助載置台

13₂ ．．．下部軌道

15₁ 、15₂ ．．．上部軌道

16．．．移動板

17．．．噴墨頭

21．．．摩擦降低裝置

22．．．支柱

Claims (7)

1. 一種平台，係具備有：主載置臺、和較前述主載置台更為小面積且能夠從前述主載置台而分離之輔助載置臺、和涵蓋前述主載置台上與前述輔助載置台上地被配置，且端部係位置在前述輔助載置台上之複數的下部軌道，且移動板係位置在前述各下部軌道上，而前述移動板係設為能夠在前述下部軌道上行走，該平台，其特徵為：複數之前述下部軌道的各個，係分別將一根由一枚的原板而形成，且被構成為能夠在前述主載置台與前述輔助載置台處作裝卸，前述輔助載置台，係使其中一側面被固定在前述主載置台上，被固定在前述主載置台上之部分，係經由前述主載置台而被作支持，相對於此，前述輔助載置台之與被固定在前述主載置台上的部分相反側之部分，係並未被作支持，在前述輔助載置台處，係被設置有能夠將前述下部軌道之高度在複數位置處作調節的上下方向調整裝置。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之平台，其中，於前述移動板處，係被形成有將升降銷作插通的複數之貫通孔，並構成為當前述移動板為位置在前述輔助載置台之特定場所處的情況時，能夠將前述升降銷從前述移動板的背 面側插入至前述移動板之貫通孔中。
3. 如申請專利範圍第1項所記載之平台，其中，在前述主載置台處，係可裝卸地被安裝有位置在前述下部軌道之上方處的上部軌道。
4. 如申請專利範圍第3項所記載之平台，其中，在前述上部軌道處，係可移動地被安裝有噴墨頭。
5. 一種平台，係具備有主載置臺、和較前述主載置台更為小面積且能夠從前述主載置台而分離之輔助載置臺、和涵蓋前述主載置台上與前述輔助載置台上地被配置，且端部係位置在前述輔助載置台上之複數的下部軌道、和以能夠沿著前述下部軌道之延伸方向來移動的方式而被安裝之上部軌道，該平台，其特徵為：各前述下部軌道，係由一枚的原板而形成，且被構成為能夠在前述主載置台與前述輔助載置台處作裝卸，前述輔助載置台，係使其中一側面被固定在前述主載置台上，被固定在前述主載置台上之部分，係經由前述主載置台而被作支持，相對於此，前述輔助載置台之與被固定在前述主載置台上的部分相反側之部分，係並未被作支持，在前述輔助載置台處，係被設置有能夠將前述下部軌道之高度在複數位置處作調節的上下方向調整裝置，前述上部軌道與前述下部軌道，係被構成為可裝卸。
6. 如申請專利範圍第5項所記載之平台，其中，在 前述上部軌道處，係可移動地被安裝有噴墨頭。
7. 如申請專利範圍第1項乃至第6項中之任一項所記載之平台，其中，前述下部軌道，係由花崗石所構成。