JP4826766B2

JP4826766B2 - Ｘｙステージ

Info

Publication number: JP4826766B2
Application number: JP2006175188A
Authority: JP
Inventors: 則男豊崎; 栄治郎平柳; 雅美荒川
Original assignee: Neomax Co Ltd
Current assignee: Hitachi Metals Ltd
Priority date: 2006-06-26
Filing date: 2006-06-26
Publication date: 2011-11-30
Anticipated expiration: 2026-06-26
Also published as: JP2008005669A

Description

本発明は、液晶ディスプレイ又はプラズマディスプレイや半導体デバイスなどの超精密部品などの処理手段として使用されるＸＹステージに関する。

液晶パネル（ＬＣＤ）の製造ラインにおいては、基板サイズの拡大とともに表示品位の向上（例えば輝点欠陥とともに黒点欠陥も解消する）が要求されるので、基板の表示部に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を配列するＴＦＴ工程、カラーフィルター（ＣＦ）を作成するＣＦ工程、ＴＦＴとＣＦを貼り合わせるパネル工程及びパネル周辺に駆動回路を実装するモジュール工程の各工程において、基板に存在する欠陥を検出し、非接触かつ局部加工が可能なレーザで修復（リペア）することが行われている。またガラス基板のサイズの拡大により、リペア装置の専有面積も増大するので、床面積の低減を図るために、ガラス基板を定盤に固定し、欠陥を検出するための撮像手段やレーザ照射手段などの処理手段を搭載したガントリーが移動する形式（ガントリー駆動型）のＸＹステージが使用されている。

基板サイズのさらなる拡大に対応するために、ＸＹステージについても、種々の改良が提案されている。例えば、特許文献１には、装置本体の小型化と測定時間の短縮を図るために、固定ステージに対してＹ方向に移動する門型アーム（ガントリー）と、Ｘ軸方向に移動する、Ｙ軸方向に所定間隔で配置された２つの検査ヘッド（移動ステージ）を備えた基板検査装置が記載されている。

またＸＹステージにおいては、ガントリー及び移動ステージを長いストロークにわたって高速かつ高精度で移動させることが必要なので、その駆動手段として、Ｙ方向（Ｘ方向）に沿って交互に異極性の磁極が配列された磁石ユニット（固定子）と、前記磁石ユニットの磁気空隙内に配置される多相コイルを含むコイルユニット（可動子）とを有する可動コイル型リニアモータが使用されている（特許文献２参照）。

さらにＸＹステージにおいては、処理手段を高精度で位置決めするために、ガントリーを搭載したベース（以下定盤という）は、グラナイトに代表される石材などの剛性が大で、固有振動数が高くしかも振動減衰能力が高い材料で形成されている。しかるにガラス基板のサイズ拡大に伴い、その数倍の大きさをもつ定盤を単一の部材で形成した場合には、ＸＹステージの組立場所からその据え付け場所までの輸送手段がなく、また大面積をもつ定盤の表面を高精度で加工することができないという問題がある。

そこで、特許文献３には、ベース・プレートとガントリーを縮小しても、大型の媒体（例えば第５世代のガラス基板）を検査できるようにするために、モジュラ化した分割ステージを使用し、低精度エア・テーブル部分を中央に位置する高精度花崗岩検査／修理部分の両側に設けた検査ステージが記載されている。

特開２００３−１３９７２１号公報（第３〜５頁、図１）特開２００１−６９７４４号公報（第３〜４頁、図１）特開２００５−６２８１９号公報（第９〜１０頁、図４）

しかるに特許文献３に記載された検査ステージによれば、高精度部分の面積が小さいので、第５世代よりも大きな基板（例えば短辺が２，２００ｍｍを越える、第８世代と称される表示パネル用基板）の検査やリペアには適用できないという問題がある。

従って本発明の目的は、ステージを構成する部材を通常の手段で目的地まで輸送することが可能で、しかもその構成部材を再組立した後も高精度の動作が保証されるＸＹステージ、特に第６世代以降の大形の基板を処理することが可能なＸＹステージを提供することである。

上記目的を達成するために、本発明のＸＹステージは、上面に案内面を有し、石材で形成された複数のブロックからなり、Ｙ軸方向において分割された定盤と、
前記案内面に設置され、Ｙ軸方向に沿って伸長する第１レールと平面から見てそれと重なる部分を有する第２レールからなるガイド部材と、
前記第２レールに沿ってそれと非接触で走行するスライドベースに支持されたガントリーと、
前記スライドベースを駆動するＹ軸用駆動手段と、
前記ガントリーに搭載され、Ｘ軸方向に並ぶ複数のスライド部材と、を備え、
前記スライド部材は、Ｘ軸方向に伸長する複数のレール部を有し、前記ガントリーに固定されるベースと、前記レール部に沿って走行するスライダと、前記スライダを駆動するＸ軸用駆動手段と、前記ベースに所定間隔をおいて前記レール部と平行に設けられた一対の位置決め穴と、各位置決め穴を挿通して前記ガントリーに固定される位置決めピンと、一方の位置決めピンを支点として前記ベースを回動させる調整部材を含む位置決め手段を有する、
ことを特徴とするものである。

本発明のＸＹステージにおいては、前記スライドベースは前記第２レールを包持するように形成されるとともに、前記スライドベースの前記第２レールと対向する面にエアーパッドが装着されていることが好ましい。

本発明のＸＹステージにおいては、前記調整部材は、前記位置決めピンの挿入方向に対して直交する方向から前記ベースにねじ込まれて他方の位置決めピンに当接する調整ボルトからなることが好ましい。

本発明のＸＹステージにおいては、前記ベースはそこにねじ込まれる複数の第１固定ボルトと各第１固定ボルトに内装されて前記ガントリーにねじ込まれる第２固定ボルトにより、前記ガントリーに固定されることが好ましい。

本発明のＸＹステージにおいては、前記Ｙ軸用駆動手段は、前記上レールに固着された、前記Ｙ軸方向に沿って正弦波状の磁界分布が現出する磁気空隙を有する磁石ユニットと、前記ガントリーに連結され、前記磁気空隙内に配置される多相コイルを含むコイルユニットを有するリニアモータからなることが好ましい。

本発明のＸＹステージにおいては、前記Ｘ軸用駆動手段は、前記ベースに固着された、前記Ｘ軸方向に沿って正弦波状の磁界分布が現出する磁気空隙を有する磁石ユニットと、前記スライダに連結され、前記磁気空隙内に配置される多相コイルを含むコイルユニットを有するリニアモータからなることが好ましい。

本発明によれば、ガントリーを支持する定盤がＹ軸方向において複数のブロックに分割されているので、ステージを構成する総ての部材を通常の方法で設置場所まで輸送することができ、しかも第２レールを平面から見て第１レールと一部が重なるように第１レールに積み重ねてガントリーを案内するガイドが形成され、ガントリーを支持するスライドベースが第２レールを包持するように非接触で案内されるので、大面積（例えば第８世代）の基板に対してガントリーを所定の位置に正確に静止させることができる。

さらに、本発明によれば、基板サイズの拡大に伴い、大型化したＸＹステージをその製作現場で分解し、製造ラインに設置する場合にも高い組立精度を再現することできる。したがって基板の検査やリペアを高精度で行うことが可能となる。

以下本発明の詳細を添付図面により説明する。図１は本発明の実施の形態に係わるＸＹステージの平面図、図２は図１をＡ方向から見た矢視図、図３は図１をＢ方向から見た矢視図、図４は図１をＣ方向から見た矢視図、図５（ａ）は図４のＤ部を拡大した図、図５（ｂ）は図４のＥ部を拡大した図、図６は第２スライド部材の正面図、図７は同側面図、図８は図６のＦ−Ｆ線断面図、図９は図６のＧ−Ｇ線断面図、図１０（ａ）は第１固定部材の正面図、図１０（ｂ）は同側面図、図１１（ａ）は第２固定部材の正面図、図１１（ｂ）は同側面図、図１２は第３スライド部材の正面図、図１３は同側面図である。

図１及び２に示すように、ガントリー駆動型ＸＹステージ（以下単にＸＹステージという）１は、平板状に形成された定盤２と、そのＹ軸方向に沿って移動するガントリー５と、ガントリー５に設置され、そのＸ軸方向に移動する複数のスライド部材７、８ａ・・・８ｄ、９ａ・・・９ｅを備えている。定盤２は、ガントリー５及び各スライド部材の高精度の移動を保証するために、例えば、免震装置（不図示）を介して床面に設置されている。定盤２の表面には、図１中一点鎖線で示されるガラス基板１００を保持してＹ軸方向の所定位置まで案内しかつガントリー５の底面に対向させる搬送手段（不図示）が設置されている。このＸＹステージの各部は次のように構成されている。

定盤２は、複数のブロック２１ａ、２１ｂ、２１ｃをＹ軸方向に並べて形成された平板状部材である（図１参照）。各ブロックは、精密な駆動を実現するために、剛性が高くかつ周囲の温度及び湿度変化に対して影響を受けにくい材料（例えばグラナイトに代表される石材）で形成されると共に、高い位置決め精度を実現するために、ガントリー５が支持される上面が高い面精度と平面度を有するように加工されている。

ガントリー５は、定盤２の表面に設置された２組のガイド部材３ａ、３ｂに案内されてＹ軸方向に移動するスライドベース４ａ、４ｂに支持されている（図１参照）。ガイド部材３ａ（３ｂ）は、図示を省略するがＹ軸方向において複数に分割されていると共に、平面からみてその側面３１１ａ（３１１ｂ）が定盤２の側面２０ａ（２０ｂ）と一致するように定盤２の略全長にわたって敷設された第１レール３１ａ（３１ｂ）と、平面からみて第１レール３１ａ（３１ｂ）と一部が重なるようにその上面に敷設された第２レール３２ａ（３２ｂ）から構成されている（図４参照）。第１レール３１ａ（３１ｂ）及び第２レール３２ａ（３２ｂ）は、矩形状断面を有すると共に、定盤２と同様に、精密な駆動を実現するために、剛性が高くかつ周囲の温度及び湿度変化に対して影響を受けにくい材料（例えばグラナイトに代表される石材）で形成されている。また第１レール３１ａ（３１ｂ）の周囲には、所定間隔をおいて略Ｌ字型のスライドベース４ａ、４ｂが配置されると共に、両ベースを駆動するためのＹ軸リニアモータ６ａ、６ｂが設置されている（図４参照）。

図５（ａ）（ｂ）に示すように、スライドベース４ａ、４ｂを第２レール３２ａ、３２ｂに対して非接触で支持するために、スライドベース４ａ（４ｂ）の内周面の３辺には各々、円板状のエアーパッド３０ａ、３０ｂ、３１ｃが装着され、各エアーパッドは、圧縮空気発生源（不図示）に連通する給気孔（不図示）を有する。各エアーパッドから第２レール３２ａ（３２ｂ）の表面に向かって圧縮空気（例えば０．４７ＭＰａ）が噴出されることにより、静圧空気軸受が形成され、各エアーパッドと第２レール３２ａ（３２ｂ）との間に、例えば５〜１０μｍの微小間隙が形成される。第２レール３２ａ（３２ｂ）を取り囲むように設置されるエアーパッドの数量はベースの長さに応じて選定すればよく、本例では、エアーパッドはＹ軸方向に沿って複数個（例えば２又３個）配置されている。

また図５（ａ）に示すように、Ｙ軸リニアモータ６ａは、第２レール３２ａに取り付けられたコ字形のヨーク部６１１とその対向する内面に固着された２列の永久磁石体６１２からなる磁石部材６１と、スライドベース４ａに結合され、両永久磁石体の間に配置されるコイル部材６２とを含む可動コイル型リニアモータである。永久磁石体６１２は、複数のブロック状永久磁石を異極性の磁極が対向しかつ異極性の磁極がＹ軸方向に交互に並ぶように配列し、対向する永久磁石の間に形成された磁気空隙に正弦波状の磁束密度分布を有する磁束が発生するように構成されている。コイル部材６２は、絶縁体からなるコイル基板とそこに装着された複数の偏平コイル（いずれも不図示）を含む多相コイルであり、各相のコイルに通電された時にＹ軸方向の推力が発生するように結線されている。このリニアモータは、起動時には多相コイルに大電流を流して大きな推力を発生させ、所定速度まで加速された時には駆動電流を低減させて一定の速度で駆動し、目標位置に近づくと再び駆動電流を高めて減速させるような速度パターンで駆動される。また、図５（ｂ）に示すように、Ｙ軸リニアモータ６ｂはＹ軸リニアモータ６ａと同様の構造を有する。

ガントリー５は、両端がスライドベース４ａ（４ｂ）に立設されかつスペーサ５３ａ、５３ｂを挟んで互いに平行に配置された第１フレーム５１及び第２フレーム５２を有する門形の部材である（図１〜４参照）。第１フレーム５１の第２フレーム５２と向き合う側の表面５１１には、単一の第１スライド部材７が設置され（図２参照）、第１フレーム５１の他方の表面５１２には、Ｘ軸方向に沿って複数の第２スライド部材８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが設置されている（図３参照）。第２フレーム５２の一方の表面５２１には、図示しない撮像手段が固設され、第２フレーム５２の他方の表面５２２には、Ｘ軸方向に沿って複数の第３スライド部材９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅが設置されている（図２、４参照）。なお、図１では、各スライド部材は図示を省略している。

図６及び７により第２スライド部材８ａ・・・８ｄの全体構造を説明する。第２スライド部材８ａは、一方の表面８１０が第１フレーム５１の表面５１２（図１、図２参照）に固定されるベース８１と、一端部（図７では上端部）に側板８３が固着されたスライダ８２と、それを駆動するＸ軸リニアモータ１０と、スライダ８２の位置を検出するためにベース８１の下部に設けられた検出部材８６を有する。スライダ８２は、ベース８１の他方の表面に形成された２列の脚部８１１ａ及び８１１ｂに各々、固定されたレール８４ａと８４ｂ及び８４ｃに、リニア軸受８５ａ、８５ｂ、８５ｃを介して支持されている。なお他の第２スライド部材８ｂ・・・８ｄは第２スライド部材８ａと同一の構造を有するのでその説明を省略する。

図８及び図９も参照してベース８１の構造を説明する。ベース８１の上辺側には、Ｘ軸方向に沿って第１位置決め穴８１２ａと第２位置決め穴８１２ｂが設けられ、そこには位置決めピン８１３ａと位置決めピン８１３ｂ（図８参照）が挿入されている。第１位置決め穴８１２ａの直径は、そこに挿入される位置決めピン８１３ａと略同一の直径を有するように設定されている。例えば、軸基準式のはめあい方式とし、ｈ８の位置決めピンに対して、すきまばめとなるような位置決め穴８１２ａの直径が選定される。また第２位置決め穴８１２ｂの直径ｄ１は、そこに挿入される位置決めピン８１３ｂの直径ｄ２よりやや大なる（例えば０．４ｍｍ）寸法を有するように設定されている。図８に示すように、ベース８１の上端面に設けられた調整穴８１４に調整ボルト８１５がねじ込まれて、その先端が位置決めピン８１３ｂに当接する。

ベース８１には二対の大径の固定穴８１６ａ、８１６ｂと８１６ｃ、８１６ｄが設けられ、一対の固定穴８１６ａ、８１６ｂは位置決め穴８１２ａと８１２ｂの中心を結ぶ直線Ｌ１上に設けられ、もう一対の固定穴８１６ｃ、８１６ｄは、直線Ｌ１と平行な直線Ｌ２上に設けられている。またベース８１はその両端側にＸ軸方向に沿って二対の小径の固定穴８１７ａ、８１７ｂと８１７ｃ、８１７ｄを有し、一対の固定穴８１７ａ、８１７ｂは直線Ｌ１上に位置し、もう一対の固定穴８１７ｃ、８１７ｄは、直線Ｌ２上に位置している。図９に示すように、大径の固定穴８１６ａには、第１固定ボルト８１８がねじ込まれるとともに、その凹部に頭部が内装され第２固定ボルト８１９（六角穴付ボルト）が第１フレーム５１にネジ込まれている。図示を省略するが、他の大径の固定穴８１６ｂ、８１６ｃ、８１６ｄにも、図９と同様に２種類のボルトが装着されている。

図１０及び図１１も参照して検出部材８６の構造を説明する。検出部材８６は、ベース８１の長手方向に沿って伸長する（スライダ８２の移動長さに対応する長さを有する）リニアスケール８６１と、その表面に形成された目盛（図示を省略）を読取るためにスライダ８２の下部に固定された読取りヘッド８６２を有する。リニアスケール８６１は、第１固定部材８７とその両側に配置された第２固定部材８８ａ・・・８８ｄにより、ベース８１の下部に装着された支持アーム８６０に固定されている。第１固定部材８７は、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、リニアスケール８６１の下側の端面に当接する基準プレート８７１と、自由端側に所定間隔をおいて２つの湾曲部８７４が形成され、他端側が中央部よりにある２本のボルト８７３により基準プレート８７１の表面に固定されたクランプ８７２を有し、両端部にある２本のボルト８７３により支持アーム８６０（図６参照）に固定されている。第２固定部材８８ａ・・・８８ｄは、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、スペーサ８８１とともに、ボルト８８３により支持アーム８６０（図６参照）の表面に固定されたクランプ８８２を有する。クランプ８８２もクランプ８７２と同様に自由端側に所定間隔をおいて２つの湾曲部８７４が形成されている。クランプ８７２、８８２は、ばね性を有する材料で形成され、その弾性変形を利用してリニアスケール８６１は支持アーム８６０に保持されている。なお、上記の検出部材には種々の検出方式を採用できるが、例えば光学式の場合は、ガラススケールの形成された目盛を光学ヘッドで読取るように構成すればよい。

Ｘ軸リニアモータ１０は、図１３に示すようにベース８１に固定されるコ字形のヨーク部１２とその内面に相対して固着された永久磁石体１３からなる磁石部材１１と、スライダ８２に結合されかつ永久磁石体１３、１３間に配置されるコイル部材１４を有する可動コイル型リニアモータである。永久磁石体１３は、複数のブロック状永久磁石を異極性の磁極が対向しかつ異極性の磁極が交互に並ぶようにＹ軸方向に配列され、対向する永久磁石の間に形成された磁気空隙に正弦波状の磁束密度分布を有する磁束が発生するように構成されている。コイル部材１４は、絶縁体からなるコイル基板とそこに装着された複数の偏平コイル（いずれも不図示）を含む多相コイルであり、各相のコイルに通電された時にＹ軸方向の推力が発生するように結線されている。このリニアモータは、Ｙ軸リニアモータ６と同様の速度パターンで駆動される。

上記の構造によれば、第１フレーム５１の各位置決め穴に対応する位置にピンが挿入（圧入）されるピン穴を設けかつ各固定穴に対応する位置にねじ穴（いずれも図示を省略）を設けてから、例えば次の手順（（１）〜（６）の工程）で第２スライド部材８を第１フレーム５１の表面５１２に組み付けることにより、総ての第２スライド部材８ａ・・・８ｄの定盤２に対する平行度が一致するように設置することが可能となる。この組み付け手順を図６〜１１を参照して説明する。

（１）高い真直度（例えば５μｍ以下）を有するレール８４ａ、８４ｂ及び８４ｃを準備し、レール８４ｃをベース８１に固定してから、レール８４ｃを基準としてレール８４ａ、８４ｂを設置し、レール８４ｃに対するレール８４ａ、８４ｂの平行度を高精度（例えば５μｍ以下）に維持する。

（２）第１フレーム５１の表面５１２の所定位置に第１位置決めピン８１３ａと第２位置決めピン８１３ｂを固設し、そこに支持アーム８６０が固定されたベース８１をセットし、各位置決め穴８１２ａ、８１２ｂに各々、位置決めピン８１２ａ及び８１２ｂを挿通させる。ダイヤルゲージ（図示を省略）を支持アーム８６０の下端面に当接しながら、調整ボルト８１５を調整穴８１４に対して出入させることにより、第１位置決めピン８１３ａを支点としてベース８１の第２位置決めピン側を第１フレーム５１に対して回動させることにより、支持アーム８６０のレール９４ｂに対する平行度を調整する。

（３）所定の平行度が得られた後は、各固定穴８１６ａ・・・８１６ｄに第１固定ボルト８１８をねじ込み、その内部に第２固定ボルト８１８をセットし、第１フレーム５１にねじ込むことにより、ベース８１は対角線上の４箇所で２重のネジ止めにより第１フレーム５１に固定されるので（図９参照）、その全面を第１フレーム５１に対して密着させることができる。次いで各固定穴８１７ａ・・・８１７ｄに固定ボルト（図示を省略）をねじ込んだ後に、ベース８１に磁石部材１１を固定する。

（４）各レール８４ａ、８４ｂ及び８４ｃに各々、スライダ８２のリニア軸受８５ａ、８５ｂ及び８５ｃをはめ込むことにより、コイル部材１４と読取りヘッド８６２が取付けられたスライダ８２をベース８１に組み付ける。

（５）第１固定部材８７と第２固定部材８８ａ・・・８８ｄを支持アーム８６０に取付けた後に、クランプ８７２の湾曲部８７４及びクランプ８８２の湾曲部８８４と支持アーム８６１との間にリニアスケール８６１を差し込みことにより、リニアスケール８６１をベース８１に取り付ける。ここで、スライダ８２をリニアスケール８６１の全長にわたって走行させ、基準プレート８７１のリニアスケール８６１に当接する面（上端面）がスライダ８２の走行方向に対して、所定の精度（例えば０．０１ｍｍ以下）で移動できるように調整後、ボルト８７３にて締め付けすることにより、リニアスケール８６１を高精度で取付けることができる。

（６）第２スライド部材８ａの取り付け完了後、順次残りの第２スライド部材８ｂ、８ｃ、８ｄの取り付けを行い（上記（１）〜（５）の手順を繰り返す）、総ての第２スライド部材８ａ・・・８ｄを第１フレーム５１に固定する。特に上記（２）及び（３）の工程を行うことにより、総ての第２スライド部材８ａ・・・８ｄについて、その全ストロークにわたって高精度の動作を保証できる。

第３スライド部材９ａ・・・９ｅは、Ｘ軸方向の長さが異なる以外は第２スライド部材８ａ・・・８ｄと同一の構造を有する部材であり、図１２及び１３により第３スライド部材９ａ・・・９ｅの構造を説明する。第３スライド部材９ａは、一方の表面が第１フレーム５１の表面５１２（図１、図２参照）に固定されるベース９１と、一端部（図１３では上端部）に側板９３が固着されたスライダ９２と、それを駆動するＸ軸リニアモータ１０を有する。ベース９１の上辺側にはＸ軸方向に沿って複数の位置決め穴９１２ａ、９１２ｂが設けられ、またこれらの位置決め穴９１２ａ、９１２ｂよりも中央よりに、二対の大径の固定穴９１６ａ、９１６ｂと９１６ｃ、９１６ｄが設けられ、さらに位置決め穴９１２ａ、９１２ｂよりも端部よりに二対の小径の固定穴９１７ａ、９１７ｂと９１７ｃ、９１７ｄが設けられている。スライダ９２は、ベース９１の他方の表面に形成された２列の脚部９１１ａ及び９１１ｂに各々、固定されたレール９４ａと９４ｂ及び９４ｃに、リニア軸受９５ａ、９５ｂ、９５ｃを介して支持されている。図１２及び１３に示す検出部材９６も前述した検出部材８６と同様の構造を有するので、その説明を省略する。なお他の第３スライド部材９ｂ・・・９ｅは第３スライド部材９ａと同一の構造を有するのでその説明を省略する。

この構造によれば、第２スライド部材と同様の手順で、総ての第３スライド部材９の定盤２に対する平行度が一致するように設置することが可能となる。

なお、図示を省略するが、第１スライド部材７は、Ｘ軸方向に沿って移動可能に第１フレーム５１に支持されるスライダとそれを駆動する可動コイル型リニアモータとスライダの位置を検出する検出部材（いずれも図示を省略）を備えている。この可動コイル型リニアモータは、Ｘ軸リニアモータ１０と同様に構成され、第１フレーム５１に固定される磁石部材とスライダに結合されるコイル部材（いずれも図示を省略）を有する。

上記のＸＹステージの動作を説明する。まずエアーパッドに所定の圧力を有する圧縮空気を給送することにより、エアーパッド３０ａ、３０ｂ、３０ｃと第２レール３２ａ、３２ｂとの間に微小間隙が形成され、ガントリー５を支持するスライドベース４ａ、４ｂは定盤１上に設置された第２レール３２ａ、３２ｂに対して非接触に保持される。この状態で、Ｙ軸リニアモータ６ａ、６ｂの多相コイルに通電すると、前記多相コイルはＹ軸方向に駆動されるので、前記多相コイル及びガントリー５はＹ軸方向に移動することができる。次いでガントリー５を所定位置で静止させ、基板１００に対向させた後、第１スライド部材７を駆動して所定の処理走査（例えばそこに搭載された撮像手段で基板１００に形成されたアラインメントマークを読み取り、その読み取り情報に基づいて、基板１００に対してガントリー５を正確に位置決めする）を行う。

次いで、各第２スライド部材８ａ〜８ｄを駆動して、各処理ヘッド（不図示）をＸ軸方向に走査することにより、基板１００の全面に対して所定の処理工程（欠陥の検査又はリペア）を実施することができる。

同様に、第３スライド部材９ａ〜９ｅを駆動して、各処理ヘッド（不図示）をＸ軸方向に走査することにより、基板１００の全面に対して所定の処理工程（欠陥の検査又はリペア）を実施することができる。そして所定の処理操作が終了した後、ガントリー５を図１のブロック２１ｃに臨む領域（退避領域）に移動させてから、所定の動作（例えば処理ヘッドの清掃）を行うことができる。

本発明は、上記の構成に限定されず、種々の変更が可能であり、例えばリニアモータとして、可動磁石型のものを使用することができる。

本発明の実施の形態に係わるＸＹステージの平面図である。図１をＡ方向から見た矢視図である。図１をＢ方向から見た矢視図である。図１をＣ方向から見た矢視図である。（ａ）は図４のＤ部を拡大した図、（ｂ）は図４のＥ部を拡大した図である。第２スライド部材の正面図である。第２スライド部材の側面図である。（ａ）は第１固定部材の正面図、（ｂ）は第１固定部材の側面図である。（ａ）は第２固定部材の正面図、（ｂ）は第２固定部材の側面図である。図６のＦ−Ｆ線断面図である。図６のＧ−Ｇ線断面図である。第３スライド部材の正面図である。第３スライド部材の側面図である。

符号の説明

１：ＸＹステージ、１００：ガラス基板、
２：定盤、２０ａ、２０ｂ：側面、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ：ブロック、
３ａ、３ｂ：ガイドレール、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ：エアーパッド、３１ａ、３１ｂ：第１レール、３１１ａ、３１１ｂ：側面、３２ａ、３２ｂ：第２レール、
４ａ、４ｂ：スライドベース、
５：ガントリー、５１：第１フレーム、５１１：表面、５２：第２フレーム、５３ａ、５３ｂ：スペーサ、
６ａ、６ｂ：Ｙ軸リニアモータ、６１：磁石部材、６１１：ヨーク部、６１２：永久磁石体、６２：コイル部材、
７：第１スライド部材、
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ：第２スライド部材、８１：ベース、８１１ａ、８１１ｂ：脚部、
８１２ａ：第１位置決め穴、８１２ｂ：第２位置決め穴、８１３ａ、８１３ｂ：位置決めピン、８１４：調整穴、８１５：調整ボルト、８１６ａ、８１６ｂ、８１６ｃ、８１６ｄ、８１７ａ、８１７ｂ、８１７ｃ、８１７ｄ：固定穴、８１８：第１固定ボルト、８１９：第２固定ボルト、８２：スライダ、８３：側板、８４ａ、８４ｂ、８４ｃ：レール、８５ａ、８５ｂ、８５ｃ：リニア軸受、８６：検出部材、８６０：支持アーム、８６１：リニアスケール、８６２：読取りヘッド、
８７：第１固定部材、８７１：基準プレート、８７２：クランプ、８７３：ボルト、８７４：彎曲部、
８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄ：第２固定部材、８８１：スペーサ、８８２：クランプ、８８３：ボルト、８８４：彎曲部、
９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ：第３スライド部材、９１：ベース、９１１ａ、９１１ｂ：脚部、９１２ａ、９１２ｂ：位置決め穴、９１６ａ、９１６ｂ、９１６ｃ、９１６ｄ、９１７ａ、９１７ｂ、９１７ｃ、９１７ｄ：固定穴、９２：スライダ、９３：側板、９４ａ、９４ｂ、９４ｃ：レール、９５ａ、９５ｂ、９５ｃ：リニア軸受、９６：検出部材、９６０：支持アーム、９６１：リニアスケール、９６２：読取りヘッド、
９７：第１固定部材、９８ａ、９８ｂ、９８ｃ、９８ｄ：第２固定部材、
１０：Ｘ軸リニアモータ、１１：磁石部材、１２：ヨーク部、１３：永久磁石体、１４：コイル部材。

Claims

上面に案内面を有し、石材で形成された複数のブロックからなり、Ｙ軸方向において分割された定盤と、
前記案内面に設置され、Ｙ軸方向に伸長する第１レールと平面から見てそれと重なる部分を有する第２レールからなるガイド部材と、
前記第２レールに沿ってそれと非接触で走行するスライドベースに支持されたガントリーと、
前記スライドベースを駆動するＹ軸用駆動手段と、
前記ガントリーに搭載され、Ｘ軸方向に並ぶ複数のスライド部材と、を備え、
前記スライド部材は、Ｘ軸方向に伸長するレール部を有し、前記ガントリーに固定されるベースと、前記レール部に沿って走行するスライダと、前記スライダを駆動するＸ軸用駆動手段と、前記ベースに所定間隔をおいて前記レール部と平行に設けられた一対の位置決め穴と、各位置決め穴を挿通して前記ガントリーに固定される位置決めピンと、一方の位置決めピンを支点として前記ベースを回動させる調整部材を含む位置決め手段を有することを特徴とするＸＹステージ。
前記スライドベースは前記第２レールを包持するように形成されるとともに、前記スライドベースの前記第２レールと対向する面にエアーパッドが装着されていることを特徴とする請求項１に記載のＸＹステージ。
前記調整部材は、前記位置決めピンの挿入方向に対して直交する方向から前記ベースにねじ込まれて他方の位置決めピンに当接する調整ボルトからなることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸＹステージ。
前記ベースはそこにねじ込まれる複数の第１固定ボルトと各第１固定ボルトに内装されて前記ガントリーにねじ込まれる第２固定ボルトにより、前記ガントリーに固定されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＸＹステージ。
前記Ｙ軸用駆動手段は、前記第２レールに固着された、前記Ｙ軸方向に沿って正弦波状の磁界分布が現出する磁気空隙を有する磁石ユニットと、前記ガントリーに連結され、前記磁気空隙内に配置される多相コイルを含むコイルユニットを有するリニアモータからなることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＸＹステージ。
前記Ｘ軸用駆動手段は、前記ベースに固着された、前記Ｘ軸方向に沿って正弦波状の磁界分布が現出する磁気空隙を有する磁石ユニットと、前記スライダに連結され、前記磁気空隙内に配置される多相コイルを含むコイルユニットを有するリニアモータからなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のＸＹステージ。