KR101078011B1

KR101078011B1 - 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치

Info

Publication number: KR101078011B1
Application number: KR1020090036173A
Authority: KR
Inventors: 김용일; 조성훈
Original assignee: 주식회사 져스텍
Priority date: 2009-04-24
Filing date: 2009-04-24
Publication date: 2011-10-31
Also published as: KR20100117421A

Abstract

본 발명은, 이송 장치의 베이스 상부에 배치되는 이송 유니트로서, 이송 유니트 빔; 상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 이송 유니트 이동 블록; 상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고, 상기 이송 유니트 이동 블록은 복수 개가 배치되고, 상기 이송 유니트 이동 블록의 이송 방향에 수직한 평면 상에 복수 개의 이송 유니트 이동 블록 간의 교차 가능 영역이 구비되는 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치를 제공한다.

Description

이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치{MOVING UNIT AND STAGE MOVING APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 조밀한 공정을 가능하게 하고 공구의 안정적인 이송을 가능하게 하는 구조의 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치에 관한 것이다.

정보 기술화 사회의 도래로 다양한 전기 전자 장치들이 연구 및 개발되고 있다. 이와 같은 전기 전자 장치들, 특히 실생활에 깊숙하게 자리잡고 있는 LCD 패널, PDP 패널, OLED 패널 등과 같은 평판 디스플레이 패널뿐만 아니라, 태양열 패턴 패널 또는 반도체 장치들은 다양한 제조 공정을 통하여 제조되는데, 평판 디스플레이 패널 및 반도체 장치들의 형상적 특성상 일련의 제조 과정 중 상당수는 스테이지 장치에서 수행된다. 예를 들어, 평판 디스플레이 패널의 잉크젯 프린팅, 인라인 검사 과정, 레이저 리페어/트리머 등의 국소 처리 과정, 내지 반도체 소자(devices)의 결함 검사 등과 같은 일련의 검사 작업은 스테이지로 명기되는 정반 상에서 이루어진다.

이러한 일련의 검사를 위하여, 스테이지 이송 장치는 검사 내지 가공 장치가 위치 고정되고 평판 디스플레이 패널 내지 반도체 소자 등과 같은 대상체가 배치되 는 정반을 이송시키거나 또는 반대로 정반은 고정 상태를 유지하고 검사 장치가 정반 상에서 이동하는 구조를 취할 수도 있는데, 후자의 구조는 갠트리 스테이지 타입이라고 명명된다. 즉, 갠트리 스테이지 타입의 스테이지 이송 장치에는 정반 상에 일축으로 배치되는 제 1 이송부가 구비되고, 제 1 이송부의 축 방향과 수직되는 방향으로 배치되되 제 1 이송부에 의하여 정반 상에서 이송되는 제 2 이송부가 구비된다. 이러한 서로 직교하는 이송 축 구조의 이송부를 구비함으로써 정반 상의 2차원적 평면으로의 이송을 모두 담당할 수 있고, 정반 상에 배치되는 평판 디스플레이 등의 작업 대상체를 검사 내지 수정 등의 작업을 수행하는 작업 유니트 등이 제 2 이송부의 길이 방향을 따라 이송 가능하도록 배치되는 구조를 취한다.

여기서 작업 유니트가 배치 및 이송되는 제 2 이송부에는 제 2 이송부의 축방향으로 지지되는 크로스 빔이 배치된다. 작업 대상체로서의 평판 디스플레이 등은 고정세, 고휘도, 대면적화 등과 같은 기술적 요구 사항이 지속적으로 요구되고 있는데, 특히 평판 디스플레이 등의 작업 대상체의 대면적화로 인하여 작업 대상체가 배치되어 작업 과정이 수행되는 제조 장치들에 대한 기술적 변화도 함께 요구되고 있다. 즉, 평판 디스플레이 등의 대상체가 대면적화됨으로써 대상체에 상응하여 크로스 빔의 길이도 상당히 증대될 뿐만 아니라, 이와 동시에 평판 디스플레이 등의 대상체에 대한 작업 속도를 증대시켜 생산량을 증대시킬 수 있도록 작업 속도도 상당히 증대되었다. 즉, 크로스 빔의 신속한 이송을 위하여 제 1 및 제 2 이송부 등을 구동시키는 구성요소의 기능도 향상되었다.

뿐만 아니라, 공정 효율을 증대시키기 위하여 그리고 기술 발전에 따른 소형 화에 의하여 원장 기판을 조밀한 영역으로 분할 내지 검사하는 기술에 대한 요구가 활발하게 이루어지고 있다. 예를 들어 휴대폰 내지 PMP, MID(mobile internet device) 등에 구현되는 소형화된 lcd 디스플레이 등의 글라스 기판을 생산함에 생산 효율을 증대시키기 위하여 대형 원기판을 소형화된 기판으로 스크라이빙 커팅 가공 등이 이루어진다. 이때, 글라스 기판의 사이즈가 점점 소형화됨에 따라 이를 위한 공정 장비도 컴팩트화되고 있다.

하지만, 종래 기술에 따른 공정 장치에 구비되는 가공 공구를 이송하기 위한 이송 장치는 사이즈 소형화에 한계가 있었다. 특히, 종래 기술은, 안정적이고 정확한 위치 이동 동작을 위하여 리니어 모터가 사용되는데, 리니어 모션 블록의 소형화에는 한계가 있어 동일한 리니어 모션 레일 상에서 복수 개의 리니어 모션 블록으로 단일의 이동자를 지지하기 어렵다. 또한, 각각의 이동자에 대하여 단일의 리니어 모션 블록으로 지지하나 복수 개의 평행한 리니어 모션 레일 배치 구조를 통하여 복수의 지지 구조를 이루는 경우에도 이동자의 요잉 운동이 발생하여 정확한 위치 확보가 어렵다는 문제점이 수반되었다.

본 발명은 공구가 장착되는 이송 유니트 이동 블록(이동자)의 사이즈를 최소화시킴과 동시에 안정적인 운동을 이룰 수 있는 구조의 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 이송 장치의 베이스 상부에 배치되는 이송 유니트로서, 이송 유니트 빔; 상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 이송 유니트 이동 블록; 상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고, 상기 이송 유니트 이동 블록은 복수 개가 배치되고, 상기 이송 유니트 이동 블록의 이송 방향에 수직한 평면 상에 복수 개의 이송 유니트 이동 블록 간의 교차 가능 영역이 구비되는 이송 유니트를 제공한다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 가동부는: 상기 이송 유니트 빔의 일면 상에 배치되는 복수 개의 이송 유니트 가동 레일과, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 가동 가능하게 배치되고 상기 이송 유니트 이동 블록과 연결되는 이송 유니트 가동 블록을 구비하되, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 개수는 상기 이송 유니트 이동 블록의 개수와 이상일 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고, 상기 이송 유니트 이동 블록에 연결되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 위치는, 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직하게 형성되는 복수 개의 위치 평면을 구비하는 복수 개의 가동 블록 군을 형성하되, 상기 이동 블록 툴 장착부는, 상기 이송 유니트 가동 블록의 복수 개의 가동 블록 군 중 서로 간의 간격이 가장 먼 두 개의 가동 블록 군의 상기 이송 유니트 가동 레일 상의 위치 사이에 배치될 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고, 상기 이송 유니트 이동 블록은 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록의 단부를 수용할 수 있는 이동 블록 수용부가 구비될 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록 이송시 형성하는 평면 상에서, 상기 이동 블록 수용부는 상기 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부와 교차되는 교차 수용 영역을 형성하고, 상기 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직한 단부 중 어느 한 단부의 길이는, 상기 교차 수용 영역의 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직한 단부의 길이와 동일할 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록은 V자 형상을 구비하고, 상기 이송 유니트 가동 블록은 상기 이송 유니트 이동 블록을 3점 지지할 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록은 N자 형상을 구비하고, 상기 이송 유니트 가동 블록은 상기 이송 유니트 이동 블록을 4점 지지할 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록은 W자 형상을 구비하고, 상기 이송 유니트 가동 블록은 상기 이송 유니트 이동 블록을 5점 지지할 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록은: 상기 이송 유니트 가동 블록에 의하여 가동 가능하게 지지되는 이동 블록 바디와, 상기 이동 블록 바디의 일면 상으로 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고, 상기 이동 블록 툴 장착부는 상기 이송 유니트 가동 레일의 길이 방향에 수직한 평면 상에서 볼 때, 상기 이동 블록 바디의 일면으로부터 돌출 형성되도록 장착부 높이 단차를 구비할 수도 있다.

상기 이송 유니트에 있어서, 상기 이송 유니트 이동 블록의 위치를 감지하는 이송 유니트 감지부가 더 구비되되, 상기 이송 유니트 감지부는: 상기 이송 유니트 빔의 일측에 배치되는 유니트 이동 블록 감지 스케일와, 상기 이송 유니트 이동 블록의 일측으로 상기 유니트 이동 블록 감지 스케일와 대응되는 위치에 배치되는 유니트 이동 블록 감지 센서를 구비할 수도 있다.

본 발명의 다른 일면에 따르면, 이송 유니트 빔; 상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 복수 개의 이송 유니트 이동 블록; 상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고, 상기 이송 유니트 가동부는: 상기 이송 유니트 빔의 일면 상에 배치되는 복수 개의 이송 유니트 가동 레일과, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 가동 가능하게 배치되고 상기 이송 유니트 이동 블록과 연결되는 이송 유니트 가동 블록을 구비하되, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 개수는 상기 이송 유니트 이동 블록의 개수와 동일하고, 상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고, 상기 이송 유니트 이동 블록에 연결되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 위치는, 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직하게 형성되는 복수 개의 위치 평면을 구비 하는 복수 개의 가동 블록 군을 형성하되, 상기 이동 블록 툴 장착부는, 상기 이송 유니트 가동 블록의 복수 개의 가동 블록 군 중 서로 간의 간격이 가장 먼 두 개의 가동 블록 군의 상기 이송 유니트 가동 레일 상의 위치 사이에 배치되는 이송 유니트를 제공한다.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 본 발명은 베이스 지지대에 의하여 지지되는 베이스를 구비하는 베이스부와, 상기 베이스부의 상부에 배치되는 이송 유니트 빔; 상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 이송 유니트 이동 블록; 상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고, 상기 이송 유니트 이동 블록은 복수 개가 배치되고, 상기 이송 유니트 이동 블록의 이송 방향에 수직한 평면 상에 복수 개의 이송 유니트 이동 블록의 교차 가능 영역이 구비되는 이송 유니트를 구비하는 이송 장치를 제공한다.

본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 베이스 지지대에 의하여 지지되는 베이스를 구비하는 베이스부와, 상기 베이스부의 상부에 배치되는 이송 유니트 빔; 상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 복수 개의 이송 유니트 이동 블록; 상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고, 상기 이송 유니트 가동부는: 상기 이송 유니트 빔의 일면 상에 배치되는 복수 개의 이송 유니트 가동 레일과, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 가동 가능하게 배치되고 상기 이송 유니트 이동 블록과 연결되는 이송 유니트 가동 블록을 구비하되, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 개수는 상기 이송 유니트 이동 블록의 개수와 동일하고, 상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고, 상기 이송 유니트 이동 블록에 연결되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 위치는, 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직하게 형성되는 복수 개의 위치 평면을 구비하는 복수 개의 가동 블록 군을 형성하되, 상기 이동 블록 툴 장착부는, 상기 이송 유니트 가동 블록의 복수 개의 가동 블록 군 중 서로 간의 간격이 가장 먼 두 개의 가동 블록 군의 상기 이송 유니트 가동 레일 상의 위치 사이에 배치되는 이송 유니트를 구비하는 이송 장치를 제공한다.

상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 이송 유니트 및 이에 구비되는 이송 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다.

첫째, 본 발명에 따른 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치는, 이송 유니트 이동 블록이 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록과의 교차 영역을 형성하여 이송 유니트 이동 블록에 장착되는 공구의 장착 영역 최소화에 대한 요구를 충족시키고 이송 유니트 이동 블록의 안정적인 이송을 가능하게 할 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치는, 이송 유니트 이동 블록에 이동 블록 수용부가 구비되어 인접한 이송 유니트 이동 블록과의 안정적인 접촉 상태를 구현할 수 있다.

셋째, 본 발명에 따른 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치는, 교차 수용 영역의 이송 유니트 가동 레일에 수직한 어느 단부의 길이와 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 이송 유니트 가동 레일에 수직한 어느 단부의 길이를 동일하게 형성하여 복수 개의 이송 유니트 이동 블록에 형성된 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부 간의 밀접하게 접촉되는 상태에서의 일렬 배치를 가능하게 함으로써, 안정적인 지지를 이루되 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 최소화, 궁극적으로 가공 위치의 최소화에 대한 요구 사항을 충족시킬 수도 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

이하에서는 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치에 대하여, 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

도 1에는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300) 및 이를 구비하는 이송 장치(10)에 대한 개략적인 사시도가 도시되고, 도 2에는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300)의 부분 사시도가 도시되고, 도 3에는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300)의 개략적인 단면도가 도시되고, 도 4에는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300)의 이송 유니트 이동 블록(320)에 대한 개략적인 사시도가 도시되고, 도 5에는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300)의 이송 유니트 이동 블록(320)에 대한 개략적인 평면도가 도시되고, 도 6에는 도 5의 이송 유니트 이동 블록(320)을 지지하는 이송 유니트 가동부(330)에 대한 개략적인 상태도가 도시되고, 도 7에는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300)의 다른 형태의 이송 유니트 이동 블록(320')에 대한 개략적인 평면도가 도시되고, 도 8에는 도 7의 이송 유니트 이동 블록(320')을 지지하는 이송 유니트 가동부에 대한 개략적인 상태도가 도시되고, 도 9에는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300)의 또 다른 형태의 이송 유니트 이동 블록(320")에 대한 개략적인 평면도가 도시되고, 도 10에는 도 9의 이송 유니트 이동 블록(320")을 지지하는 이송 유니트 가동부에 대한 개략적인 상태도가 도시된다.

본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트(300)는 이송 장치(10)에 배치되는데, 이송 장치(10)는 베이스부(100)와 이송 유니트(300)를 구비하고, 경우에 따라 이송 가이드부(200)를 더 구비할 수 있다. 이송 유니트 빔(310)은 이송 유니트(300)에 포함되고, 이송 가이드부(200)는 베이스부(100)에 배치되고 이송 유니트부(300)를 이송 가능하게 하는 구조를 취한다.

베이스부(100)는 베이스(110)와 베이스 지지대(120)를 구비하는데, 베이스(110)는 베이스 지지대(120)에 의하여 지면에 대하여 지지되도록 배치된다. 베이스(110)는 정반 타입으로 형성될 수 있는데, 정반 타입으로 구성되는 베이스(110)는 소정의 표면 평탄도를 유지하고 열, 진동 등 외란에 의한 영향을 최소화하기 위하여 석정반 등으로 구성될 수도 있다. 베이스 지지대(120)는 복수 개의 브릿지로 구성되어 베이스(110)를 지지하도록 배치되는데, 복수 개의 베이스 지지대(120)는 베이스 프레임(130)에 의하여 서로 연결되어 지지되는 구조를 취할 수도 있다. 베이스 지지대(120)의 일단으로 지면과 접촉을 이루는 단부에는 베이스 지지대 플레이트(121)가 더 구비되는 구조를 취할 수도 있는데, 베이스 지지대 플레이트(121)는 소정의 탄성 재료를 하면에 구비하여 장치의 배치로 인한 지면 손상 내지 진동의 차단 등의 기능을 더 수행할 수도 있다.

베이스(110)와 베이스 지지대(120)의 사이에는 경우에 따라 베이스 제진부(140)가 구비될 수 있는데, 지면으로부터 베이스 지지대(120)를 타고 오는 진동과 같은 외란이 베이스(110)의 일면 상에 배치되는 반도체 내지 기판 패널(미도시) 등과 같은 대상체 내지 베이스(110)의 상부에 배치될 검사 디바이스(500)에 전달되는 것을 방지할 수 있다. 베이스 제진부(140)는 공기 스프링, 고무와 같은 탄성 스프링 등으로 형성될 수도 있는 등 설계 사양에 따라 다양한 변형이 가능하다.

이송 가이드부(200)는 이송 가이드 고정부(210)와, 이송 가이드 가동부(220)와, 이송 가이드 구동부(미도시)를 포함하는데, 이송 가이드 구동부(미도시)에 의하여 생성되는 구동력에 의하여 이송 가이드 가동부(220)가 이송 가이드 고정부(210) 상에서 이송 가이드 고정부(210)의 길이 방향을 따라 가동될 수 있다.

이송 가이드 고정부(210)는 한 쌍이 구비되는데, 이들은 각각 베이스(110)의 일면 상에 각각의 길이 방향이 서로 평행하도록 배치될 수 있다. 이송 가이드 고정부(210)는 이송 가이드 고정 지지대(211)와 이송 가이드 리니어 레일(213)을 포함한다. 이송 가이드 고정 지지대(211)는 베이스(110)의 일면 상에 배치되는데, 이송 가이드 고정 지지대(211)는 X축 방향으로 장방향 길이를 갖는다. 한 쌍의 이송 가이드 고정 지지대(211)는 Y축 방향으로 이격되어 서로 평행하도록 장방향 길 이가 X축을 향하도록 배치된다. 이송 가이드 고정 지지대(211)의 일면 상에는 이송 가이드 리니어 레일(213)이 배치된다. 여기서, 이송 가이드 리니어 레일(213)은 각각의 이송 가이드 고정 지지대(211)의 일면 상에 한 쌍씩 배치되는 것으로 도시되는데, 이는 일예일뿐 이송 가이드 리니어 레일(213)의 배치 위치는 설계 사양에 따라 다양한 위치를 점유할 수 있다. 이송 가이드 고정 지지대(211)의 측면에는 하기되는 이송 가이드 구동부(미도시)가 배치된다.

이송 가이드 가동부(220)는 이송 가이드 고정 지지대(210)의 상부에 가동 가능하게 배치된다. 이송 가이드 가동부(220)는 이송 가이드 가동 블록(221)과 이송 가이드 리니어 모션 블록(미도시)을 포함하는데, 이송 가이드 리니어 모션 블록(미도시)은 이송 가이드 가동 블록(221)의 일면으로 이송 가이드 고정 지지대(211)를 향한 일면 상에 고정 장착된다. 이송 가이드 리니어 모션 블록(미도시)은 이송 가이드 고정 지지대(211)의 일면 상에 배치된 이송 가이드 리니어 레일(213)과 상대 운동 가능하게 맞물림으로써 이송 가이드 리니어 모션 블록(미도시)이 이송 가이드 리니어 레일(213)을 따라 이송 가능하도록 배치된다. 이송 가이드 리니어 모션 블록(미도시)이 이송 가이드 리니어 레일(213)을 따라 이동하는 경우, 이송 가이드 리니어 모션 블록(미도시)에 장착된 이송 가이드 가동 블록(221)도 이송 가이드 리니어 레일(213)을 따라 이동할 수 있다. 본 실시예에서 이송 가이드 리니어 모션 블록(미도시)은 이송 가이드 리니어 레일(213)에 대응하여 두 개가 배치되는 구조를 취하나, 설계 사양에 따라 이송 가이드 리니어 레일의 위치 및 개수에 대응하여 더 구비되는 구조를 취할 수도 있는 등 다양한 구성이 가능하다.

이송 가이드 구동부(미도시)는 이송 가이드 가동부(220)를 이송 가이드 고정부(210)에 대하여 상대 운동 가능하게 하는 구동력을 제공하는데, 이송 가이드 구동부(미도시)는 이송 가이드 구동 요크와 이송 가이드 구동 요크에 배치되는 이송 가이드 구동 마그넷과, 이송 가이드 가동 블록에 연결되는 이송 가이드 구동 코일부를 포함하는데, 이의 구체적 구성은 통상적인 리니어 모터의 구동부와 동일한 바 이에 대한 설명은 생략한다. 또한, 이송 가이드부(200)는 이송 가이드 가동부, 보다 구체적으로 이송 가이드 가동 블록의 위치 및 이동을 감지하기 위한 이송 가이드 위치 감지부를 더 구비할 수도 있는데, 이송 가이드 위치 감지부는 위치 감지 센서와 위치 감지 스케일을 구비할 수 있다. 위치 감지 센서는 이송 가이드 블록(221)으로부터 연장 형성되는 이송 가이드 블록 연장부(225)의 내측 하단에 배치되고 위치 감지 스케일은 이송 가이드 고정 지지대(211)의 측면으로 위치 감지 센서의 위치에 대응하여 배치된다. 따라서, 이송 가이드 블록(221)이 이동하는 경우 이송 가이드 블록(221)에 배치된 위치 감지 센서는 위치 감지 스케일과의 상대 위치 변화를 감지하고 이를 제어부(미도시) 등으로 전달함으로써 이송 가이드 블록(221)의 위치 및 이동 속도 및 가속도 등을 측정 및 연산 도출 가능하도록 한다.

이송 유니트(300)는 본 발명에서 이송 가이드부(200)에 의하여 가동 가능하게 베이스부(100)의 상부에 배치되는데, 이송 유니트(300)는 이송 유니트 빔(310), 이송 유니트 이동 블록(320), 이송 유니트 가동부(320)를 구비하고, 이송 유니트 이동 블록(320)의 위치 가변을 위한 구동력을 제공하는 이송 유니트 구동부(340)를 구비할 수 있다. 이송 유니트 이동 블록(320)의 이송 유니트 빔(310)의 길이 방향 을 따라 이동 가능하게 이송 유니트 가동부(320)에 의하여 지지되며 이송 유니트 구동부(320)로부터의 동력을 전달받아 위치 변동을 이룬다.

이송 유니트 빔(310)은 이송 가이드 가동 블록(221) 상에 배치되는데, 이송 가이드 가동 블록(221)에는 유니트 빔 안착부(미도시)가 구비된다. 유니트 빔 안착부(미도시)의 외주면은 이송 유니트 빔(310)의 하단부의 형상에 대응되도록 구성되는데, 이송 유니트 빔(310)은 유니트 빔 안착부에 안착 및 위치 고정되어 이송 가이드 가동 블록(221)과 함께 베이스(110), 보다 구체적으로 이송 가이드 고정부(210) 상에서 X축 방향으로 가동될 수 있다. 이송 유니트 빔(310)은 서로 Y축 방향으로 이격되어 배치되는 이송 가이드 가동 블록(211) 상에 장착됨으로써 이송 유니트 빔(310)의 길이 방향은 Y축을 향한다. 여기서, 좌표축 선정은 설명을 용이하게 하기 위한 것으로 본 발명의 이송 유니트 및 이송 장치가 이에 국한되는 것은아니다. 또한, 이송 유니트는 이송 가이드부없이 베이스 상부에 위치 고정되어 배치되는 구조를 취할 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다. 본 발명에 따른 이송 유니트 빔(310)에는 복수 개의 이송 유니트 이동 블록(320)이 이송 유니트 빔(310)의 길이 방향을 따라 가동 가능하게 배치된다.

이송 유니트 가동부(330)는 이송 유니트 이동 블록(320)을 이송 유니트 빔(310) 상에서 가동 가능하게 지지한다. 본 발명의 일예에 따른 이송 유니트 가동부(330)는 이송 유니트 가동 블록(331)과 이송 유니트 가동 레일(333)을 포함하는데, 이송 유니트 가동 레일(333)은 이송 유니트 빔(310)의 일면 상에 복수 개가 배치된다. 즉, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 이송 유니트 가동 레일(333;333- 1,333-2,333-3)은 복수 개가 서로 평행하게 이송 유니트 빔(310)의 일측,일면 상에 배치된다. 이송 유니트 가동 블록(331)은 이송 유니트 가동 레일(333) 상, 보다 구체적으로 복수 개의 이송 유니트 가동 레일(333;333-1,333-2,333-3) 각각에 맞물리어 가동 가능하게 배치된다. 각각의 이송 유니트 가동 레일(333)에는 복수 개의 이송 유니트 가동 블록(331)이 배치되는데, 각각의 이송 유니트 가동 레일(333) 상에 배치되는 이송 유니트 가동 블록(331)의 개수는 이송 유니트 빔(310)에 배치되는 이송 유니트 이동 블록(320)의 개수와 동일 내지 이상일 수 있다. 이와 같은 구성을 통하여 이송 유니트 이동 블록은 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 이송 유니트 가동 블록에 의하여 궁극적으로 복수 개의 이송 유니트 가동 블록에 의하여 가동 가능하게 지지될 수 있다.

이송 유니트 구동부(340)는 이송 유니트 빔(310)과 이송 유니트 이동 블록(320)에 배치되어 이송 유니트 이동 블록(320)의 이송 유니트 빔(310) 상에서의 이동을 가능하게 한다. 이송 유니트 구동부(340)는 이송 유니트 구동 요크(3410)와 이송 유니트 구동 코일부(3420)를 구비하는데, 이송 유니트 구동 요크(3410)는 복수 개의 이송 유니트 구동 요크 윙(3411)을 구비하고 이송 유니트 구동 요크 윙(3411)은 서로 이격되어 배치되는 구조를 취하며 이송 유니트 구동 요크 윙(3411)에는 이송 유니트 구동 마그네트(3413)가 배치된다.

이송 유니트 구동 코일부(3420)는 이송 유니트 구동 코일 지지대(3421)와 이송 유니트 구동 코일(3423)를 구비하는데, 이송 유니트 구동 코일 지지대(3421)는 이송 유니트 이동 블록(320)의 일면으로부터 연장되어 이송 유니트 빔(310)을 향하 고, 이송 유니트 구동 코일 지지대(3421)에는 이송 유니트 구동 코일(3423)이 배치된다. 이송 유니트 구동 코일(3423)은 이송 유니트 구동 요크 윙(3411) 사이에 이동 가능하게 배치되는데, 제어부(미도시)의 제어 신호에 따가 인가되는 전기적 신호의 변화에 의하여 이송 유니트 구동 코일(3423)과 이송 유니트 구동 마그네트(3413)의 상호 작용에 의하여 구동력이 발생하고 이에 의하여 이송 유니트 가동 블록(331)과 이송 유니트 가동 레일(333)의 맞물림 안내 이동에 의하여 이송 유니트 이동 블록(320)은 이송 유니트 빔(310) 상에서 이동 운동할 수 있다.

이송 유니트 이동 블록(320)의 일측에는 연장부가 형성되고 이송 유니트 이동 블록(320)의 연장부와 이송 유니트 빔(310)의 대응되는 측면에는 이송 유니트 이동 블록(350)의 이동을 감지하기 위한 유니트 위치 감지부(350)가 구비된다. 유니트 위치 감지부(350)는 이송 유니트 이동 블록(320)의 연장부 내측면에 배치되는 유니트 이동 블록 감지 센서(353)와, 유니트 이동 블록 감지 센서(353)에 대응하는 위치로 이송 유니트 빔(310)에 배치되는 유니트 이동 블록 감지 스케일(351)이 배치되는데, 이송 유니트 이동 블록(320)이 가동되는 경우 유니트 이동 블록 감지 센서(353)는 유니트 이동 블록 감지 스케일(351)과의 상호 작용에 의하여 발생되는 전기적 신호의 변화를 제어부(미도시)로 전달하고 제어부는 변화된 전기적 신호로부터 이송 유니트 이동 블록(320)의 이송 유니트 빔의 길이 방향을 따른 위치, 속도 및 가속도 등을 감지 및/또는 연산 도출할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 이송 유니트(300)의 이송 유니트 이동 블록(320)은 복수 개가 구비되는데, 복수 개의 이송 유니트 이동 블록의 안정적인 지지를 이루며 신속한 이동을 가능하게 하는 컴팩트 구조를 취할 수 있다. 이송 유니트 이동 블록(320)은 이송 유니트 이동 블록 바디(321)와 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)를 구비한다. 이송 유니트 이동 블록 바디(321)의 일면에는 이송 유니트 가동부(330)와의 연결을 위한 구성요소가 구비된다. 이송 유니트 이동 블록 바디(321)의 일면에는 가동 블록 장착부(323)가 배치되는데, 이송 유니트 가동부(330)의 이송 유니트 가동 블록(331)의 일단은 이송 유니트 이동 블록 바디(321)의 일면에 형성된 가동 블록 장착부(323)에 배치된다. 이송 유니트 이동 블록 바디(321)에 형성된 가동 블록 장착부(323;323-1,323-2,323-3)는 복수 개를 구비하는데, 이송 유니트 이동 블록 바디(321)와 연결되는 이송 유니트 가동 블록(331)의 개수만큼 형성된다. 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)는 이송 유니트 이동 블록 바디(321)의 일면 상에 형성되는데, 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)에는 도 4에 도시된 바와 같이 베이스(110)에 배치되는 가공 대상물을 가공하기 위한 공구(3)가 장착될 수 있다. 가공 대상물의 사이즈 최소화 경향에 따라 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)의 간격도 작아진다. 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)는 이송 유니트 이동 블록과 일체로 구비되는 형태를 이루는데, 이는 본 발명을 설명하기 위한 일예로서 이송 유니트 이동 블록 바디와 분리 가능한 구조를 취할 수도 있는 등 설계 사양에 따라 다양한 구성이 가능하다.

본 발명에 따른 이송 유니트 이동 블록 간에는 교차 가능 영역이 구비된다. 즉, 복수 개의 이송 유니트 이동 블록(320)은 이송 유니트 이동 블록(320)의 이송 방향에 수직한 평면 상에 복수 개의 이송 유니트 이동 블록(320) 간의 교차 가능 영역(Ao, 도 5 참조)이 구비된다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 한 개의 이송 유니트 이동 블록(320)의 외측에 인접하여 다른 이송 유니트 이동 블록(점선 표시)이 배치될 수 있는데, 복수 개의 이송 유니트 이동 블록이 인접 배치되는 경우 이송 유니트 이동 블록(320)의 이송 방향에 수직한 평면, 0이송 유니트 가동 레일(333)에 수직한 평면 상에서 볼 때 이송 유니트 가동 레일(333), 보다 구체적으로 복수 개의 이송 유니트 가동 레일 중 중앙에 배치되는 이송 유니트 가동 레일(333-1) 상의 도면 부호 P1으로 지시되는 지점(P1)부터 도면 부호 P2로 지시되는 지점(P2)까지 실선으로 지시되는 이송 유니트 이동 블록과 점섬으로 표시된 이송 유니트 이동 블록이 동시에 단면을 형성하는 영역(Ao)이 존재한다. 이와 같은 복수 개의 이송 유니트 이동 블록은 단순한 직사각형의 단순 플레이트 타입이 아니고 복합적 형상을 구비하여 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록과의 교차 가능 영역을 형성함으로써, 이송 유니트 이동 블록에 구비되는 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)의 공간을 최소화시키고 이송 유니트 이동 블록의 안정적인 이동을 가능하게 할 수 있다.

이송 유니트 이동 블록(320)에 연결되어 이를 지지하는 이송 유니트 가동 블록(331)은 복수 개가 구비되는데, 이송 유니트 가동 블록(331)이 이송 유니트 이동 블록(320)에 연결되는 위치는 복수 개의 가동 블록 군을 이룬다. 이송 유니트 이동 블록(320)에 연결되는 이송 유니트 가동 블록(331)의 위치는 이송 유니트 가동 레일(333)에 수직한 복수 개의 위치 평면(S1, S2; 도 5 및 도 6 참조)을 구비하는 복수 개의 가동 블록 군(T1(Bw1), T2(Bw2,Bw3))을 형성한다. 여기서, 도면 부호 Bw1, Bw2, Bw3는 각각 이송 유니트 가동 레일(333-1,333-2,333-3) 상에 배치되어 이송 유니트 이동 블록(320)과 연결되는 이송 유니트 가동 블록(331-1,331-2,333-3)의 위치를 나타내고, 도면 부호 S1, S2로 지시되는 구성요소는 이송 유니트 가동 레일(333-1,333-2,333-3) 상으로 각각의 이송 유니트 가동 블록(331-1,331-2,333-3)이 배치된 위치(Bw1, Bw2, Bw3)에서 이송 유니트 가동 레일(333-1,333-2,333-3)에 수직하게 형성된 평면을 나타내다. 또한, 도 6에서는 이를 구비하는 이송 유니트 이동 블록의 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지되는 위치를 나타내는 개략적인 구성도가 도시되는데, 각각의 이송 유니트 가동 블록(331-1,331-2,333-3)은 lw1,lw2,lw3의 도면 부호로 지시되고 도면 부호 AB는 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 y-z 평면 상에서의 배치 영역을 나타내고 도면 부호 Ac는 하기되는 이동 블록 수용부와 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부 간의 y-z 평면 상 교차 수용 영역을 나타낸다. 본 실시예에서의 이송 유니트 이동 블록은 V자 형상을 구비하고 lw1,lw2,lw3 상 위치(Bw1, Bw2, Bw3)에서 이송 유니트 가동 블록(331-1,331-2,333-3)에 의하여 3점 지지된다.

즉, 이송 유니트 가동 블록(331-1,331-2,333-3)은 이송 유니트 가동 레일(333-1,333-2,333-3)에 대하여 두 개의 위치 평면을 나타내고 각각의 위치 평면은 가동 블록 군을 이룬다. 즉, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 위치 평면 S2에는 이송 유니트 가동 블록의 위치가 두 개(Bw2,Bw3)가 배치되고 각각의 위치 평면 S1과 S2는 가동 블록 군(T1,T2)을 이루는데, Bw1과 Bw2/Bw3 간의 위치 간격은 도면 부호 d만큼 이격된다. 이때, 이송 유니트 가동 블록의 복수 개의 가동 블록 군(T1,T2) 중 서로 간의 간격이 가장 먼 두 개의 가동 블록 군의 이송 유니트 가동 레일 상의 위치(Bw1 및 Bw2; 또는 Bw1 및 Bw3) 사이에 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)가 배치된다. 이와 같이 공구(3)가 장착되는 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)의 위치가 이송 유니트 이동 블록(320)의 이동 방향에 대하여 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지되는 영역 사이에 배치됨으로써 안정적인 이송 유니트 가동 레일을 따른 안정적인 운동을 이룰 수 있다.

한편, 본 발명의 이송 유니트 이동 블록(320)에는 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록과의 접촉시 이를 수용하기 위한 구성요소가 더 구비된다. 즉, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 도 5 및 도 6에 이송 유니트 이동 블록(320)의 이송 유니트 이동 블록 바디(321)는 V자 형상을 구비하는데, V자 형상의 내측부로 지점 O2(도 5 참조)를 중심으로 곡률 반경 R를 형성하는 내측부에는 이동 블록 수용부(327)가 형성된다. 이송 유니트 이동 블록(320)의 일단부, 즉 V자 형상의 돌출된 단부도 지점 O1(도 5 참조)를 중심으로 곡률 반경 R을 형성한다. 따라서, 도 5에 도시된 바와 같이 복수 개의 이송 유니트 이동 블록이 서로 인접하여 배치되는 경우 어느 한 이송 유니트 이동 블록의 돌출된 부위, 돌출된 단부는 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록에 형성되는 이동 블록 수용부(327)에 수용된다. 더욱 상세하게, 이송 유니트 이동 블록(320)이 이송시 형성하는 평면 상에서, 이동 블록 수용부(327)는 이송 유니트 이동 블록(320)에 형성된 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)와 교차되는 교차 수용 영역(Ac)을 형성하는데, 이동 블록 수용부(327)는 이와 같은 교차 수용 영역(Ac)을 구획한다. 이송 유니트 이동 블록(320)에 형성되는 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부(325)의 이송 유니트 가동 레일(333)의 길이 방향(y 축)에 수직한 단부 중 어느 한 단부의 길이(lt)는, 교차 수용 영역(Ac)의 이송 유니트 가동 레일(333)의 길이 방향(y축)에 수직한 단부의 길이(lc)와 동일하다.

이와 같은 구조를 취함으로써 이송 유니트 이동 블록이 이송시 형성하는 평면(y-z 평면) 상에서 볼 때, 어느 한 이송 유니트 이동 블록에 형성된 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부는 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록에 형성된 다른 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부와 이송 유니트 가동 레일의 길이 방향(y축 방향)을 따라 서로 인접하여 연속 배치되는 구조를 가능하게 할 수 있다. 즉, 복수 개의 이송 유니트 이동 블록이 밀접하게 배치되는 경우 어느 한 이송 유니트 이동 블록의 일부는 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록에 형성된 이동 블록 수용부에 수용되어 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부와 y-z 평면 상에서 교차 수용 영역(Ac)을 형성하여 각각의 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부가 y축 상에 서로 간의 간격없이 연접하여 일렬 배치되는 구조를 형성할 수 있다. 본 발명에 따른 이송 유니트 이동 블록(320)은 복수 개의 이송 유니트 가동 블록(331)에 의하여 3점 지지되어 가동 가능한 안정적인 지지 구조를 이룸과 동시에 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 너비(wt)의 폭을 좁히고 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부 간의 간격을 배제시킴으로써 설계 사양에 맞는 간격으로 공구(3, 도 4 참조) 장착을 가능하게 하여 원하는 가공 위치를 설정할 수 있다. 궁극적으로 이송 유니트에 장착된 공구를 통한 가공 대상을 설계 사양에 따른 조밀한 간격의 가공 공정, 예를 들어 베이스(110)에 배치 되는 글라스 원기판을 간격 50㎜ 범위의 촘촘하게 커팅 가능하게 하는 스크라이빙 공정 등을 수행할 수 있다.

상기 실시예들에서 이송 유니트 이동 블록은 V자 형상을 구비하고 이송 유니트 가동 블록에 의하여 이송 유니트 가동 레일 상에서 3점 지지되는 구조를 취하는데, 본 발명은 다양한 변형이 가능하다.

도 7 및 도 8에 각각 개략적인 평면도 및 구성도로 도시된 바와 같이, 이송 유니트 이동 블록(320')은 N자 형상을 구비하고 N자 형상의 이송 유니트 이동 블록(320')은 4점 지지되는 구조를 취할 수도 있다. 도면 부호 AB'는 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 y-z 평면 상에서의 배치 영역을 나타내고 도면 부호 Ac'는 하기되는 이동 블록 수용부와 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부 간의 y-z 평면 상 교차 수용 영역을 나타낸다. 도면 부호 d'는 가동 블록 위치 군 중 서로 간의 간격을 가장 멀리하는 군간의 거리를 나타낸다.

즉, 이송 유니트 가동 레일(333-1,333-2,333-3,333-4)를 포함하고, 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 복수 개의 이송 유니트 가동 블록이 배치되는데, 각각의 이송 유니트 가동 레일 상의 이송 유니트 가동 블록은 각각의 이송 유니트 이동 블록에 1:1 대응되어 배치된다. 즉, 하나의 이송 유니트 이동 블록은, 이송 유니트 가동 레일(333-1;lw1)에 대하여 위치 Bw1에서 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지되고, 다른 이송 유니트 가동 레일(333-2;lw2)에 대하여 위치 Bw2에서 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지되고, 또 다른 이송 유니트 가동 레일(333- 3;lw3:333-4;lw4)에 대하여 위치 Bw3,Bw4에서 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지된다. 이와 같이 각각의 이송 유니트 이동 블록은 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에서 1점 지지되나, 각각의 이송 유니트 이동 블록은 복수 개의 이송 유니트 가동 레일 상에서 지지되므로 도 7 및 도 8에서와 같이 이송 유니트 이동 블록은 4점 지지를 이루어 보다 안정적인 지지 가동 구조를 이룰 수 있다. 이 경우에도 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 y-z 평면 상에서의 영역(AB')과 교차 수용 영역(Ac')는 중첩되고, 가동 블록 위치 군 중 서로 간의 간격을 가장 멀리한 군 사이에 배치되어 4점 지지를 이루는 안정적인 지지 구조를 이룸과 동시에 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부 간의 밀착 일렬 정렬 구조를 형성할 수 있다.

도 9 및 도 10에 각각 개략적인 평면도 및 구성도로 도시된 바와 같이, 이송 유니트 이동 블록(320")은 W자 형상을 구비하고 W자 형상의 이송 유니트 이동 블록(320")은 5점 지지되는 구조를 취할 수도 있다. 도면 부호 AB"는 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 y-z 평면 상에서의 배치 영역을 나타내고 도면 부호 Ac"는 하기되는 이동 블록 수용부와 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부 간의 y-z 평면 상 교차 수용 영역을 나타낸다. 도면 부호 d"는 가동 블록 위치 군 중 서로 간의 간격을 가장 멀리하는 군간의 거리를 나타낸다.

즉, 이송 유니트 가동 레일(333-1,333-2,333-3,333-4,333-5)를 포함하고, 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 복수 개의 이송 유니트 가동 블록이 배치되는데, 각각의 이송 유니트 가동 레일 상의 이송 유니트 가동 블록은 각각의 이송 유니트 이동 블록에 1:1 대응되어 배치된다. 즉, 하나의 이송 유니트 이동 블록은, 이송 유니트 가동 레일(333-1;lw1)에 대하여 위치 Bw1에서 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지되고, 다른 이송 유니트 가동 레일(333-2;lw2)에 대하여 위치 Bw2에서 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지되고, 또 다른 이송 유니트 가동 레일(333-3;lw3:333-4;lw4:333-4;lw5)에 대하여 위치 Bw3,Bw4,Bw5에서 이송 유니트 가동 블록에 의하여 지지된다. 이와 같이 각각의 이송 유니트 이동 블록은 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에서 1점 지지되나, 각각의 이송 유니트 이동 블록은 복수 개의 이송 유니트 가동 레일 상에서 지지되므로 도 9 및 도 10에서와 같이 이송 유니트 이동 블록은 5점 지지를 이루어 보다 안정적인 지지 가동 구조를 이룰 수 있다. 이 경우에도 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 y-z 평면 상에서의 영역(AB")과 교차 수용 영역(Ac")는 중첩되고, 가동 블록 위치 군 중 서로 간의 간격을 가장 멀리한 군 사이에 배치되어 5점 지지를 이루는 안정적인 지지 구조를 이룸과 동시에 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부 간의 밀착 일렬 정렬 구조를 형성할 수 있다.

상기 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 일예들로, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 단부는 곡선 타입으로 구성될 수도 있는 등, 이송 유니트 이동 블록 간의 교차 가능 영역이 생기거나 또는 이송 유니트 이동 블록의 복수 개 배치시 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 밀접 일렬 배치되를 가능하게 하는 구조를 취한 범위에서 다양한 변형이 가능하다. 또한, 상기 실시예에서 이송 유니트를 구비하는 이송 장치는 갠트리 타입으로 구성되었으나, 이는 본 발명의 이송 유니트를 설명하기 위한 일예로서 이 를 구비하는 이송 장치는 설계 사양에 따라 다양한 변형이 가능하다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트 및 이를 구비하는 이송 장치에 대한 개략적인 사시도이다.

도 2은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트의 부분 사시도이다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트의 개략적인 단면도이다.

도 4은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트의 이송 유니트 이동 블록에 대한 개략적인 사시도이다.

도 5은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트의 이송 유니트 이동 블록에 대한 개략적인 평면도이다.

도 6은 도 5의 이송 유니트 이동 블록을 지지하는 이송 유니트 가동부에 대한 개략적인 상태도이다.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트의 다른 형태의 이송 유니트 이동 블록에 대한 개략적인 평면도이다.

도 8은 도 7의 이송 유니트 이동 블록을 지지하는 이송 유니트 가동부에 대한 개략적인 상태도이다.

도 9은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 유니트의 또 다른 형태의 이송 유니트 이동 블록에 대한 개략적인 평면도이다.

도 10은 도 9의 이송 유니트 이동 블록을 지지하는 이송 유니트 가동부에 대한 개략적인 상태도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10...이송 장치 100...베이스부

110...베이스 120...베이스 지지대

200...이송 가이드부 210...이송 가이드 고정부

220...이송 가이드 가동부 230...이송 가이드 구동부

300...이송 유니트 310...이송 유니트 빔

320...이송 유니트 이동 블록 330...이송 유니트 가동부

340...이송 유니트 구동부

Claims

이송 장치의 베이스 상부에 배치되는 이송 유니트로서,

이송 유니트 빔;

상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 이송 유니트 이동 블록;

상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고,

상기 이송 유니트 이동 블록은 복수 개가 배치되고, 상기 이송 유니트 이동 블록의 이송 방향에 수직한 평면 상에 복수 개의 이송 유니트 이동 블록 간의 교차 가능 영역이 구비되고,

상기 이송 유니트 가동부는:

상기 이송 유니트 빔의 일면 상에 배치되는 복수 개의 이송 유니트 가동 레일과,

상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 가동 가능하게 배치되고 상기 이송 유니트 이동 블록과 연결되는 이송 유니트 가동 블록을 구비하되,

상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 개수는 상기 이송 유니트 이동 블록의 개수 이상인 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
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제 1항에 있어서,

상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고,

상기 이송 유니트 이동 블록에 연결되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 위치는, 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직하게 형성되는 복수 개의 위치 평면을 구비하는 복수 개의 가동 블록 군을 형성하되,

상기 이동 블록 툴 장착부는, 상기 이송 유니트 가동 블록의 복수 개의 가동 블록 군 중 서로 간의 간격이 가장 먼 두 개의 가동 블록 군의 상기 이송 유니트 가동 레일 상의 위치 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
제 1항에 있어서,

상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고,

상기 이송 유니트 이동 블록은 인접한 다른 이송 유니트 이동 블록의 단부를 수용할 수 있는 이동 블록 수용부가 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
제 4항에 있어서,

상기 이송 유니트 이동 블록 이송시 형성하는 평면 상에서, 상기 이동 블록 수용부는 상기 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부와 교차되는 교차 수용 영역을 형 성하고,

상기 이송 유니트 이동 블록 툴 장착부의 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직한 단부 중 어느 한 단부의 길이는, 상기 교차 수용 영역의 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직한 단부의 길이와 동일한 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
제 1항에 있어서,

상기 이송 유니트 이동 블록은 V자 형상을 구비하고,

상기 이송 유니트 가동 블록은 상기 이송 유니트 이동 블록을 3점 지지하는 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
제 1항에 있어서,

상기 이송 유니트 이동 블록은 N자 형상을 구비하고,

상기 이송 유니트 가동 블록은 상기 이송 유니트 이동 블록을 4점 지지하는 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
제 1항에 있어서,

상기 이송 유니트 이동 블록은 W자 형상을 구비하고,

상기 이송 유니트 가동 블록은 상기 이송 유니트 이동 블록을 5점 지지하는 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
제 1항에 있어서,

상기 이송 유니트 이동 블록은:

상기 이송 유니트 가동 블록에 의하여 가동 가능하게 지지되는 이동 블록 바디와,

상기 이동 블록 바디의 일면 상으로 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고,

상기 이동 블록 툴 장착부는 상기 이송 유니트 가동 레일의 길이 방향에 수직한 평면 상에서 볼 때, 상기 이동 블록 바디의 일면으로부터 돌출 형성되도록 장착부 높이 단차를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
이송 장치의 베이스 상부에 배치되는 이송 유니트로서,

이송 유니트 빔;

상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 이송 유니트 이동 블록;

상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고,

상기 이송 유니트 이동 블록은 복수 개가 배치되고, 상기 이송 유니트 이동 블록의 이송 방향에 수직한 평면 상에 복수 개의 이송 유니트 이동 블록 간의 교차 가능 영역이 구비되고,

상기 이송 유니트 이동 블록의 위치를 감지하는 이송 유니트 감지부가 더 구비되되,

상기 이송 유니트 감지부는:

상기 이송 유니트 빔의 일측에 배치되는 유니트 이동 블록 감지 스케일와,

상기 이송 유니트 이동 블록의 일측으로 상기 유니트 이동 블록 감지 스케일와 대응되는 위치에 배치되는 유니트 이동 블록 감지 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 유니트.
이송 유니트 빔;

상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 복수 개의 이송 유니트 이동 블록;

상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고,

상기 이송 유니트 가동부는: 상기 이송 유니트 빔의 일면 상에 배치되는 복수 개의 이송 유니트 가동 레일과, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 가동 가능하게 배치되고 상기 이송 유니트 이동 블록과 연결되는 이송 유니트 가동 블록을 구비하되, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 개수는 상기 이송 유니트 이동 블록의 개수와 동일하고,

상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고, 상기 이송 유니트 이동 블록에 연결되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 위치는, 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직하게 형성되는 복수 개의 위치 평면을 구비하는 복수 개의 가동 블록 군을 형성하되, 상기 이동 블록 툴 장착부는, 상기 이송 유니트 가동 블록의 복수 개의 가동 블록 군 중 서로 간의 간격이 가장 먼 두 개의 가동 블록 군의 상기 이송 유니트 가동 레일 상의 위치 사이에 배치되는 이송 유니트.
베이스 지지대에 의하여 지지되는 베이스를 구비하는 베이스부와,

상기 베이스부의 상부에 배치되는 이송 유니트 빔; 상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 이송 유니트 이동 블록; 상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고, 상기 이송 유니트 이동 블록은 복수 개가 배치되고, 상기 이송 유니트 이동 블록의 이송 방향에 수직한 평면 상에 복수 개의 이송 유니트 이동 블록의 교차 가능 영역이 구비되고, 상기 이송 유니트 가동부는: 상기 이송 유니트 빔의 일면 상에 배치되는 복수 개의 이송 유니트 가동 레일과, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 가동 가능하게 배치되고 상기 이송 유니트 이동 블록과 연결되는 이송 유니트 가동 블록을 구비하되, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 개수는 상기 이송 유니트 이동 블록의 개수 이상인 이송 유니트를 구비하는 이송 장치.
베이스 지지대에 의하여 지지되는 베이스를 구비하는 베이스부와,

상기 베이스부의 상부에 배치되는 이송 유니트 빔; 상기 이송 유니트 빔 상에 이동 가능하게 배치되는 복수 개의 이송 유니트 이동 블록; 상기 이송 유니트 이동 블록을 상기 이송 유니트 빔 상에서 가동 가능하게 지지하는 이송 유니트 가동부;를 구비하고, 상기 이송 유니트 가동부는: 상기 이송 유니트 빔의 일면 상에 배치되는 복수 개의 이송 유니트 가동 레일과, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 가동 가능하게 배치되고 상기 이송 유니트 이동 블록과 연결되는 이송 유니트 가동 블록을 구비하되, 상기 각각의 이송 유니트 가동 레일 상에 배치되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 개수는 상기 이송 유니트 이동 블록의 개수와 동일하고, 상기 이송 유니트 이동 블록에는 공구를 장착할 수 있는 이동 블록 툴 장착부가 구비되고, 상기 이송 유니트 이동 블록에 연결되는 상기 이송 유니트 가동 블록의 위치는, 상기 이송 유니트 가동 레일에 수직하게 형성되는 복수 개의 위치 평면을 구비하는 복수 개의 가동 블록 군을 형성하되, 상기 이동 블록 툴 장착부는, 상기 이송 유니트 가동 블록의 복수 개의 가동 블록 군 중 서로 간의 간격이 가장 먼 두 개의 가동 블록 군의 상기 이송 유니트 가동 레일 상의 위치 사이에 배치되는 이송 유니 트를 구비하는 이송 장치.