JP4602168B2 - エアスライドの組立方法 - Google Patents
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Description
前記上板部と前記下板部と一つの前記側板部とを連結して略コの字型の部材に組み立てる工程と、
前記コの字型の部材をその側板部が下となるように静置し、その凹み部分に前記ガイド部を挿入する工程と、
前記ガイドレールの上側に前記上板部に残る一つの前記側板部を微少可動に仮固定する工程と、
前記側板部の移動方向端にそれぞれ、前記ガイドレールと接触して前記側板部を前記ガイドレールに対して持ち上げるように変位する圧電アクチュエータを備えた間隙調整用治具を取り付ける工程と、
前記圧電アクチュエータを3μm〜10μmの範囲の所望の長さだけ伸張させて、前記側板部を前記ガイド部から持ち上げて保持し、その状態で当該側板部を前記上板部に対して強固に固定する工程と、
前記圧電アクチュエータの駆動を解除して、前記間隙調整用治具を取り外す工程と、
を有することを特徴とするエアスライドの組立方法、を提供する。
10;エアスライド
11;スライドテーブル
12;ガイドレール
21;上板部
22a・22b;下板部
23a・23b;側板部
25;ガイド部
26;土台部
31a・31b;ボルト
50;間隙調整用治具
51;圧電アクチュエータ
52・53;板部材
58;変位センサヘッド
60;間隙部
71・72;ガイド面
100;スライドテーブル
101;上板部
102;下板部
103a・103b;側板部
104;ガイドレール
105a・105b;間隙部
Claims (2)
- 上板部および下板部ならびにこれら上板部と下板部とを連結する二つの側板部とからなるスライドテーブルを、当該スライドテーブルの移動方向に垂直な断面の形状が長方形であるガイド部を有するガイドレールに非接触支持させて当該ガイドレールのガイド方向に移動させるエアスライドの組立方法であって、
前記上板部と前記下板部と一つの前記側板部とを連結して略コの字型の部材に組み立てる工程と、
前記コの字型の部材をその側板部が下となるように静置し、その凹み部分に前記ガイド部を挿入する工程と、
前記ガイドレールの上側に前記上板部に残る一つの前記側板部を微少可動に仮固定する工程と、
前記側板部の移動方向端にそれぞれ、前記ガイドレールと接触して前記側板部を前記ガイドレールに対して持ち上げるように変位する圧電アクチュエータを備えた間隙調整用治具を取り付ける工程と、
前記圧電アクチュエータを3μm〜10μmの範囲の所望の長さだけ伸張させて、前記側板部を前記ガイド部から持ち上げて保持し、その状態で当該側板部を前記上板部に対して強固に固定する工程と、
前記圧電アクチュエータの駆動を解除して、前記間隙調整用治具を取り外す工程と、
を有することを特徴とするエアスライドの組立方法。 - 前記下板部は二つに分かれており、
その一方の下板部は、前記略コの字型の部材を組み立てる工程で用いられ、
その他方の下板部は、前記一つの側板部を前記上板部に対して微少可動に仮固定する工程において、前記側板部とともに前記上板部に対して微少可動に仮固定されることを特徴とする請求項1に記載のエアスライドの組立方法。
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